廢水處理裝置制造方法
【專利摘要】一種廢水處理裝置包含一淋式導引爐，其包含一槽體、一循環加熱裝置以及一淋式結構。槽體具有一進水口、一循環進水口、一循環出水口、一排水口以及一排氣口，其中，循環進水口以及排氣口設置于槽體的上半部，且循環出水口以及排水口設置于槽體的下半部。循環加熱裝置用以將槽體下半部的廢水抽出槽體外加熱至一循環溫度，并將加熱的廢水經由循環進水口引入槽體。淋式結構設置于槽體內的上半部，用以使廢水形成多個較小水流灑下，其中，廢水中的特定成分氣化并經由排氣口抽離槽體。上述廢水處理裝置能夠大幅節省能源，并達到較高的回收效率。
【專利說明】廢水處理裝置【技術領域】
[0001]本實用新型是有關一種廢水處理裝置，特別是一種從廢水中分離出特定成分的廢水處理裝置。
【背景技術】
[0002]半導體工藝經常會產生廢氣或廢水，為了符合環保法規，廢氣或廢水中的特定成分需降低至標準值以下才能進行排放。舉例而言，氨(NH3)常被應用于蝕刻、外延或清潔等半導體工藝，而未經反應的氨則從半導體裝置中排出。因此，在半導體工藝的后端需進行廢氣處理，以將氨從廢氣或廢水中去除，以符合環保法規。
[0003]已知處理含有氨的廢氣或廢水的方法主要有酸吸收法以及燃燒法。酸吸收法是以硫酸或磷酸等來吸附氨，并將氨轉化為硫酸銨液或磷酸銨液再進行排放，但仍需符合環保法令的相關規定。燃燒法則是將廢氣進行燃燒排放，其導致較高的維修以及操作成本。此外，上述方法無法回收氨再利用。
[0004]綜上所述，提供一種以較低操作成本即可從廢水中分離出特定成分的廢水處理裝置便是目前極需努力的目標。
實用新型內容
[0005]本實用新型提供一種廢水處理裝置，其是以一淋式導引爐使廢水以較小水流型式灑下，以提升廢水中特定成分氣化的效率，進而使特定成分自廢水中分離出來。
[0006]本實用新型一實施例的廢水處理裝置是用以自一廢水中分離出一特定成分。廢水處理裝置包含一淋式導引爐，其包含一槽體、一循環加熱裝置以及一淋式結構。槽體具有一進水口、一循環進水口、一循環出水口、一排水口以及一排氣口，其中，廢水經由進水口引入至槽體，循環進水口以及排氣口設置于槽體的上半部，且循環出水口以及排水口設置于槽體的下半部。循環加熱裝置設置于循環進水口以及循環出水口之間，用以將槽體下半部的廢水抽出槽體外加熱至一循環溫度，并將加熱的廢水經由循環進水口引入槽體。淋式結構設置于槽體內的上半部，用以使廢水形成多個較小水流灑下，其中，廢水中的特定成分氣化并經由排氣口抽離槽體。
[0007]本實用新型另一實施例的含氨廢水處理裝置是用以自一廢水中分離出氨。廢水處理裝置包含一淋式導引爐，其包含一槽體、一循環加熱裝置以及一淋式結構。槽體具有一進水口、一循環進水口、一循環出水口、一排水口以及一排氣口，其中，廢水經由進水口引入至槽體，循環進水口以及排氣口設置于槽體的上半部，且循環出水口以及排水口設置于槽體的下半部。循環加熱裝置設置于循環進水口以及循環出水口之間，用以將槽體下半部的廢水抽出槽體外加熱至一循環溫度,并將加熱后的廢水經由循環進水口引入槽體。淋式結構設置于槽體內的上半部，用以使廢水形成多個較小水流灑下，其中，廢水中的氨氣化并經由排氣口抽離槽體。
[0008]以下經由具體實施例配合所附的附圖詳加說明，當更容易了解本實用新型的目 的、技術內容、特點及其所達成的功效。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為一示意圖，顯示本實用新型一實施例的廢水處理裝置。
[0010]符號說明:
[0011]10 淋式導引爐
[0012]11 槽體
[0013]12 循環加熱裝置
[0014]13 淋式結構
[0015]20 第一熱交換器
[0016]30 第二熱交換器
[0017]CIP 循環進水口
[0018]COP 循環出水口
[0019]GOP 排氣口
[0020]GSC 氣態的特定成分
[0021]IP 進水口
[0022]LCff 較低濃度廢水
[0023]OP 排水 口
[0024]SC 特定成分
[0025]W 廢水
【具體實施方式】
[0026]本實用新型的一實施例的廢水處理裝置是用以自一廢水中分離出一特定成分。舉例而言，廢水可為半導體產業或光電產業的半導體工藝所產生的含氨的廢氣或廢水，但不限于此。可以理解的是，含氨的廢氣可利用純水來吸收氨而形成含氨的廢水。后續即可利用本實用新型的廢水處理裝置將氨自廢水中分離出來再利用。
[0027]請參照圖1，本實用新型的一實施例的廢水處理裝置一淋式導引爐10。淋式導引爐10則包含一槽體11、一循環加熱裝置12以及一淋式結構13。槽體11具有一進水口 IP、一循環進水口 CIP、一循環出水口 C0P、一排水口 OP以及一排氣口 G0P。廢水W可經由進水口 IP引入至槽體11。循環進水口 CIP以及排氣口 GOP設置于槽體11的上半部，而循環出水口 COP以及排水口 OP則設置于槽體11的下半部。
