一種涂膠裝置的制造方法

專利名稱:一種涂膠裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種涂膠裝置，包括點膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅動該吸盤旋轉的驅動電機、為吸盤提供吸力的抽氣設備、凈化工作腔、送氣風機和抽氣風機，凈化工作腔左右端板開設氣孔，凈化工作腔的左側端板外設置有散流罩，送氣風機的出風口經過空氣過濾器連接散流罩的進氣口，凈化工作腔的右側端板外設置有集風罩，集風罩的出氣口連接抽氣風機的進氣口，點膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設置于凈化工作腔內且位于點膠針筒的正下方。本實用新型將涂膠放置于凈化工作腔內進行，不會污染操作環境，保護人員健康；凈化工作腔為涂膠過程提供了潔凈的環境，空氣中的灰塵不會污染涂覆的膠水；吸盤轉動時，膠水也不會甩到凈化工作腔外部。
【專利說明】
一種涂膠裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種涂膠裝置，特別適合用于微電子行業的涂膠工藝。
【背景技術】
[0002]微電子技術作為電子信息產業的核心技術之一，已經成為現代電子信息技術，尤其是計算機和通訊技術發展的驅動力。為了在新的科技革命中迎頭趕上西方發達國家，必須在微電子技術領域取得快速的發展。
[0003]涂膠是微電子行業十分常用的工藝步驟。目前現有的注膠設備要么結構簡陋，自動化程度低，工人勞動強度大;要么結構復雜，成本高昂，不利于推廣。

【發明內容】

[0004]本實用新型的目的在于，克服上述現有技術的缺陷，提供一種涂膠裝置。
[0005]上述目的由下述技術方案來實現:本實用新型提供的涂膠裝置，包括點膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅動該吸盤旋轉的驅動電機和為吸盤提供吸力的抽氣設備，其特征在于:還包括凈化工作腔、送氣風機和抽氣風機，所述凈化工作腔左右端板開設氣孔，凈化工作腔的左側端板外設置有散流罩，送氣風機的出風口經過空氣過濾器連接散流罩的進氣口，所述凈化工作腔的右側端板外設置有集風罩，集風罩的出氣口連接抽氣風機的進氣口，所述點膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設置于凈化工作腔內且位于點膠針筒的正下方;吸盤的中軸線位置設有與抽氣設備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設置有環形儲膠槽，吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為2mm。
[0006]本實用新型還具有如下改進:
[0007]1、吸盤的橫截面呈W型，儲膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為70°，遠離吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為50°。
[0008]2、所述空氣過濾器為活性炭過濾器。
[0009]3、所述點膠針筒的針管下端設有單向閥。
[0010]4、所述單向閥為薄膜單向閥。
[0011]本實用新型將涂膠放置于凈化工作腔內進行，不會污染操作環境，保護人員健康；凈化工作腔為涂膠過程提供了潔凈的環境，空氣中的灰塵不會污染涂覆的膠水;吸盤轉動時，膠水也不會甩到凈化工作腔外部。此外，本實用新型對吸盤的尺寸進行了改進，使其對硅片具有更好的吸附力。
[0012]本實用新型結構簡單、設計巧妙，使用方便，且易于維護。本裝置的生產成本低，功能可滿足實際生產需要，適于在微電子行業廣泛運用。
【附圖說明】

[0013]圖1是本實用新型涂膠裝置的結構示意圖。
[0014]圖中標號示意如下:
[0015]1-凈化工作腔;2-散流罩;3-集風罩;4-送氣風機;5-抽氣風機;6_空氣過濾器;7_抽氣設備;8-吸盤;9-驅動電機;I O-點膠針筒;11-單向閥；12-硅片。
【具體實施方式】
[0016]如圖1所述，本實施例涂膠裝置，包括點膠針筒10、用于承載硅片12的吸盤8、用于驅動該吸盤8旋轉的驅動電機9和為吸盤8提供吸力的抽氣設備7，凈化工作腔1、送氣風機4和抽氣風機5，點膠針筒10的針管下端設有單向閥11(選用薄膜單向閥)，凈化工作腔I左右端板開設氣孔，凈化工作腔I的左側端板外設置有散流罩2，送氣風機4的出風口經過空氣過濾器6(本例中，空氣過濾器6選用活性炭過濾器)連接散流罩2的進氣口，所述凈化工作腔I的右側端板外設置有集風罩3，集風罩3的出氣口連接抽氣風機5的進氣口，所述點膠針筒固定在凈化工作腔I的頂部，吸盤8設置于凈化工作腔I內且位于點膠針筒的正下方;吸盤8的中軸線位置設有與抽氣設備7相連的吸氣管，吸盤8的吸氣管頂端周圍設置有環形儲膠槽，吸盤8的吸氣管頂端至吸盤8上表面的距離為2mm。如圖1所示，吸盤8的橫截面呈W型，儲膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為70°，遠離吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為50°。
[0017]吸盤帶動硅片旋轉，從點膠針筒滴下的膠水在離心力的作用下向外移動，從而實現自動勻膠，由于硅片的親水性，甩至硅片邊緣的膠水容易流到吸盤的背面，并且因重力作用向中間聚攏。環形儲膠槽能夠有效阻擋該部分膠水流入吸氣管，從而確保勻膠機的正常運轉，提高勻膠效率。
[0018]除上述實施例外，本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術方案，均落在本實用新型要求的保護范圍。
【主權項】
1.一種涂膠裝置，包括點膠針筒、用于承載硅片的吸盤、用于驅動該吸盤旋轉的驅動電機和為吸盤提供吸力的抽氣設備，其特征在于:還包括凈化工作腔、送氣風機和抽氣風機，所述凈化工作腔左右端板開設氣孔，凈化工作腔的左側端板外設置有散流罩，送氣風機的出風口經過空氣過濾器連接散流罩的進氣口，所述凈化工作腔的右側端板外設置有集風罩，集風罩的出氣口連接抽氣風機的進氣口，所述點膠針筒固定在凈化工作腔的頂部，吸盤設置于凈化工作腔內且位于點膠針筒的正下方;吸盤的中軸線位置設有與抽氣設備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設置有環形儲膠槽，吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為2_;所述空氣過濾器為活性炭過濾器。2.根據權利要求1所述的涂膠裝置，其特征在于:吸盤的橫截面呈W型，儲膠槽的深度為6mm，靠近吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為70°，遠離吸氣管一側的儲膠槽內壁與水平面的夾角為50°。3.根據權利要求1所述的涂膠裝置，其特征在于:所述點膠針筒的針管下端設有單向閥。4.根據權利要求3所述的涂膠裝置，其特征在于:所述單向閥為薄膜單向閥。
【文檔編號】B05C5/02GK205701298SQ201620334960
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年4月20日
【發明人】戴金姑
【申請人】戴金姑