專利名稱：管路清潔裝置及生產外延片的尾氣處理用管路系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種管路清潔裝置及生產外延片的尾氣處理用管路系統。
背景技術：
在外延片生產過程中，會產生大量需要處理的尾氣，其主要成分為三氯氫硅、磷 烷、硼烷、氮氣、氯化氫和氫氣等。現有技術中的處理尾氣的方法，是將尾氣通入水中進行處 理。如圖1所示為一種尾氣處理用管，其包括輸氣管1、主管2及輸水管3。主管2 —端由端 蓋23密封，另一端與處理裝置(圖中未示出)連接。主管2設置有進氣口 21和進水口 22。 輸氣管1與主管2在進氣口 21處連通；輸水管3與主管2在進水口 22處連通。尾氣和水 分別經進氣口 21和進水口 22進入主管2內混合，混合后繼續向下流動，進入處理系統。三氯氫硅溶于水后與水反應放熱，放出的熱量會使水蒸發至進氣口 21與進水口 22之間。水蒸汽與尾氣中的三氯氫硅容易發生化學反應，且其生成物容易結晶附著于進氣 口 21與進水口 22之間的主管2內壁。結晶物聚集量多以后，容易堵塞主管，影響尾氣處理 的順利進行。如要順利處理尾氣，必須將附著于主管2內壁的結晶物去除，經疏通后才能繼 續使用。現有技術中的管路系統，在清潔時，需要將主管2的端蓋23打開，使用清潔工具伸 入主管2內去除結晶物。由于尾氣中大多為有害氣體，因此，清潔時必須停止尾氣輸送，以 免尾氣危害操作工人身體健康。清潔完成后，再將端蓋23安裝在主管2的端部，繼續處理 尾氣。這種管路具有以下缺點和不足1、操作麻煩。清理時必須打開端蓋23，處理完成 后再安裝端蓋23，操作不便。2、效率低，影響尾氣的處理，進而影響硅生產工藝的連續進行。 由于尾氣為有害氣體，處理時必須停止輸送尾氣，整個尾氣處理工作必須暫停，待處理完成 后才能繼續進行，占用時間長，效率低，影響尾氣處理的連續進行。如不能及時處理尾氣，則 硅生產工作也必須暫停或者需要尋找代替的尾氣處理裝置。3、危險性高。雖然在清潔處理 時停止輸送尾氣，但輸氣管及主管管路中殘留的尾氣難免會散發而影響工人的身體健康。
實用新型內容本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種可不影響尾氣處理連 續進行的管路清潔裝置。為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案實現管路清潔裝置，其特征在于，包括固定裝置，固定裝置設置有通孔；連桿可沿通孔 軸向運動地設置在固定裝置的通孔內，連桿兩端位于通孔外；連桿一端安裝有清潔漿片，所 述連桿與固定裝置之間設置有可將通孔密封的密封圈。優選地是，所述固定裝置包括基座與壓緊裝置，壓緊裝置與基座可拆卸連接，壓緊 裝置與基座密封連接。優選地是，基座與壓緊裝置共同形成開口朝向通孔的第一凹槽，密封圈設置在第一凹槽內，且密封圈與連桿接觸。 優選地是，所述壓緊裝置包括第一壓蓋，第一壓蓋與基座可拆卸連接，基座的端部 設置有第一沉孔，第一壓蓋上設置有可插入第一沉孔內的第一凸塊，第一凸塊、第一壓蓋與 第一沉孔底部形成開口朝向通孔的第一凹槽，第一密封圈設置在第一凹槽內，且第一密封 圈與連桿接觸。優選地是，還包括有第二壓蓋，所述第一壓蓋與第二壓蓋可拆卸連接，第一壓蓋端 部設置有第二沉孔，第二壓蓋設置在第二沉孔上端，第二密封圈設置在第二沉孔內，且第二 密封圈與連桿接觸。優選地是，還包括定位裝置，所述定位裝置包括第二凸塊，第二凸塊設置于第一壓 蓋上，第二凸塊與基座上的沉孔側壁或第四凹槽相配合。優選地是，第二凸塊與第一凸塊沿第一壓蓋徑向間隔設置，第一凸塊與第二凸塊 之間為第三凹槽，第三密封圈設置在第三凹槽內。優選地是，所述的密封圈為0型圈。