一種單組份動態配氣裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種單組份動態配氣裝置，包括原料氣質量流量控制器、稀釋氣質量流量控制器、混合器，所述稀釋氣質量流量控制器出口與混合器的入口相連，還包括原料氣接入球閥和原料氣輸出球閥，該原料氣接入球閥和原料氣輸出球閥均為多通球閥；所述原料氣質量流量控制器的數量至少為2個，且量程等比增長，等比增長的公比不小于5；所述原料氣質量流量控制器通過原料氣接入球閥接入原料氣，并通過原料氣輸出球閥與混合器的入口相連。本實用新型提供較寬的稀釋比范圍，用一種濃度的原料氣即可配制出滿足絕大多數待檢儀器要求的標準氣，減少了原料氣的儲備與使用，無需拆裝接頭，可以避免泄漏氣流和擴散干擾，具有使用方便、配置靈活等優點。
【專利說明】一種單組份動態配氣裝置【技術領域】
[0001]本實用新型涉及配氣裝置【技術領域】，尤其涉及一種單組份動態配氣裝置。
【背景技術】
[0002]對氣體分析儀進行標定、校準和檢驗時，需要根據待檢儀器的具體參數用到多種成分和濃度的標準氣，該標準氣通常采用動態配氣法配制。連續稀釋法是動態配氣法中的一種重要方法，其原理是將已知濃度的原料氣(可以是一種或相互之間不反應的多種)和稀釋氣(又稱零氣)分別以一定的流量混合稀釋配制成新的標準氣，輸出標準氣各組分的濃度可以用原料氣的濃度乘以稀釋比的方法計算得出(稀釋比為原料氣的流量占混合氣總流量的比例)。調節原料氣和稀釋氣的流量比例就可以改變輸出標準氣的濃度，從而得到所需標準氣。
[0003]動態配氣裝置是連續稀釋法配氣的核心設備，一般采用質量流量控制器(MassFlow Controller，MFC)來控制各路氣體流量，每一種組分對應一臺MFC，并加以混合輸出。一般情況下，單組份動態配氣裝置具有兩臺MFC，分別控制原料氣和稀釋氣的流量。
[0004]作為一種計量設備，配制標準氣的準確度至關重要。流量誤差是標準氣濃度誤差的主要組成部分。受MFC準確度的限制，上述配氣裝置的稀釋比是有限的。MFC的準確度以其量程的百分比表示，典型值為1%FS。因此，實際流量越接近MFC的量程，流量的相對誤差越小；反之，實際流量與量程之比越小，流量的相對誤差就越大。為保證足夠的準確度，通常要求實際流量在MFC量程的10% —100%之間。因此，MFC可以有效控制的最大流量和最小流量之比等于10。上述配氣裝置的原料氣MFC和稀釋氣MFC配合，理論上這種配氣裝置的最大稀釋比可達最小稀釋比的100倍(具體倍數取決于原料氣MFC和稀釋氣MFC的量程比，通常在10-100倍之間。例如，當稀釋氣MFC的量程為原料氣MFC量程的4倍時，理論上其最大稀釋比約為最小稀`釋比的30倍。實際使用中受限于待檢儀器對標氣流量的要求，此范圍還會進一步減小)。
[0005]但待檢儀器的測量范圍往往超出了上述配氣裝置的稀釋比范圍。這種情況下，一般采用更換不同濃度的原料氣的方法來彌補，即準備一系列濃度成梯度排列的原料氣，按照所需標準氣的濃度范圍選擇使用相應濃度的原料氣。此法需要多種濃度的原料氣，造成原料氣的準備、存放不便，更可能造成浪費。而且每次更換原料氣都需要拆卸并重新安裝氣路接頭，操作極為不便，且多次拆裝易導致漏氣。
[0006]在需要用同一臺配氣裝置配制不同組分的標氣、以檢驗不同的氣體分析儀器的情況下，也會更換原料氣，需要多次拆裝接頭，導致操作繁瑣。
[0007]現有的配氣裝置還忽略了氣路死體積和MFC泄漏氣流對輸出的干擾問題。特別是在需要輸出清潔的稀釋氣用于儀器調零時，來自原料氣MFC的泄漏氣流或混合器連接的原料氣管路中的組分會進入稀釋氣中，導致輸出的稀釋氣不夠純凈，這對高靈敏度儀器的檢驗造成很大干擾。實用新型內容
[0008]本實用新型要解決的技術問題就在于:針對現有技術存在的上述不足，本實用新型提供一種單組份動態配氣裝置，其在保證準確度的情況下可提供較寬的稀釋比范圍，滿足大部分待檢儀器的測量需要。
