專利名稱：廢水過濾裝置及其控制電路的制作方法
技術領域：
本發明是有關于一種廢水過濾裝置及其控制電路，且特別是有關于一種將沙濾塔置于取樣泵浦與過濾器之間的廢水過濾裝置及其控制電路。
背景技術：
在目前的半導體工廠中，通常會使用廢水過濾裝置，將半導體制程中所產生的廢水加以過濾，以符合環保的需求。接下來請參照圖1，其為公知的一種廢水過濾裝置10的示意圖。由圖1可知，廢水過濾裝置10包括取樣泵浦102、管路104、手動閥106、過濾器108(例如是濾網或5μm的回收濾紙)、以及氟離子濃度檢測器110。其中，取樣泵浦102的作用為可由廢水放流口中，將廢水抽出取樣。手動閥106可開啟或關閉，以控制廢水是否可經由管路104而流到過濾器108。過濾器108用以過濾廢水中的懸浮粒子。而氟離子濃度檢測器110系用以檢測廢水中的懸浮粒子的濃度。
如圖1所示，在廢水過濾裝置10中，廢水放流口所排出的廢水會直接以取樣泵浦102抽出，接著會經由管路104而流到過濾器108，在過濾器108將廢水中的懸浮粒子過濾后，最后會送到氟離子濃度檢測器110中而檢測出廢水中的懸浮粒子的濃度。然而，因為氟離子濃度檢測器110的取樣管很小，并且在工廠所排出來的廢水中，通常會含有大量的懸浮粒子，所以為了要過濾這些懸浮粒子，就必須時常更換過濾器108(例如，時常更換濾網或5μm的回收濾紙)，否則氟離子濃度檢測器110的取樣管就會很容易因此而堵塞，因而造成氟離子濃度檢測器110的損壞。
發明內容
有鑒于此，本發明提出一種廢水過濾裝置及其控制電路。本發明是通過將沙濾塔放置于原來的廢水過濾裝置中的過濾器(例如是濾網或濾紙)與取樣泵浦之間，使廢水先經由沙濾塔過濾而將廢水中的大部分的懸浮粒子過濾后，再送入過濾器過濾，這樣就可以大大降低過濾器的用量而避免因為檢測裝置的取樣管堵塞所造成的檢測裝置損壞問題。
為達成上述及其它目的，本發明提出一種廢水過濾裝置。此廢水過濾裝置包括取樣泵浦、進水口、沙濾塔、出水口、過濾器、正常過濾管路、以及清洗管路。其中，取樣泵浦是用以將廢水取樣。正常過濾管路是使來自取樣泵浦的廢水經正常過濾管路中的一部分而流到沙濾塔，然后使沙濾塔中的廢水經正常過濾管路中的另一部分而流到過濾器。而清洗管路是使來自進水口的清洗水經清洗管路中的一部分而流到沙濾塔，然后使沙濾塔中的清洗水經清洗管路中的另一部分而流到出水口。
在本發明的較佳實施例中，正常過濾管路包括數個控制閥，這些控制閥的開啟及關閉是由控制電路來控制，而這些控制閥可為電動閥或電磁閥。
在本發明的較佳實施例中，清洗管路包括數個控制閥，這些控制閥的開啟及關閉是由控制電路來控制，而這些控制閥可為電動閥或電磁閥。
在本發明的較佳實施例中，過濾器可為濾紙或濾網。
在本發明的較佳實施例中，此廢水過濾裝置更包括檢測裝置。此檢測裝置耦接于過濾器，用以檢測廢水中的懸浮粒子的濃度。而此檢測裝置可為氟離子濃度檢測器。
本發明還提出一種廢水過濾裝置的控制電路。此廢水過濾裝置包括取樣泵浦、進水口、沙濾塔、出水口、過濾器、正常過濾管路、以及清洗管路。其中，取樣泵浦用以將廢水取樣。正常過濾管路使來自取樣泵浦的廢水經正常過濾管路中的一部分而流到沙濾塔，然后使沙濾塔中的廢水經正常過濾管路中的另一部分而流到過濾器，而清洗管路會使來自進水口的清洗水經清洗管路中的一部分而流到沙濾塔，然后使沙濾塔中的清洗水經清洗管路中的另一部分而流到出水口。此控制電路包括定時器、數個第一繼電器、以及數個第二繼電器。其中，在經過第一時間周期之后，此定時器會激活且持續第二時間周期。當此定時器激活時，這些第一繼電器會關閉，而當此定時器停止時，這些第一繼電器會導通。而當此定時器激活時，這些第二繼電器會導通，而當此定時器停止時，這些第二繼電器會關閉。再者，當這些第一繼電器導通時，這些第一繼電器用來控制正常過濾管路上的控制閥，以使廢水能流經正常過濾管路，而當這些第二繼電器導通時，這些第二繼電器用來控制清洗管路上的控制閥，以使清洗水能流經清洗管路。
