專利名稱：精密平臺的制作方法
技術領域：
本發明涉及精密平臺，特別涉及其變溫運轉的對策。
背景技術：
以往，作為用來進行工件的加工及作業的載置面，采用具有表面被精確地平滑精加工的基準平面的平臺。在進行工件的加工時，將工件、工作臺、加工機主體載置在平臺的載置面上。此外，在進行工件的測量時，將工件、工作臺、測量機主體載置在平臺的載置面上。
對于這樣的平臺，通常要求輕量、相對剛性高、溫度穩定性好。為了應對這樣的要求，開發了各種平臺，以往有以下的平臺。以往，有利用使樹脂滲透到碳樹脂中而成形的碳纖維加強復合材料的光學設備用平臺(特開平6-331870號公報)。此外，在該光學設備用平臺中，為了提高碳纖維加強復合材料的剛性，將蜂窩材料粘接在2片碳纖維加強復合材料之間。
此外，對于最近的平臺，也有變溫運轉的要求，為了應對該要求，在以往的平臺中，考慮在通過溫度調節器的變溫運轉使整個作業室變溫后測量工件的溫度特性。此外，在以往的平臺中，為了求得標準量規的線膨脹系數等溫度特性，也考慮在將作業室分別變溫為不同的溫度后測量各溫度下的工件的尺寸。此外，在以往的平臺中，也考慮如果作業室的溫度偏離了基準溫度，則在通過溫度調節器的變溫運轉將整個作業室的溫度調節為基準溫度后，進行工件的加工及測量。
在這樣變溫運轉時，迅速地變溫為期望的溫度是很重要的。為了應對這種要求，以往不是進行整個作業室的變溫，而是進行平臺自身的變溫，有以下的平臺。以往的平臺為了在短時間內使工件成為定溫，具備設在由熱傳導性好的實體的金屬板構成的平臺的下部的電子冷卻器、設在金屬板的內部中的溫度傳感器、根據來自溫度傳感器的溫度信息控制電子冷卻器的動作以使金屬板成為設定溫度的溫度調節器(實開平7-38901號公報)。
但是，在上述以往的平臺中，在變溫運轉時有時不能得到工件的加工精度及測量精度良好的作業結果。
此外，在上述以往的平臺中，由于為了溫度調整而需要電子冷卻器及溫度傳感器，其結構復雜，所以在結構的簡潔化方面留有改善的余地。
因而，在最近的平臺中，當然要求輕量、相對剛性高、溫度穩定性好，進而，通過簡單的結構而與變溫運轉的可靠地對應這一點也是著重要求的性能。
發明內容
本發明是鑒于上述現有技術中的問題而做出的，其目的是提供一種能夠以簡單的結構充分地應對變溫運轉的精密平臺。
本發明者對于上述課題反復進行了潛心研究，結果發現，為了以簡單的結構充分地應對變溫運轉，用一個平臺來對應變溫運轉和定溫運轉是很重要的。
這里，在作業室內的變溫運轉時，將精密平臺的溫度迅速地變溫為期望的溫度是很重要的，另一方面，在向期望溫度變溫后，精密平臺的溫度穩定性是很重要的。
但是，在以往的技術中，很難用一個平臺實現這樣相反的要求性能。
對此，本發明者對于用一個平臺實現這樣相反的要求性能反復進行了潛心研究，結果發現，作為其解決手段，蜂窩結構體和蜂窩小空間彼此的熱移動器的組合是最適合的，從而完成了本發明。
這里，考慮蜂窩結構體本身在以往的平臺中也是為了得到高剛性而使用的。
圖7所示那樣的蜂窩平臺10由于具有蜂窩結構體12，所以在結構上輕量且相對剛性較高。此外，由于蜂窩平臺10臺面尺寸的選擇性較寬、能夠構筑部件配置自由度高的光學系統，所以在從光學系統的實驗性構筑到實際應用的廣泛范圍內使用。
但是，本發明者著眼于蜂窩平臺10以下的方面。
