專利名稱：溶解有氣體的清洗水用配水管路的制作方法
技術領域：
本發明涉及溶解有氣體的清洗水用配水管路。更具體地說，本發明涉及供溶解有氣體的清洗水用的配水管路，它能夠將溶解有自分解氣體的清洗水從主管道配送到具有多個遠距離用戶點的支管中，同時在所有用戶點都保持幾乎恒定的氣體濃度值。
從電子材料比如半導體用的硅基片、液晶用玻璃基片和光掩膜的石英基片的表面上除去外來的顆粒對于確保產品的高質量和低缺陷率是十分重要的。為達到此目的廣泛使用了濕清洗的方法。為了除去有機和金屬污染，使用具有強氧化能力的清洗流體是有效的。通常，使用如硫酸和過氧化氫混合物(SPM清洗液)和鹽酸、過氧化氫和超純水混合物(SC2清洗液)的流體進行高溫清洗。近年來，為了降低化學品極其昂貴的成本、漂洗用超純水的成本、廢液的處理成本以及為揮發性化學蒸氣和制造清潔空氣而進行空氣調節的成本，以及減輕由于龐大的用水、大量的化學品排放和向大氣中釋放廢氣所引起的環境負擔，開始對這些濕清洗方法提出疑問，因為所有這一切都伴隨著傳統的清洗方法。
早先，發明家將臭氧溶解在純水中開發出清洗電子材料用的溶解氣體的清洗水。由溶解有臭氧的純水組成的清洗水顯示出極強的氧化能力，盡管溶解的臭氧的濃度很低，其數量只有每升幾毫克。這種水被用在污染物即有機物和金屬雜質粘結在電子材料表面的方法中。
硅基片被均勻地氧化形成一層化學氧化物的薄膜。溶解了臭氧的清洗水沒有留下殘渣，這樣就保持了被清洗的物件表面的清潔。這種水還具有另外的優點就是可以重新使用，因為臭氧分解和除去以后就又成為高純水。然而，隨著時間的增加，溶解有臭氧的清洗水中溶解的臭氧會自行分解變成氧氣。因此，通過長管配送溶解有臭氧的清洗水被認為是不現實的，因為難以保持和控制臭氧的濃度。
為此，本發明人發現，通過在配送的同時，在配送管路中將含有臭氧的氣體和純水混合，就有可能抑制臭氧濃度的下降，長距離地配送水，提出了如
圖1所示的溶有臭氧的清洗水的供應系統。氧氣和少量氮氣的混合物從氧氣儲罐1和氮氣儲罐2被送到無聲放電臭氧發生器3中，以制造臭氧和氧氣的混合物，通過噴射器和泵等在臭氧溶解設備4中將其送入用離子交換器、膜設備和紫外線氧化設備等制造的純水中。臭氧和氧的氣體混合物與純水混合形成蒸氣-液體混合物。臭氧溶解于水中形成溶解了臭氧的清洗水，它同樣是處于蒸氣-液體狀態，流入主管道5。通過自行分解將溶解于水中的臭氧轉變為氧氣。隨著處于氣相的臭氧溶解于水相，由于自行分解而導致降低的臭氧的量得到了補充。結果是水中的臭氧濃度基本上是恒定的。從支管6取出溶解有臭氧的清洗水，通過在緩沖罐中的氣-液分離設備或者利用在管路的頂部收集的氣泡的性能進行蒸氣與液體分離以后，在使用點7消耗。沒有從支管中取出的過量的溶解有臭氧的水先通過臭氧分解設備8進行分解，從水和氣相中除去臭氧，然后導入氣-液分離裝置9中從液相中分離氣相。此氣相作為廢氣排放到大氣中，水相作為廢水回收，視需要進行加工和重新使用。此溶解有臭氧的清洗水供應系統能夠輸送水的距離大于100m。
開發此溶解有臭氧的清洗水供應系統時先假設一個簡單的配送路線，比如，在從主管通過一支管直接將溶解有臭氧的清洗水供給使用點的場所。然而近年來，隨著電子材料工廠規模的擴大，越來越需要將溶解有臭氧的清洗水從主管配送到具有多個使用點的支管中。根據工廠的平面布置不同，從主管伸出的支管可以有許多不同的方式。再有，在某些情況下，由于涉及其它的設備的位置，可能需要直立的或下行的支管。這些變化會引起支管內含臭氧氣體和純水之間氣-液比例的漲落。這樣就產生了難于供應臭氧濃度均勻的清洗水的問題。
本發明的目的是提供溶解有氣體的清洗水的配水管路，即使在電子材料的濕法清洗方法中，將溶解有自行分解氣體的清洗水從主管通過遠距離傳送到具有多個使用點的支管時，該管路也能夠在所有的使用點以接近恒定的氣體濃度供應清洗水。
為解決上述問題，本發明人發現，就在從主管伸出支管的分支處剛好在上游的一點安裝管線內混合器，就有可能控制支管內部的氣體和純水的氣-液混合比，而且能夠供應氣體濃度均勻的清洗水。基于此發現，本發明人完成了本發明。
