專利名稱：氣體凈化裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及氣體凈化裝置，更具體地，涉及用于得到供給凈化室的清潔空氣的氣體凈化裝置。
背景技術：
可以在清潔空氣中對LCD基板和半導體晶片等那樣的基板施加液體處理和熱處理。因此，在氣體凈化裝置中將凈化室內的空氣清潔化，然后回流到凈化室中。
氣體凈化裝置一般具備吸附氨成份等污染物質的化學過濾器。但是，隨著時間的經過，污染物質被積存在化學過濾器中。因此，化學過濾器除去該污染物質的能力降低，所以一般使用壽命較短。由此，在氣體凈化裝置中需要更換化學過濾器，導致運轉費用高漲。此外，還存在以下不便之處在更換化學過濾器時，必須使整個系統停止。
為了應對上述不便之處，日本特開2001-230196號公報公開了可連續使用的氣體凈化裝置，其經由多孔質膜使氣液接觸，由此，將氣體中的水溶性污染物質分離到液體(例如純水)中而除去。可是，雖然該氣液接觸型的氣體凈化裝置是可連續使用的，但不能除去非水溶性的有機污染物質。并且，在該裝置中，純水經由多孔質膜氣化，從而濕度上升。
此外，日本特開2002-93688號公報公開了使用由疏水性沸石形成的蜂窩狀轉子的氣體凈化裝置。該氣體凈化裝置可以有效地除去化學物質，但是，為了吸附部件的再生，需要高溫(例如，大于等于150℃)的清潔氣體，需要大于等于必要限度的能量，在經濟方面不利。
發明內容
本發明的目的在于提供一種氣體凈化裝置，其可以實現提高節能效果和污染物質除去效率。
為了達到上述目的，本發明的氣體凈化裝置用于對含有污染物質的氣體進行凈化，其特征在于，在空氣通道內配設有吸附除去裝置，其具有可再生的吸附部件，該吸附部件吸附非清潔空氣中的污染物質，并且使通過再生處理所吸附的污染物質脫離；以及氣體凈化單元，其經由多孔質膜進行氣液接觸，由此將非清潔空氣中的污染物質分離到液體中而除去。
通過這樣構成，在氣體凈化單元中，非清潔空氣中的污染物質被分離到通過多孔質膜進行氣液接觸的液體中而除去，并且，在吸附除去裝置中，空氣中的有機污染物質被吸附部件吸附而成為清潔空氣。因此，水溶性的污染物質在氣體凈化單元中被分離除去，并且，有機污染物質在吸附除去裝置中被吸附除去，從而顯著地提高空氣的清潔化效率。此外，氣體凈化單元和吸附除去裝置都可以連續使用，因此，不需要更換，操作性也提高。
此外，可以將氣體凈化單元在該吸附除去裝置的上游側與該吸附除去裝置串聯地配置。通過這樣構成，在氣體凈化單元中，非清潔空氣中的污染物質被分離通過多孔質膜進行氣液接觸的液體中而除去，此后，在吸附除去裝置中，通過氣體凈化單元后的空氣中的污染物質被吸附部件吸附而成為清潔空氣。因此，水溶性的污染物質在氣體凈化單元中被分離除去，通過氣體凈化單元后的污染物質在吸附除去裝置中被吸附除去，從而顯著地提高空氣的清潔化效率，并且，在吸附除去裝置B中的污染物質的吸附量大幅度地減少，因此，可以節減再生所需要的能量。此外，氣體凈化單元和吸附除去裝置都可以連續使用，因此，不需要更換，操作性也提高。
此外，可以將氣體凈化單元在該吸附除去裝置的下游側與該吸附除去裝置串聯地配置。通過這樣構成，在非清潔空氣通過吸附除去裝置的過程中，空氣中的有機污染物質被吸附部件吸附，此后，在氣體凈化單元中，通過吸附除去裝置后的空氣中的污染物質被分離到通過多孔質膜進行氣液接觸的液體中而除去，成為清潔空氣。因此，有機污染物質在吸附除去裝置中被吸附除去，通過吸附除去裝置后的水溶性的污染物質在氣體凈化單元中被分離除去，從而顯著地提高空氣的清潔化效率。并且，氣體凈化單元和吸附除去裝置都可以連續使用，因此，不需要更換，操作性也提高。此外，特別是在高效地除去極性有機污染物質的情況下，不會因氣體凈化單元的加濕功能而有損除去裝置B的除去效率。
圖1是表示本發明的第1實施方式所涉及的氣體凈化裝置的概略結構的剖面圖。