[0028]循環加熱裝置12是設置于循環進水口 CIP以及循環出水口 COP之間。循環加熱裝置12可將槽體11下半部的廢水W經由循環出水口 COP抽出槽體外加熱至一循環溫度，接著，將加熱后的廢水W經由循環進水口 CIP再引入槽體11。可以理解的是，為了減少能源的消耗，槽體11可包含一隔熱結構(未圖示)，例如槽體11的外壁可為真空雙層結構或包覆發泡材料以降低熱能的散失。隔熱結構亦可由其它現有的技術加以實現，在此不再贅述。同理，循環加熱裝置12連接至循環進水口 CIP或循環加熱裝置12連接至循環進出口COP的管路亦可包含適當的隔熱結構(未圖示)。
[0029]淋式結構13則是設置于槽體11內的上半部。淋式結構13可使廢水W形成多個較小水流自槽體上半部灑下，如此一來，廢水W中的特定成分即會有部分氣化，氣態的特定成分GSC即可經由排氣口 GOP抽離槽體11。
[0030]于一實施例中，本實用新型的廢水處理裝置更包含一第一熱交換器20，其設置于進水口 IP的上游側。第一熱交換器20可用以調整廢水W至一第一溫度。需注意者，依據實際的產線設計，此處所稱之調整一詞可能包含加熱或冷卻的意義。
[0031]于一實施例中，本實用新型的廢水處理裝置更包含一第二熱交換器30，其設置于排氣口 GOP的下游側。第二熱交換器30可用以調整經由排氣口排出的特定成分SC至一第二溫度。需注意者，依據實際的產線設計或后續處理程序的需求，第二熱交換器30的出口端所輸出的特定成分SC可為氣態或液態。同理，此處所稱的調整一詞可能包含加熱或冷卻的意義。
[0032]需注意者，圖1所示的實施例是以一第一熱交換器、一淋式導引爐以及一第二熱交換器作說明，但不限于此。本實用新型所屬【技術領域】中具有通常知識者能夠以任意數量的上述元件以及不同的組合方式設計出符合實際需求的廢水處理裝置。
[0033]以下以處理含氨的廢水來說明本實用新型的廢水處理裝置的操作流程。首先，將含氨的廢水W以第一熱交換器20調整至第一溫度。舉例而言,第一溫度的溫度范圍可為攝氏15至99度。需注意者，此流程可加以省略，而將適當溫度的廢水直接經由槽體11的進水口 IP引入槽體11。經由進水口 IP引入槽體11的廢水W可直接流至槽體11的下半部。較佳者,經由進水口 IP引入槽體11的廢水W亦可經由淋式結構13形成較小水流而自槽體11的上半部灑下。
[0034]接著，循環加熱裝置12將槽體11下半部的廢水W經由循環出水口 COP抽出槽體外加熱至一循環溫度，再將加熱后的廢水W經由循環進水口 CIP引入槽體11。于一實施例中，循環溫度的溫度范圍可為攝氏25至99度。經由環進水口 CIP引入槽體11的廢水是經由淋式結構13形成較小水流而自槽體11的上半部灑下。可以理解的是，適當溫度的廢水以較小水流灑下時，部分廢水即會氣化，如同淋浴時熱水自蓮蓬頭或花灑流出所產生的蒸氣。而氣化的廢水中則包含較高濃度的氨。可以理解的是，較細小的水流可增加廢水與空氣的接觸面積，進而提升氣化的效率。未氣化的廢水則流至槽體11的下半部，以進行下一次循環加熱。當未氣化的廢水中氨濃度降低至一設定值時，較低濃度廢水LCW即可經由排水口OP排出槽體外。
[0035]最后，包含較高濃度氨的氣化廢水可經由排氣口 GOP抽離槽體11，再經第二熱交換器30調整至一第二溫度。舉例而言，第二溫度的溫度范圍可為攝氏-10至99度。第二溫度可依據欲獲得氣態或液態的產物來決定。舉例而言，第二熱交換器30的出口端欲獲得氣態的產物，則應設定較高的第二溫度。相反的，欲獲得液態的產物，則應設定較低的第二溫度。于一實施例中，第二熱交換器30的出口端所獲得的產物，其氨濃度大于或等于18%重量百分比。
[0036]需注意者，前述實施例是自廢水中分離氨，但不限于此，其它易于氣化的特定成分亦能夠以本實用新型的廢水處理裝置將其自廢水中分離。
[0037]綜合上述，本實用新型的廢水處理裝置是以一淋式導引爐中的淋式結構使廢水以較小水流型式灑下，因此以相對較低的循環溫度即可有效促使廢水中特定成分氣化，進而使特定成分自廢水中分離出來。此外，在廢水以較小水流型式灑下時維持適當溫度即可有效促使廢水中特定成分氣化，因此，槽體內的液態廢水以抽離槽體循環加熱的方式即能夠以較少的能源維持廢水灑下時的循環溫度，因而大幅節省能源。
[0038]以上所述的實施例僅是為說明本實用新型的技術思想及特點，其目的在使熟習此項技藝的人士能夠了解本實用新型的內容并據以實施，當不能以之限定本實用新型的專利范圍，即大凡依本實用新型所揭示的精神所作的均等變化或修飾，仍應涵蓋在本實用新型的專利范圍內。
【權利要求】
