一種電子級化學品盛裝桶的清洗設備的制造方法
【專利說明】
[技術領域]
[0001]本實用新型涉及清洗機械技術領域，具體地說是一種電子級化學品盛裝桶的清洗設備。
[【背景技術】]
[0002]在大規模集成電路(IC)制造中需要使用大量高純度化學品，如RCA清洗、濕式蝕刻等。隨著IC制程技術的不斷進步，對高純電子級化學品生產分裝中的微粒子控制要求也越來越高。目前多數電子級化學品采用200L標準桶運輸，儲存。電子級化學品分裝進200L桶前必須采用高純去離子水和高純氮氣進行清洗。目前，用于電子級化學品所用200L桶均為進口產品，價格較高，故電子級化學品生產廠商都會回收。而回收桶內微粒子成分復雜，污染物含量高。現有200L桶清洗設備的微粒子控制能力弱，自動化程度低，清洗效果差，難以滿足質量越來越高的高純電子級化學品儲存需求。因此，若能提供一種新的電子級化學品200L桶清洗設備，以滿足上述需求，將具有非常重要的意義。
[【實用新型內容】]
[0003]本實用新型的目的就是要解決上述的不足而提供一種電子級化學品盛裝桶的清洗設備，具有高效的清洗效果和氮氣吹干效果，最大限度地減少了桶內液體殘留，能夠防止桶內殘余酸氣等有害氣體揮發，且操作靈活，自動化程度高。
[0004]為實現上述目的設計一種電子級化學品盛裝桶的清洗設備，包括設備主體I，所述設備主體I頂部安裝有空氣過濾器2和抽風口9，所述設備主體I內部設有用于清洗桶內連接管及桶蓋的清洗盒3，所述設備主體I上固定連接有清洗噴頭及汲取管放置盒6，所述清洗噴頭及汲取管放置盒6內置有清洗噴頭4和汲取管5，所述設備主體I底部設有滾輪輸送線13，所述滾輪輸送線13由變頻電機14驅動，所述滾輪輸送線13下方設有桶頂升傾斜裝置8。
[0005]所述設備主體I外側裝有條碼識別器11和觸摸屏操作面10，所述條碼識別器11、變頻電機14、桶頂升傾斜裝置8分別通過線路連接觸摸屏操作面10上的按鍵控制區。
[0006]所述設備主體I后側設有后部管路區域12，所述后部管路區域12內安裝有排廢栗，所述排廢栗與汲取管5連接。
[0007]所述設備主體I采用聚丙烯包覆高碳鋼制成。
[0008]所述清洗噴頭4采用特氟龍PTFE材質制成，所述清洗噴頭4為360°自旋轉式噴頭。
[0009]所述汲取管5采用特氟龍PFA軟管制成，所述汲取管5上設置有逆止閥。
[0010]所述清洗噴頭及汲取管放置盒6采用聚偏氟乙烯PVDF材質制成。
[0011]所述滾輪輸送線13采用聚氨酯或聚丙烯材質包覆不銹鋼制成。
[0012]本實用新型同現有技術相比，具有如下優點:
[0013](I)主體設備采用聚丙烯包覆高碳鋼制作，具有耐腐蝕和高潔凈度的優點；
[0014](2)頂部安裝有高效空氣過濾器和抽風口，內部具有良好的回風流場設計，從而可以有效減少設備內微粒子數量，可能達到CLASS100(—立方英尺的空間內空氣中直徑為0.5微米的塵粒不得超過100顆)等級，也可以防止回收桶內殘余酸氣等有害氣體揮發；
[0015](3)設備內用于清洗桶內連接管及桶蓋的清洗盒具有超聲波和溢流清洗，能夠快速排放和氮氣鼓泡設計等多種清洗步驟，可靈活選擇；
[0016](4)設備內清洗噴頭采用特氟龍PTFE材質的360°自旋轉清洗噴頭，具有高效的清洗效果和氮氣吹干效果；
[0017](5)汲取管采用特氟龍PFA軟管加裝逆止閥設計，可以防止液體回流，配合底部桶頂升傾斜裝置，則能夠最大限度地減少桶內液體殘留；
[0018](6)清洗噴頭及汲取管放置盒采用聚偏氟乙烯PVDF材質制作，具有溢流功能，使用去離子水能夠保持清洗噴頭和汲取管的高潔凈度；
[0019](7)設備采用觸摸屏操作面配合條碼識別器，清洗配方編制方便，操作靈活，自動化程度高；
[0020](8)設備采用流水線設計，具有滾輪輸送線，減少了操作人員的工作量，也利于減少設備微粒子顆粒的產生；
[0021](9)滾輪輸送線采用聚氨酯或聚丙烯材質包覆不銹鋼制作，能減少微粒子雜質的產生，具有高潔凈度、防腐蝕、摩擦力大等優點，該滾輪輸送線配合變頻電機采用多分段設計，輸送安全靈活。
[【附圖說明】]
[0022]圖1是本實用新型的結構不意圖；
[0023]圖中:丨、設備主體2、空氣過濾器3、清洗盒4、清洗噴頭5、汲取管6、清洗噴頭及汲取管放置盒7、桶8、桶頂升傾斜裝置9、抽風口 10、觸摸屏操作面11、條碼識別器12、后部管路區域13、滾輪輸送線14、變頻電機。
[【具體實施方式】]
[0024]下面結合附圖對本實用新型作以下進一步說明:
[0025]如附圖1所示，本實用新型包括:設備主體I，設備主體I采用聚丙烯包覆高碳鋼制成，設備主體I頂部安裝有空氣過濾器2和抽風口 9，內部具有良好的回風流場設計，設備主體I內部設有用于清洗桶內連接管及桶蓋的清洗盒3，設備主體I上固定連接有清洗噴頭及汲取管放置盒6，清洗噴頭及汲取管放置盒6內置有清洗噴頭4和汲取管5，設備主體I底部設有滾輪輸送線13，滾輪輸送線13由變頻電機14驅動，滾輪輸送線13下方設有桶頂升傾斜裝置8，設備主體I后側設有后部管路區域12，后部管路區域12內安裝有排廢栗，排廢栗與汲取管5連接。
