專利名稱：帶加熱器的提動閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在理化機(jī)械等中直接用于反應(yīng)氣體等工作流體的供給或用于使用這樣的反應(yīng)氣體的真空室的減壓等的提動(升)閥(ポペツト弁)，更為詳細(xì)地說，涉及用加熱器防止來自上述工作流體的生成物附著到閥構(gòu)件等的帶加熱器的提動閥。
為此，過去，提出了各種用加熱器加熱殼體和閥構(gòu)件等以防止生成物的附著的帶加熱器的提動閥。在日本專利第3005449號公報(bào)中，公開了在殼體的外面卷繞帶式加熱器并使桿狀的加熱器穿過從該閥構(gòu)件延伸的空心桿的內(nèi)部地安裝在開閉流路的閥構(gòu)件的方案。另外，在日本專利3012831號公報(bào)公開了在殼體外面安裝橡膠加熱器并在與閥構(gòu)件成一體的筒狀的保持體的外周安裝別的加熱器的方案。另外，在日本特開平82807號公報(bào)公開了將橡膠加熱器安裝于殼體的外面同時在與閥構(gòu)件成一體的空心桿的內(nèi)部內(nèi)裝柔性加熱器的方案。
這樣的現(xiàn)有的提動閥都使用具有柔性的帶式加熱器或橡膠加熱器作為加熱殼體外面的加熱器，將該加熱器卷裝于殼體的外面。
然而，這些加熱器由于通過在如硅酮橡膠那樣薄而且柔軟的絕緣性外皮內(nèi)埋入鎳金屬線等發(fā)熱體而形成，所以成本高。而且，將其卷裝于殼體的外周面是指實(shí)質(zhì)上沒有間隙地將上述發(fā)熱體卷裝在殼體的全周，所以，發(fā)熱體的長度變長，消耗電力也沒有必要地增大。另外，在上述發(fā)熱體斷線的場合，不能僅更換該發(fā)熱體，必須更換包含外皮的加熱器全體。
為了解決上述技術(shù)課題，本發(fā)明的帶加熱器的提動閥的特征在于具有閥殼、連接于該閥殼的缸、設(shè)于上述閥殼內(nèi)對閥座進(jìn)行開閉的提動式閥構(gòu)件、將前端部連接于該閥構(gòu)件并且基端部延伸到上述缸內(nèi)部的桿、通過密封構(gòu)件可自由滑動地配置于上述缸的內(nèi)部并連接于上述桿的基端部的活塞、圍住該閥殼全體地覆蓋于上述閥殼外周面的由導(dǎo)熱性材料構(gòu)成的傳熱罩、內(nèi)裝于該傳熱罩的呈桿狀的1個以上的第1加熱器，該閥殼具有第1主孔和第2主孔、連接這2個主孔的流路、設(shè)于該流路中的環(huán)狀的閥座。
按照具有上述構(gòu)成的本發(fā)明的提動閥，在閥殼的外周面覆蓋傳熱罩，在該傳熱罩內(nèi)裝桿狀的第1加熱器，所以，來自第1加熱器的熱通過上述傳熱罩均勻分散地傳遞到閥殼的外周面全體，這樣，可由低成本的桿狀加熱器通過傳熱罩有效地加熱上述閥殼的外周面全體。
上述傳熱罩最好由導(dǎo)熱性優(yōu)良而且重量輕的鋁形成。
在本發(fā)明中，可在上述傳熱罩的外面設(shè)置用于防止向外部的熱傳遞的絕熱罩。該絕熱罩形成為在絕熱板的內(nèi)面安裝用于使來自上述傳熱罩的熱擴(kuò)散的熱擴(kuò)散板的構(gòu)成，最好通過設(shè)置間隔構(gòu)件保持一定空隙地安裝于上述傳熱罩，上述絕熱板最好由氟橡膠或發(fā)泡氟橡膠形成。
在本發(fā)明中，可在上述閥構(gòu)件安裝1個以上的第2加熱器。該第2加熱器安裝在上述閥構(gòu)件的前面的、當(dāng)閉閥時位于上述閥座的內(nèi)孔內(nèi)地面向流路的部分，同時，由加熱器罩氣密地覆蓋。
在本發(fā)明中，最好在上述閥殼的內(nèi)部配置前端具有上述閥構(gòu)件處于開閥位置時接觸的傳熱面的傳熱體，在該傳熱體安裝1個以上的第3加熱器。該傳熱體呈圓筒狀，以同心狀設(shè)置于上述桿的周圍，在設(shè)于該傳熱體的加熱器孔內(nèi)內(nèi)裝上述第3加熱器。
