專利名稱：一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法
技術領域：
本發明涉及多晶硅生產領域，特別是一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方 法。
背景技術：
在多晶硅生產領域中，在氫氣壓縮機壓力填料外側通入電解氫，從而起到阻止工 藝介質氣體經氣缸填料箱和活塞桿之間的縫隙泄漏的作用，此處電解氫在工業中稱為氫氣 壓縮機氫氣密封氣體，即氫封。這部分氣體在經壓縮機后主要成分是氫氣、氯化氫和少量的 氯硅烷。在現有技術中(美國CDI公司)，活塞式氫壓機泄漏出的氣體含有固體顆粒(填料) 和腐蝕性氣體(HCl和氯硅烷)，以及氫氣易燃易爆，回收不易，氫封出口氣體從壓縮機排出 后作為廢氣，送往回收工序PSV (安全閥)收集罐，經堿液對其中的酸性成分進行中和處理， 氫氣排空。浪費掉的氫氣增加了生產成本。且氯硅烷與堿液發生放熱反應，產生的熱量經 常會使得氫氣爆燃，對安全生產帶來一定的威脅，并造成環境污染。
發明內容
本發明所要解決的技術問題是提供一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方 法，可以回收氫氣壓縮機氫封出口氣體，減少環境污染。為解決上述技術問題，本發明所采用的技術方案是一種氫氣壓縮機氫封出口氣 體回收利用的方法，包括以下步驟從氫壓機氫封出口來的氫封氣體經增壓后，與尾氣回收 裝置的低壓端進氣匯集后送入尾氣回收裝置低壓端；
通過上述步驟實現氫壓機氫封氣的回收利用。氫封氣體經增壓前設有過濾步驟。在氫封氣體增壓前設有進口緩沖罐。在氫封氣體經增壓后設有后冷卻器和出口緩沖器。增壓后的氫封氣體壓強為0. 4 0. 5 MPaG。本發明提供的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，將現有技術中排入 大氣中的氫封氣體，引入到尾氣回收裝置，實現回收利用，可以有效改善現場環境，減少安 全隱患、節約生產成本。
下面結合附圖和實施例對本發明作進一步說明 圖1是本發明的工藝流程示意圖。圖2是氫氣壓縮機的結構示意圖。圖中1，氫壓機氫封出口 ；2，進口過濾器；3，進口緩沖罐；4，隔膜壓縮機； 5，后冷卻器；6，出口緩沖器；7，低壓冷凝端；8，冷凝后的多晶硅尾氣；
9，壓縮后的多晶硅尾氣；10，氫封氣入口 ；11，活塞；12，氫封氣出口 ；13，壓力填料。
具體實施例方式在現有技術中，如圖2所示，經氫氣壓縮機入口的冷凝后的多晶硅尾氣8壓強為 0. 4 0. 5MPaG,經活塞11壓縮后的多晶硅尾氣9壓強為1. 2MPaG,為避免工藝介質氣體經 氣缸填料箱和活塞桿之間的縫隙泄漏，在壓力填料13外側從氫封氣入口 10充入電解氫，即 氫封氣，壓強為0. 2MPaG，從氫封氣出口 12排出到大氣，壓強為0. 02MPaG。回收工序尾氣回收裝置是利用物質的沸點不同來初步分離氫氣、氯化氫、氯硅烷 等化學物質的。因系統內壓力不同，可將尾氣回收裝置分為兩部分，分別為0.4 0.5 MPaG 的低壓冷凝端和1. 2MPaG的高壓端。而這兩部分之間就是通過氫氣壓縮機來對物料氣體進 行加壓的。而氫封出口氣體與尾氣回收裝置低壓冷凝端的進氣成分基本相同，故可將氫封出 口氣體回收重新進入低壓冷凝端，實現再循環處理。但氫封出口氣體壓力約為0. 02MPaG，低 于低壓冷凝端壓力，為保證回氣順暢，需將氫封出口氣體引入隔膜壓縮機，經隔膜壓縮機對 其加壓后達到0. 4 0. 5 MPaG，再與尾氣回收裝置進氣匯集，從而實現氫封出口氣體的回 收再利用。如圖1所示，一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，包括以下步驟從氫 壓機氫封出口 1來的氫封氣經隔膜壓縮機增壓至0. 4 0. 5MpaG,略高于尾氣回收裝置低壓 端壓力(管損)，與尾氣回收裝置的低壓端進氣匯集后送入尾氣回收裝置低壓端。通過上述步驟實現氫壓機氫封氣的回收利用。氫封氣體經增壓前設有過濾步驟，在氫封氣體增壓前設有進口緩沖罐3，在氫封氣 體經增壓后設有后冷卻器5和出口緩沖器6。
權利要求
1.一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在于包括以下步驟從氫壓 機氫封出口(1)來的氫封氣體經增壓后，與尾氣回收裝置的低壓端進氣匯集后送入尾氣回 收裝置低壓端；通過上述步驟實現氫壓機氫封氣體的回收利用。
2.根據權利要求1所述的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在 于氫封氣體經增壓前設有過濾步驟。
3.根據權利要求1所述的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在 于在氫封氣體增壓前設有進口緩沖罐(3)。
4.根據權利要求1所述的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在 于在氫封氣體經增壓后設有后冷卻器(5)和出口緩沖器(6)。
5.根據權利要求1所述的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，其特征在 于增壓后的氫封氣體壓強為0. 4 0. 5 MPaG。
全文摘要
一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，涉及多晶硅生產領域，包括以下步驟從氫壓機氫封出口來的氫封氣體經增壓，略高于尾氣回收裝置低壓端壓力(管損)，與尾氣回收裝置的低壓端進氣匯集后送入尾氣回收裝置低壓端；通過上述步驟實現氫壓機氫封氣體的回收利用。本發明提供的一種氫氣壓縮機氫封出口氣體回收利用的方法，將現有技術中排入空氣中的氫封氣體，引入到回收裝置低壓端，實現回收利用，可以有效改善現場環境，減少安全隱患、節約生產成本。
文檔編號B01D5/00GK102091434SQ20101060821
公開日2011年6月15日 申請日期2010年12月28日 優先權日2010年12月28日
發明者吳學林, 田正澤, 胡征頻, 韓俊, 高明, 魯克勤 申請人:宜昌南玻硅材料有限公司