水平連續式真空等離子處理機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及PCB領域，特別是涉及一種水平連續式真空等離子處理機。
【背景技術】
[0002]等離子除膠渣是現PCB行業生產中的一段制程，尤其在柔性多層電路板中具有重要環節。PCB在鉆孔時因高速旋轉，導致孔內溫度過度而融化了板中的樹脂，這些樹脂在鉆孔高速旋轉就產生了膠渣，如果膠渣去除不凈，將會造成內層連接不良或孔比結合不良問題甚至斷路問題，所以電鍍前需要先除膠渣。
[0003]目前運用在此制程的等離子設備以固定腔體式設備為主，主要為人工操作，具體工序為:作業員將板料固定或放置在料架上，送入等離子腔室內，抽真空、再按比例釋放配方氣體，電極轟擊等離子處理，完成后再從料架上拆下板料。
[0004]目前的腔體式設備在上下料時，由于為人員手動操作，容易造成板料褶皺以及表面劃傷等問題，同時腔體式設備無法與后制程接駁，從而無法建立整體生產模式。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型主要解決的技術問題是提供一種水平連續式真空等離子處理機，能夠保證靜電處理室的真空度，同時提高膠渣去除效果，減少人員直接接觸板料，并且可接駁后置水平線，做到連續性生產。
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是:提供一種水平連續式真空等離子處理機，包括:工作臺、支架和底座，所述工作臺固定于支架上，支架的下端設置底座，所述工作臺上設置有進料端、靜電處理室、出料端和輸送裝置，所述進料端與靜電處理室之間、靜電處理室與出料端之間分別設置有至少一個槽體，所述槽體與靜電處理室各自設置有隔離門與真空栗，所述靜電處理室內設置有電極，所述水平連續式真空等離子處理機還包括一 PLC控制系統。
[0007]優選的，所述進料端、槽體、靜電處理室、出料端分別設置有獨立的輸送裝置。
[0008]優選的，所述輸送裝置為滾輪。
[0009]優選的，通過齒輪、傳動鏈輪和馬達驅動。
[0010]優選的，所述馬達為伺服馬達，所述伺服馬達與PLC控制系統之間電氣連接。
[0011]優選的，所述進料端與靜電處理室之間的槽體為兩個，所述靜電處理室與出料端之間的槽體也為兩個。
[0012]優選的，所述進料端、槽體、靜電處理室、出料端分別設置有獨立的隔離門和真空栗O
[0013]優選的，所述進料端、槽體、靜電處理室、出料端內均設置有傳感器。
[0014]本實用新型的有益效果是:1、通過分步抽真空，保證了靜電處理室內的真空度；2、免去腔體式設備人員在固定料架上下板料，避免了板料褶皺以及表面劃傷等問題；3、能夠與前段制程、后段制程相接駁，提高了整個制程的自動化程度，進而提高了生產效率。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型一種水平連續式真空等離子處理機一較佳實施例的結構示意圖；
[0016]附圖中各部件的標記如下:1、工作臺，2、支架，3、底座，4、進料端，5、靜電處理室，6、出料端，7、槽體一，8、槽體二，9、槽體三，10、槽體四，11、滾輪，12、電極，13、隔離門A，14、隔咼門B，15、隔咼門C，16、隔咼門D，17、隔咼門E，18、隔咼門F0
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。
[0018]請參閱圖1，本實用新型實施例包括:
[0019]一種水平連續式真空等離子處理機，包括:工作臺1、支架2和底座3，所述工作臺I固定于支架2上，支架2的下端設置底座3，所述工作臺I上設置有進料端4、靜電處理室
5、出料端6和輸送裝置，所述進料端4與靜電處理室5之間、靜電處理室5與出料端6之間分別設置有至少一個槽體，所述槽體與靜電處理室5各自設置有隔離門與真空栗，所述靜電處理室5內設置有電極12，所述水平連續式真空等離子處理機還包括一 PLC控制系統。
[0020]在本實施例中，所述進料端4與靜電處理室5之間的槽體為兩個:槽體一 7和槽體二 8，所述靜電處理室5與出料端6之間的槽體也為兩個:槽體三9和槽體四10。
