專利名稱：一種廢氣處理凈化裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及對廢氣的處理系統，尤其是一種對在多晶硅生產中所產生的酸性 廢氣的二級處理凈化裝置。
背景技術：
隨著光伏產業的繁榮發展，越來越多的中小型企業開始對晶體硅材料進行加工與 處理，而大多數的企業在對硅料進行腐蝕時大多數的都是采用硝酸、氫氟酸和鹽酸的混合 液進行產品腐蝕，從而就會產生主要成份為氮氧化物、少量的氟化氫氣體、少量的氯化氫氣 體和氯氫硅烷的揮發性氣體，并且所產生的酸性氣體的初始濃度都在150mg/m3以上。而根 據《大氣污染物綜合排放標準》的要求，當排氣筒高度為30m時，二級排放標準NOx的最高 允許排放濃度為M0mg/m3，最高允許排放速率為4. 4kg/h ；二級排放標準HF的最高允許排 放濃度為9mg/m3，最高允許排放速率為0. 59kg/h ；二級排放標準HCL的最高允許排放濃度 為100mg/m3，最高允許排放速率為1.4kg/h，因此，處理凈化后廢氣的排放濃度分別為N0X < 240mg/m3、HF < 9mg/m3、HCL < 100mg/m3。目前，為了達到這一標準要求，市場上對此類酸性氣體的處理方式是經過一級濕 式凈化處理或其他簡單的廢氣處理方式，但是，由于在生產過程中所產生的大量的氮氧化 物、氟化氫氣體以及氯化氫氣體的特征表現為爆發性、間歇性的，而且濃度較高，所以簡單 的廢氣處理方式無法真正的對廢氣進行完善全面的處理。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種結構簡單、凈化廢氣效率高、最終廢氣 排放濃度小的廢氣二級處理凈化裝置。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是一種廢氣處理凈化裝置，包括 一級凈化塔、二級凈化塔以及能夠將氣體從一級凈化塔壓入到二級凈化塔內的風機，所述 的一級凈化塔通過管道連接風機的進氣口，所述的二級凈化塔通過管道與風機的出氣口相 連接，所述的一級凈化塔和二級凈化塔的進口處均設置有網狀過濾器。本實用新型的有益效果是，解決了背景技術中存在的缺陷，采用二級凈化處理的 方式，能夠將工業生產中所產生的酸性廢氣更進一步的進行凈化處理，使得最后所排出的 廢水廢氣能夠達到大氣排放的標準。
以下結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
圖1是本實用新型的優選實施例的結構示意圖；圖中1、一級凈化塔；11、脫液裝置；2、二級凈化塔；21、脫霧裝置；3、風機；31、風
量調節閥；4、網狀過濾器。
具體實施方式
現在結合附圖和優選實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡 化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關 的構成。如
圖1所示的一種廢氣二級處理凈化裝置，包括一級凈化塔1、二級凈化塔2以及 能夠將氣體從一級凈化塔1壓入到二級凈化塔2內的風機3，所述的一級凈化塔1通過管道 連接風機3的進氣口，所述的二級凈化塔2通過管道與風機3的出氣口相連接。本實用新型所述的風機3為玻璃鋼離心式風機，風機3由變頻電機驅動工作，風機 3內具有由碳素鋼為骨架的葉輪，風機3的出氣口設置有風量調節閥31用以調節風機3風 量的大小。所述的風機3數量設置為兩臺，一臺正常使用，另一臺作為備用風機3，以根據運 行情況定期切換運行或故障切換運行。本實用新型所述的一級凈化塔1和二級凈化塔2內都設置有耐腐蝕循環水泵、噴 淋裝置和過濾填料裝置，所述的一級凈化塔1的出口處設置有脫液裝置11，二級凈化塔2的 出口處設置有脫霧裝置21。本實用新型為了保證噴淋裝置的正常運行，在循環水泵入口設置了網狀過濾器4， 以防雜物進入損壞水泵和堵塞噴嘴，影響使用。噴頭材質為增強聚丙烯，經一次注塑成型， 強度高、使用壽命長。本實用新型的凈化原理為酸性廢氣由風機3吸入一級凈化塔1內，廢氣由塔內的 導流分布裝置分布后，與吸收溶液逆向直接交叉接觸處理，然后進入內筒填料區域進行多 次液相反應多次填料過濾，使廢氣在塔內有較長的時間進行充分過濾接觸，產生液膜及噴 淋發生傳質反應，確保達標排放。含酸廢氣經一級凈化塔1充分吸收凈化后，并經過在塔出 口處設置的脫液裝置11，脫除系統中的水霧后，由風機3壓入二級凈化塔2，在塔內酸性廢 氣與吸收液再次經多層噴淋吸收和多層填料攔截吸收處理，確保達標排放，最后經塔出口 處設置的脫霧裝置21除霧后經排放筒排放大氣。廢水經管道排入污水處理站，集中處理。以上說明書中描述的只是本實用新型的具體實施方式
，各種舉例說明不對本實用 新型的實質內容構成限制，所屬技術領域的普通技術人員在閱讀了說明書后可以對以前所 述的具體實施方式
做修改或變形，而不背離實用新型的實質和范圍。
權利要求1. 一種廢氣處理凈化裝置，其特征在于包括一級凈化塔(1)、二級凈化塔O)以及能 夠將氣體從一級凈化塔(1)壓入到二級凈化塔( 內的風機(3)，所述的一級凈化塔(1)通 過管道連接風機⑶的進氣口，所述的二級凈化塔⑵通過管道與風機⑶的出氣口相連 接，所述的一級凈化塔(1)和二級凈化塔O)的進口處均設置有網狀過濾器G)。
專利摘要本實用新型涉及一種廢氣處理凈化裝置，包括一級凈化塔、二級凈化塔以及能夠將氣體從一級凈化塔壓入到二級凈化塔內的風機，所述的一級凈化塔通過管道連接風機的進氣口，所述的二級凈化塔通過管道與風機的出氣口相連接，所述的一級凈化塔和二級凈化塔的進口處均設置有網狀過濾器。本實用新型采用二級凈化處理的方式，能夠將工業生產中所產生的酸性廢氣更進一步的進行凈化處理，使得最后所排出的廢水廢氣能夠達到大氣排放的標準。
文檔編號B01D53/78GK201921624SQ20102065707
公開日2011年8月10日 申請日期2010年12月14日 優先權日2010年12月14日
發明者蔣皓 申請人:江蘇恩菲防腐設備有限公司