即，由于蜂窩平臺10使空氣存入到在結構上來說內部密閉的多個小空間中，所以也有隔熱性高、溫度穩定性好的優點。
但是，相反，蜂窩平臺10阻礙了圖8所示那樣的小空間彼此間的空氣的移動。即，由于蜂窩平臺10內部的蜂窩壁部14妨礙了小空間16彼此間的空氣18的移動，小空間16彼此間的熱交換以越過蜂窩壁部14的熱傳導為主，所以在整個平臺10的溫度適應為周圍溫度之前需要花費時間(熱時間常數較大)。
因而，在需要有意變溫的裝置中，會發生溫度變化的延遲，所以作為機械裝置的通過量降低。例如在圖9(A)所示那樣的周圍環境溫度下降的情況下，會發生圖9(B)所示那樣的溫度變化的延遲、即發生平臺上的機械裝置的溫度變化相對于室溫變化的延遲。
此外，在蜂窩平臺10中，在平臺內容易發生空間的溫度梯度，難以維持臺面平面度。此外，在蜂窩平臺10中，如果使用光學設備作為裝置，則結果會發生光軸的位置偏差、角度偏差，所以對于在精密的用途上會成為障礙的問題變得嚴重。
所以，本發明者對于解決這樣的問題反復進行了潛心研究，結果發現，使蜂窩的小空間彼此間產生熱的移動是很重要的。本發明者發現，為了使蜂窩的小空間彼此間產生熱的移動，通過蜂窩及通氣孔、高熱傳導體等熱移動器的簡單結構的組合，能夠進行平臺的迅速的變溫，與采用冷卻器的以往的平臺相比能夠使整個平臺均勻地變溫，從而完成了本發明。
即，為了達到上述目的，有關本發明的精密平臺的特征在于，具備中空狀的殼體、蜂窩結構體、熱移動器，經由上述熱移動器主動地進行上述蜂窩結構體的各小空間彼此間的熱移動。
這里，上述殼體將基準平面設為工件及/或機械裝置的載置面。
此外，上述蜂窩結構體是設在上述殼體的內部中的大致同一形狀的密閉小空間的集合體。
上述熱移動器設在蜂窩結構體中，以使上述蜂窩結構體的各小空間彼此連通、進行該各小空間彼此間的熱移動。
另外，這里所謂的密閉小空間，是指在一般的蜂窩結構體中完全密閉的小空間，但在如本發明那樣在蜂窩壁部上作為熱移動器而設置蜂窩通氣孔的結構中，也包括因在蜂窩壁部上設置蜂窩通氣孔而不是嚴密地完全密閉的小空間、但在定溫運轉時通過蜂窩結構體的小空間能夠得到充分的溫度穩定性的情況。
另外，在本發明中，上述熱移動器具有設在上述蜂窩壁部上的蜂窩通氣孔。在本發明中，優選為空氣經由上述蜂窩通氣孔而在上述蜂窩結構體的各小空間彼此間移動。
此外，在本發明中，上述熱移動器包括具有高熱傳導性的高熱傳導體，所述高熱傳導體貫通上述蜂窩壁部地設置，以便將上述蜂窩結構體的各小空間彼此連通。在本發明中，優選為熱經由上述高熱傳導體在上述蜂窩結構體的各小空間彼此間移動。
此外，在本發明中，具備設在該殼體壁部上的殼體通氣孔，以便將上述殼體內部的蜂窩結構體的小空間與上述殼體外部連通。在本發明中，優選為上述殼體內外的空氣經由上述殼體通氣孔而移動。
在本發明中，優選為，具備開閉器；在周圍環境變溫時使上述開閉器成為開狀態，此外，在變溫后使該開閉器成為閉狀態。
這里，上述開閉器是使上述殼體通氣孔開閉自如的機構。
在本發明中，優選為具備強制換氣器。
這里，上述強制換氣器與上述殼體通氣孔連通地設置，用來將上述殼體內外的空氣強制地換氣。
這里所謂的將空氣強制地換氣，是指例如將空氣強制地更換及/或循環。
根據有關本發明的精密平臺，由于組合了上述蜂窩結構體和上述熱移動體，所以能夠以簡單的結構充分地應對周圍環境的變溫運轉。