上述閥殼和缸也可通過用于防止從該閥殼向缸的熱傳導(dǎo)的絕熱部連接。
圖2為上述第1實(shí)施例的閉閥狀態(tài)的斷面圖。
圖3為
圖1的平面圖。
圖4為示出本發(fā)明第2實(shí)施例的開閥狀態(tài)的斷面圖。
圖5為示出本發(fā)明第3實(shí)施例的開閥狀態(tài)的斷面圖。
圖6為示出本發(fā)明第4實(shí)施例的開閥狀態(tài)的斷面圖。
上述閥開閉部2具有由不銹鋼(SUS)等材料形成的四棱柱狀的閥殼10。該閥殼10朝相互錯開90度的方向設(shè)置用于連接于上述真空室和真空泵中任一方的第1主孔11和用于連接于另一方的第2主孔12，同時，具有連接該兩個主孔11、12的上述流路14和設(shè)于該流路14的圓環(huán)狀的閥座15。
在上述閥殼10的內(nèi)部設(shè)置對閥座15進(jìn)行開閉的提動式的上述閥構(gòu)件13。該閥構(gòu)件13在呈圓板形的基材13a的下面外周安裝對上述閥座15進(jìn)行接離的橡膠制的密封構(gòu)件13b而形成，在該閥構(gòu)件13的背面中央部安裝驅(qū)動用的桿16的前端部，該桿16的基端部貫通閥殼10的端部的分隔壁17和上述絕熱部4延伸到上述缸操作部3，連接于活塞21。另外，在上述閥構(gòu)件13的背面與分隔壁17之間圍住上述桿16地安裝可自由伸縮的波紋管18。
另一方面，上述缸操作部3具有通過上述絕熱部4連接于上述閥殼10一端部的缸20。在該缸20的內(nèi)部通過密封構(gòu)件22可自由滑動地收容上述活塞21，在該活塞21的兩側(cè)形成第1壓力室24a和第2壓力室24b，這些壓力室24a、24b分別連接于在缸20的側(cè)面開口的第1操作孔25a和第2操作孔25b。圖中符號20a為封閉上述缸20的端部的缸罩。
當(dāng)從上述第1操作孔25a將壓縮空氣等壓力流體供給到第1壓力室24a時，如圖1所示那樣，由于活塞21和桿16后退，所以，該桿16的前端的閥構(gòu)件13也后退而開放上述閥座15。另外，當(dāng)上述第1操作孔25a開放并且從第2操作孔25b向第2壓力室24b內(nèi)供給壓力流體時，如圖2所示那樣，上述活塞21和桿16前進(jìn)，閥構(gòu)件13與閥座15接觸，閉鎖該閥座15。
上述第1加熱機(jī)構(gòu)5安裝于閥殼10的外面，如以下那樣構(gòu)成。即，該第1加熱機(jī)構(gòu)5在上述閥殼10具有包圍其外周面全體地覆蓋的棱柱狀的傳熱罩30。該傳熱罩30由鋁那樣的導(dǎo)熱性良好的硬質(zhì)材料具有某種程度的壁厚地形成，安裝成緊密接觸于上述閥殼10外面的狀態(tài)。該傳熱罩30可將全體一體形成，也可通過組合對例如閥殼10的四個側(cè)面剖分的構(gòu)件而形成。
在上述傳熱罩30的壁厚內(nèi)，平行于閥殼10的軸線地穿設(shè)多個加熱器孔31，在各加熱器孔31內(nèi)1個1個地插入呈桿狀的第1加熱器32。來自這些第1加熱器32的熱通過傳熱罩30均勻地分散，可均勻地傳遞到閥殼10全體。圖中符號33為從上述第1加熱器32延伸出的導(dǎo)線，連接到未由圖示出的加熱器控制電路。
另外，在上述第1加熱器32的至少一個上安裝溫度傳感器34，根據(jù)該溫度傳感器34的檢測信號由上述加熱器控制電路控制第1加熱器32的發(fā)熱溫度。該溫度傳感器34的導(dǎo)線與上述第1加熱器32的導(dǎo)線33一起導(dǎo)出到外部。上述溫度傳感器34也設(shè)置到傳熱罩30以代替設(shè)置到第1加熱器32。