[0009]為實現上述目的，本實用新型的一種單組份動態配氣裝置，包括原料氣質量流量控制器、稀釋氣質量流量控制器、混合器，稀釋氣質量流量控制器出口與混合器的入口相連，還包括原料氣接入球閥和原料氣輸出球閥，該原料氣接入球閥和原料氣輸出球閥均為多通球閥；上述原料氣質量流量控制器的數量至少為2個，且量程等比增長，等比增長的公比不小于5 ;上述原料氣質量流量控制器通過原料氣接入球閥接入原料氣，并通過原料氣輸出球閥與混合器的入口相連。這樣，多個原料氣質量流量控制器接入原料氣接入球閥的不同出口，并接入原料氣輸出球閥的不同入口，構成了多個原料氣通路(即原料氣路)，使用時可以根據標準氣的稀釋比要求選擇合適量程的原料氣質量流量控制器(稀釋比較高時，需要的稀釋氣流量較大，原料氣流量較小，因此原料氣可以利用原料氣接入球閥和原料氣輸出球閥選擇小量程的原料氣質量流量控制器構成的原料氣通路；反之，可以選擇大量程的原料氣質量流量控制器構成的原料氣通路)；此外，本方案中的稀釋氣質量流量控制器構成稀釋氣路，其量程大于任意一個原料氣質量流量控制器的量程，便于提供足夠流量的稀釋氣，稀釋氣質量流量控制器的入口接入稀釋氣，其出口接入混合器的另一個入口，使得稀釋氣和原料氣在混合器內混合配氣，且配置好的標準氣經混合器的出口輸出。在現有技術中，雖然采用一個大量程的原料流量控制器也能提供較寬的稀釋比，但是發明人在實際工作中發現，其準確度只有在量程的10% —100%之間才能有效保障，在量程10%以下時無法保障流量的準確性。鑒于此，發明人在本方案中，通過設置多個不同量程的原料氣質量流量控制器，既能保證流量的準確度，又能大幅度拓寬稀釋比范圍寬，利用本方案的配氣裝置利用一種濃度的原料氣即可以配制出滿足絕大多數待檢儀器要求的標氣，減少了原料氣的儲備與使用。一般情況下，原料氣質量流量控制器的個數不超過5個，由于原料氣的流量有最大上限，設置更多和更大量程的原料氣質量流量控制器沒有更多的意義。
[0010]作為本實用新型的進一步改進，上述原料氣接入球閥包括I個接入原料氣的入口和數量不少于原料氣質量流量控制器個數的出口 ；上述原料氣輸出球閥包括一個出口和數量不少于原料氣質量流量控制器個數的入口，其出口與混合器的入口相連；原料氣質量流量控制器的入口與原料氣接入球閥的出口相連，出口與原料氣輸出球閥的入口相連。
[0011]進一步，還包括稀釋氣接入球閥，其入口接入稀釋氣，出口與稀釋氣質量流量控制器的入口相連，可以更加方便控制稀釋氣的接入與斷開。
[0012]進一步，上述混合器為T型三通球閥。混合器主要用于將原料氣和稀釋氣混合，配置成標準氣。本方案中采用T型三通球閥作為混合器，主要用于為待測儀器調零時提供清潔的稀釋氣，在該T型三通球閥的與原料氣輸出球閥相連的入口被截止時，可防止原料氣質量流量控制器的泄漏氣流或連接管中殘存的原料氣進入輸出氣體中，可以保證輸出的稀釋氣純凈，不會影響高靈敏儀器的檢驗。
[0013]進一步，上述原料氣接入球閥的出口的數量大于原料氣質量流量控制器個數；上述稀釋氣接入球閥為L型三通球閥，包括兩個入口和一個出口，其一個入口接入稀釋氣，另一個入口與原料氣接入球閥的一個出口相連。前述設置主要用于待檢儀器準確標定等特殊使用中，該類應用中需要使用大量的原料氣，采用本方案中的設置，可以使原料氣可以很方便地從原料氣接入球閥從大量程的稀釋氣質量流量控制器中流過，以滿足上述的特殊需求。
[0014]進一步，上述原料氣質量流量控制器的數量為3個；上述原料氣接入球閥為五通球閥，其一個出口與稀釋氣接入球閥的入口相連，其余三個出口各連接I個原料氣質量流量控制器；上述原料氣輸出球閥為四通球閥，其3個入口各連接一個原料氣質量流量控制器。即三臺原料氣質量流量控制器的入口分別連接到五通球閥的三個出口，出口則分別連接到四通球閥的三個入口。
[0015]進一步，3個原料氣質量流量控制器的量程等比增長的公比為10。本方案中，3個原料氣質量流量控制器的量程呈10倍增長，因此其最大流量比和最小流量比可以達到1000倍，理論上最大稀釋比與最小稀釋比的比值最多可達10000倍，范圍非常寬，用一種濃度的原料氣即可以配制出滿足絕大多數待檢儀器要求的標準氣，減少了原料氣的儲備與使用；