此外，在本發明中，作為上述熱移動器，由于具有上述通氣孔及/或上述高熱傳導體，由此能夠更良好地進行平臺溫度向期望溫度的變溫。
在本發明中，由于還具備上述殼體通氣孔，所以能夠更良好地進行平臺溫度向期望溫度的變溫。
在本發明中，由于還具備上述開閉器，所以能夠更可靠地確保向期望溫度變溫后的平臺的溫度穩定性，因此能夠更可靠地應對周圍環境的變溫運轉。
在本發明中，由于還具備上述強制換氣器，所以能夠更良好地進行平臺溫度向期望溫度的變溫。
圖1是有關本發明的第一實施方式的蜂窩平臺的概略結構的說明圖。
圖2是有關本發明的第一實施方式的蜂窩平臺的作用的說明圖。
圖3是有關本發明的第二實施方式的蜂窩平臺的概略結構的說明圖。
圖4是有關本發明的第二實施方式的蜂窩平臺的作用的說明圖。
圖5是有關本發明的第三實施方式的蜂窩平臺的概略結構的說明圖。
圖6是有關本發明的第四實施方式的蜂窩平臺的作用的說明圖。
圖7是一般的蜂窩平臺的說明圖。
圖8是一般的蜂窩平臺所具有的問題點的、有關小空間彼此的空氣的滯留的說明圖。
圖9是一般的蜂窩平臺所具有的問題點的、有關溫度變化的延遲的說明圖。
具體實施例方式
下面根據
本發明的優選的一實施方式。
第一實施方式(通氣孔)圖1中表示有關本發明的一實施方式的精密平臺的概略結構。
圖1A表示整體的框圖，圖1B表示蜂窩結構體的部分放大圖。對于與上述圖7～圖9對應的部分加上標號100來表示。
該圖所示的蜂窩平臺(精密平臺)110具備中空狀的殼體120、蜂窩結構體112、熱移動器122。
這里，上述殼體120將基準平面設為機械裝置124的載置面121。
此外，上述蜂窩結構體112是設在殼體120的內部中的大致相同形狀的、實質上為密閉小空間116的集合體。
上述熱移動器122將蜂窩結構體112的各小空間116連通，是為了進行該各小空間116彼此的熱移動而設在蜂窩結構體112中的。
在本實施方式中，作為上述熱移動器122而具有設在蜂窩壁部114上的蜂窩通氣孔(以下稱作蜂窩通氣孔122)。空氣經由蜂窩通氣孔122在蜂窩結構體112的各小空間116彼此間移動。
通過這樣構成有關本發明的第一實施方式的蜂窩平臺110，能夠充分地應對變溫運轉與定溫運轉的并存。
另外，在本實施方式中，蜂窩平臺110及機械裝置124進入到作業室132內。
此外，作為上述機械裝置124，使用例如特開2003-194523號公報中記載的測長裝置。
此外，在本實施方式中，還包括裝置用驅動器126和具有裝置用控制器128的計算機130。
此外，作業室132包括溫度調整器134、調溫用驅動器136、具備調溫用控制器138的計算機130。
并且，在本實施方式中，通過由溫度調整器134進行周圍環境的變溫運轉，使作業室132內的周圍環境變溫為期望的溫度，使平臺110的溫度變溫為基于周圍空氣溫度的期望溫度。此外，在平臺110向期望溫度變溫后，通過溫度調整器134進行周圍環境的定溫運轉，確保作業室132內的定溫。
此外，在本實施方式中，具備使得殼體120內部的蜂窩結構體112的小空間116和殼體120外部相連通而設在殼體120壁部上的殼體通氣孔140a、140b。殼體120內外的空氣經由殼體通氣孔140a、140b移動。
在本實施方式中，還包括開閉器142、開閉器用驅動器144、具備開閉器用控制器146的計算機130。