圖2是將本發明的第1實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的氣體凈化單元的局部剖開后的立體圖。
圖3是本發明的第1實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的氣體凈化單元的說明圖。
圖4是表示本發明的第1實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的氣體凈化單元的另一例的剖面圖。
圖5是表示本發明的第1實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的吸附除去裝置的圖。
圖6是表示本發明的第2實施方式所涉及的氣體凈化裝置的概略結構的剖面圖。
圖7是表示本發明的第3實施方式所涉及的氣體凈化裝置的概略結構的剖面圖。
圖8是表示本發明的第4實施方式所涉及的氣體凈化裝置的概略結構的圖。
圖9是表示本發明的第4實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的氣體凈化單元的排水控制的內容的流程圖。
圖10是表示本發明的第4實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的吸附除去裝置的排氣控制的內容的流程圖。
圖11是表示構成本發明的第4實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的吸附除去裝置的蜂窩狀轉子的概略結構的正視圖。
圖12是用于說明本發明的第4實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的溫度濕度控制的形態的特性圖。
圖13是表示本發明的第5實施方式所涉及的氣體凈化裝置的概略結構的剖面圖。
圖14是將本發明的第5實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的氣體凈化單元的局部剖開后的立體圖。
圖15是表示本發明的第5實施方式所涉及的氣體凈化裝置中的氣體凈化單元的另一例的剖面圖。
圖16是表示本發明的第6實施方式所涉及的氣體凈化裝置的概略結構的剖面圖。
圖17是表示本發明的第7實施方式所涉及的氣體凈化裝置的概略結構的剖面圖。
圖18是表示本發明的第8實施方式所涉及的氣體凈化裝置的概略結構的剖面圖。
具體實施例方式
下面，一邊參照附圖，一邊對將本發明具體化的第1～第8實施方式進行說明。另外，在第2～第8實施方式中，僅對與第1實施方式的不同點進行說明，對相同或相當的部件賦予相同的標號并省略說明。
首先，參照圖1～圖5對第1實施方式進行說明。
如圖1所示，氣體凈化裝置Z附設在半導體晶片的洗滌裝置X上。從該洗滌裝置X經由管道D1排出的非清潔空氣W′在凈化裝置X中清潔化，成為再生空氣W。該再生空氣W經由管道D2再次供給到洗滌裝置X。另外，標號F表示配設在形成向洗滌裝置X供給空氣的空氣供給部的頂棚部的、具備有高性能過濾器的風扇過濾器單元。
所述氣體凈化裝置Z在內部具有從管道D1到管道D2的空氣通道Q。在該空氣通道Q內配設有吸附除去裝置B和氣體凈化單元A。吸附除去裝置B具有可再生的吸附部件9，該吸附部件9吸附非清潔空氣W′中的污染物質，并且通過再生處理使所吸附的污染物質脫離。氣體凈化單元A串聯地配置在吸附除去裝置B的前級側，經由多孔質膜進行氣液接觸，由此將非清潔空氣W′中的污染物質分離到液體中而除去。在本實施方式中構成為，使全部空氣通過凈化單元A和除去裝置B。另外，標號C表示用于加壓輸送清潔空氣W的風扇。
如圖2所示，所述凈化單元A由下列部分構成貯水器1，用于貯存純水；以及多根管2，其由架設在該貯水器1內的多孔質膜(例如PTEF多孔膜)構成。并且，非清潔空氣W′被供給到所述管2內。另外，在本實施方式中，該凈化單元A以管2朝著上下方向的狀態配置成兩層。