換句話說，本發明提供如下的內容(1)輸送溶解有氣體的清洗水用的配水管路，它用來在氣體存在下輸送在純水中溶解氣體形成的清洗水，其特征在于，在從主管伸出的支管的一點的剛好上游處有一管內混合器；(2)在上述的溶解有氣體的清洗水用的配水管路中，其中的氣體是臭氧和氧氣的氣態混合物；以及(3)在上述的溶解有氣體的清洗水用的配水管路中，其中通過調節管內混合器的混合操作和從主管伸出的支管方向來控制下流支管的流體的氣-液混合比。
附圖的簡要說明圖1是表明通常的溶解臭氧的清洗水供應系統的系統圖。
圖2是表明本發明的溶解有氣體的清洗水用水配送管路的一種模式的系統圖。
圖3是說明恒定臭氧濃度保持力的機理圖。
本發明的溶解有氣體的清洗水配送管路是一種在氣體存在下輸送在純水中溶解了氣體形成的清洗水的水配送管路，它包括在從主管伸出支管的那一點剛好上游處安裝的管線內混合器。本發明的水配送管路特別適用于配送用臭氧和氧氣的氣態混合物制備的溶解有臭氧的清洗水。
圖2是本發明水配水管路的一種模式的配送圖。氧氣和少量氮氣的混合物從氧氣儲罐1和氮氣儲罐被送到無聲放電臭氧發生器3中，以制造出臭氧和氧氣的氣態混合物，通過噴射器和泵等將其送到在臭氧溶解設備4中的用離子交換器、膜設備和紫外線氧化設備制造的純水中。臭氧和氧氣的氣態混合物與純水混合形成氣-液混合物。臭氧溶解在水中，形成了溶解有臭氧的清洗水，它同樣呈氣-液狀態，向下流入主管5中。本發明的水配送管路就在從主管5伸出的支管10的分支點11的上游處剛好有一個管線內混合器12。支管10具有一個或幾個使用點7。在使用點沒有使用的溶解有臭氧的清洗水通過回收管13被回收。
在本發明中使用的臭氧發生器和氣體溶解設備的類型沒有特別的限制。除了上面指出的例子以外，臭氧發生器是通過水電解產生臭氧的裝置。氣體溶解設備包括噴射型氣體溶解器和將氣體擴散進入純水的氣體擴散溶解器，以及氣體可透過膜型的溶解器，這時氣體供應在可透氣膜的一側，純水在膜的另一側，氣體通過膜溶于純水中。
在本發明的水配送管路使用的管線內混合器在理想上應該是具有高混合能力的那種，能夠將進水流中集中在主管頂部的氣泡粉碎成很小的氣泡，并將它們均勻地分散在水中，它具有盡可能小的壓力損失，并且不對運向遠處使用點的清洗水產生太大的阻力，它是清潔的、沒有污染水的傾向，而且沒有死區。這樣的混合器的例子是沒有任何驅動件的靜態混合器、機械振動類型的超聲波混合器和具有內裝渦輪和定子的管線混合器。其中沒有任何驅動件的靜態混合器是特別適當的，因為它們容易維護，完全沒有任何外來顆粒污染溶解有氣體的清洗水的可能性。對可以使用的靜態混合器的類型沒有特別的限制。例如，在管子中具有多個內插件將流體流分隔，并使用此分隔的流體和此動作形成的湍流進行攪拌的混合器、含有多邊結構的混合器和裝有多個具有分隔孔的元件，通過形成多個分隔層進行分隔和混合的混合器。其中，形成分隔的流體流的靜態混合器類型可以是最適合的。
當本發明的水配送管路被用來配送溶解有臭氧的清洗水時，希望管線內混合器對臭氧具有耐受性。換句話說，希望管線內混合器不會因為臭氧的氧化作用而劣化，對臭氧是惰性的，而且不會因為觸發臭氧的分解而降低溶解的臭氧濃度。具有對臭氧的這種耐受性的管線內混合器的例子是由氟樹脂制造的混合器，比如全氟烷氧基樹脂(PFA)、聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、表面鈍化的金屬、高純石英或玻璃制造的混合器。
在本發明的水配送管路中，管線內混合器安裝在從主管伸出的支管的分支點剛好上游的地方。結果，氣體泡被粉碎成細小的氣泡，分散在氣-液混合物流體中，使得盡管從主管伸出的支管具有角度-直著向下、水平或直著向上，但在支管中流體的氣-液混合比與主管中流體的氣-液混合比大致上是相同的。