[0016]進一步，上述單組份動態配氣裝置還包括原料氣選擇球閥，該原料氣選擇球閥為二通球閥或多通球閥，包括一個出口和至少一個入口，其每個入口接入一種原料氣，其出口與原料氣接入球閥的入口相連。本方案中，原料氣選擇球閥可采用從兩通球閥到七通球閥中的任意一種，分別對應I一6個入口，可以相應地接入f 6種原料氣，其具體采用何種球閥可根據原料氣的數量選用。通過設置該原料氣選擇球閥，使得單組份動態配氣裝置帶有原料氣切換功能，多種原料氣可以事先連接到原料氣選擇球閥入口，使用時根據需要隨時方便切換，無需臨時拆裝接頭。此外，在需要用同一臺配氣裝置配制不同組分的標準氣、以檢驗不同的氣體分析儀器的情況下，也無需拆裝接頭，使用方便。
[0017]進一步，上述單組份動態配氣裝置還包括三通管、第一針型閥、第二針型閥、轉子流量計:上述三通管的入口與混合器的出口相連，三通管的兩個出口分別與第一針型閥和第二針型閥相連，上述第二針型閥后還連接有轉子流量計，其中第二針型閥和轉子流量計構成排空氣路，第一針型閥構成輸出氣路。本方案中，三通管將輸出的標準氣分成兩路，配合第一針型閥和第二針型閥可改變兩路氣的流量比例，該設計的目的是為了配合待檢儀器的流量需求，如果混合器輸出的標準氣流量超過了待檢儀器所需流量，則可通過第二針型閥構成的排空氣路排空部分標準氣，使流量匹配，第二針型閥后還連接有轉子流量計以方便監視排空流量大小，第一針型閥后則不設轉子流量計，以防止轉子流量計材質的吸附作用對標準氣濃度的干擾。上述所有閥門均采用不銹鋼材質，管路采用不銹鋼或特氟龍材質，防止對原料氣和稀釋氣產生吸附。
[0018]進一步，上述稀釋氣質量流量控制器的量程大于原料氣質量流量控制器的量程，優選為量程最大的原料氣質量流量控制器的量程的4倍。
[0019]相對于現有技術，本實用新型具有如下優點和有益效果:
[0020]1、本實用新型在配置標準氣時既能保證流量的準確度，又能夠提供較寬的稀釋比范圍(如采用3個原料氣質量流量控制器，且其量程呈10倍增強，理論上最大稀釋比與最小稀釋比的比值最多可達10000倍)，用一種濃度的原料氣即可以配制出滿足絕大多數待檢儀器要求的標準氣，減少了原料氣的儲備與使用；
[0021]2、本實用新型帶有原料氣切換功能，多種原料氣可以事先連接到裝置輸入口，使用時根據需要隨時方便切換，無需臨時拆裝接頭；
[0022]3、本實用新型的原料氣可以很方便地經稀釋氣路以大流量輸出，滿足待檢儀器準確標定等特殊需求；
[0023]4、本實用新型的氣路經充分優化，配置靈活，無死體積，任何情況下均不會有泄漏氣流和擴散干擾，保證輸出氣體特別是零氣的潔凈。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0024]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0025]圖2為實施例4的結構示意圖。
[0026]圖例說明:1、原料氣質量流量控制器；2、原料氣選擇球閥；3、稀釋氣接入球閥；4、原料氣接入球閥；5、稀釋氣質量流量控制器；6、混合器；7、三通管；8、第一針型閥；9、輸出口； 10、原料氣入口； 14、原料氣輸出球閥；15、第二針型閥；16、轉子流量計；17、排空口； 18、稀釋氣入口。
【具體實施方式】
[0027]下面結合實施例及附圖 ，對本實用新型作進一步的詳細說明，但本實用新型的實施方式不僅限于此。
[0028]【實施例1】