開閉器142使殼體通氣孔開閉自如。
開閉器用驅動器144驅動開閉器142。
開閉器用控制器146經由開閉器用驅動器144進行開閉器142的動作控制。在溫度調整器134的變溫運轉時，開閉器用控制器146經由開閉器用驅動器144使開閉器142成為開狀態。此外，在變溫后的溫度調整器134的定溫運轉時，開閉器用控制器146經由開閉器用驅動器144使開閉器142成為閉狀態。
通過這樣構成有關本實施方式的蜂窩平臺110，能夠通過簡單的結構，在維持蜂窩平臺110的現有的優點的同時，大幅地減輕變溫運轉時的機械裝置124的通過量降低、精度降低的情況。
即，由于平臺110具備蜂窩通氣孔122，所以蜂窩結構體112的各小空間116內的空氣經由蜂窩通氣孔122在蜂窩結構體112的各小空間116內移動。
此外，由于平臺110還具備殼體通氣孔140a、140b，所以在周圍環境的變溫運轉時，周圍空氣經由殼體通氣孔140a、140b、蜂窩通氣孔122在蜂窩結構體112的各小空間116內移動，所以能夠迅速地用周圍空氣將平臺110內的空氣置換。在平臺110中，整體及均勻地變溫為基于周圍空氣的溫度的期望溫度。
這樣，在平臺110中，通過經由蜂窩通氣孔122、殼體通氣孔140a、140b主動地進行蜂窩結構體112的小空間116彼此間的熱移動，進一步提高了蜂窩平臺110上的機械裝置124對周圍溫度的易適應度。
另一方面，如上述那樣，在將平臺110的溫度變溫為期望溫度后的周圍環境的定溫運轉時，平臺110也被整體及均勻地維持為周圍空氣的設定溫度。
這里，輕量、剛性、溫度穩定性這些對平臺的要求性能在一般的蜂窩平臺中也能夠得到，但另一方面，由于蜂窩平臺溫度穩定性好，所以有在周圍環境的變溫運轉時平臺的溫度不易適應為周圍溫度的課題。
所以，本發明提供一種在維持輕量、剛性、高溫度穩定性這些蜂窩平臺所具有的現有優點的同時、能夠通過很簡單的結構實現消除變溫運轉時的通過量降低、溫度分布、精度降低的平臺。
為此，在本實施方式中，通過蜂窩結構體與通氣孔的組合，能夠實現輕量、剛性、溫度穩定性，以及對周圍環境的變溫運轉的充分適應這兩方面。
即，一般為了進行周圍環境的變溫運轉和定溫運轉而分別使用定溫運轉用的平臺和變溫運轉用的平臺。即，在周圍環境的定溫運轉時也能夠使用采用蜂窩結構體的平臺，但在周圍環境的變溫運轉時，在采用實體材料的平臺上使用冷卻器來代替蜂窩結構體是技術常識。
對此，在本發明中，本發明者發現通過采用蜂窩結構體與通氣孔的組合，能夠用一個平臺在變溫運轉時將平臺整體及均勻地迅速變溫為基于周圍空氣的期望溫度，另一方面，在周圍環境的定溫運轉時能夠將平臺溫度可靠地維持為期望溫度。
即，在圖2A所示那樣的周圍環境的變溫運轉時，通過開閉器142使殼體通氣孔140a、140b成為開狀態。因此，作業室內的周圍空氣經由殼體通氣孔140a進入到平臺110內、即殼體內的蜂窩結構體的各小空間116中，通過各小空間116，經由殼體通氣孔140b出到平臺110之外。
在本實施方式中，通過這樣的蜂窩結構體的各小空間116彼此的周圍空氣的流動，能夠使平臺110整體及均勻地迅速變溫為基于周圍空氣溫度的期望溫度。在本實施方式中，在周圍環境的變溫運轉時，在平臺110所具有的溫度穩定性和變溫的容易度之中，以變溫的容易度為優先。