當溶解于純水中的氣體是臭氧時，在流經主管的溶解有臭氧的清洗水中的臭氧濃度可以是基本恒定的。這是通過將由氣體溶解設備中流出的溶解有臭氧的清洗水以與含有未溶解臭氧的氣體共存的氣-液混合流體的形式進行輸送而實現的。圖3說明將臭氧濃度保持在固定水平的機理。在此圖中，水平軸表示主管的長度，而垂直軸表示溶解的臭氧的濃度。當在氣體溶解設備A中將含有臭氧的氣體供應給純水時，臭氧溶解于純水中，造成溶解的臭氧濃度迅速升高。然而隨著溶解在純水中臭氧濃度的升高，由于在水中自行分解使得臭氧的損失增加。另一方面，在氣相狀態中存在的臭氧比溶解于水中的臭氧穩定，因此伴隨著水流的未溶解氣體中存在的臭氧就溶解在水中。結果，在B點由于在水中自行分解而損失的臭氧量與溶解于水中的伴隨的未溶解氣體中的臭氧量相平衡，使得在溶解有臭氧的清洗水中的被溶解臭氧的濃度保持在接近恒定的水平。當溶解有臭氧的清洗水進一步流向主管的下游時，在伴隨的未溶解氣體中的臭氧量減少了。在C點，由于在水中自行分解而損失的臭氧量變得難于保持與從伴隨的未溶解氣體中溶解于水里的臭氧量相平衡。在此點，溶解的臭氧濃度開始逐漸減少。
在本發明的水配送管路中，希望在主管的B點和C點之間設置支管的分支點。如果在支管中的流體的氣-液混合物狀態與在主管中的氣-液混合物的狀態相同，那么從分支點流向支管的溶解有臭氧的清洗水的已溶解的臭氧濃度的變化就和在流下主管的溶解有臭氧的清洗水中的已溶解的臭氧濃度的變化相同。結果就將具有接近恒定濃度的溶解有臭氧清洗水供向一個或多個設置在支管上的使用點。當在支管中的氣-液混合流體只含有少量含臭氧的氣體時，從氣相中溶解于溶解了臭氧的清洗水中的臭氧量就很小。以后就不可能補充在含有臭氧的清洗水中由于自行分解而損失的臭氧，在清洗水中溶解的臭氧的濃度就迅速下降。在本發明的水配送管路中，管線內混合器安裝在從主管伸出支管那一點剛好上游處，以保持在支管中氣-液混合流體的狀態與在主管中氣-液混合流體的狀態相同。結果，在流向支管的溶解有臭氧的清洗水中溶解的臭氧濃度保持在接近恒定的水平。即使在支管很長并具有多個使用點的情況下，在所有的使用點都能夠供應具有幾乎恒定的溶解臭氧濃度的清洗水。
當在一個中央處所制造溶解有氣體的清洗水，并且通過水配送管路將其供應給工廠中的不同使用點時，主管經常是安裝成水平狀態的。然而，從主管分出的支管有時需要具有向上或向下的支管以便和工廠中已經安裝的其它管路、管架或機器零件連接。它們可能安裝在比主管更高或更低的位置。在有些情況下，主管可能安裝在二樓，而使用點可能安裝在一樓或三樓。即使在這樣的情況下，也必須給所有的使用點供應氣體濃度均勻的溶解有氣體的清洗水。
本發明的溶解有氣體的清洗水用的水配送管路能夠控制流入支管的流體的氣-液混合比。這是通過調節管線內混合器的混合操作和支管與主管形成的夾角來實現的。當氣-液混合流體流動時，其中的氣體傾向于聚集在管道的頂部。管線內混合器越長，就越容易將氣-液混合流體中的氣體泡打碎成為細小的氣泡，并將其均勻地分散在水中。因此，當支管以垂直向上或向下的方向伸出主管時，希望安裝一個長的管線內混合器。這樣就保證在支管中流體的氣-液混合狀態與在主管中流體的氣-液混合狀態相同。當支管以一個傾角從主管向上或向下伸出時，在支管中流體的氣-液混合狀態與主管中流體的氣-液混合狀態的差別要小于支管垂直向上或向下伸出時的差別。因此在這些情況下的管線內混合器的長度可以縮短。
即使當支管是以水平的方向從主管中伸出時，主管與支管形成的夾角還是會影響流體的氣-液混合狀態。在大多數情況下，主管與支管之間的夾角是90度。當在主管和支管中的流體的流動方向形成的夾角小時，支管中的流體有一個氣-液混合比，其與主管中的流體的混合比僅有細微的不同。當主管中流體的流動方向與支管中流體的流動方向的夾角比較大，而且支管中的流體以與主管中的流體方向相背的形式流動時，空氣氣泡在支管中的分布傾向受到限制。在本發明的水配送管路中，希望考慮這些因素來選擇管線內混合器的類型和長度。
