專利名稱：：短波長紫外線放電燈和紫外線照射處理裝置的制作方法
技術領域：
：本發明涉及至少在220nm以下的波長范圍發光的短波長紫外線放電燈和搭載有該放電燈并利用從放電燈所放射的紫外線的紫外線照射處理裝置。
背景技術：
：短波長范圍的紫外線用于有害物、有機物的分解和殺菌等。特別地，220nm以下波長范圍的紫外線具有分解H-OH的能量，因而在用于分解水中所包含的有機物的紫外線照射處理裝置中加以應用。圖7示出了以往的紫外線照射處理裝置的例子。圖7是示意性地表示以往的紫外線照射處理裝置的結構的剖視圖。在圖7中，符號l表示不銹鋼制筒體(cylinder),其兩端由法蘭盤7a、7b封閉。被處理水5從入水口的法蘭盤7c側向出水口的法蘭盤7d側流動，但為了防止被處理水5的短路(shortpass)，在筒體l內在其軸線上隔開預定間隔地配置有開孔的多個圓盤狀回流板6a、6b、6c、6d、6e。符號4是短波長紫外線放電燈(以下稱為放電燈)，放射包含220nm以下波長的紫外線在內的光。作為該放電燈，一般使用低壓水銀蒸氣放電燈，該低壓水銀蒸氣放電燈是由從220nm以下波長范圍到長波長范圍具有透過性的石英玻璃管構成的。符號2是貫穿回流板6a、6b、6c、6d、6e的孔而配置的透光管。透光管2的兩端外周由法蘭盤7a、7b水密地保持。上述放電燈4被安裝在透光管2內，放電燈4所配置的空間與被處理水5隔離。另外，透光管2與放電燈4同樣是由從220nm以下波長范圍到長波長范圍具有透過性的石英玻璃構成的(透光管2和放電燈4通常平行配置多根，但在圖7中只示出了1根)。從放電燈4照射的紫外線透過透光管2而照射被處理水5。水分子H20的H-OH的鍵能為499kJ/mo1，因此，220nm以下波長的紫外線能分解水分子H20而生成OH自由基。所生成的OH自由基例如正如下式所示的那樣，將水中有機物分解成CO、C02、H20。H20+hv(185nm)—H+OH自由基CnHU3k+OH自由基一CO、C02、H20(n、m、k為正整數)接著，就圖7中的放電燈4進行詳細的說明。放電燈4包括由石英玻璃構成的管體31和配置在管體31的兩端的一對電極32a、32b。在管體31內封入有水銀作為發光金屬。而且一側的電極32b由導線3沿著放電燈4的外壁被引導到另一端側，與連接于另一側電極32a的導線3—起收納在燈頭37中，由預定的導體構成的端子能夠介由燈座38與電源進行電連接。導線3沿著放電燈4的外壁延伸，其絕緣材料必須是能耐來自放電燈4的發熱的耐熱材料。因此，作為導線3的絕緣材料，可以使用耐熱性優良的、例如ETFE(乙烯-四氟乙烯共聚物)、FEP(四氟乙烯-六氟丙烯共聚物)、PFA(全氟垸基乙烯基醚共聚物)、PTFE(聚四氟乙烯樹脂)等氟樹脂。而且在一邊往筒體l中通入預定的被處理水，一邊將預定的電源供給到放電燈4上而將其點亮時，則放射出包含185nm的紫外線在內的水銀特有的紫外線和可見光，從而發生上述有機物的分解反應，以致被處理水中的有機物變成CO、C02、H20等而得以除去。不過，放電燈4隨著紫外線輸出功率的降低，需要大概在半年1年間進行定期更換，但在以往的導線3使用氟樹脂作為絕緣包覆體的放電燈4中，更換時存在刺激氣味和對皮膚的刺激疼痛。這是利用220nm以下波長范圍的裝置特有的問題，是利用240280nm的波長范圍的紫外線照射處理裝置遇不到的現象。艮卩，氟樹脂的C-F鍵能是539kJ/mo1，因此，即使受至lj240280nm的波長范圍的紫外線的照射也不成為障礙，但被暴露在220nm以下波長范圍的紫外線下時，則氟成分從構成導線3的氟樹脂中分解。