此外，在所述貯水器1上附設有使純水循環的通道3；將新的純水供給到該循環通道3的給水通道4；以及從該循環通道3排出使用過的純水的排水路5。另外，標號6是純水循環用的水泵。并且，在該循環通道3的中途配設有熱交換器7，該熱交換器7起到控制純水溫度的機構的作用。通過控制向熱交換器7供給的冷水供給量來控制純水的溫度。其結果，可以對通過氣體凈化單元A的空氣的溫度和濕度進行調整。
如圖3所示，在凈化單元A中，管2的微小孔8容許非清潔空氣W′中含有的水溶性氣體(例如氨氣等)G的流出和水蒸氣S的流入，但阻止水滴的通過。從而，作為非清潔空氣W′中的污染物質的水溶性氣體G被分離除去，可以得到清潔空氣W。此外，該清潔空氣W被從微小孔8導入的水蒸氣加濕。
并且，所述凈化單元A通過多層配置而將貯存純水的貯水器1和由架設在該貯水器1內的多孔質膜構成的多根管2緊湊地構成，因此，可以實現低壓力損失且有效的空氣清潔化。
圖4表示凈化單元A的另一例。該凈化單元A是將由多孔質膜(例如PTEF多孔膜)構成的多個膜元件29層疊起來的單元，經由這些膜元件29，純水和非清潔空氣W′氣液接觸。各膜元件29是將平面形狀的多孔質膜32張設在由樹脂材料一體形成的薄壁且長矩形形狀的支承框30的開口部31中而構成的。并且，由上下層疊的一對膜元件29構成膜單元U。在各膜單元U中的膜元件29之間分別形成有純水通道33；以及使非清潔空氣W′在與多孔質膜32正交的方向上流通的空氣通道。此外，鄰接的膜單元U的多孔質膜32之間通過隔板34來保持間隔，形成空間35。另外，標號36是純水的流通口，37是純水的入口，38是純水的出口。
在上述凈化單元A中，從下方的入口37導入的純水在純水通道33中從下方向上方呈Z字形流動，從上方的出口38排出。在該流通過程中，純水經由膜元件29與在空氣通道中流動的非清潔空氣W′氣液接觸，非清潔空氣W′中的污染物質被分離到純水中而除去。(因而，純水中的濃度分布發生改變，結果，純水在通道33內曲折地流動。)從而，通道33的路徑長度變長，因此，在純水流動前進的同時，其流動狀態漸漸地成為紊流狀態。由此，僅在純水通道33的中央部分流動的水量減少，與此對應，在構成通道33的外周部的多孔質膜32的附近流動的水量增加。
其結果，若假定每單位流量的循環水量相同，則與純水接觸的多孔質膜32的面積增加。從而，促進非清潔空氣W′中的污染物質向純水中溶解的溶解作用，進而提高凈化單元A的污染物質除去效率。因此，可以得到結構緊湊且作業效率高的凈化單元A。
此外，在該凈化單元A的情況下，也與圖2的情況同樣，附設有純水的循環路3以及連接在循環路3上的吸水路4和排水路5，還有純水循環用的水泵6、熱交換器7。
如圖5所示，吸附除去裝置B中的吸附部件包括蜂窩狀轉子9，該蜂窩狀轉子9由可使氣體流通的多孔質結構的物質(例如疏水性沸石)形成。在蜂窩狀轉子9的周面和電動機10的輸出軸之間架設有傳動帶11，從而蜂窩狀轉子9以軸心J為中心旋轉。
在除去裝置B中，與空氣W、W′的流通對應地預先設定如下位置使非清潔空氣W′清潔化的清潔化處理位置P1；使吸附在蜂窩狀轉子9上的污染物質脫離的再生處理位置P2；以及對蜂窩狀轉子9進行冷卻的冷卻處理位置P3。蜂窩狀轉子9的軸心J被配置成為這三個位置P1、P2、P3的中心。蜂窩狀轉子9以低速連續地旋轉，由此，蜂窩狀轉子9依次通過各位置P1、P2、P3。
這樣，由電動機10旋轉驅動蜂窩狀轉子9，由此，可以使蜂窩狀轉子9向清潔化處理位置P1、再生處理位置P2以及冷卻處理位置P3連續地變位，因此，凈化裝置的操作性進一步提高。
通過浸漬水分散劑，使疏水性沸石附著在陶瓷紙等具有耐水性、耐水蒸氣性的材料上，而后進行加熱干燥，由此可以得到蜂窩狀轉子9。通過該處理，形成為多個通氣孔從壁面向軸心方向平行地貫通并延伸的蜂窩形狀。蜂窩狀轉子9的通氣孔的內周壁面以疏水性沸石為主要成分，疏水性沸石可以有效地與在通氣孔內流通的氣流接觸。沸石對氨等具有優異的吸附性能。另外，蜂窩狀轉子9也可以是將兩種以上的吸附材料在空氣流通方向上層疊為多層而構成。
