一種基板清洗裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及一種基板清洗裝置。
【背景技術】
[0002]目前，顯示基板、封裝蓋板或照明基板等基板的表面需要比較高的清潔度，對這類產品的清洗的要求比較嚴格;對于帶有凹槽的基板，在旋轉甩干的時候，凹槽內的水分很難脫離凹槽，需要長時間的高速旋轉才能被甩干，工作時間長，效率低，成本較高;此外，在通過離心將基板甩干時，中心區域的離心力較小，基板中心區域的水分很難被甩出，需要長時間的高速旋轉，工作效率較低，成本較高。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型提供了一種基板清洗裝置，旨在解決現有的清洗裝置在通過離心將基板甩干時，基板中心區域由于離心力較小，水分很難被甩干，造成工作效率低的問題。
[0004]為了解決以上技術問題，本實用新型通過以下技術方案實現:一種基板清洗裝置，包括槽體、轉動裝置和噴氣裝置，轉動裝置轉接在槽體內，基板水平安裝在轉動裝置上且在轉動裝置的帶動下在水平面內旋轉，噴氣裝置設置在槽體內壁上且朝向基板的中心區域噴Ho
[0005]進一步，噴氣裝置由至少一根噴氣管構成。便于控制氣流的方向。
[0006]進一步，噴氣裝置的噴氣方向與基板的夾角在10°?70°。在這個角度內，氣流可以更容易將水珠吹離中心區域。此外在這個角度內，使得噴氣方向與基板存在傾斜角，再結合基板的高速旋轉，可以使氣流流經整個基板，可以將帶有凹槽基板的凹槽內水分吹出，然后通過離心甩出，提高了工作效率。
[0007]進一步，所述轉動裝置包括旋轉電機和固定在旋轉電機轉軸上的安裝座，基板安裝在安裝座上。
[0008]進一步，安裝座為一個轉盤，所述轉盤的上表面固定有多個限位柱，基板卡接在限位柱之間；轉盤的上表面設有至少三個支撐塊，基板放置在支撐塊的頂端。拆裝方便，工作效率高。
[0009]進一步，基板為方形，安裝座由一個固定在旋轉電機轉軸上的圓盤和均布在圓盤周邊上的四個支板構成，每個支板上分別設有一個支撐塊和兩個用于卡住基板角的限位柱。
[0010]進一步，所述支撐塊和限位柱的上端均具有彈性。有利于保護基板不受損壞。
[0011]進一步，所述限位柱由一根剛性立柱和設置在剛性立柱上方的彈性套構成，基板的角卡接在彈性套上。有利于保護基板，而且在彈性作用下，基板卡的更牢固。
[0012]進一步，所述槽體的內壁上設有朝向基板的噴水管。可以提高清洗效果。
[0013]進一步，所述噴水管至少有兩個且朝向基板的上下兩個表面噴水。可以提高清洗效果。
[0014]進一步，所述基板是顯示基板、封裝蓋板或照明基板。
[0015]與現有技術相比本實用新型的優點是:本實用新型可用于帶凹槽或表面光滑的基板，1、本實用新型中設有轉動裝置，轉動裝置轉接在槽體內，槽體可以防止水外泄，保持整潔。2、基板水平安裝在轉動裝置上且在轉動裝置的帶動下在水平面內旋轉;一方面，在清洗時，通過轉動裝置緩慢轉動基板，擦拭基板時更加均勻；另一方面，在高速旋轉時，可以將基板快速甩干。3、在高速旋轉對基板進行甩干時，在基板中心區域的離心力較小，水珠很難被甩出，需要長時間的高速旋轉才可將水珠甩離中心區域;設置噴氣裝置，可以快速將水珠吹離基板中心區域，水珠被甩出，提高了工作效率。4、對于帶凹槽的基板，當噴氣裝置噴向基板的中心區域時，氣流會沿著基板分散，可以將的凹槽內水分順利吹出，結合高速離心可以將凹槽內的水分順利甩出，提高了工作效率。5、在甩干時，相對單獨采用轉動裝置，噴氣裝置與轉動裝置的結合可以用較低的轉速，節約了成本。
【附圖說明】
[0016]下面結合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0017]圖1為本實用新型的結構不意圖；
[0018]圖2為本實用新型俯視時的結構不意圖；
[0019]圖3為在圖2的基礎上安裝上基板后的結構示意圖；
[0020]圖4為本實用新型在整臺機器上的使用狀態示意圖。
【具體實施方式】
[0021]參閱圖1、圖2和圖3，一種基板清洗裝置，包括槽體1、轉動裝置和噴氣裝置，轉動裝置轉接在槽體I內，基板01水平安裝在轉動裝置上且在轉動裝置的帶動下在水平面內旋轉，噴氣裝置設置在槽體I內壁上且朝向基板OI的中心區域噴氣。
[0022]參閱圖1，噴氣裝置由至少一根噴氣管4構成。噴氣管4與基板01的夾角可選擇20°、30°、50°和60°等，可以順利將基板01中心區域、凹槽或死角位置的水吹離，再結合高速離心，可以提高甩干的效率。噴氣管4可以彎曲來改變噴氣的角度，但一直吹向基板OI的中心區域。
[0023]參閱圖1和圖2，轉動裝置包括旋轉電機和固定在旋轉電機轉軸2上的安裝座3，基板01安裝在安裝座3上，旋轉電機固定在槽體I底部的中心。轉盤的上表面固定有多個限位柱34，基板01卡接在限位柱34之間；轉盤的上表面設有至少三個支撐塊33，基板01放置在支撐塊33的頂端。
[0024]基板01的形狀不受限制，可以為圓形、方形和多邊形等;下面以方形為實施例進行說明，其余形狀原理相同。