在圖示實(shí)施例，上述第1加熱器32設(shè)置于傳熱罩30的四角，但這些設(shè)置位置也可在傳熱罩30的各側(cè)面的中央部，或在其它適當(dāng)?shù)奈恢?。另外，該?加熱器32的數(shù)量不限于4個，也可在3個以下或5個以上，也可根據(jù)條件僅設(shè)置1個。在設(shè)置多個第1加熱器32的場合，最好盡可能按相等間隔配置這些加熱器，以使發(fā)熱通過傳熱罩30均勻地分散。
上述桿狀的第1加熱器32可通過在電絕緣狀態(tài)下將鎳線等電阻發(fā)熱體收容于導(dǎo)熱性良好的金屬制的外筒內(nèi)而形成，但也可為其它構(gòu)成。
在上述傳熱罩30的各側(cè)面的外側(cè)，覆蓋設(shè)置用于防止從這些各側(cè)面向外部的熱傳遞的絕熱罩37。該絕熱罩37通過在由硅酮橡膠或氟橡膠或發(fā)泡氟橡膠等構(gòu)成的平板狀的絕熱板37a的內(nèi)側(cè)面安裝具有使來自上述傳熱罩30的熱擴(kuò)散的功能的薄的熱擴(kuò)散板37b而形成，由螺釘39固定在上述傳熱罩30的各側(cè)面并且通過設(shè)置隔板38而在與該傳熱罩30之間保持一定的空隙40。在該場合，最好一部分的絕熱罩37的螺釘39的前端接觸于上述第1加熱器32而兼作為該第1加熱器32的固定用。
上述熱擴(kuò)散板37b可由鋁等傳熱性材料形成，但也可為這以外的材料。另外，在圖示實(shí)施例中，上述絕熱罩37分成4塊，但它們也可在整體上為一體，或一體接合鄰接的2塊絕熱罩37、37。
由于第1加熱機(jī)構(gòu)5具有這樣的構(gòu)成，所以，上述各第1加熱器32的發(fā)熱沿上述傳熱罩30傳遞而均勻地分散到罩全體，均勻地傳遞到閥殼10外周面全體。這樣，即使上述閥殼10由SUS那樣的傳熱性不太好的材料形成，也可由低成本的桿狀的加熱器32通過上述傳熱罩30有效地加熱其外周面全體。
另外，由于上述傳熱罩30的外面由絕熱罩37圍住，所以，沒有熱量從該傳熱罩30傳遞到周邊設(shè)備和人體等的危險(xiǎn)性，安全性也高。而且，在該場合，由于將熱擴(kuò)散板37b安裝于絕熱罩37的內(nèi)面，所以，即使在靠近第1加熱器32的部分的溫度局部較高的場合，其熱也由該熱擴(kuò)散板37b分散到絕熱罩37全體，在該絕熱罩37不作用局部高溫，所以該絕熱罩37的耐久性提高，同時，絕熱效果也提高。而且，由于在上述絕熱罩37與傳熱罩30之間設(shè)置空隙40，所以，由該空隙可進(jìn)一步提高絕熱效果。然而，上述絕熱罩37也可覆蓋設(shè)置成與傳熱罩30接觸的狀態(tài)。
另外，當(dāng)由氟橡膠形成上述絕熱罩37時，不僅耐熱性良好，而且可防止西洛奇(シロキ)酸氣體等有害氣體的產(chǎn)生，還可獲得與硅酮橡膠相同或高于它的絕熱性，如使用發(fā)泡氟橡膠，則可進(jìn)一步提高絕熱性。
另外，上述第2加熱機(jī)構(gòu)6安裝于上述閥構(gòu)件13。即，在該閥構(gòu)件13的前面，由螺釘41可自由裝拆地將一個以上的第2加熱器42安裝到閉閥時位于上述閥座15的內(nèi)孔內(nèi)而與流路14相向的部分，同時，由螺釘44氣密而且可自由裝拆地對覆蓋該第2加熱器42的加熱器罩43進(jìn)行安裝。上述第2加熱器42適合使用在呈圓板形或圓環(huán)形或螺旋形的外皮內(nèi)收容發(fā)熱體的加熱器，但其外形形狀也可為直桿狀或圓弧狀。另外，也可在該第2加熱器42內(nèi)內(nèi)裝溫度傳感器。