[0029]如圖1所示，一種單組份動態配氣裝置，包括原料氣質量流量控制器1、稀釋氣質量流量控制器5、混合器6、原料氣接入球閥4、原料氣輸出球閥14:其中，混合器6包括兩個入口和一個輸出標準氣的出口 ；稀釋氣質量流量控制器5的入口連接稀釋氣入口 18，接入稀釋氣，出口與混合器6的一個入口相連，構成稀釋氣路；原料氣質量流量控制器I的數量至少為2個，且量程等比增長，等比增長的公比不小于5，即如果采用兩個原料氣質量流量控制器I，第二個原料氣質量流量控制器I的量程為第一個的η倍；如果采用3個，則第3個的量程又是第二個的η倍，η大于等于5，且上述稀釋氣質量流量控制器5的量程最大，大于任意一個原料氣質量流量控制器I的量程；原料氣接入球閥4和原料氣輸出球閥14均為多通球閥，原料氣接入球閥4包括I個接入原料氣的入口和數量不少于原料氣質量流量控制器I個數的出口 ；原料氣輸出球閥14包括一個出口和數量不少于原料氣質量流量控制器I個數的入口，其出口與混合器6的另一個入口相連；上述原料氣接入球閥4的出口和原料氣輸出球閥14的出口個數要求大于或等于原料氣質量流量控制器I的個數，主要是為了使每個原料氣質量流量控制器I各連接原料氣接入球閥4的一個出口和原料氣輸出球閥14的一個入口(所有原料氣流量控制器連接的原料氣接入球閥4的出口以及原料氣輸出球閥14的入口不同)，使得每個原料氣質量流量控制器I構成I個原料氣路，從而可以根據所需原料氣流量選擇相應量程的原料氣質量流量控制器I構成的輸入通路。本實施例中，每增加一個更大量程的原料氣質量流量控制器1，其稀釋比范圍就更大，但其最大不超過5個，因為原料氣流量有一定上限，如果設置更多的原料氣質量流量控制器I對原料氣流量和稀釋比的貢獻沒有任何意義,也增加了整體成本。
[0030]本實施例中，上述混合器6采用T型三通球閥，其主入口與稀釋氣質量流量控制器5相連，支路入口與原料氣輸出球閥14相連；其切換至三路全通狀態時，原料氣和稀釋氣在其中均勻混合，配制出所需標準氣，并通過其出口輸出配置的標準氣；τ型三通球閥切換至支路斷開狀態時，可適用于使用稀釋氣質量流量控制器5輸出稀釋氣或原料氣的情形，此時如果T型三通球閥的與原料氣輸出球閥相連的入口(圖1和圖2中的2號口)被截止時，可防止原料氣質量流量控制器I的泄漏氣流或連接管中殘存的原料氣進入輸出氣體中，保證輸出氣體純凈。實際應用中，如果無需使用該功能，則混合器6也可采用三通管。
[0031]【實施例2】
[0032]在實施例1的基礎上，本實施例中的單組份動態配氣裝置還包括稀釋氣接入球閥3，該稀釋氣接入球閥3為一個L型三通球閥，包括兩個入口和一個出口，其出口與稀釋氣質量流量控制器5的入口相連，其一個入口接入稀釋氣；此外，原料氣接入球閥4的出口的數量大于原料氣質量流量控制器I個數，使得原料氣接入球閥4的出口將原料氣質量流量控制器I全部接入后還剩余一個出口，該出口連接L型三通球閥的另一個入口。L型三通球閥用于選擇流經稀釋氣質量流量控制器5的氣體，L型三通球閥3切換至2號口，并且原料氣接入球閥4不位于4號口時，稀釋氣進入稀釋氣質量流量控制器5，適用于稀釋配氣或單純輸出稀釋氣；L型三通球閥切換至I號口，并且原料氣接入球閥4切換至4號口時，被選中的原料氣流經稀釋氣質量流量控制器5，可不經稀釋直接大流量輸出原料氣，適用于待檢儀器準確標定等特殊情況(由于未經稀釋，不含流量誤差，標氣的準確度較稀釋配氣時高)。
[0033]【實施例3】
[0034]如圖1所示,本實施例與實施例1或實施例2的區別在于,上述原料氣質量流量控制器I的數量為3個，其中第二個原料氣質量流量控制器I的量程是第一個原料氣質量流量控制器I的10倍，第三個原料氣質量流量控制器I是第二個原料氣質量流量控制器I的10倍，即量程以10為公比遞增，稀釋氣質量流量控制器5為一個大量程的質量流量控制器，其量程一般為原料氣質量流量控制器I中最大的量程的兩倍以上，具體地:三個原料氣質量流量控制器I的量程分別為:5mL/min，控制流量范圍(0.5—5)mL/min ;50mL/min，控制流量范圍(5— 50)mL/min ； 500mL/min，控制流量范圍(50— 500)mL/min ;稀釋氣質量流量控制器5的量程為2000 mL/min。上述原料氣接入球閥4為五通球閥，原料氣輸出球閥14為四通球閥，三個原料氣質量流量控制器I的入口分別連接到五通球閥的三個出口，出口則分別連接到四通球閥的三個入口，五通球閥的剩余一個出口與稀釋氣接入球閥3的入口相連。