從洗滌裝置X經由管道D1(圖1)輸送的非清潔空氣W′的流道L1面對清潔化處理位置P1而開口。取出流道L2在隔著蜂窩狀轉子9而與該流道L1對置的位置開口。通過蜂窩狀轉子9后的空氣由設置在取出流道L2中的處理風扇12助能被輸送到下游側，空氣中的塵埃被過濾器組13粗除塵。經由過濾器組13得到的清潔空氣W經管道D2輸送到洗滌裝置X(參照圖1)。此外，經由從處理風扇12和過濾器組13之間分支的引導路L3通過蜂窩狀轉子9后的空氣的一部分作為冷卻用空氣而被引導到冷卻處理位置P3。
此外，在隔著蜂窩狀轉子9而與所述引導路L3的開口對置的位置開有流道L4，該流道L4將在冷卻處理位置P3流出的空氣引導到再生處理位置P2。從引導路L3經蜂窩狀轉子9輸送來的空氣經由流道L4輸送到加熱器14。由加熱器14加熱的空氣經流道L5向再生處理位置P2輸送。
流道L6在隔著蜂窩狀轉子9而與流道L5的開口對置的位置開口，在流道L6中設置有排氣風扇15。此外，在流道L1中流動的非清潔空氣W′的一部分經由分支流道L7被輸送到流道L6，從而可以順暢地進行排氣。另外，在再生處理位置P2通過蜂窩狀轉子9后的熱風通常被排出到外部，但如圖1中的假想線所示，也可以設置通道16，該通道16使再生排氣的一部分或全部向所述氣體凈化單元A的供氣部返回。這樣，由于不必排出高價且高質量的空氣(即清潔空氣)，所以可以進一步實現節能。
在上述結構的本實施方式中，獲得如下的作用和效果。
在本實施方式中，在空氣流通的空氣通道Q內配設有吸附除去裝置B，其具有可再生的吸附部件9，該吸附部件9吸附非清潔空氣W′中的污染物質，并且，使通過再生處理所吸附的污染物質脫離；以及氣體凈化單元A，其經由多孔質膜進行氣液接觸，由此將非清潔空氣W′中的污染物質分離到液體中而除去。
從而，在氣體凈化單元A中，非清潔空氣W′中的污染物質被分離到經由多孔質膜進行氣液接觸的液體中而被除去，并且，在吸附除去裝置B中，空氣中的有機污染物質被吸附部件9吸附而成為清潔空氣W。由此，水溶性的污染物質在氣體凈化單元A中被分離除去，并且，有機污染物質在吸附除去裝置B中被吸附除去，從而顯著地提高空氣的清潔化效率。此外，氣體凈化單元A和吸附除去裝置B都可以連續使用，因此，不需要更換，從而凈化單元A的操作性也提高。
在本實施方式中，將凈化單元A在吸附除去裝置B的上游側與該裝置B串聯配置。因此，從洗滌裝置X經由管道D1輸送來的非清潔空氣W′中的污染物質通過凈化單元A的由多孔質膜構成的管2被分離到純水中而除去。此后，在除去裝置B中，空氣中的化學污染物質被蜂窩狀轉子9吸附而成為清潔空氣W，被輸送到洗滌裝置X。從而，在上述效果的基礎上，除去裝置B的污染物質的吸附量大幅度地減少，因此，可以節減再生所需要的能量。
此外，在除去裝置B中，使吸附部件9變位至使非清潔空氣W′清潔化的位置P1和使吸附的污染物質脫離的位置P2，在位置P2，使污染物質從吸附部件9脫離。從而，通過吸附部件9的變位，可以更加順暢地進行污染物質在吸附部件9上的吸附、污染物質從吸附部件9的脫離，從而提高操作性。另外，在本實施方式中，吸附部件包括由疏水性沸石形成的蜂窩狀轉子9，電動機10使該蜂窩狀轉子9旋轉并使其變位。
此外，設置有通道16，該通道16將通過吸附部件9后得到的清潔空氣W的一部分用作吸附部件9的再生處理用空氣，并且，使通過該再生處理得到的再生排氣的一部分或全部向所述氣體凈化單元A的供氣部返回。從而，不必排出高價且高質量的清潔空氣，可進一步實現節能。
此外，凈化單元A由下列部分構成貯存純水的貯水器1；以及多根管2，由架設在該貯水器1內的多孔質膜構成。從而，成為多層配置的結構緊湊的凈化單元A，可以實現低壓力損失且有效的空氣清潔化。