在本發明的較佳實施例中，第一時間周期及第二時間周期可以調整。
在本發明的較佳實施例中，在第一時間周期時，定時器會停止。
在本發明的較佳實施例中，此控制電路更包括第一燈號及第二燈號。其中，在第一時間周期時，第一燈號會發亮，而在第二時間周期時，第一燈號會熄滅。而在第二時間周期時，第二燈號會發亮，而在第一時間周期時，該第二燈號會熄滅。
在本發明的較佳實施例中，正常過濾管路上的控制閥可為電動閥或電磁閥。
在本發明的較佳實施例中，清洗管路上的控制閥可為電動閥或電磁閥。
綜上所述，本發明通過將沙濾塔放置于原來的廢水過濾裝置中的過濾器(例如是濾網或濾紙)與取樣泵浦之間，使廢水先經由沙濾塔過濾而將廢水中的大部分的懸浮粒子過濾后，再送入過濾器過濾，這樣就可以大大降低過濾器的用量而避免因為檢測裝置的取樣管堵塞所造成的檢測裝置損壞問題。同時，本發明能以自動控制的方式，在一定時間之后，自動清洗沙濾塔，以延長沙濾塔的使用期限。
圖1為公知的一種廢水過濾裝置的示意圖；圖2為根據本發明一較佳實施例的廢水過濾裝置的示意圖；圖3為根據本發明一較佳實施例的廢水過濾裝置的控制電路的電路圖；圖4為根據本發明另一較佳實施例的廢水過濾裝置的控制電路的電路圖；以及圖5為根據本發明又一較佳實施例的廢水過濾裝置的控制電路的電路圖。
10，20廢水過濾裝置102，202取樣泵浦104管路106、222、224、226、228手動閥108，206過濾器110氟離子濃度檢測器204沙濾塔208檢測裝置210進水口212出水口214、216、218、220控制閥302定時器304、306、308、310、312、314、316、318、320、408、410、412繼電器
402第一燈號404第二燈號406開關具體實施方式
請參照圖2，其為根據本發明一較佳實施例的廢水過濾裝置20的示意圖。由圖2可知，廢水過濾裝置20包括取樣泵浦202、沙濾塔204、過濾器206(例如是濾網或5μm的回收濾紙)、檢測裝置208(例如是氟離子濃度檢測器)、進水口210、出水口212、多個控制閥(214-220)、以及多個手動閥(222-228)。其中，取樣泵浦202的作用為可由廢水放流口中，將廢水抽出取樣。沙濾塔204可例如包含金剛砂230及礫石232，用以過濾廢水中的大部分的懸浮粒子。過濾器206用以再過濾廢水中的懸浮粒子。檢測裝置208用以檢測廢水中的懸浮粒子的濃度。而控制閥(214-220)可例如為電動閥或電磁閥。此外，對于熟習此技藝者而言，應該注意的是，本發明的控制閥及手動閥的數目可依其需要而調整，并不局限于此實施例。
接下來將說明廢水過濾裝置20的運作方法。此運作方法可分成正常過濾廢水及清洗沙濾塔204兩方面來說明。
在正常過濾廢水時(此時為正常過濾管路)，手動閥224為關閉狀態，手動閥(222、226、以及228)為開啟狀態，控制閥(214及216)為開啟狀態，而控制閥(218及220)為關閉狀態，此時廢水會經由取樣泵浦202、手動閥226、以及控制閥214而流到沙濾塔204中。接著，沙濾塔204中的金剛砂230及礫石232會過濾廢水中的大部分的懸浮粒子。接下來，沙濾塔204中的廢水會經由控制閥216及手動閥218而流到過濾器206中。在過濾器206再過濾廢水中的懸浮粒子之后，廢水會送到檢測裝置208中，而由檢測裝置208來檢測廢水中的懸浮粒子的濃度。