優選地是，所述通孔內壁設置有開口朝向通孔的第五凹槽。本實用新型的另一個目的是提供一種生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征 在于，包括主管、輸氣管與輸水管，主管設置有進氣口，輸氣管與主管在進氣口處連通；主管 設置有進水口，輸水管與主管在進水口處連通，所述主管一端設置有管路清潔裝置，管路清 潔裝置包括固定裝置，固定裝置設置有通孔；連桿可沿通孔軸向運動地設置在固定裝置的 通孔內，連桿兩端位于通孔外；連桿一端安裝有清潔漿片，所述連桿與固定裝置之間設置有 可將通孔密封的密封圈。優選地是，所述固定裝置包括基座與壓緊裝置，壓緊裝置與基座可拆卸連接，基座 與壓緊裝置連接處設置有開口朝向連桿的第一凹槽，所述密封圈設置在第一凹槽內，且密 封圈與連桿接觸。優選地是，所述固定裝置包括基座與壓緊裝置，壓緊裝置與基座可拆卸連接，壓緊 裝置與基座密封連接。優選地是，所述壓緊裝置包括第一壓蓋，第一壓蓋與基座可拆卸連接，基座的端部 設置有第一沉孔，第一壓蓋上設置有可插入第一沉孔內的第一凸塊，第一凸塊、第一壓蓋與 第一沉孔底部形成開口朝向通孔的第一凹槽，第一密封圈設置在第一凹槽內，且第一密封 圈與連桿接觸。 優選地是，還包括有第二壓蓋，所述第一壓蓋與第二壓蓋可拆卸連接，第一壓蓋端 部設置有第二沉孔，第二壓蓋設置在第二沉孔上端，第二密封圈設置在第二沉孔內，且第二 密封圈與連桿接觸。優選地是，還包括定位裝置，所述定位裝置包括第二凸塊，第二凸塊設置于第一壓 蓋上，第二凸塊與基座上的沉孔側壁或第四凹槽相配合。優選地是，第二凸塊與第一凸塊沿第一壓蓋徑向間隔設置，第一凸塊與第二凸塊 之間為第三凹槽，第三密封圈設置在第三凹槽內。優選地是，所述的密封圈為0型圈。優選地是，所述通孔內壁設置有開口朝向通孔的第五凹槽。優選地是，進氣口位于進水口上方。[0027]本實用新型中的管路清潔裝置，既可以保證密封性能好，又可以使清潔漿片自如 移動。可以在處理尾氣的同時清潔管路，清理時無需停止尾氣處理，既節省時間，效率高；而 且可防止尾氣泄漏危害工人身體健康。
圖1為現有技術中生產外延片的尾氣處理用管路系統剖視示意圖；圖2為本實用新型中的生產外延片的尾氣處理用管路系統軸向剖視示意圖；圖3為本實用新型中的管路清潔裝置軸向剖視拆分示意圖，圖中未示出各個密封 圈；圖4為本實用新型中的管路清潔裝置裝配后軸向剖視示意圖，圖中未示出各個密 封圈；圖5為本實用新型中的管路清潔裝置裝配軸向剖視示意圖；圖6為本實用新型中的管路清潔裝置使用狀態軸向剖視示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型進行詳細的描述圖2為本實用新型中的生產外延片的尾氣處理用管路系統軸向剖視示意圖；如圖 2所示，生產外延片的尾氣處理用管路系統，包括圓形的主管2、輸氣管1與輸水管3。主管 2設置有進氣口 21和進水口 22。進氣口 21位于進水口 22上方。輸氣管1與主管2在進 氣口 21處連通；輸水管3與主管2在進水口 22處連通。主管2 —端與處理裝置(圖中未示出)連接；另一端可拆卸安裝有管路清潔裝置 10。管路清潔裝置10包括圓形的固定裝置4和圓柱形的連桿7。固定裝置4設置有通孔， 通孔包括圖4中的第一通孔411、第二通孔429和第三通孔432。連桿7 —端設置有清潔漿 片71 ；另一端設置有手柄72。主管2、固定裝置4和連桿7具有軸線8。連桿7可沿固定裝 置4軸線8軸向移動地安裝在固定裝置4的通孔內。固定裝置4與連桿7之間設置有密封 圈，密封圈包括圖5中的第一 0型圈61和第二 0型圈62。密封圈用于將通孔軸向密封，可 防止主管2內的尾氣從固定裝置4的通孔泄漏。