此外，將由多孔質膜構成的膜元件29層疊起來構成凈化單元A，經由這些膜元件29使純水和非清潔空氣W接觸。從而，通過經由層疊的膜元件29的氣液接觸，非清潔空氣W′中的污染物質被分離到純水中而除去，從而可以得到緊湊且高效的氣體凈化單元A。
并且，形成為附設有控制純水溫度的溫度控制機構7的結構，因此，可以對通過氣體凈化單元A的空氣的溫度濕度進行調整。
下面，參照圖6對第2實施方式進行說明。
在本實施方式中，設置有水通道17，該水通道17將洗滌裝置X的洗滌排水供給到凈化單元A的貯水器1內。在水通道17中配置有反浸透膜組件18；以及機構19，其利用除去裝置B的再生排氣將由該組件18得到的濃縮水氣化后排出。這樣，可以將洗滌裝置X的洗滌排水作為貯存在凈化單元A的貯水器1內的純水使用，從而節省資源。
下面，參照圖7對第3實施方式進行說明。
在本實施方式中，與第2實施方式同樣，設置有水通道17，該水通道17將洗滌裝置X的洗滌排水供給到凈化單元A的貯水器1內。在水通道17中配置有三通閥20，該三通閥20僅在洗滌裝置X進行最終洗凈時，使水通道17與貯水器1連通。這樣，只有洗滌裝置X的最終洗滌排水(即漂洗水)作為純水貯存在凈化單元A的貯水器1內，因此，可以節省資源。
下面，參照圖8～圖12對第4實施方式進行說明。
在本實施方式中，在除去裝置B中，蜂窩狀轉子9的旋轉角度(或轉速)通過配置在電動機10的輸出軸上的旋轉角度傳感器(或速度傳感器)21來檢測。所述蜂窩狀轉子9的再生排氣中的有機物濃度通過有機物濃度傳感器22來檢測。凈化單元A的純水中的離子濃度通過離子濃度傳感器23來檢測。清潔空氣W的溫度通過溫度傳感器24來檢測，清潔空氣W的濕度通過濕度傳感器25來檢測。進而，控制裝置26根據這些傳感器21～25檢測出的值進行預定的運算處理。控制裝置26根據運算結果對凈化單元A中的循環路3的水泵6、除去裝置B中的電動機10以及向除去裝置B中的冷卻處理位置P3供給冷卻風的擋板27進行驅動控制。另外，標號28是用于在除去裝置B的出口側對清潔空氣W進行再加熱的再熱器。
對再生排氣中的有機物濃度設定有基準值1和比其低的基準值2。所謂基準值1，是再生排氣中的有機物濃度超過容許范圍、必須更積極地除去有機物的臨界值。當有機物濃度傳感器22的檢測值超過基準值1時，控制裝置26使電動機10、即蜂窩狀轉子9以更高速旋轉，在進一步促進再生排氣中的有機物的吸附后，轉移到再生處理或冷卻處理。
另一方面，所謂基準值2，表示在再生排氣用于再生處理、冷卻處理之際有機物濃度接近不成為障礙的值。當有機物濃度傳感器22的檢測值未達到基準值2時，控制裝置26使電動機10、即蜂窩狀轉子9的轉速降低，以節能模式運轉，轉移到再生處理或冷卻處理。
另外，當有機物濃度傳感器22的檢測值處于基準值1和基準值2之間時，蜂窩狀轉子9在維持其轉速的狀態下轉移到再生處理或冷卻處理。控制裝置26按照圖9所示的流程圖執行排水控制。
在步驟S1中，對離子濃度傳感器23檢測出的檢測值和設定值進行比較。當在步驟S1中判定為離子濃度≤設定值的情況下，則在步驟S2中，貯水器1內的純水經由循環路3循環。當在步驟S1中判定為離子濃度＞設定值時，則在步驟S3中，從排水路5排出使用過的純水，從給水路4供給新的純水，進行純水的再生。換言之，根據離子濃度傳感器23的檢測值來控制純水的循環量和給排水量。其結果，根據純水中的污染物質的積存度進行純水的循環利用和給排水控制，從而可以進行有效的空氣清潔化。
此外，控制裝置26按照圖10所示的流程圖執行排氣控制。
在步驟S10中，根據旋轉角度傳感器(轉速傳感器)21的檢測值進行蜂窩狀轉子9的旋轉區間(或轉速)的初始設定。在步驟S12中，開始再生排氣的排出。此后，在步驟S13中，比較有機物濃度傳感器22的檢測值和基準值1，在這里，當判定為檢測值＞基準值1時，則在步驟S14中，減小蜂窩狀轉子9的旋轉區間或增大轉速。此后，在步驟S17中，在蜂窩狀轉子9以設定區間旋轉角度θ或以設定速度旋轉后，返回步驟S12。如圖11所示，所述角度θ是蜂窩狀轉子9中的再生處理位置P2和冷卻處理位置P3的形成角度。