可以認為該氟與周圍的濕氣反應，從而生成有害的氟化氫或氫氟酸。當生成該氟化氫或氫氟酸時，存在如下問題與透光管2的構成材料的石英玻璃反應而在透光管2上產生白濁(發白)，在該白濁的作用下，對被處理物的照射光量降低，從而處理效率下降。另外，氟化氫或氫氟酸對人體有害，因此還存在使工作環境惡化這樣的問題。因此，提出了如下結構的紫外線照射處理裝置作為放電燈的導線，使用沒有絕緣包覆的非絕緣導線，只要對放電燈供電的供給電源未被切斷，則不能從透光管拔出放電燈(例如，參照專利文獻l)。但是，在專利文獻l所述的構造的紫外線照射處理裝置中，雖能新穎地制作該裝置，然而存在的問題是在已設置的具有以往構造的裝置的情況下，改裝需要費用和時間。另外，也存在操作者難以操作使用了非絕緣導線作為導線的放電燈這樣的問題。為了避免生成氟化氫或氫氟酸，也可以考慮例如使用非鹵素系的聚酰亞胺、聚酰胺-酰亞胺等高分子化合物和如云母那樣的無機絕緣體作為構成導線的絕緣體(例如，參照專利文獻2)。不過，這樣的非鹵素系的絕緣體與氟樹脂相比，介電常數較高，因此存在的問題是容易增加泄漏電流。艮P，氟樹脂的介電常數為2.1左右，而例如聚酰亞胺和聚酰胺-酰亞胺的介電常數為3.2以上，云母為7.0以上，大部分的鹵素系的絕緣體的介電常數具有比氟樹脂高的傾向。電介質的電容容量與介電常數成正比，因而如果介電常數較高，則對地間和逆電位間的電容容量就增大。因此，從^VXcoC(I是電流、V是電壓、C是電容容量，"是常數，"-2兀f)的關系可知，經由電容而向地、或逆電位流動的泄漏電流容易增加。通常，在紫外線照射處理裝置上搭載有多個放電燈、多個用于驅動20100kHz的高頻來穩定地點亮這些放電燈的電子鎮流器。電子鎮流器附加了如下的各種功能點亮、熄燈、全光點亮、調光點亮等遙控操作、放電燈不亮時的點亮異常顯示、電源操作盤內過熱時的溫度異常顯示、進而為了預先地防止事故的擴大的保護電路等。這些功能用數mA級的微小電流信號操縱，泄漏電流的增大即使非6常微小，也有可能引起電子鎮流器的誤動作，因此，使用聚酰亞胺、聚酰胺-酰亞胺或云母等高介電常數材料作為導線的絕緣體未必是最好的方法。專利文獻l:日本特開2002-282851號公報專利文獻2:日本特開2007-220549號公報
發明內容本發明的目的在于提供一種短波長紫外線放電燈和使用了該短波長紫外線放電燈的紫外線照射處理裝置，其中在放射包含220nm以下波長范圍的紫外線的短波長紫外線放電燈中，可以防止被處理物的處理效率的降低，對人體是安全的且運轉操作的可靠性優良。本發明涉及一種短波長紫外線放電燈，其構成為在石英玻璃管的兩端具有互相對置的一對電極，在該石英玻璃管內封入有至少在220nm以下波長范圍發光的物質，沿著所述石英玻璃管的外壁將與一側的所述電極電連接的導線引導到另一側，在與電連接于另一側的所述電極的導線相同的一側與供給電源連接，所述短波長紫外線放電燈的特征在于沿著所述石英玻璃管的外壁被引導到另一電極附近的導線在由氟樹脂絕緣體包覆的絕緣導體上具有金屬制的外裝構件。艮P，該短波長紫外線放電燈是放射包含220nm以下波長范圍的紫外線的單燈頭型的放電燈，具有沿著石英玻璃管的外壁延伸的導線。該導線在由氟樹脂絕緣體包覆導線的絕緣導體上具有金屬制的外裝構件。