[0021]所述進料端4、槽體、靜電處理室5、出料端6分別設置有獨立的隔離門、真空栗和滾輪，所述槽體一 7和槽體四10的真空壓強值將控制在760~100 torr ;槽體二 8和槽體三9的真空壓強值將控制在100~10 torr ;靜電處理室5的真空壓強值將控制在10~0.5 torr,從而形成了過渡的“弱真空”槽體，當各槽體達到相應真空值要求后，將打開一端的隔離門，完成接送板料的動作，保證了板料的連續、水平生產。
[0022]本實用新型的工作過程如下所示:
[0023]一、進料端4和出料端6直接對接大氣環境，氣壓環境與室內相同，且可與上、下游的制程設備進行水平對接；
[0024]二、槽體一 7在傳感器感應到板料時，將自動打開隔離門A13，待板料進入后，關閉隔離門A13，再在短時間內將槽體一 7的腔體抽真空至100 torr,然后打開隔離門B14，將板料送入槽體二 8 ;
[0025]三、待板件完全進入槽體二 8時，隔離門B14關閉，槽體一 7的隔離門A13打開，引入下一片板料，并進行抽真空。槽體二 8的真空環境將控制在10 torr左右，后將打開隔離門C15，將板料迅速送入靜電處理室5 ;
[0026]四、板料進入靜電處里室5以后，關閉隔離門C15。從而在靜電處理室5中抽真空至反應所需范圍，并充入相應的反應氣體，通過電極12電擊產生電漿，利用電漿中等離子體完成所需要的反應；
[0027]五、反應完畢后，靜電處理室5的隔離門D16打開，將板料送到槽體三9。因此板料的真空環境就相應切換到相對低一等級的槽體三9中。關閉隔離門D16，然后在槽體三9達到規定的真空范圍后，打開下一段的隔離門E17，將板料送入槽體四10 ;
[0028]六、最后板料進入槽體四10以后，關閉隔離門E17，迅速打開隔離門F18，將板件送出至出料端6，便可以進入下一段制程。
[0029]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種水平連續式真空等離子處理機，其特征在于，包括:工作臺、支架和底座，所述工作臺固定于支架上，支架的下端設置底座，所述工作臺上設置有進料端、靜電處理室、出料端和輸送裝置，所述進料端與靜電處理室之間、靜電處理室與出料端之間分別設置有至少一個槽體，所述槽體與靜電處理室各自設置有隔離門與真空栗，所述靜電處理室內設置有電極，所述水平連續式真空等離子處理機還包括一 PLC控制系統。2.根據權利要求1所述的一種水平連續式真空等離子處理機，其特征在于，所述進料端、槽體、靜電處理室、出料端分別設置有獨立的輸送裝置。3.根據權利要求1或2所述的一種水平連續式真空等離子處理機，其特征在于，所述輸送裝置為滾輪。4.根據權利要求3所述的一種水平連續式真空等離子處理機，其特征在于，所述滾輪通過齒輪、傳動鏈輪和馬達驅動。5.根據權利要求4所述的一種水平連續式真空等離子處理機，其特征在于，所述馬達為伺服馬達，所述伺服馬達與PLC控制系統之間電氣連接。6.根據權利要求1所述的一種水平連續式真空等離子處理機，其特征在于，所述進料端與靜電處理室之間的槽體為兩個，所述靜電處理室與出料端之間的槽體也為兩個。7.根據權利要求1所述的一種水平連續式真空等離子處理機，其特征在于，所述進料端、槽體、靜電處理室、出料端分別設置有獨立的隔離門和真空栗。8.根據權利要求1所述的一種水平連續式真空等離子處理機，其特征在于，所述進料端、槽體、靜電處理室、出料端內均設置有傳感器。
【專利摘要】本實用新型公開了一種水平連續式真空等離子處理機，包括：工作臺、支架和底座，所述工作臺固定于支架上，支架的下端設置底座，所述工作臺上設置有進料端、靜電處理室、出料端和輸送裝置，所述進料端與靜電處理室之間、靜電處理室與出料端之間分別設置有至少一個槽體，所述槽體與靜電處理室各自設置有隔離門與真空泵，所述靜電處理室內設置有電極，所述水平連續式真空等離子處理機還包括一PLC控制系統。通過上述方式，本實用新型能夠保證靜電處理室的真空度，提高膠渣去除效果，減少人員直接接觸板料，并且可接駁后置水平線，做到連續性生產。
【IPC分類】B08B7/00
【公開號】CN204817348
【申請號】CN201520309663
【發明人】劉炯峰, 李輝煌, 張秦, 周陽
【申請人】亞智系統科技(蘇州)有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年5月14日