而在清洗沙濾塔204時(此時為清洗管路)，手動閥224為關閉狀態，手動閥(222、226、以及228)為開啟狀態，控制閥(218及220)為開啟狀態，而控制閥(214及216)為關閉狀態，此時清洗水(例如是自來水或RO-1濃縮水)會經由進水口210、手動閥222、以及控制閥218而流到沙濾塔204中。在清洗一段時間后，沙濾塔204中的清洗水會經由控制閥220而由出水口212排出。其中，清洗沙濾塔204的時間長短系取決于廢水中的懸浮粒子的濃度。
接下來將說明如何以自動控制方式的控制電路來控制控制閥(214-220)的開啟與關閉，以切換正常過濾廢水及清洗沙濾塔204的狀態。而在說明實施例之前必須注意的是，在以下的實施例中，雖然為了方便起見僅以三種不同的實施例來說明，但本領域技術人員當知，在不脫離本發明的保護范圍之下，只要能達成正常過濾廢水及清洗沙濾塔204的切換的控制電路，都包含于本發明之中。
接下來請參照圖3，其為根據本發明一較佳實施例的廢水過濾裝置20的控制電路30的電路圖。由圖3可知，控制電路30包括定時器T1(302)及多個繼電器(304-320)。其中，定時器T1(302)在第一時間周期時，處于停止計時狀態，在經過第一時間周期后，定時器T1(302)會激活且持續第二時間周期，而第一時間周期及第二時間周期可以調整。舉例而言，定時器T1(302)每經過11分鐘后，會激活且持續1分鐘，而在1分鐘后，定時器T1(302)會停止。在此，并且假設當定時器T1(302)停止時，定時器T1(302)的電位為低準位，而當定時器T1(302)激活時，定時器T1(302)的電位為高準位。另外，當定時器T1(302)停止時，繼電器(304、306、310、316、以及320)(連接于a接點)會關閉，而繼電器(308、312、314、以及318)(連接于b接點)會導通。而當定時器T1(302)激活時，繼電器(304、306、310、316、以及320)會導通，而繼電器(308、312、314、以及318)會關閉。接下來將說明控制電路30的運作方法。在第一時間周期時，定時器T1(302)系處于停止計時狀態，此時定時器T1(302)的電位為低電位，所以繼電器304會關閉而使信號M2(如圖3所示)處于低準位。接著，由于信號M2處于低電位，所以繼電器(306、310、316、以及320)會關閉，而繼電器(308、312、314、以及318)會導通。因此，控制閥(214-216)會開啟而控制閥(218-220)會關閉，于是使廢水過濾裝置20處于正常過濾廢水的狀態。而在第二時間周期時，定時器T1(302)會激活，此時定時器T1(302)的電位為高電位，所以繼電器304會導通而使信號M2處于高準位。接著，由于信號M2處于高電位，所以繼電器(306、310、316、以及320)會導通，而繼電器(308、312、314、以及318)會關閉。因此，控制閥(214-216)會關閉而控制閥(218-220)會開啟，于是使廢水過濾裝置20處于清洗沙濾塔204的狀態。