利用該金屬制的外裝構件，即使包覆導線的絕緣體由氟樹脂絕緣體構成，也由于在該絕緣體上設有金屬制的外裝構件，因而在由放電燈照射220nm以下的紫外線的情況下，氟樹脂并不會直接暴露在紫外線下。這樣，本發明的短波長紫外線放電燈由于導線的絕緣體的氟樹脂并不直接暴露在紫外線下，所以能防止氟化氫或氫氟酸的產生。因此，本發明的短波長紫外線放電燈對人體是安全的，進而這些氟化氫或氫氟酸不會與構成透光管的石英玻璃反應而在透光管上產生白濁，從而能夠防止對被處理物的照射光量的降低。另外，由于使用介電常數低的氟樹脂作為導線的絕緣體，因而能夠抑制泄漏電流的產生，能防止用于使放電燈點亮的電子鎮流器的誤動作，從而使運轉操作的可靠性得以提高。作為本發明的短波長紫外線放電燈的由上述氟樹脂絕緣體所包覆的絕緣導體，例如可以例示出利用氟樹脂的擠出成形、管狀包覆或帶巻繞的方法包覆在導體上而形成的絕緣導體。在這些絕緣導體中，能以低成本容易地將氟樹脂絕緣體包覆在導體上。另外，作為本發明的短波長紫外線放電燈的上述金屬制的外裝構件，例如可以例示出不銹鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金等。這些金屬的耐熱性、耐紫外線性優良，耐氧化性優異，由這些金屬制作的外裝構件的耐久性優良。另外，本發明的短波長紫外線放電燈的外裝構件是通過這些金屬的蒸鍍、管狀包覆、帶巻繞、纖維編織的方法或將這些方法加以組合而設置在上述絕緣導體上的。這些外裝構件能以低成本容易地設置在絕緣導體上。另外，本發明的短波長紫外線放電燈的特征在于沿著上述石英玻璃管的外壁將與一側的上述電極電連接的導線引導到另一側，將該導線所引導的末端與電連接于上述另一側電極的導線的末端收納在成為一體的燈頭中。該短波長紫外線放電燈容易與供給電源進行拆裝，操作很方便。本發明的紫外線照射處理裝置是將這些短波長紫外線放電燈內插于至少在220nm以下波長范圍具有透光性的透光管中而構成的。根據該紫外線照射處理裝置，經由透光管的壁將從短波長紫外線放電燈所放射的紫外線照射到被處理物上，由此例如可以用于水中有機物的分解反應處理。另外，本發明還涉及一種紫外線照射處理裝置，其構成為將兩燈頭型的短波長紫外線放電燈內插于至少在220nm以下波長范圍具有透光性的透光管中，該兩燈頭型的短波長紫外線放電燈在石英玻璃管對電極，且在該石英玻璃管內封入有至少在220nm以下波長范圍發光的物質，所述紫外線照射處理裝置的特征在于其構成是將金屬制的外裝構件設置在絕緣導體上，所述絕緣導體是由氟樹脂絕緣體包覆經由與所述短波長紫外線放電燈的一側的燈頭嵌合的燈座進行電連接的導線而成的，其中，將該導線沿著所述短波長紫外線放電燈的外壁引導到另一側，在與另一側的燈頭嵌合的燈座相同的一側與用于點亮短波長紫外線放電燈的供給電源連接。艮口，本發明的紫外線照射處理裝置將放射包括220nm以下波長范圍的紫外線的雙燈頭型的短波長紫外線放電燈內插于在220nm以下波長范圍具有透光性的透光管中，為了使維護變得容易而可以在一側將該放電燈與供給電源連接，為此具有在透光管內延伸的導線。該導線在導線由氟樹脂絕緣體包覆的絕緣導體上設有金屬制的外裝構件。由此，即使包覆導線的絕緣體由氟樹脂構成，氟樹脂也不會直接暴露在紫外線下。因此，能夠防止氟化氫或氫氟酸的產生，因而對人體是安全的，而且也不會在構成透光性的石英玻璃上產生白濁，所以能夠防止對被處理物的照射光量的降低。再者，由于使用介電常數低的氟樹脂作為絕緣體，因而能夠抑制泄漏電流的發生，故而能夠防止用于使放電燈點亮的電子鎮流器的誤動作，從而能夠謀求運轉操作可靠性的提高。