從上述第2加熱器42引出的導(dǎo)線45貫通閥構(gòu)件13和傳熱體50及上述分隔壁17延伸到上述絕熱部4的內(nèi)部，從該絕熱部4的側(cè)面的孔47導(dǎo)出至外部。在該場合，上述導(dǎo)線45最好不妨礙閥構(gòu)件13的開閉動作地在上述絕熱部4內(nèi)部撓曲，或如圖所示那樣形成為螺旋狀。另外，在上述第2加熱器42內(nèi)裝溫度傳感器的場合，該溫度傳感器的導(dǎo)線可與上述第2加熱器42的導(dǎo)線45一起引出到外部，也可另行導(dǎo)出。這樣，在將來自第2加熱器42的導(dǎo)線45插通的孔設(shè)置于閥構(gòu)件13的場合，存在損害該閥構(gòu)件13的表里面間的氣密性的危險(xiǎn)，但由于在該閥構(gòu)件13的前面氣密地覆蓋該孔和第2加熱器42地安裝上述加熱器罩43，所以，由該加熱器罩43保護(hù)上述第2加熱器42使其不與反應(yīng)氣體接觸，同時，可良好地保持上述閥構(gòu)件13的表里間的氣密性。
這樣，在與閥構(gòu)件13的前面的反應(yīng)氣體相接的部分安裝第2加熱器42，通過直接加熱該接觸氣體面，可確實(shí)地防止由反應(yīng)氣體的冷凝等產(chǎn)生的副生成物的附著。而且，可將上述第2加熱器42安裝于閥構(gòu)件13的前面，所以，在為了改變故障和發(fā)熱量等而更換該第2加熱器42的場合，可容易地拆下上述加熱器罩43，容易地進(jìn)行其更換作業(yè)。
另外，上述第3加熱機(jī)構(gòu)7具有在上述閥殼10的內(nèi)部的波紋管18內(nèi)沿桿16配置的上述傳熱體50和內(nèi)裝于該傳熱體50的1個以上的第3加熱器51。上述傳熱體50由鋁那樣的傳熱性優(yōu)良的金屬材料形成為圓筒狀，在上述桿16的周圍保持微小間隙地配置成同心狀，通過將其基端部由螺栓固定于上述分隔壁17，固定地設(shè)置于閥殼10內(nèi)的規(guī)定位置。在該傳熱體50的壁厚內(nèi)與該傳熱體50的中心軸線平行地形成1個以上的加熱器孔52，在該加熱器孔52內(nèi)呈桿狀的上述第3加熱器51與上述桿16平行地內(nèi)裝。另外，該傳熱體50的前端部成為環(huán)狀的傳熱面50a，該傳熱面50a如圖2所示那樣與前進(jìn)到閉閥位置的閥構(gòu)件13隔開一定距離地不相互接觸，但當(dāng)如圖1所示那樣由開閥使該閥構(gòu)件13后退時，與該閥構(gòu)件13的背面的環(huán)狀的受熱面13c相互接觸。
從上述第3加熱器51引出的導(dǎo)線53從上述絕熱部4側(cè)面的孔47導(dǎo)出到外部。在該場合，第3加熱器51不移動，所以，其導(dǎo)線53不需要撓曲或形成為螺旋狀。
上述第3加熱機(jī)構(gòu)7具有如下那樣的功能。即，如圖2所示，當(dāng)上述閥構(gòu)件13將閥座15閉鎖時，該閥構(gòu)件13從傳熱體50離開一定距離，熱量不從第3加熱器51通過該傳熱體50傳遞到受熱面13c。然而，如圖1所示，當(dāng)上述閥構(gòu)件13后退而開放閥座15時，該閥構(gòu)件13的受熱面13c接觸于上述傳熱體50前端的傳熱面50a，來自上述第3加熱器51的熱量從傳熱體50傳遞而對其進(jìn)行加熱。這樣，上述閥構(gòu)件13開閥而與大量的反應(yīng)氣體接觸時，由于該閥構(gòu)件13由第3加熱器51直接加熱，所以，其加熱非常有效，可確實(shí)地防止副生物的附著。另外，即使由伴隨著上述閥構(gòu)件13的開閉動作的上述波紋管18的伸縮使該波紋管18的內(nèi)部呼吸而一時產(chǎn)生溫度下降，由于上述第3加熱器51通過傳熱體50時常對該波紋管18的內(nèi)部進(jìn)行加熱，所以也可將該溫度下降的幅度抑制得較小，可進(jìn)行閥構(gòu)件13的高溫加熱。