接下來請參照圖4，其為根據本發明另一較佳實施例的廢水過濾裝置20的控制電路40的電路圖。其中，控制電路40與控制電路30之中的相同部分，請參考以上所述，在此不再贅述。而控制電路40與控制電路30的不同處在于增加了第一燈號(例如是綠燈)402、第二燈號(例如是紅燈)404、開關406、以及繼電器(408、410、以及412)。其中，開關406可切換為自動模式(亦即由定時器T1(302)來控制)、手動模式(由信號M1(如圖4所示)來控制)、以及關閉模式。另外，當定時器T1(302)停止或信號M1處于低電位時時，繼電器(408或410)(連接于b接點)會導通，而繼電器412(連接于a接點)會關閉，所以第一燈號402會發亮而第二燈號404會熄滅，以表示目前的廢水過濾裝置20處于正常過濾廢水的狀態。而當定時器T1(302)激活或信號M1處于高電位時時，繼電器(408或410)會關閉，而繼電器412會導通，所以第二燈號404會發亮而第一燈號402會熄滅，以表示目前的廢水過濾裝置20處于清洗沙濾塔204的狀態。
接下來請參照圖5，其為根據本發明另一較佳實施例的廢水過濾裝置20的控制電路50的電路圖。其中，控制電路50與控制電路40之中的相同部分，請參考以上所述，在此不再贅述。而控制電路50與控制電路40的不同處在于定時器T1(302)是以二個定時器來取代。其中一個為定時器T1(502)用來控制一天之中清洗沙濾塔204的次數，而定時器T2(504)用來控制每次清洗的時間。舉例而言，定時器T1(502)可控制24小時動作8次，1次12分鐘，而定時器T2(504)可控制在12分鐘內，清洗沙濾塔204且持續1分鐘。由于控制電路50的運作原理與控制電路40幾乎相同，因此接下來將只略述控制電路50的動作原理。當處于自動模式且定時器T1(502)停止時(此時定時器T2(504)亦停止)時，第一燈號(402)會發亮，表示目前的廢水過濾裝置20系處于正常過濾廢水的狀態。當處于自動模式且定時器T1(502)激活時(此時定時器T2(504)亦激活)，第二燈號(404)會發亮，表示目前的廢水過濾裝置20處于清洗沙濾塔204的狀態。而當處于手動模式時，第二燈號(404)會發亮，表示目前的廢水過濾裝置20處于清洗沙濾塔204的狀態，并且定時器T2(504)會激活，直到定時器T2(504)停止，才會跳回自動模式。
綜上所述，本發明通過將沙濾塔放置于原來的廢水過濾裝置中的過濾器(例如是濾網或濾紙)與取樣泵浦之間，使廢水先經由沙濾塔過濾而將廢水中的大部分的懸浮粒子過濾后，再送入過濾器過濾，這樣就可以大大降低過濾器的用量而避免因為檢測裝置的取樣管堵塞所造成的檢測裝置損壞問題。同時，本發明能以自動控制的方式，在一定時間之后，自動清洗沙濾塔，以延長沙濾塔的使用期限。
權利要求
1.一種廢水過濾裝置，其特征是，該裝置包括一取樣泵浦，其將廢水取樣；一進水口；一沙濾塔；一出水口；一過濾器；一正常過濾管路，使來自該取樣泵浦的廢水經該正常過濾管路中的一部分而流到該沙濾塔，然后使該沙濾塔中的廢水經該正常過濾管路中的另一部分而流到該過濾器；以及一清洗管路，使來自該進水口的清洗水經該清洗管路中的一部分而流到該沙濾塔，然后使該沙濾塔中的清洗水經該清洗管路中的另一部分而流到該出水口。
2.如權利要求1所述的廢水過濾裝置，其特征是，該正常過濾管路包括多個控制閥，該些控制閥的開啟及關閉是由一控制電路來控制。
3.如權利要求2所述的廢水過濾裝置，其特征是，該些控制閥為電動閥。
4.如權利要求2所述的廢水過濾裝置，其特征是，該些控制閥為電磁閥。
5.如權利要求1所述的廢水過濾裝置，其特征是，該清洗管路包括多個控制閥，該些控制閥的開啟及關閉是由一控制電路來控制。