作為本發明的紫外線照射處理裝置的由上述氟樹脂絕緣體包覆的絕緣導體，例如可以例示出利用氟樹脂的擠出成形、管狀包覆或帶巻繞的方法包覆在導體上而形成的絕緣導體。由此，能以低成本容易地將氟樹脂絕緣體包覆在導體上。另外，作為本發明的紫外線照射處理裝置的上述金屬制的外裝構件，例如可以例示出不銹鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金等。這些金屬的耐熱性、耐紫外線性優良，耐氧化性優異，由這些金屬制作的外裝構件的耐久性優良。另外，本發明的紫外線照射處理裝置的導線的外裝構件是通過這些金屬的蒸鍍、管狀包覆、帶巻繞、纖維編織的方法或將這些方法加以組合而設置在上述絕緣導線上。這些外裝構件能以低成本容易地設置在絕緣導線上。9根據本發明，能提供一種可以防止被處理物的處理效率的降低、對人體是安全的、且運轉操作的可靠性優良的短波長紫外線放電燈和使用了該短波長紫外線放電燈的紫外線照射處理裝置。圖l是示意性地表示本發明的一實施方式的短波長紫外線放電燈的結構的剖視圖。圖2是示意性地表示用于圖1所示的放電燈的導線的結構的剖視圖。圖3是示意性地表示圖1所示的放電燈的變形例的剖視圖。圖4是示意性地表示本發明的一實施方式的紫外線照射處理裝置的結構的剖視圖。圖5是示意性地表示用于本發明的實施例的試驗用紫外線照射處理裝置的結構的剖視圖。圖6是示意性地表示用于比較例的試驗用導線的結構的剖視圖。圖7是示意性地表示以往的紫外線照射處理裝置的結構的剖視圖。符號說明1、筒體3、60、導線5、被處理水7a、7b、7c、7d、法蘭盤21、導體23a、23b、外裝構件32a、32b、燈絲34a、34b、34c、34d、鉬箔36、罩38、50a、50b、燈座200、紫外線照射處理裝置2、透光管4、100、100A、放電燈6a、6b、6c、6d、回流板10a、10b、供電管腳22、氟樹脂絕緣體31、管體33a、33b、33c、33d、內部導線35a、35b、35c、35d、外部導線37、37a、37b、燈頭70、橡膠罩具體實施例方式以下就本發明的實施方式進行說明，但本發明并不局限于此。圖l是示意性地表示本發明的一實施方式的短波長紫外線放電燈的結構的剖視圖。此外，對與上述圖7所示的放電燈相同的構成部分標上相同的符號而簡化或省略其說明。放電燈100具有管體31，該管體31是由從220nm以下波長范圍到長波長范圍具有透過性的外徑15mm、全長1.6m的石英玻璃構成的。使管內徑、放電電流和電位傾斜度的關系匹配的放電燈100是高效率且高輸出型的。在管體31的兩端以大約1.5m的間隔對置地配置有一對燈絲(電極)32a、32b。一對燈絲32a、32b分別卡止在內部導線33a、33b、33c、33d上，經由鉬箔34a、34b、34c、34d和外部導線35a、35b、35c、35d而被保持在管體31內，并且被電導出至管體31的外部。另外，在管體31內封入有適量的水銀和稀有氣體。另外，放電燈100在一側具有用于保護管端部的陶瓷制的罩36，在另一側具有作為導電部的具有供電管腳10a、10b的陶瓷制的燈頭37。導線60的一端被壓接連接在與一側的燈絲32b電連接的外部導線35c上，沿著管體31的外壁被引導到另一側的燈絲32a附近，導線60的另一端在燈頭37中通過軟釬焊焊接在供電管腳10b上。燈絲32a的外部導線35b也在燈頭37內通過軟釬焊焊接在供電管腳10a上，構成所謂的單燈頭型放電燈的形態。