[0025]當基板01為方形時，參閱圖1、圖2和圖3，安裝座3由一個固定在旋轉電機轉軸2上的圓盤31和均布在圓盤31周邊上的四個支板32構成，每個支板32上分別設有一個支撐塊33和兩個用于卡住基板01角的限位柱34。支撐塊33和限位柱34的上端均具有彈性。所述限位柱34由一根剛性立柱和設置在剛性立柱上方的彈性套構成，基板01的角卡接在彈性套上；彈性套由長壽命且化學穩定的塑料制作而成，例如peek，PTFE，PFA等。
[0026]參閱圖1，槽體I的內壁上設有朝向基板01的噴水管5。所述噴水管5至少有兩個且朝向基板OI的上下兩個表面噴水。
[0027]基板01是顯示基板、封裝蓋板或照明基板等。
[0028]下面結合整臺機器對本清洗裝置的工作原理進行說明，參閱圖1至圖4，工作時，首先將基板01卡接在安裝座3上，然后旋轉電機帶動旋轉電機轉軸2轉動，旋轉電機轉軸2通過安裝座3帶動基板01轉動，第二機械臂71帶動毛刷輥72進入槽體I內對基板01進行擦拭，同時洗滌劑噴頭73向毛刷輥72提供洗滌劑，噴水管5有兩個，兩個噴水管5分別朝向基板01的兩個表面進行噴水，待擦拭完畢后，毛刷輥72脫離槽體I，同時兩個噴水管5停止噴水。第一機械臂61帶動高壓噴頭62進入清槽體I，高壓噴頭62向基板01進行高壓噴水，在上述過程中，基板01在旋轉電機轉軸2的帶動下，始終緩慢轉動。噴完水后，高速轉動旋轉電機轉軸2，帶動基板01進行高速旋轉，甩干基板上的水，同時噴氣管4向基板01噴氣。噴水管5和高壓噴頭62分別于兩個水槽9對應，并通過水槽9供水。
[0029 ]基板可以為塑料、玻璃、硅片和金屬等材質。
[0030]以上所述僅為本實用新型的具體實施例，但本實用新型的技術特征并不局限于此，任何本領域的技術人員在本實用新型的領域內，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實用新型的專利范圍之中。
【主權項】
1.一種基板清洗裝置，其特征是:包括槽體(I)、轉動裝置和噴氣裝置，轉動裝置轉接在槽體(I)內，基板(Ol)水平安裝在轉動裝置上且在轉動裝置的帶動下在水平面內旋轉，噴氣裝置設置在槽體(I)內壁上且朝向基板(OI)的中心區域噴氣。2.根據權利要求1所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述噴氣裝置由至少一根噴氣管(4)構成。3.根據權利要求1或2所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述噴氣裝置的噴氣方向與基板(01)的夾角在10°?70°。4.根據權利要求1所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述轉動裝置包括旋轉電機和固定在旋轉電機轉軸(2)上的安裝座(3)，基板(01)安裝在安裝座(3)上。5.根據權利要求4所述的一種基板清洗裝置，其特征是:安裝座(3)為一個轉盤，所述轉盤的上表面固定有多個限位柱(34)，基板(01)卡接在限位柱(34)之間；轉盤的上表面設有至少三個支撐塊(33)，基板(01)放置在支撐塊(33)的頂端。6.根據權利要求5所述的一種基板清洗裝置，其特征是:基板(01)為方形，安裝座(3)由一個固定在旋轉電機轉軸(2)上的圓盤(31)和均布在圓盤(31)周邊上的四個支板(32)構成，每個支板(32)上分別設有一個支撐塊(33)和兩個用于卡住基板(01)角的限位柱(34)。7.根據權利要求5或6所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述支撐塊(33)和限位柱(34)的上端均具有彈性。8.根據權利要求7所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述限位柱(34)由一根剛性立柱和設置在剛性立柱上方的彈性套構成，基板(01)的角卡接在彈性套上。9.根據權利要求1所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述槽體(I)的內壁上設有至少兩個噴水管(5);噴水管(5)朝向基板(01)的上下兩個表面噴水。10.根據權利要求1所述的一種基板清洗裝置，其特征是:所述基板(01)是顯示基板、封裝蓋板或照明基板。
【專利摘要】本實用新型提供了一種基板清洗裝置，旨在解決現有的清洗裝置在通過離心將基板甩干時，基板中心區域由于離心力較小，水分很難被甩干，造成工作效率低的問題。一種基板清洗裝置，包括槽體、轉動裝置和噴氣裝置，轉動裝置轉接在槽體內，基板水平安裝在轉動裝置上且在轉動裝置的帶動下在水平面內旋轉，噴氣裝置設置在槽體內壁上且朝向基板的中心噴氣。在高速旋轉對基板進行甩干時，在基板中心區域的水珠很難被甩出，需要長時間的高速旋轉才可將水珠甩離中心區域；設置噴氣裝置，可以快速將水珠吹離基板中心區域，水珠被甩出，提高了工作效率。
【IPC分類】B08B13/00, B08B3/10, B08B5/02
【公開號】CN205324282
【申請號】CN201620064336
【發明人】甄常刮
【申請人】納晶科技股份有限公司
【公開日】2016年6月22日
【申請日】2016年1月22日