在本發明的溶解有氣體的清洗水用水配送管路中，能夠控制流向支管的流體的氣-液混合比，并使用這些特征對溶解的臭氧的濃度進行有意的調節。比如，使用短的靜態混合器和有意地限制氣體氣泡的破碎及其分布，使它們不閉合，就可以使在支管中氣泡的分布主要取決于支管的角度。當從主管中伸出多根支管時，通過減少在接近臭氧溶解設備的分支點的氣泡分布，以及增加在較遠處的分支點的氣泡分布，可以在整個的水配送管路中實現溶解臭氧濃度的不均勻化。換句話說，通過從接近臭氧溶解設備處的主管伸出支管，以及從遠離臭氧溶解設備處的主管垂直向上伸出支管，就可以實現溶解的臭氧濃度的不均勻化。也可以向不同的使用點供應不同溶解的臭氧濃度的清洗水，即便全部清洗水都是從同一根主管供應的需要清洗水中具有較高臭氧濃度的使用點應該與從主管中垂直向上伸出的支管相連，且需要清洗水中具有較低臭氧濃度的使用點應該與從主管垂直向下伸出的支管相連。
使用本發明的溶解有氣體的清洗水用水配送管路，可以在主管的分支點控制流向支管的流體的氣-液混合比，使得流向支管的流體具有與在主管中相同的氣-液混合比。因此，即使當支管很長并具有多個使用點時，也能夠向所有的使用點供應接近恒定濃度的溶解有氣體的清洗水。
采取更積極的步驟，通過調節使得流向支管的流體的氣-液混合比在主管的上游側和下游側各不相同，從而可以在所有的使用點實現溶解的氣體濃度的不均勻化。另外，通過調節使得流向各個支管的流體的氣-液混合比各不相同，就可以從一根主管給不同的使用點供應不同溶解氣體濃度的清洗水。
在下面的一節中，利用實施例更詳細地說明本發明。然而這些實施例并不以任何方式限制本發明。
在這些實施例中，使用了具有如圖2所示的溶解有臭氧的清洗水用水配送管路。將高純度的氧氣和高純度的氮氣供應到臭氧發生器(住友精加工產品，無聲放電臭氧發生器SG-01CHU)中。含臭氧的氣體中的臭氧濃度是71g/Nm3，壓力是0.1MPa，取出該氣體通過噴射器將其注入到水壓0.25MPa、流速為20L/min(升/分鐘)的超純水管線中，以使臭氧溶解。設置主管中含臭氧氣體與純水之間的氣-液混合比為30∶70。所有的氣-液混合比都是以體積表示。
主管的內徑為16～25mm，長度為90m。在離開臭氧溶解噴射器30m、60m和90m處的幾個點上開有支管。在所有的分支點，主管和支管形成的角度都是90度。支管的內徑為12～16mm，其長度都是30m。在每根支管上相距分支點10m、20m和30m處設置使用點。90m長的主管的末端連接在返回管上。溶解有臭氧的清洗水以6L/min的流速通過每根支管。全部管道都是用PFA制造的。采用逆向返回法進行調節，可保持流體的線速度在恒定的水平。
在支管的伸出處和在其末端設置取樣口，以測量在支管末端的氣-液混合比和在分支點以及支管末端的溶解的臭氧濃度。
實施例1在從主管伸出支管的3個分支點的每一個的上游側安裝一個100cm長的靜態混合器。
在離臭氧溶解噴射器30m處，流向主管的溶解有臭氧的清洗水中的臭氧濃度是7.5mg/L，在60m處是6.0mg/L，在90m處是5.0mg/L。
每根支管都是從主管垂直向下伸出，在離主管0.5m處轉為水平方向，在0.5m處轉為向上，在0.5m處再轉為水平，在水平方向直著延伸28.5m。離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比和臭氧濃度分別是30∶70和6.0mg/L。離臭氧溶解噴射器60m處伸出的支管氣-液混合比和臭氧濃度分別是30∶70和5.0mg/L。離臭氧溶解噴射器90m處伸出的支管氣-液混合比和臭氧濃度分別是30∶70和4.3mg/L。
然后，支管以水平方向從主管中伸出，整個30m的支管以直線的方式延伸。離臭氧溶解噴射器30m伸出的支管，其中的氣-液混合比為30∶70。