在上述傳熱體50與桿16之間設(shè)置用于可進(jìn)行其相對位移的微小間隙，但在希望將來自上述第3加熱器51的熱從該傳熱體50通過桿16較多地傳遞到閥構(gòu)件13的場合，可盡可能地減小上述間隙，同時，可由鋁那樣傳熱性優(yōu)良的材料形成上述桿16。相反，在使來自上述第3加熱器51的熱不易通過傳熱體50傳遞到桿16時，可盡可能地增大上述間隙，或由陶瓷那樣的熱阻大的材料形成上述桿16或兩者都實(shí)施。
從上述第2加熱器42和第3加熱器51傳遞到桿16的熱也不易從該桿16流到活塞21側(cè)，但該熱的大部分通過在絕熱部4散熱而被隔斷，基本上不傳遞到活塞21，所以，不會因該熱而使密封構(gòu)件22劣化。然而，作為更為可靠地防止上述桿16的熱傳遞到活塞21的方法，也可將該桿16分成閥構(gòu)件13側(cè)的部分和活塞21側(cè)的部分，由熱阻大的材料形成該活塞21側(cè)的部分。
上述絕熱部4由具有多個通氣孔47的圓筒形的絕熱構(gòu)件4a形成，該絕熱構(gòu)件4a圍住上述桿16地以同心狀設(shè)置于上述閥殼10與缸20之間，由在該絕熱構(gòu)件4a內(nèi)部流通的空氣冷卻上述桿16。
圖4示出本發(fā)明的第2實(shí)施例，上述第1實(shí)施例的提動閥1A為上述閥構(gòu)件13的開閉都可由流體壓力進(jìn)行的復(fù)動式，而該第2實(shí)施形式的提動閥1B為在非操作時使閥構(gòu)件13處于閉閥位置的常閉形式而且由液體壓力進(jìn)行開閥操作的單動式的提動閥。即，在該提動閥1B中，僅在缸20的內(nèi)部的活塞21前面?zhèn)刃纬蓧毫κ?4，同時，在缸20的側(cè)面形成連通到該壓力室24的1個操作孔25。在上述活塞21的后面?zhèn)刃纬蓮椈墒?6，在該彈簧室56內(nèi)時常朝閉閥方向?qū)ι鲜龌钊?1施加彈性力地設(shè)置螺旋狀復(fù)位彈簧57。圖中符號56a為朝外氣開放上述彈簧室56的呼吸孔。
因此，當(dāng)不向上述壓力室24供給壓力流體時，閥構(gòu)件13由上述復(fù)位彈簧57的彈性力推壓到閥座15而閉閥。當(dāng)從操作孔25向上述壓力室24供給壓力流體時，由于活塞21反抗上述復(fù)位彈簧57的彈性力后退，所以，上述閥構(gòu)件13從閥座15離開而開閥。
該第2實(shí)施例的上述以外的構(gòu)成實(shí)質(zhì)上與第1實(shí)施例相同，所以，在這些主要的同一構(gòu)成部分采用與第1實(shí)施例相同的符號，省略其說明。
在形成常開式提動閥的場合，與圖4的提動閥1B的缸操作部3的場合相反，在活塞21的后面?zhèn)刃纬蓧毫κ?4，同時，在活塞21的前面?zhèn)刃纬蓮椈墒?6，時常朝開閥方向?qū)ι鲜龌钊?1施加彈性力地在該彈簧室56內(nèi)設(shè)置復(fù)位彈簧57。
圖5示出本發(fā)明的第3實(shí)施形式，該第3實(shí)施例的提動閥1C與上述第1實(shí)施例的提動閥1的不同點(diǎn)在于沒有第3加熱機(jī)構(gòu)7。另外，在第2加熱機(jī)構(gòu)6設(shè)置內(nèi)裝剖分成2個部分的發(fā)熱體的第2加熱器42，從這些發(fā)熱體延伸出的導(dǎo)線45a、45b分另貫通從分隔壁17延伸的導(dǎo)桿60延伸出到絕熱部4內(nèi)，從此處導(dǎo)出到外部。對于上述以外的構(gòu)成，實(shí)質(zhì)上與第1實(shí)施例相同，所以，在這些主要的相同構(gòu)成部分采用與第1實(shí)施例相同的符號，省略其說明。