1.一種廢水處理裝置，其特征在于，其用以自一廢水中分離出一特定成分，該廢水處理裝置包含: 一淋式導引爐，其包含: 一槽體，其具有一進水口、一循環進水口、一循環出水口、一排水口以及一排氣口，其中，該廢水經由該進水口引入至該槽體，該循環進水口以及該排氣口設置于該槽體的上半部，且該循環出水口以及該排水口設置于該槽體的下半部； 一循環加熱裝置，其設置于該循環進水口以及該循環出水口之間，用以將該槽體下半部的該廢水抽出該槽體外加熱至一循環溫度，并將加熱后的該廢水經由該循環進水口引入該槽體；以及 一淋式結構，其設置于該槽體內的上半部，用以使該廢水形成多個較小水流灑下，其中，該廢水中的該特定成分氣化并經 由該排氣口抽離該槽體。
2.如權利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，該循環溫度的溫度范圍為攝氏25至99度。
3.如權利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，更包含: 一第一熱交換器，其設置于該進水口的上游側，用以調整該廢水至一第一溫度。
4.如權利要求3所述的廢水處理裝置，其特征在于，該第一溫度的溫度范圍為攝氏15至99度。
5.如權利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，更包含: 一第二熱交換器，其設置于該排氣口的下游側，用以調整經由該排氣口排出的該特定成分至一第二溫度。
6.如權利要求5所述的廢水處理裝置，其特征在于，該第二溫度的溫度范圍為攝氏-10至99度。
7.如權利要求5所述的廢水處理裝置，其特征在于，該第二熱交換器的出口端為氣態或液態的該特定成分。
8.如權利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，該槽體包含一隔熱結構。
9.如權利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，該循環加熱裝置連接至該循環進水口的一管路包含一隔熱結構。
10.如權利要求1所述的廢水處理裝置，其特征在于，該循環加熱裝置連接至該循環出水口的一管路包含一隔熱結構。
11.一種含氨廢水處理裝置，其特征在于，其用以自一廢水中分離出氨，該廢水處理裝置包含: 一淋式導引爐，其包含: 一槽體，其具有一進水口、一循環進水口、一循環出水口、一排水口以及一排氣口，其中，該廢水經由該進水口引入至該槽體，該循環進水口以及該排氣口設置于該槽體的上半部，且該循環出水口以及該排水口設置于該槽體的下半部； 一循環加熱裝置，其設置于該循環進水口以及該循環出水口之間，用以將該槽體下半部的該廢水抽出該槽體外加熱至一循環溫度，并將加熱后的該廢水經由該循環進水口引入該槽體；以及 一淋式結構，其設置于該槽體內的上半部，用以使該廢水形成多個較小水流灑下，其中，該廢水中的氨氣化并經由該排氣口抽離該槽體。
12.如權利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該循環溫度的溫度范圍為攝氏25至99度。
13.如權利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，更包含: 一第一熱交換器，其設置于該進水口的上游側，用以調整該廢水至一第一溫度。
14.如權利要求13所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該第一溫度的溫度范圍為攝氏15至99度。
15.如權利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，更包含: 一第二熱交換器，其設置于該排氣口的下游側，用以調整經由該排氣口排出的氨至一第二溫度。
16.如權利要求15所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該第二溫度的溫度范圍為攝氏-10至99度。
17.如權利要求15所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該第二熱交換器的出口端為氣態氨或液態氨。
18.如權利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該槽體包含一隔熱結構。
19.如權利要求11所 述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該循環加熱裝置連接至該循環進水口的一管路包含一隔熱結構。
20.如權利要求11所述的含氨廢水處理裝置，其特征在于，該循環加熱裝置連接至該循環出水口的一管路包含一隔熱結構。
【文檔編號】C02F1/04GK203794656SQ201420075921
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年2月21日 優先權日:2014年2月21日
【發明者】楊名翔, 范尚圣 申請人:楊名翔, 范尚圣