最后，支管從主管垂直向上伸出，在離主管0.5m處轉為水平，然后在0.5m處轉為垂直向下，其余的28.5m支管在0.5m處以水平的方向沿直線延伸。在離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比是30∶70。
實施例2
進行與實施例1相同的操作，只是靜態混合器的長度改為50cm。
當支管從主管垂直向下伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m的支管的氣-液混合比和臭氧濃度分別為25∶75和5.5mg/L。在60m處伸出的支管的氣-液混合比為25∶75，而臭氧濃度為4.3mg/L。在90m處伸出的支管的氣-液混合比為25∶75，而臭氧濃度為3.5mg/L。
當支管從主管中以水平方向伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比為30∶70，在60m處伸出的支管的氣-液混合比為30∶70，而臭氧濃度為5.0mg/L。
當支管從主管中以垂直向上的方向伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比為35∶65，在90m處伸出的支管的氣-液混合比為35∶65，而臭氧濃度為4.7mg/L。
實施例3進行與實施例1相同的操作，只是靜態混合器的長度改為20cm。
當支管從主管垂直向下伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m的支管的氣-液混合比和臭氧濃度分別為15∶85和3.3mg/L。在60m處伸出的支管的氣-液混合比為15∶85，而臭氧濃度為2.5mg/L。在90m處伸出的支管的氣-液混合比為15∶85，而臭氧濃度為2.0mg/L。
當支管從主管中以水平方向伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比為25∶75。
當支管從主管中以垂直向上的方向伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比為40∶60。
比較例1進行與實施例1相同的操作，只是不使用靜態混合器。
當支管從主管垂直向下伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m的支管的氣-液混合比和臭氧濃度分別為0∶100和1.5mg/L。在60m處伸出的支管的氣-液混合比為0∶100，而臭氧濃度為1.2mg/L。在90m處伸出的支管的氣-液混合比為0∶100，而臭氧濃度為1.0mg/L。
當支管從主管中以水平方向伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比為10∶90。
當支管從主管中以垂直向上的方向伸出時，在離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比為50∶50。
實施例4在從主管伸出支管的3個分支點中每一個的上游側安裝一個20cm長的靜態混合器。
從主管伸出的每根支管以與水平方向30度的角度向下伸出，在離主管0.5m處轉為水平方向，然后在0.5m處以30度的角度向上轉，在0.5m處轉向水平方向，剩下的28.5m沿水平方向延伸。在離臭氧溶解噴射器30m處伸出的支管的氣-液混合比和臭氧濃度分別為22∶78和4.6mg/L。
然后，支管以與水平方向呈30度的角度向下伸出，在離主管0.5m處轉為水平方向，然后在0.5m處轉為向下30度的角度，之后又在0.5m處轉為水平，剩下的28.5m管長沿著水平方向延伸。離臭氧溶解器30m伸出的支管，其中的氣-液混合比為28∶72。在60m處伸出的支管的氣-液混合比為28∶72，臭氧濃度為4.8mg/L。
最后，支管在與主管的夾角為45度的方向向下延伸，在離主管0.5m處轉為水平，然后在0.5m處轉為向下45度的角度，并又在0.5m處轉為水平，其余的28.5m支管以水平的方向沿直線延伸。在離臭氧溶解器30m處伸出的支管的氣-液混合比是35∶65。在90m處伸出的支管的氣-液混合比為35∶65，臭氧濃度為4.7mg/L。