固定裝置4設置多個第一內螺紋孔，圖中 示出了兩個(413A，413B)，多個第一內螺紋孔環繞軸線8設置，使用螺釘(圖中未示出)與 第一內螺紋孔配合將固定裝置4與主管2可拆卸連接。圖3為本實用新型中的管路清潔裝置軸向剖視拆分示意圖，圖中未示出各個密封 圈；如圖3所示，固定裝置4包括圓柱形的基座41和圓柱形的第一壓蓋42，第一壓蓋42分 為上中下三段，其直徑依次增大。基座41設置有軸向的第一通孔411。基座41上端部設置 有第一沉孔412，第一沉孔412圍繞第一通孔411設置。第一沉孔412具有側壁4121和底 部4122。圓柱形的基座41、圓柱形的第一壓蓋42、第一通孔411和第一沉孔412具有軸線 8。基座41設置多個第一內螺紋孔，圖中示出了兩個(413A，413B)，多個第一內螺紋孔環繞 軸線8設置。基座41設置多個第二內螺紋孔，圖中示出了兩個(414A，414B)，多個第二內螺 紋孔環繞軸線8設置。第一壓蓋42設置有軸向的第二通孔429。第一壓蓋42下端部設置有可插入第一 沉孔412內的第一凸塊421和第二凸塊422。第一凸塊421和第二凸塊422均環繞第二通孔429設置一圈。第一凸塊421與第二通孔429的內壁4291具有一定距離，以與第一沉孔 412底部4122形成第一凹槽(圖5所示)。第一凸塊421和第二凸塊422間隔設置，形成 第三凹槽423。第二凸塊422具有外壁4221，外壁4221與第一沉孔412的側壁4121相配 合，用于基座41與第一壓蓋42裝配時定位，安裝時，將第一壓蓋42安裝在基座41上端，第 二凸塊422插入第一沉孔412內，第二凸塊422的外壁4221與第一沉孔412的側壁4121 相接觸。第一壓蓋42設置多個第三內螺紋孔，圖中示出了兩個(428A，428B)，多個第三內螺 紋孔環繞軸線8設置。第三內螺紋孔與第二內螺紋孔位置及數目相對應，使用螺釘旋入第 三內螺紋孔與第二內螺紋孔內可將基座41和第一壓蓋42可拆卸連接。第二通孔429的內壁4291設置有開口朝向第二通孔429的兩個第五凹槽(436A， 436B)。兩個第五凹槽(436A，436B)均環繞第二通孔429—圈。兩個第五凹槽(436A，436B) 用于放置潤滑油，在連桿(圖2所示)上下移動過程中，連桿可沾上潤滑油，以使連桿沿軸 向移動更順暢。固定裝置4還包括有圓柱形的第二壓蓋43，第二壓蓋43包括圓筒433和圓柱形的 壓板431，第二壓蓋43設置有第三通孔432。壓板431設置在圓筒433下端。壓板431的直 徑大于第二壓蓋43的直徑。內螺紋筒44具有第四通孔442。內螺紋筒44具有肩部441。 內螺紋筒44的第四通孔442直徑與壓板431的直徑相配合以使第二壓蓋43套設在內螺紋 筒44內，肩部441卡住壓板431，使壓板431只能從內螺紋筒44下端取出，而無法從上端取 出。內螺紋筒44設置有內螺紋，第一壓蓋42上端設置有與內螺紋相配合的外螺紋，內螺紋 筒44與第一壓蓋42螺紋連接。圖4為本實用新型中的管路清潔裝置裝配后軸向剖視示意圖，圖中未示出各個密 封圈；如圖4所示，基座41與第一壓蓋42可拆卸連接，第一壓蓋42、第一凸塊421與基座 41形成第一凹槽51。第一凹槽51開口朝向第一通孔411，用于安裝一個0型圈。內螺紋筒44螺紋連接在第一壓蓋42上端，內螺紋筒44將壓板422壓在第二壓蓋 43上端，壓板422與第二沉孔427 (圖3所示)形成第二凹槽52，第二凹槽52開口朝向第 二通孔429，用于安裝一個0型圈。圖5為本實用新型中的管路清潔裝置裝配后軸向剖視示意圖；如圖5所示，基座 41與第一壓蓋42之間設置有第一 0型圈61和第三0型圈63。第一 0型圈61安裝在圖4 所示的第一凹槽51內。第三0型圈63安裝在圖4所示的第三凹槽423內。