另一方面，在本實施方式中，在上述那樣將平臺110的溫度變溫為期望溫度后的周圍環境的定溫運轉時，如圖2B所示那樣通過開閉器142使殼體通氣孔140a、140b成為閉狀態。其結果，在本實施方式中，由于在平臺110內部的密閉的多個小空間116中存入了期望溫度的空氣，所以隔熱性變高，提高了平臺110在期望溫度下的溫度穩定性。在本實施方式中，在定溫運轉時，在平臺110所具有的溫度穩定性和變溫的容易度之中，以溫度穩定性為優先。
這樣，本實施方式即使進行周圍溫度的變溫運轉，也能夠在短時間內使平臺的溫度與周圍溫度相等。
此外，在本實施方式中，即使進行周圍溫度的變溫運轉，也能夠使平臺內溫度分布較小，所以能夠抑制臺面平面度的降低。
因而，在本實施方式中，能夠用一個平臺110充分地對應周圍環境的變溫運轉和定溫運轉的兩方面。
第二實施方式(高熱傳導體)圖3中表示有關本發明的第二實施方式的精密平臺的概略結構。
另外，圖3A表示整體的框圖，圖3B表示高熱傳導體的部分放大圖。對于與圖1對應的部分加上標號100來表示而省略說明。
在本實施方式中，通過采用高熱傳導體作為上述熱移動器，來進一步提高平臺上裝置對周圍溫度的易適應度。
即，在該圖所示的蜂窩平臺(精密平臺)210中，具有高熱傳導體作為熱移動器222(以下稱作高熱傳導體222)。
該高熱傳導體222貫通蜂窩壁部214而設置，以使其將蜂窩結構體212的各小空間216連通，具有高熱傳導性。
通過這樣構成有關本發明的第二實施方式的蜂窩平臺210，在周圍環境的變溫運轉時能夠使平臺210的溫度迅速地變溫為基于周圍空氣溫度的期望溫度，并且在變溫后的定溫運轉時進一步提高了蜂窩平臺210的溫度穩定性。
即，在平臺210中，蜂窩結構體212的各小空間216的熱經由高熱傳導體222在該蜂窩結構體212的各小空間216彼此間移動。
此外，由于在平臺210中也具備殼體通氣孔240，所以殼體220內外的空氣經由殼體通氣孔240移動。
進而，平臺210具備使殼體通氣孔240開閉自如的開閉器242，在變溫時使開閉器242成為開狀態，并且在變溫后使開閉器242成為閉狀態。
因此，在平臺210中，在變溫運轉時，蜂窩結構體212的各小空間216的熱經由高熱傳導體222在蜂窩結構體212的各小空間216中移動。
這里，在平臺210中，在圖4A所示那樣的變溫運轉時，使開閉器242成為開狀態，所以能夠順利地進行設置在與殼體通氣孔240相對處的小空間216的空氣與周圍空氣的交換。因此，在平臺210中，高熱傳導體222經由殼體通氣孔240順利地交換平臺210內外的空氣，所以能夠使平臺210整體及均勻地迅速地變為周圍空氣的溫度。
另一方面，在平臺210中，在如上述那樣使平臺210變溫為期望的溫度后，如該圖4B所示那樣使開閉器242成為閉狀態，來實現定溫運轉時的平臺210的溫度穩定性的提高。
這樣，在本實施方式中，即使進行周圍溫度的變溫運轉，也能夠與上述第一實施方式相同，在短時間內使平臺210的溫度與周圍溫度相等。
此外，在本實施方式中，由于與上述第一實施方式同樣，能夠使平臺210內的溫度分布變小，所以也能夠與上述第一實施方式相同，抑制臺面平面度降低。
因而，在本實施方式中，通過對一個平臺210設置高熱傳導體222這一簡單的結構，能夠充分地對應周圍環境的變溫運轉和定溫運轉的并存。