6.如權利要求5所述的廢水過濾裝置，其特征是，該些控制閥為電動閥。
7.如權利要求5所述的廢水過濾裝置，其特征是，該些控制閥為電磁閥。
8.如權利要求1所述的廢水過濾裝置，其特征是，該過濾器為一濾紙。
9.如權利要求1所述的廢水過濾裝置，其特征是，該過濾器為一濾網。
10.如權利要求1所述的廢水過濾裝置，其特征是，更包括一檢測裝置，耦接于該過濾器，用以檢測廢水中的懸浮粒子的濃度。
11.如權利要求10所述的廢水過濾裝置，其特征是，該檢測裝置為一氟離子濃度檢測器。
12.一種廢水過濾裝置的控制電路，該廢水過濾裝置包括一取樣泵浦、一進水口、一沙濾塔、一出水口、一過濾器、一正常過濾管路、以及一清洗管路，其中該取樣泵浦用以將廢水取樣，該正常過濾管路使來自該取樣泵浦的廢水經該正常過濾管路中的一部分而流到該沙濾塔，然后使該沙濾塔中的廢水經該正常過濾管路中的另一部分而流到該過濾器，而該清洗管路系使來自該進水口的清洗水經該清洗管路中的一部分而流到該沙濾塔，然后使該沙濾塔中的清洗水經該清洗管路中的另一部分而流到該出水口，其特征是，該控制電路包括一定時器，在經過一第一時間周期之后，該定時器會激活且持續一第二時間周期；多個第一繼電器，當該定時器激活時，該些第一繼電器會關閉，而當該定時器停止時，該些第一繼電器會導通；以及多個第二繼電器，當該定時器激活時，該些第二繼電器會導通，而當該定時器停止時，該些第二繼電器會關閉；其中，當該些第一繼電器導通時，該些第一繼電器用來控制該正常過濾管路上的控制閥，以使廢水能流經該正常過濾管路，而當該些第二繼電器導通時，該些第二繼電器用來控制該清洗管路上的控制閥，以使清洗水能流經該清洗管路。
13.如權利要求12所述的廢水過濾裝置的控制電路，其特征是，該第一時間周期可以調整。
14.如權利要求12所述的廢水過濾裝置的控制電路，其特征是，該第二時間周期可以調整。
15.如權利要求12所述的廢水過濾裝置的控制電路，其特征是，在該第一時間周期時，該定時器停止。
16.如權利要求12所述的廢水過濾裝置的控制電路，更包括一第一燈號，在該第一時間周期時，該第一燈號會發亮，而在該第二時間周期時，該第一燈號會熄滅；以及一第二燈號，在該第二時間周期時，該第二燈號會發亮，而在該第一時間周期時，該第二燈號會熄滅。
17.如權利要求12所述的廢水過濾裝置的控制電路，其特征是，該正常過濾管路上的控制閥為電動閥。
18.如權利要求12所述的廢水過濾裝置的控制電路，其特征是，該正常過濾管路上的控制閥為電磁閥。
19.如權利要求12所述的廢水過濾裝置的控制電路，其特征是，該清洗管路上的控制閥為電動閥。
20.如權利要求12所述的廢水過濾裝置的控制電路，其特征是，該清洗管路上的控制閥為電磁閥。
全文摘要
一種廢水過濾裝置及其控制電路。本發明通過將沙濾塔放置于原來的廢水過濾裝置中的過濾器(例如是濾網或濾紙)與取樣泵浦之間，使廢水先經由沙濾塔過濾而將廢水中的大部分的懸浮粒子過濾后，再送入過濾器過濾，這樣就可以大大降低過濾器的用量而避免因為檢測裝置的取樣管堵塞所造成的檢測裝置損壞問題。同時，本發明能以自動控制的方式，在一定時間之后，自動清洗沙濾塔，以延長沙濾塔的使用期限。
文檔編號B01D36/00GK1537664SQ0312211
公開日2004年10月20日 申請日期2003年4月18日 優先權日2003年4月18日
發明者李建平, 林宗良, 劉肇鵬, 鄭家清 申請人:旺宏電子股份有限公司