第一 0型圈 61和第三0型圈63將基座41和第一壓蓋42連接處徑向密封，用于防止尾氣從基座41和 第一壓蓋42之間泄漏。第一 0型圈61環繞連桿(圖2所示)并與連桿相接觸，還可以軸 向密封第一通孔411，防止尾氣從第一通孔411泄漏。基座41與第一壓蓋42可拆卸連接， 且兩者之間設置第一 0型圈61，在基座41與第一壓蓋42連接時，可壓迫第一 0型圈61變 形；由于第一凹槽51開口朝向第一通孔411，因此第一 0型圈61變形后沿基座41徑向延 伸與連桿接觸更緊密。基座41與第一壓蓋42可拆卸連接，可以調節第一 0型圈61的密封 程度，可以調節第一 0型圈61與連桿接觸的緊密程度。第一壓蓋42與壓板431之間設置有第二 0型圈62，第二 0型圈62環繞連桿(圖 2所示)并與連桿相接觸，用于軸向密封第三通孔432。第二 0型圈62既能將第一壓蓋42 與壓板431之間徑向密封，防止尾氣從第一壓蓋42與壓板431之間泄漏；又可以將第三通 孔432軸向密封，防止尾氣從第三通孔432泄漏。[0045]徑向和軸向均采用雙密封，可完全確保尾氣不會泄漏。既能實現良好的密封效果， 又可以保證連桿上下移動自如。圖2和圖5為管路清潔裝置兩種使用狀態時的軸向剖視示意圖，圖2為不需要清 潔主管2時的使用狀態；圖5需要清潔主管2時的使用狀態。如圖2所示，不需要清潔主管 2時，向上拉動連桿7的手柄72，將清潔漿片71拉到進氣口 21上方，可避免阻擋尾氣。需要清潔主管2時，向下按手柄72，將清潔漿片71按至進氣口 21與進水口 22之 間，轉動手柄72以使清潔漿片71在主管2內轉動，將附著在主管2內壁上的結晶物刮掉， 結晶物掉入下方被水帶走。使用完畢后，將清潔漿片71拉至進氣口 21上方。本實用新型中的實施例僅用于對本實用新型進行說明，并不構成對權利要求范圍 的限制，本領域內技術人員可以想到的其他實質上等同的替代，均在本實用新型保護范圍 內。
權利要求管路清潔裝置，其特征在于，包括固定裝置，固定裝置設置有通孔；連桿可沿通孔軸向運動地設置在固定裝置的通孔內，連桿兩端位于通孔外；連桿一端安裝有清潔漿片，所述連桿與固定裝置之間設置有可將通孔密封的密封圈。
2.根據權利要求1所述的管路清潔裝置，其特征在于，所述固定裝置包括基座與壓緊 裝置，壓緊裝置與基座可拆卸連接，壓緊裝置與基座密封連接。
3.根據權利要求2所述的管路清潔裝置，其特征在于，基座與壓緊裝置共同形成開口 朝向通孔的第一凹槽，密封圈設置在第一凹槽內，且密封圈與連桿接觸。
4.根據權利要求3所述的管路清潔裝置，其特征在于，所述壓緊裝置包括第一壓蓋，第 一壓蓋與基座可拆卸連接，基座的端部設置有第一沉孔，第一壓蓋上設置有可插入第一沉 孔內的第一凸塊，第一凸塊、第一壓蓋與第一沉孔底部形成開口朝向通孔的第一凹槽，第一 密封圈設置在第一凹槽內，且第一密封圈與連桿接觸。
5.根據權利要求4所述的管路清潔裝置，其特征在于，還包括有第二壓蓋，所述第一壓 蓋與第二壓蓋可拆卸連接，第一壓蓋端部設置有第二沉孔，第二壓蓋設置在第二沉孔上端， 第二密封圈設置在第二沉孔內，且第二密封圈與連桿接觸。
6.根據權利要求2或4所述的管路清潔裝置，其特征在于，還包括定位裝置，所述定位 裝置包括第二凸塊，第二凸塊設置于第一壓蓋上，第二凸塊與基座上的沉孔側壁或第四凹 槽相配合。
7.根據權利要求6所述的管路清潔裝置，其特征在于，第二凸塊與第一凸塊沿第一壓 蓋徑向間隔設置，第一凸塊與第二凸塊之間為第三凹槽，第三密封圈設置在第三凹槽內。
8.根據權利要求1所述的管路清潔裝置，其特征在于，所述的密封圈為0型圈。
9.根據權利要求1所述的管路清潔裝置，其特征在于，所述通孔內壁設置有開口朝向 通孔的第五凹槽。