在上述第一實施方式、第二實施方式中，為了在變溫運轉時進行平臺的良好的變溫，還設置以下的空氣移動器也是很重要的。
第三實施方式(換氣扇)圖5中表示有關本發明的第三實施方式的精密平臺的概略結構。
另外，對于與上述第一實施方式對應的部分加上標號200而表示并省略說明。此外，對于與上述第二實施方式對應的部分加上標號100而表示并省略說明。
在本實施方式中，通過在上述圖1、上述圖2所示的蜂窩平臺中還設置強制換氣器，進一步提高了對熱交換的促進。
即，在圖5所示的特殊平臺310中，作為用來促進熱交換的強制換氣器，具備換氣用配管350、換氣用扇352、換氣用驅動器354、換氣用控制器356。
換氣用配管350具備與平臺310的通氣孔340b連通的吸氣孔358、和排氣孔360。
換氣用扇352設在換氣用配管350內的排氣孔360附近，用來使周圍氣體在平臺310內循環。
換氣用驅動器354驅動換氣用扇352。
換氣用控制器356經由換氣用驅動器354進行換氣用扇352的動作控制。
另外，平臺310支撐在防振臺370上。
通過這樣構成平臺310，即通過特殊平臺310和換氣用扇352的強制換氣器的組合，進一步提高了對熱交換的促進。
即，在平臺310中，通過換氣用扇352，將作業室332內的周圍空氣從平臺310的通氣孔340a強制地吸氣到平臺310內，通過平臺310內部從通氣孔340b強制地排氣。在平臺310中，通過換氣用扇352，將來自通氣孔340b的空氣再次從通氣孔340a強制地吸氣到平臺310內，通過平臺310內部從通氣孔340b強制地排氣。
這樣，在平臺310中，通過換氣用扇352等的強制換氣器，使作業室332內的周圍空氣在平臺310內強制地循環，由此，與采用空氣的自然流動的平臺相比，能夠更迅速地進行平臺310內的空氣與平臺310外的空氣即周圍空氣的換氣。因此，在平臺310中，能夠進一步實現平臺310內、以及平臺310內外的熱交換的促進。
因而，由于本實施方式相對于第一實施方式、第二實施方式還具備稱作換氣扇的熱移動器，在變溫運轉時，與第一實施方式、第二實施方式相比較，能夠在更短時間內進行將平臺310向期望溫度的變溫。
另外，在前述實施方式中，也優選地進行下述的換氣。
即、優選地，在平臺310中，通過換氣用扇352將平臺310內的空氣從通氣孔340b強制地排氣到外部。由此，平臺310內變為低壓。于是，由于平臺310內外的氣壓差，平臺310外部的空氣(作業室332的周圍空氣)從平臺310的通氣孔340a自然吸氣到平臺310內，由此進行換氣。
第四實施方式(真空噴射器)在圖6中表示有關本發明的第四實施方式的精密平臺的概略結構。
另外，對于與上述第一實施方式對應的部分加上標號300而表示并省略說明。此外，對于與上述第二實施方式對應的部分加上標號200而表示并省略說明。此外，對于與上述第三實施方式對應的部分加上標號100而表示并省略說明。
在本實施方式中，通過在上述圖1、上述圖2所示的蜂窩平臺中還設置強制換氣器，進一步提高了對平臺內及平臺外的熱交換的促進。
即，在圖6所示的特殊平臺410中，作為用來促進熱交換的強制換氣器，具備換氣用配管450、真空噴射器(換氣機構)452、真空噴射器驅動器454、真空噴射器控制器456。