[0035]本方案中，五通球閥和四通球閥配合使用，用于根據所需原料氣流量選擇原料氣質量流量控制器1:五通球閥和四通球閥同時切換到I號口或同時切換2號口或同時切換到3號口時，分別對應選擇使用3個不同的原料氣質量流量控制器I。每次只選擇I個原料氣質量流量控制器I，未被選擇使用的就處于截止狀態，由于原料氣質量流量控制器I不是截止閥，其處于關閉狀態時仍可能有微小氣流通過，正常情況下最多可達2%FS，容易產生漏泄氣流干擾配氣，而使用五通球閥和四通球閥可防止前述泄漏氣流的干擾，同時還可防止連接管中殘存的原料氣的擴散干擾。
[0036]本方案中，每臺原料氣質量流量控制器I的實際流量均在其量程的10% —100%范圍內，保證了流量準確度，三臺原料氣質量流量控制器I配合，可以有效控制的流量范圍為(0.5— 500) mL/min，最大流量和最小流量之比達到1000，最大稀釋比與最小稀釋比的比值理論上可達約2900倍，極大擴展了配氣裝置的稀釋比范圍(如僅采用I臺量程為500mL/min的原料氣質量流量控制器，則最大稀釋比與最小稀釋比的比值理論上只能達到30倍)。
[0037]【實施例4】
[0038]如圖2所示，本實施例與實施例3的區別在于，其原料氣質量流量控制器I的數量為2個，兩個原料氣質量流量控制器I的量程分別為50mL和500mL，原料氣接入球閥4為四通球閥，原料氣輸出球閥14為三通球閥，其連接方式與實施例3也相同，只是少接入了一個原料氣質量流量控制器I，本實施例中，可以有效控制的流量范圍為(5— 500) mL/min,最大流量和最小流量之比達到100，最大稀釋比與最小稀釋比的比值理論上可達約290倍，可用于對稀釋比范圍需求不太高的應用中。
[0039]【實施例5】
[0040]在上述實施例基礎上,本實施例中的一種單組份動態配氣裝置還包括原料氣選擇球閥2，該原料氣選擇球閥2為二通球閥或多通球閥，包括一個出口和至少一個入口，其每個入口與一個原料氣入口 10相連，接入一種原料氣，出口與原料氣接入球閥4的入口相連。原料氣選擇球閥2主要用于選擇所需原料氣，其選用球閥的種類根據原料氣的數量選用:最少可用兩通球閥，具有I個入口，適用于只有一種原料氣、無需切換的情況；最多選用七通球閥，具有6個入口，最多可連接6種原料氣(也可以少于6種，多余的入口空置)，將其切換至對應的入口位置，即可選擇連接在相應入口的原料氣進入氣路，其它入口截止。
[0041]【實施例6】
[0042]在上述實施例基礎上，本實施例中的一種單組份動態配氣裝置還包括三通管7、第一針型閥8、第二針型閥15、轉子流量計16:三通管7的入口與混合器6的出口相連，三通管7的兩個出口分別與第一針型閥8和第二針型閥15相連，第二針型閥15后還連接有轉子流量計16。第一針型閥8連接輸出口 9，構成標準氣輸出氣路，第二針型閥15后與轉子流量計16相連，轉子流量計16連接排空口 17，構成排空氣路。
`[0043]三通管7主要將輸出的標準氣分成兩路，配合第一針型閥8和第二針型閥15可改變兩路氣的流量比例，該設計的目的是為了配合待檢儀器的流量需求。如果標氣流量超過待檢儀器所需流量，則可通過排空氣路排空部分氣流，使流量匹配，排空氣路上安裝轉子流量計16以方便監視排空流量大小，實際應用中，亦采用集流量觀察和調節功能于一體的帶調節閥的流量計代替第二針型閥15和轉子流量計16。輸出氣路上則不設轉子流量計，以防止轉子流量計材質的吸附作用對標氣濃度的干擾(轉子流量計采用玻璃或塑料材質，吸附性較強)。
[0044]上述所有閥門均采用不銹鋼材質，管路采用不銹鋼或特氟龍材質，以盡量減少吸附。
[0045]以上僅是本實用新型的優選實施方式，本實用新型的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本實用新型思路下的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理前提下的若干改進和潤飾，應視為本實用新型的保護范圍。
【權利要求】