在步驟S13中，當判定為檢測值≤基準值1時，則在步驟S15中，比較檢測值和基準值2。在這里，當判定為檢測值＜基準值2時，則在步驟S16中，進行增大蜂窩狀轉子9的旋轉區間或減小轉速的控制，然后，進入步驟S17。
在步驟S15中，當判定為檢測值≥基準值2時，則進入步驟S17。在這里，基準值1＞基準值2。
即，當有機物濃度處于基準值1和基準值2之間時，蜂窩狀轉子9以設定的旋轉區間或轉速被旋轉驅動，但當超過基準值1或小于基準值2時，以與該狀態對應的旋轉區間或轉速被驅動旋轉。這樣，在本實施方式中，根據檢測蜂窩狀轉子9的旋轉角度或轉速的旋轉角度傳感器(或速度傳感器)21的檢測值來控制蜂窩狀轉子9的轉速。從而，可以利用蜂窩狀轉子9有效地進行污染物質的吸附和污染物質的脫離。
并且，根據有機物濃度傳感器22的檢測值來控制蜂窩狀轉子9的旋轉區間或轉速，因此，能夠以與污染物質向蜂窩狀轉子9的積存度對應的頻率進行蜂窩狀轉子9的再生處理，可以進一步節能運轉。
下面，參照圖12對將清潔空氣W的溫度濕度保持為一定的控制進行說明。
通過凈化單元A的空氣的狀態K1近似地表示濕球溫度為一定的狀態變化(即，朝向狀態K4變化)，成為即將通過蜂窩狀轉子9之前的狀態K2。通過蜂窩狀轉子9的吸附反應(吸附水分和化學物質)，溫度稍微上升(TB→Tc)，濕度稍微下降(Hb→Ha)。另外，借助于再生用加熱器14的熱量，顯熱上升(Tc→Ta)，成為狀態K1′。即，將凈化單元A的水溫控制在狀態K1的空氣的露點溫度To～濕球溫度Tr之間，以便消除蜂窩狀轉子9中的濕度降低部分(Hb→Ha)，利用擋板27控制冷卻風量(根據情況，不進行冷卻而利用再熱器28進一步加熱)，以便從再生加熱器14獲得凈化單元A的冷卻和蜂窩狀轉子9的吸附發熱的差(Ta-Tc)。通過上述那樣，可以使狀態K1和狀態K1′相同。只要適當地改變這些控制量，即可任意地控制清潔空氣W的溫度濕度。
即，在本實施方式中，設置風量控制機構，該風量控制機構控制對蜂窩狀轉子9進行冷卻的冷卻風的風量，從而可以對得到的清潔空氣W的溫度濕度進行調整。
下面，參照圖13～圖15對第5實施方式進行說明。
在本實施方式中，作為附設有凈化裝置Z的裝置X，采用具備搬送半導體晶片的搬送機械手R的晶片移載機。在晶片移載機X的底部形成有排氣口40，該排氣口40將移載機X內被污染的非清潔空氣W′的一部分排出。
該凈化裝置Z在內部具有從空氣流通的管道D1到管道D2的空氣通道Q。在空氣通道Q內配設有吸附除去裝置B，其具有可再生的吸附部件9，該吸附部件9吸附非清潔空氣W′中的污染物質，并且，使通過再生處理所吸附的污染物質脫離；以及凈化單元A，其在除去裝置B的上游側與該裝置B串聯地配置，并且，經由多孔質膜將非清潔空氣中的污染物質分離到液體中而除去。
在這里，在本實施方式中，所述凈化單元A構成為，能夠使在所述空氣通道Q中流通的空氣的一部分(例如，大致一半)通過。從而，可以抑制凈化單元A的過度加濕，能夠容易地進行溫度濕度調整。另外，標號41是形成在凈化裝置Z的底部的供氣口，C是用于加壓輸送清潔空氣W的風扇。
此外，如圖13的假想線所示，設置有通道16，該通道16使再生排氣的一部分或全部向氣體凈化單元A的所述供氣口41等返回，從而，也可以避免清潔空氣的排氣而實現節能。
本實施例的凈化單元A是對第1實施方式的凈化單元稍微變更后的單元。即，如圖14、15所示，在氣體凈化單元A中，在純水的循環路3中配置有由紫外線燈和反浸透膜構成的水再生機構42，以便使循環水再生。這樣，不必排水即可循環利用純水，可以實現有效利用能量。
下面，參照圖16對第6實施方式進行說明。