換氣用配管450具備吸氣孔458、中間口472、室外吸氣孔474、室外排氣孔476。
真空噴射器(換氣機構)452設在與換氣用配管450內的中間口472相對處，吸引空氣。
真空噴射器驅動器454驅動真空噴射器452。
真空噴射器控制器456經由真空噴射器驅動器454進行真空噴射器452的動作控制。
通過這樣構成蜂窩平臺410，即通過特殊平臺(蜂窩平臺)410和真空噴射器452等的強制換氣器的組合，進一步提高了對熱交換的促進。
即，在平臺410中，通過真空噴射器452將作業室432內的周圍空氣從平臺410的通氣孔440a強制地吸氣到平臺410內，通過平臺410內從通氣孔440b強制地排氣。在平臺410中，將來自殼體通氣孔440b的空氣從中間口472強制地吸氣到換氣用配管450內，與來自室外吸氣孔474的外界氣體一起通過換氣用配管450從室外排氣孔476強制地向室外排氣。
這樣，在平臺410中，通過真空噴射器452將周圍空氣在平臺410內強制換氣，與采用自然的空氣流動的平臺相比較，能夠更迅速地進行平臺410內的換氣。這樣，在平臺410中，進一步提高了對平臺410內、以及平臺410內外的熱交換的促進。
因而，由于本實施方式相對于第一實施方式、第二實施方式還具備稱作真空噴射器的強制換氣器，在變溫運轉時，與第一實施方式、第二實施方式相比較，能夠在更短時間內進行將平臺410向期望溫度的變溫。
另外，在結構中，對于在真空噴射器中采用驅動器及控制設備的例子進行了說明，但本發明并不限于此，可以優選地使用通過從外部供給的高壓氣體而不利用其他動力及控制設備、來產生低壓真空的真空噴射器。
變形例(平臺上的載置物)在上述結構中，對采用特開2003-194523號公報中記載的測長裝置作為平臺上的載置物的例子進行了說明，但在本發明中，由于以簡單的結構進行定溫運轉和變溫運轉的并存，所以也可以優選地應用到其他測量機、加工機等機械裝置中。這里，在本發明中，也可以將平臺上直接作為機械裝置(測量機、加工機)的基座使用。此外，在本發明中，也可以在平臺上載置基座、在該基座上載置機械裝置主體。
此外，在本發明中，也可以優選地采用工件作為平臺上的載置物。這里，在本發明中，也可以將工件直接載置在平臺上。進而，在本發明中，也可以將工作臺載置在平臺上，在該工作臺上載置工件。
<向防振臺的應用>
進而，也可以優選地將在本發明中特征性的蜂窩結構體和熱移動器的組合應用到支撐平臺的防振臺中。
<蜂窩結構體的形狀>
在上述結構中，對采用截面六邊形的結構作為蜂窩結構體的例子進行了說明，但在本發明中也可以采用其他形狀。
<通氣孔與高熱傳導體的組合>
作為本發明的熱移動器，優選地分別單獨地使用在上述第一實施方式中記載的通氣孔和在上述第二實施方式中記載的高熱傳導體，但將這些熱移動器組合使用也是優選的。
權利要求
1.一種精密平臺，其特征在于，具備中空狀的殼體，將基準平面設為工件及/或機械裝置的載置面；蜂窩結構體，是設在上述殼體的內部的大致同一形狀的密閉小空間的集合體；熱移動器，設在蜂窩結構體中，以使上述蜂窩結構體的各小空間彼此連通、進行該各小空間彼此間的熱移動；經由上述熱移動器主動地進行上述蜂窩結構體的各小空間彼此間的熱移動。
2.如權利要求1所述的精密平臺，其特征在于，上述熱移動器具有設在上述蜂窩壁部上的蜂窩通氣孔，以便將上述蜂窩結構體的各小空間彼此連通；空氣經由上述蜂窩通氣孔而在上述蜂窩結構體的各小空間彼此間移動。