[0026]本實用新型中，設備主體I外側裝有條碼識別器11和觸摸屏操作面10，條碼識別器U、變頻電機14、桶頂升傾斜裝置8分別通過線路連接觸摸屏操作面10上的按鍵控制區。清洗噴頭4采用特氟龍PTFE材質制成，清洗噴頭4為360°自旋轉式噴頭;汲取管5采用特氟龍PFA軟管制成，汲取管5上設置有逆止閥；清洗噴頭及汲取管放置盒6采用聚偏氟乙烯PVDF材質制成，具有溢流功能;滾輪輸送線13采用聚氨酯或聚丙烯材質包覆不銹鋼制成。
[0027]本實用新型的基本原理為:
[0028](I) 200L桶通過自動包覆滾輪輸送線，自動運輸到桶頂升傾斜裝置；
[0029](2)通過條碼識別器識別桶類別自動選擇清洗配方；
[0030](3)人工將桶內連接管和桶蓋放置到清洗盒內；
[0031 ] (4)通過空氣過濾器和抽風口控制設備內潔凈度，防止微粒子污染和有害氣體揮發；
[0032](5)放置清洗噴頭和汲取管到200L桶內，通過清洗噴頭噴灑去離子水和高純氮氣，外加汲取管透過后部管路區域安裝的排廢栗將廢液抽走；
[0033](6)采用觸摸屏操作面操作設備，按之前配置好的清洗配方自動清洗；
[0034](7)清洗結束后將清洗噴頭和汲取管放置到清洗噴頭及汲取管放置盒內，保持潔凈；
[0035](8)從清洗盒內將桶內連接管及桶蓋安裝到桶上，啟動按鈕結束清洗制程，桶自動運輸到下一步制程設備中。
[0036]本實用新型并不受上述實施方式的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實質與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種電子級化學品盛裝桶的清洗設備，其特征在于:包括設備主體(I)，所述設備主體(I)頂部安裝有空氣過濾器(2)和抽風口(9)，所述設備主體(I)內部設有用于清洗桶內連接管及桶蓋的清洗盒(3)，所述設備主體(I)上固定連接有清洗噴頭及汲取管放置盒(6)，所述清洗噴頭及汲取管放置盒(6)內置有清洗噴頭(4)和汲取管(5)，所述設備主體(I)底部設有滾輪輸送線(13)，所述滾輪輸送線(13)由變頻電機(14)驅動，所述滾輪輸送線(13)下方設有桶頂升傾斜裝置(8)。2.如權利要求1所述的電子級化學品盛裝桶的清洗設備，其特征在于:所述設備主體(I)外側裝有條碼識別器(11)和觸摸屏操作面(10)，所述條碼識別器(11)、變頻電機(14)、桶頂升傾斜裝置(8)分別通過線路連接觸摸屏操作面(10)上的按鍵控制區。3.如權利要求1或2所述的電子級化學品盛裝桶的清洗設備，其特征在于:所述設備主體(I)后側設有后部管路區域(12)，所述后部管路區域(12)內安裝有排廢栗，所述排廢栗與汲取管(5)連接。4.如權利要求3所述的電子級化學品盛裝桶的清洗設備，其特征在于:所述設備主體(I)采用聚丙稀包覆高碳鋼制成。5.如權利要求4所述的電子級化學品盛裝桶的清洗設備，其特征在于:所述清洗噴頭(4)采用特氟龍PTFE材質制成，所述清洗噴頭(4)為360°自旋轉式噴頭。6.如權利要求5所述的電子級化學品盛裝桶的清洗設備，其特征在于:所述汲取管(5)采用特氟龍PFA軟管制成，所述汲取管(5)上設置有逆止閥。7.如權利要求6所述的電子級化學品盛裝桶的清洗設備，其特征在于:所述清洗噴頭及汲取管放置盒(6)采用聚偏氟乙烯PVDF材質制成。8.如權利要求7所述的電子級化學品盛裝桶的清洗設備，其特征在于:所述滾輪輸送線(13)采用聚氨酯或聚丙烯材質包覆不銹鋼制成。
【專利摘要】本實用新型涉及一種電子級化學品盛裝桶的清洗設備，包括設備主體(1)，設備主體(1)頂部安裝有空氣過濾器(2)和抽風口(9)，設備主體(1)內部設有用于清洗桶內連接管及桶蓋的清洗盒(3)，設備主體(1)上固定連接有清洗噴頭及汲取管放置盒(6)，清洗噴頭及汲取管放置盒(6)內置有清洗噴頭(4)和汲取管(5)，設備主體(1)底部設有滾輪輸送線(13)，滾輪輸送線(13)由變頻電機(14)驅動，滾輪輸送線(13)下方設有桶頂升傾斜裝置(8)；本實用新型同現有技術相比，結構新穎、簡單，具有高效的清洗效果和氮氣吹干效果，最大限度地減少了桶內液體殘留，能夠防止桶內殘余酸氣等有害氣體揮發，且操作靈活，自動化程度高。
【IPC分類】B08B9/30
【公開號】CN205183284
【申請號】CN201521004829
【發明人】岳佳佳, 簡建至, 簡水村
【申請人】冠禮控制科技（上海）有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年12月4日