1.一種單組份動態配氣裝置，包括原料氣質量流量控制器(I)、稀釋氣質量流量控制器(5)、混合器(6)，所述稀釋氣質量流量控制器(5)出口與混合器(6)的入口相連，其特征在于，還包括原料氣接入球閥(4)和原料氣輸出球閥(14)，該原料氣接入球閥(4)和原料氣輸出球閥(14)均為多通球閥；所述原料氣質量流量控制器(I)的數量至少為2個，且量程等比增長，等比增長的公比不小于5 ;所述原料氣質量流量控制器(I)通過原料氣接入球閥(4)接入原料氣，并通過原料氣輸出球閥(14)與混合器(6)的入口相連。
2.根據權利要求1所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，所述原料氣接入球閥(4)包括I個接入原料氣的入口和數量不少于原料氣質量流量控制器(I)個數的出口 ；所述原料氣輸出球閥(14)包括一個出口和數量不少于原料氣質量流量控制器(I)個數的入口，其出口與混合器(6)的入口相連；原料氣質量流量控制器(I)的入口與原料氣接入球閥(4)的出口相連，出口與原料氣輸出球閥(14)的入口相連。
3.根據權利要求2所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，還包括稀釋氣接入球閥(3 )，其入口接入稀釋氣，出口與稀釋氣質量流量控制器(5 )的入口相連。
4.根據權利要求2所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，所述混合器(6)為T型三通球閥。
5.根據權利要求3所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，所述原料氣接入球閥(4 )的出口的數量大于原料氣質量流量控制器(I)個數；所述稀釋氣接入球閥(3 )為L型三通球閥，包括兩個入口和一個出口，其一個入口接入稀釋氣，另一個入口與原料氣接入球閥(4)的一個出口相連。
6.根據權利要求5所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，所述原料氣質量流量控制器(I)的數量為3個；所述原料氣接入球閥(4)為五通球閥，其一個出口與稀釋氣接入球閥(3)的入口相連，其余三個出口各連接I個原料氣質量流量控制器(I);所述原料氣輸出球閥(14)為四通球閥，其3個入口各連接一個原料氣質量流量控制器(I)。
7.根據權利要求6所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，3個原料氣質量流量控制器(I)的量程等比增長的公比為10。
8.根據權利要求1至7任一所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，還包括原料氣選擇球閥(2)，所述原料氣選擇球閥(2)為二通球閥或多通球閥，包括一個出口和至少一個入口，其每個入口接入一種原料氣，其出口與原料氣接入球閥(4)的入口相連。
9.根據權利要求1至7任一所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，還包括三通管(7)、第一針型閥(8)、第二針型閥(15)、轉子流量計(16):所述三通管(7)的入口與混合器(6)的出口相連，三通管(7)的兩個出口分別與第一針型閥(8)和第二針型閥(15)相連，所述第二針型閥(15)后還連接有轉子流量計(16)。
10.根據權利要求1至7任一所述的一種單組份動態配氣裝置，其特征在于，所述稀釋氣質量流量控制器(5)的量程大于原料氣質量流量控制器(I)的量程。
【文檔編號】B01F3/02GK203525643SQ201320691765
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年11月5日 優先權日:2013年11月5日
【發明者】張力, 王志高, 王杰 申請人:國家電網公司, 國網四川省電力公司電力科學研究院