10.生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，包括主管、輸氣管與輸水管，主管 設置有進氣口，輸氣管與主管在進氣口處連通；主管設置有進水口，輸水管與主管在進水口 處連通，所述主管一端設置有管路清潔裝置，管路清潔裝置包括固定裝置，固定裝置設置有 通孔；連桿可沿通孔軸向運動地設置在固定裝置的通孔內，連桿兩端位于通孔外；連桿一 端安裝有清潔漿片，所述連桿與固定裝置之間設置有可將通孔密封的密封圈。
11.根據權利要求10所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，所述固 定裝置包括基座與壓緊裝置，壓緊裝置與基座可拆卸連接，基座與壓緊裝置連接處設置有 開口朝向連桿的第一凹槽，所述密封圈設置在第一凹槽內，且密封圈與連桿接觸。
12.根據權利要求11所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，所述固 定裝置包括基座與壓緊裝置，壓緊裝置與基座可拆卸連接，壓緊裝置與基座密封連接。
13.根據權利要求12所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，所述壓 緊裝置包括第一壓蓋，第一壓蓋與基座可拆卸連接，基座的端部設置有第一沉孔，第一壓蓋 上設置有可插入第一沉孔內的第一凸塊，第一凸塊、第一壓蓋與第一沉孔底部形成開口朝 向通孔的第一凹槽，第一密封圈設置在第一凹槽內，且第一密封圈與連桿接觸。
14.根據權利要求13所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，還包括 有第二壓蓋，所述第一壓蓋與第二壓蓋可拆卸連接，第一壓蓋端部設置有第二沉孔，第二壓 蓋設置在第二沉孔上端，第二密封圈設置在第二沉孔內，且第二密封圈與連桿接觸。
15.根據權利要求11或13所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，還 包括定位裝置，所述定位裝置包括第二凸塊，第二凸塊設置于第一壓蓋上，第二凸塊與基座 上的沉孔側壁或第四凹槽相配合。
16.根據權利要求15所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，第二凸 塊與第一凸塊沿第一壓蓋徑向間隔設置，第一凸塊與第二凸塊之間為第三凹槽，第三密封 圈設置在第三凹槽內。
17.根據權利要求10所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，所述的 密封圈為0型圈。
18.根據權利要求10所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，所述通 孔內壁設置有開口朝向通孔的第五凹槽。
19.根據權利要求10所述的生產外延片的尾氣處理用管路系統，其特征在于，進氣口 位于進水口上方。
專利摘要本實用新型公開了一種管路清潔裝置，其特征在于，包括固定裝置，固定裝置設置有通孔；連桿可沿通孔軸向運動地設置在固定裝置的通孔內，連桿兩端位于通孔外；連桿一端安裝有清潔槳片，所述連桿與固定裝置之間設置有可將通孔密封的密封圈。本實用新型中的管路清潔裝置，使用在生產外延片的尾氣處理用管路系統時，既可以保證密封性能好，又可以使清潔槳片自如移動。可以在處理尾氣的同時清潔管路，清理時無需停止尾氣處理，既節省時間，效率高；而且可防止尾氣泄漏危害工人身體健康。
文檔編號B01D53/78GK201644459SQ20102015010
公開日2010年11月24日 申請日期2010年4月2日 優先權日2010年4月2日
發明者樓琦江 申請人:上海晶盟硅材料有限公司