在本實施方式中，該實施方式是對第5實施方式中的凈化裝置Z進行了變更。即，在空氣通道Q中，將氣體凈化單元A在該吸附除去裝置B的下游側與該吸附除去裝置串聯地配置。這樣，供氣中含有的來自于外部的NOx、SOx、氨氣等水溶性氣體在上游側的凈化單元A中被處理。從而，結構緊湊且可以有效地除去污染物質。另外，凈化單元A也可以構成為僅使供氣通過，但也可以構成為使供氣和循環空氣兩者都能通過。
在上述結構中，也與上述實施方式發揮同樣的效果。
此外，除去裝置B根據吸附部件9的組成可以有效地吸附極性物質(例如有機污染物質)，但當處理空氣的濕度高時，存在優先吸附濕分而降低吸附除去效率的情況。但是，在本實施方式中，在除去裝置B的下游側配置有經由多孔質膜進行氣液接觸的凈化單元A，因此，特別是在高效地除去極性有機污染物質的情況下，不會因凈化單元A的加濕功能而有損除去裝置B的除去效率。
此外，在本實施方式中，如果也與上述第5實施方式的情況同樣，設置使再生排氣的一部分或全部向凈化單元A返回的通道16，避免清潔空氣的排出，則可以實現節能。
下面，參照圖17對第7實施方式進行說明。
本實施方式對第6實施方式的一部分進行了變更。即，吸附除去裝置B形成為可以使在空氣通道Q中流通的空氣的一部分(例如，大致一半)通過。
如上所述，在通道Q中流通的空氣的一部分可以通過除去裝置B，因此，在非清潔空氣W′中所含有的污染物質的組成中有機污染物質比水溶性氣體少的情況下有效。
下面，參照圖18對第8實施方式進行說明。
在本實施方式中構成為，吸附除去裝置B使在空氣通道Q中流通的空氣的全部通過，而氣體凈化單元A使空氣的一部分(大致一半)通過。從而，與第5實施方式同樣，可以抑制凈化單元A的過度加濕，容易地進行溫度濕度調整。
此外，在本實施方式中，在除去裝置B的下游側也配置有凈化單元A，因此，可以得到與第6實施方式相同的效果。
以上，結合實施方式對本發明進行了說明，但本發明不限于上述實施方式，也可以進行如下變更。
在上述各實施方式中，以洗滌裝置或晶片移載機為例對附設有氣體凈化裝置Z的裝置X進行了說明，但并不限于此，也可以采用光刻膠涂敷顯影裝置等的基板處理裝置和微環境設備(EFEM)等。
權利要求
1.一種氣體凈化裝置，該氣體凈化裝置用于對含有污染物質的氣體進行凈化，其特征在于，在空氣通道(Q)內配設有吸附除去裝置(B)，其具有可再生的吸附部件(9)，該吸附部件(9)吸附非清潔空氣(W′)中的污染物質，并且通過再生處理使所吸附的污染物質脫離；以及氣體凈化單元(A)，其經由多孔質膜進行氣液接觸，由此將非清潔空氣(W′)中的污染物質分離到液體中而除去。
2.根據權利要求1所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述氣體凈化單元(A)在上述吸附除去裝置(B)的上游側與該吸附除去裝置串聯地配置。
3.根據權利要求1所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述氣體凈化單元(A)在上述吸附除去裝置(B)的下游側與該吸附除去裝置串聯地配置。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述氣體凈化單元(A)構成為，可以使在所述空氣通道(Q)中流通的空氣的一部分通過。
5.根據權利要求3所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述吸附除去裝置(B)構成為，可以使在所述空氣通道(Q)中流通的空氣的一部分通過。
6.根據權利要求1～5中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述吸附除去裝置(B)包括變位裝置，其使吸附部件(9)變位至使非清潔空氣(W′)清潔化的清潔化處理位置(P1)和使吸附的污染物質脫離的再生處理位置(P2)；以及再生處理裝置，其使污染物質在再生處理位置(P2)從吸附部件(9)脫離。