即使如該提動閥1C那樣僅有第1加熱機(jī)構(gòu)5和第2加熱機(jī)構(gòu)6，由于由這些第1和第2加熱機(jī)構(gòu)5、6對閥殼10和閥構(gòu)件13進(jìn)行效率良好的加熱，所以，也可確實(shí)地防止副生生物的附著。
圖6示出本發(fā)明的第4實(shí)施例。該提動閥1D為具有第1加熱機(jī)構(gòu)5和第2加熱機(jī)構(gòu)6的常閉式的提動閥，沒有第2實(shí)施例那樣的第3加熱機(jī)構(gòu)7和絕熱部4。該提動閥1D的桿16形成為空心狀，在該桿16的前端部附近安裝圓筒狀的彈簧導(dǎo)向構(gòu)件63，同時，在該彈簧導(dǎo)向構(gòu)件63的前端部安裝彈簧座64，在該彈簧座64與缸20的底部的分隔壁65之間，將時常朝閉閥方向?qū)﹂y構(gòu)件13施加彈性力的第1和第2復(fù)位彈簧66a、66b在波紋管18內(nèi)設(shè)置成內(nèi)外2層。
另外，在缸20的內(nèi)部將壓力室24形成于活塞21的前面?zhèn)龋瑫r，在缸20的側(cè)面形成與該壓力室24連通的1個操作孔25，在活塞21的后面?zhèn)扔?個分隔板68a、68b形成導(dǎo)線收容室69，在該收容室69內(nèi)收容從第2加熱機(jī)構(gòu)6的第2加熱器42延伸的導(dǎo)線45的、形成為螺旋狀或形成為撓曲狀態(tài)的部分45c。該導(dǎo)線45插通到上述桿16的空心部16a內(nèi)，從活塞21的背面的呼吸室71貫通一方的分隔板68a導(dǎo)入至上述收容室69內(nèi)后，貫通另一方的分隔板68b導(dǎo)出到外部。圖中符號72為導(dǎo)線保擴(kuò)用的套筒。另外，示出不將溫度傳感器34內(nèi)裝于第1加熱器32地安裝于傳熱罩30側(cè)的例子。
在該第4實(shí)施例中，當(dāng)不在上述壓力室24供給壓力流體時，上述閥構(gòu)件13由2個復(fù)位彈簧66a、66b的彈性力推壓到閥座15而閉閥。當(dāng)從操作孔25將壓力流體供給到上述壓力室24時，由于活塞21反抗上述復(fù)位彈簧66a、66b的彈性力后退，所以，上述閥構(gòu)件13從閥座15離開而開閥。
該第4實(shí)施例的上述以外的構(gòu)成實(shí)質(zhì)上與第2實(shí)施例相同，所以，對這些主要的相同構(gòu)成部分采用與該第2實(shí)施例相同的符號，省略其說明。
在上述各實(shí)施例中，示出具有第1一第3加熱機(jī)構(gòu)5-7的提動閥和第1和第2加熱機(jī)構(gòu)5和6的提動閥，但也可形成為具有第1和第3加熱機(jī)構(gòu)5和7的提動閥。這樣的提動閥例如在第1和第2實(shí)施例中，可通過省略附設(shè)于閥構(gòu)件13的第2加熱機(jī)構(gòu)6而獲得。
另外，閥殼10的形狀不限于四棱柱狀，也可呈圓柱狀和其它形狀，在這樣的場合，當(dāng)然第1加熱機(jī)構(gòu)5的傳熱罩30和絕熱罩37適合于其它形狀地形成。
這樣按照本發(fā)明的提動閥，在閥殼的外周面覆蓋傳熱罩，在該傳熱罩內(nèi)裝桿狀的第1加熱器，所以，來自該第1加熱器的熱通過上述傳熱罩均勻地分散到閥殼的外周面全體而傳遞，這樣，可由低成本的桿狀加熱器通過上述傳熱罩有效而且確實(shí)地對上述閥殼的外周面全體進(jìn)行加熱。
權(quán)利要求