3.如權利要求1所述的精密平臺，其特征在于，上述熱移動器包括具有高熱傳導性的高熱傳導體，所述高熱傳導體貫通上述蜂窩壁部地設置，以便將上述蜂窩結構體的各小空間彼此連通；熱經由上述高熱傳導體在上述蜂窩結構體的各小空間彼此間移動。
4.如權利要求1所述的精密平臺，其特征在于，具備設在該殼體壁部上的殼體通氣孔，以便將上述殼體內部的蜂窩結構體的小空間與上述殼體外部連通；上述殼體內外的空氣經由上述殼體通氣孔而移動。
5.如權利要求2所述的精密平臺，其特征在于，具備設在該殼體壁部上的殼體通氣孔，以便將上述殼體內部的蜂窩結構體的小空間與上述殼體外部連通；上述殼體內外的空氣經由上述殼體通氣孔而移動。
6.如權利要求3所述的精密平臺，其特征在于，具備設在該殼體壁部上的殼體通氣孔，以便將上述殼體內部的蜂窩結構體的小空間與上述殼體外部連通；上述殼體內外的空氣經由上述殼體通氣孔而移動。
7.如權利要求4所述的精密平臺，其特征在于，具備使上述殼體通氣孔開閉自如的開閉器；在周圍環境的變溫運轉時使上述開閉器成為開狀態，此外，在該平臺變溫到期望溫度后的定溫運轉時使該開閉器成為閉狀態。
8.如權利要求5所述的精密平臺，其特征在于，具備使上述殼體通氣孔開閉自如的開閉器；在周圍環境的變溫運轉時使上述開閉器成為開狀態，此外，在該平臺變溫到期望溫度后的定溫運轉時使該開閉器成為閉狀態。
9.如權利要求6所述的精密平臺，其特征在于，具備使上述殼體通氣孔開閉自如的開閉器；在周圍環境的變溫運轉時使上述開閉器成為開狀態，此外，在該平臺變溫到期望溫度后的定溫運轉時使該開閉器成為閉狀態。
10.如權利要求4所述的精密平臺，其特征在于，具備強制換氣器，所述強制換氣器與上述殼體通氣孔連通地設置，用來將上述殼體內外的空氣強制地換氣。
11.如權利要求5所述的精密平臺，其特征在于，具備強制換氣器，所述強制換氣器與上述殼體通氣孔連通地設置，用來將上述殼體內外的空氣強制地換氣。
12.如權利要求6所述的精密平臺，其特征在于，具備強制換氣器，所述強制換氣器與上述殼體通氣孔連通地設置，用來將上述殼體內外的空氣強制地換氣。
13.如權利要求7所述的精密平臺，其特征在于，具備強制換氣器，所述強制換氣器與上述殼體通氣孔連通地設置，用來將上述殼體內外的空氣強制地換氣。
14.如權利要求8所述的精密平臺，其特征在于，具備強制換氣器，所述強制換氣器與上述殼體通氣孔連通地設置，用來將上述殼體內外的空氣強制地換氣。
15.如權利要求9所述的精密平臺，其特征在于，具備強制換氣器，所述強制換氣器與上述殼體通氣孔連通地設置，用來將上述殼體內外的空氣強制地換氣。
全文摘要
一種精密平臺，其特征在于，具備中空狀的殼體，將基準平面設為工件及/或機械裝置的載置面；蜂窩結構體，是設在上述殼體的內部的大致同一形狀的密閉小空間的集合體；熱移動器，為了將上述蜂窩結構體的各小空間彼此連通，進行該各小空間彼此間的熱移動而設在蜂窩結構體中；經由上述熱移動器主動地進行上述蜂窩結構體的各小空間彼此間的熱移動。
文檔編號B01L9/02GK1862244SQ200610079850
公開日2006年11月15日 申請日期2006年5月11日 優先權日2005年5月11日
發明者栗山豐 申請人:株式會社三豐