表1顯示在實施例1～4和比較例1中得到的氣-液混合比。
表1
表1表明，在使用了100cm長靜態混合器的實施例1中，氣體的氣泡被粉碎并且分布在分支點，支管的氣-液混合比等于主管的氣-液混合比。當如在實施例2和實施例3中所做的，將靜態混合器的長度縮短時，在分支點處的氣泡分散沒有完成。在主管上部的氣體氣泡比例增大，隨著支管的角度不同，在支管中的氣-液混合比有不同程度的改變。當在比較例1中所示不使用靜態混合器時，在主管上部的氣泡濃度變得十分明顯，使空氣氣泡不能進入垂直向下伸出的支管。在實施例4中，使用了與實施例3所使用的同樣長度的靜態混合器。但是實施例4中的氣-液混合比要比實施例3更接近主管的氣-液混合比，因為支管不是垂直地向上或向下轉彎的。這表明可以通過改變靜態混合器的長度和支管的角度來調節支管中流體的氣-液混合比。
表2表明在實施例1～4和比較例1中得到的臭氧濃度。
表2 在主管分支點的臭氧濃度在30m為7.5mg/L；在60m為6.0mg/L；在90m為5.0mg/L。
表2表明，在安裝了長度為100cm的靜態混合器的實施例1中，氣體氣泡被粉碎并分散在分支點，在垂直向上伸出的每根支管的末端都保持高的臭氧濃度。當在實施例2中靜態混合器的長度被縮短時，在分支點的氣體氣泡分散變得不完全，引起主管上部氣體氣泡比例上升。當支管以水平方向或垂直向上轉彎時，得到高的臭氧濃度。當支管垂直向下伸出時，得到低的臭氧濃度。當在實施例3中將靜態混合器的長度進一步縮短時，在垂直向下轉彎的支管末端的臭氧濃度就變得甚至更低。當在比較例1中不使用靜態混合器時，在主管上部集中了氣體氣泡。結果，在垂直向下伸出的支管末端的臭氧濃度就變得極低。在實施例4中，靜態混合器的長度與在實施例3中使用的一樣。但是臭氧濃度比實施例3要高，這是因為支管的方向沒有垂直向上或垂直向下。這表明可以通過改變靜態混合器的長度和支管的夾角來調節流向支管的溶解有臭氧的清洗水中的臭氧濃度。
通過使用本發明的溶解有氣體的清洗水用水配送管路，可以在主管的分支點控制進入支管的流體的氣-液混合比，使得可以送入其氣-液混合比與主管中相同的氣-液混合流體。為此，可以向所有使用點供應具有接近恒定濃度的溶解有氣體的清洗水，即使當從主管中伸出很長的支管并在這些支管上設置許多使用點時。
采取更積極的步驟，可以通過調節實現在所有使用點上溶解的氣體濃度的不均勻化，使得進入支管的流體的氣-液混合比不同于在主管的上游側和下游側。另外，通過調節可以使進入各個支管的流體的氣-液混合比彼此各不相同，可以從同一根主管向不同的使用點供應不同溶解氣體濃度水平的清洗水。
權利要求
1．一種溶解有氣體的清洗水用配水管路，該管路通過在氣體存在下，將氣體溶解于純水中而進行清洗水的配送，其特征在于，在支管從主管伸出的每個點的剛好上游安裝一個管線內混合器。
2．如權利要求1所述的溶解有氣體的清洗水用配水管路，其特征在于氣體是臭氧和氧氣的氣態混合物。
3．如權利要求1所述的溶解有氣體的清洗水用配水管路，其特征在于通過調節管線內混合器的混合操作和從主管中伸出支管的夾角來控制流入支管的流體的氣-液混合比。
全文摘要
在電子材料的濕法清洗工藝中,提供了一種溶解有氣體的清洗水用的水配送管路,使其能夠向所有的使用點供應具有基本恒定的氣體濃度,即使是從主管經過長距離向具有多個使用點的支管進行配送溶解有自行分解氣體的清洗水時。一種溶解有氣體的清洗水用的水配送管路,該管路通過在氣體存在下,將氣體溶解于純水中來進行清洗水的配送,其是在從主管伸出支管的每個點的上游處安裝一個管線內混合器。
文檔編號B01F3/04GK1309095SQ0010089
公開日2001年8月22日 申請日期2000年2月14日 優先權日1998年11月16日
發明者森田博志 申請人:栗田工業株式會社