7.根據權利要求6所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述吸附部件由蜂窩狀轉子(9)構成，該蜂窩狀轉子(9)由疏水性沸石形成，所述變位裝置由旋轉驅動該蜂窩狀轉子(9)的電動機(10)構成。
8.根據權利要求1～7中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，該氣體凈化裝置設置有通道(16)，該通道(16)將通過所述吸附部件(9)后得到的清潔空氣(W)的一部分用作吸附部件(9)的再生處理用空氣，并且，使通過該再生處理得到的再生排氣的一部分或全部向所述氣體凈化單元(A)的供氣部返回。
9.根據權利要求7或8所述的氣體凈化裝置，其特征在于，該氣體凈化裝置設置有風量控制機構，該風量控制機構控制對所述蜂窩狀轉子(9)進行冷卻的冷卻風的風量。
10.根據權利要求7～9中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，該氣體凈化裝置具有對所述蜂窩狀轉子(9)的旋轉角度或轉速進行檢測的傳感器(21)，根據該傳感器(21)的檢測值來控制蜂窩狀轉子(9)的轉速。
11.根據權利要求10所述的氣體凈化裝置，其特征在于，該氣體凈化裝置具有對所述蜂窩狀轉子(9)的再生排氣中的有機物濃度進行檢測的有機物濃度傳感器(22)，根據該有機物濃度傳感器(22)的檢測值來控制蜂窩狀轉子(9)的轉速。
12.根據權利要求1～11中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述氣體凈化單元(A)由下列部分構成貯存純水的貯水器(1)；以及多根管(2)，其由架設在該貯水器(1)內的多孔質膜構成。
13.根據權利要求1～11中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，所述氣體凈化單元(A)是將由多孔質膜構成的膜元件(29)層疊起來而形成的，經由這些膜元件(29)，純水和非清潔空氣(W′)接觸。
14.根據權利要求12或13所述的氣體凈化裝置，其特征在于，該氣體凈化裝置具有對所述純水的溫度進行控制的溫度控制機構(7)。
15.根據權利要求12～14中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，該氣體凈化裝置具有水再生機構(42)，該水再生機構(42)使在所述氣體凈化單元(A)中循環的水再生。
16.根據權利要求12～15中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，作為所述純水，使用被供給了由該氣體凈化裝置得到的清潔空氣(W)的裝置(X)的排水。
17.根據權利要求12～16中任一項所述的氣體凈化裝置，其特征在于，該氣體凈化裝置附設有使所述純水循環的純水循環裝置(3)；將新的純水供給到該純水循環裝置(3)的純水供給裝置(4)；以及從該純水循環裝置(3)排出使用過的純水的純水排出裝置(5)，并且，還附設有檢測所述純水中的離子濃度的離子濃度傳感器(23)，根據該離子濃度傳感器(23)的檢測值來控制所述純水的循環量和給排水量。
全文摘要
氣體凈化裝置(Z)具有空氣通道(Q)。在空氣通道(Q)內配設有吸附除去裝置(B)，其具有可再生的吸附部件(9)，該吸附部件(9)吸附非清潔空氣(W′)中的化學污染物質，并且，使通過再生處理所吸附的污染物質脫離；以及氣體凈化單元(A)，其經由多孔質膜進行氣液接觸，由此將非清潔空氣(W′)中的污染物質分離到液體中而除去。水溶性的污染物質在氣體凈化單元中被分離除去，化學污染物質在吸附除去裝置(B)中被吸附除去。
文檔編號B01D53/58GK1925903SQ20058000645
公開日2007年3月7日 申請日期2005年3月29日 優先權日2004年3月31日
發明者鐵屋克浩, 大野正雄, 佐原良夫 申請人:大金工業株式會社