1.一種帶加熱器的提動閥，其特征在于具有閥殼，該閥殼具有第1主孔和第2主孔、連接這2個主孔的流路、設(shè)于該流路中的環(huán)狀的閥座，連接于上述閥殼的缸，設(shè)于上述閥殼內(nèi)對上述閥座進(jìn)行開閉的提動式閥構(gòu)件，將前端部連接于上述閥構(gòu)件并且基端部延伸到上述缸內(nèi)部的桿，可自由滑動地配置于上述缸的內(nèi)部并連接于上述桿的基端部的活塞，圍住該閥殼全體地覆蓋于上述閥殼外周面的由導(dǎo)熱性材料構(gòu)成的傳熱罩，內(nèi)裝于上述傳熱罩的呈桿狀的1個以上的第1加熱器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提動閥，其特征在于上述傳熱罩由鋁形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的提動閥，其特征在于在上述傳熱罩的外面覆蓋設(shè)置絕熱罩。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的提動閥，其特征在于上述絕熱罩通過在絕熱板的內(nèi)面安裝用于使來自上述傳熱罩的熱擴(kuò)散的熱擴(kuò)散板而形成，通過設(shè)置間隔構(gòu)件在與該傳熱罩之間保持一定空隙地安裝于上述傳熱罩上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的提動閥，其特征在于上述絕熱板由氟橡膠或發(fā)泡氟橡膠形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的提動閥，其特征在于上述閥構(gòu)件具有1個以上的第2加熱器，該第2加熱器安裝在上述閥構(gòu)件的前面的當(dāng)閉閥時位于上述閥座的內(nèi)孔內(nèi)地面向流路的部分，同時，由加熱器罩氣密地覆蓋。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的提動閥，其特征在于在上述閥殼的內(nèi)部配置前端具有上述閥構(gòu)件處于開閥位置時接觸的傳熱面的傳熱體，在該傳熱體安裝1個以上的第3加熱器。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的提動閥，其特征在于上述傳熱體呈圓筒狀，以同心狀設(shè)置于上述桿的周圍，在設(shè)于該傳熱體的加熱器孔內(nèi)內(nèi)裝上述第3加熱器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的提動閥，其特征在于上述閥殼和缸通過用于防止從該閥殼向缸的熱傳導(dǎo)的絕熱部而相連接。
全文摘要
一種帶加熱器的提動閥，其中，閥殼10具有主孔11、12、連接這些主孔11、12的流路14、設(shè)于該流路14中的環(huán)狀的閥座15、對該閥座15進(jìn)行開閉的提動式的閥構(gòu)件13、及連接于該閥構(gòu)件13的桿16，在該閥殼10的外周面圍住該閥殼10全周地覆蓋由導(dǎo)熱性材料構(gòu)成的傳熱罩30，在設(shè)于該傳熱罩30的加熱器孔31內(nèi)安裝呈桿狀的第1加熱器32。這樣，可使用低成本的桿狀加熱器有效地加熱提動閥的殼體的外周面全體。
文檔編號B01J3/02GK1428528SQ0215048
公開日2003年7月9日 申請日期2002年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月25日
發(fā)明者福田守 申請人:速睦喜股份有限公司