如圖2所示，導線60是如下形成的用由FEP(四氟乙烯-六氟丙烯共聚物)的擠出成形所制作的氟樹脂絕緣體22對由截面積約為0.6mn^的銅制的股線導線構成的導體21進行絕緣而得到絕緣導體，在該絕緣導體上將厚度為150ixm、寬度為8mm的鋁制帶巻繞成螺旋狀作為外裝構件23a，進而在該帶上編織外徑為500um的鋁纖維作為外裝構件23b。在此，利用FEP的擠出成形，將氟樹脂絕緣體22包覆在由股線導線構成的導體21上而進行絕緣，但是除此以外，例如也可以利用管狀包覆、帶巻繞來進行包覆。另外，作為氟樹脂絕緣體22，除了上述的FEP以外，例如也能使用ETFE、PFA、PTFE等公知的氟樹脂。另外，作為外裝構件23a、23b的材質，使用了鋁，但除此以外，只要是耐熱性、耐紫外線特性優良且難以氧化的金屬，就沒有特別的限定，例如優選的是不銹鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金。將該放電燈100內插于在220nm以下波長范圍具有透光性的公知的石英玻璃制的透光管(未圖示)中而構成紫外線照射處理裝置，當經由預定的電子鎮流器(未圖示)例如以1A的放電電流點亮時，則相當于放電燈100的電力的大約5。/。的7.5W被作為185nm的紫外線能量而放射，該紫外線的一部分也照射到沿著管體31的外壁延伸的導線60上。此時，作為外裝構件23a、23b，在由FEP構成的氟樹脂絕緣體22上將鋁制的帶巻繞成螺旋狀，進而在帶上編織了鋁纖維，所以紫外線不會直接照射到氟樹脂絕緣體22上。因此，能防止從導線60產生有害的氟化氫或氫氟酸，因而這些氟化氫或氫氟酸也不會與構成透光管的石英玻璃反應而在透光管上產生白濁，能防止對被處理物的照射光量的降低。另外，在導線60中，作為包覆由銅制的股線導線構成的導體21的氟樹脂絕緣體22，由于使用介電常數低的例如FEP等氟樹脂，因而難以發生泄漏電流，從而能夠防止電子鎮流器的誤動作。在此，準備數百支放電燈IOO，將這些放電燈100內插于公知的透光管中而使紫外線照射處理裝置運轉，結果沒有特別的不良情況而發揮出完滿的性能。另外，已經確認該紫外線照射處理裝置在使用了l年之后，在更換放電燈100時，安全、環境、健康方面當然不用說，而且在更換、處理、廢棄作業之際都沒有任何障礙。因此，根據本實施方式，沿著放電燈100的管體31外壁延伸的導線60的構成是在由FEP構成的氟樹脂絕緣體22上將鋁制的帶巻繞成螺旋狀、進而在該帶上編織鋁纖維作為外裝構件23a、23b，因此，即使從放電燈100放射220nm以下的紫外線，也能防止有害的氟化氫或氫氟酸的產生，從而對人體是安全的。另外，這些氟化氫或氫氟酸不會與構成透光管的石英玻璃反應而在透光管上產生白濁，從而能夠防止對被處理物的照射光量的降低。另外，使用介電常數低的氟樹脂作為包覆由股線導線構成的導體21的氟樹脂絕緣體22，因而能夠防止電子鎮流器的誤動作，從而能夠謀求運轉操作可靠性的提高。此外，在本實施方式中，使用形態如圖l所示的、與對置的電極32a、32b連接的供電管腳10a、10b被收納在燈頭37內的單燈頭型放電燈，就放電燈100和紫外線照射處理裝置進行了說明，但本發明并不局限于此。例如，也可以是形態如圖3所示的、將導線60引出到管體31的前方、12與供給電源連接器連接的放電燈100A。接著，使用圖4就本發明的一實施方式的紫外線照射處理裝置進行說明。圖4是僅示意性地表示適用雙燈頭型放電燈的紫外線照射處理裝置的結構的放電燈和透光管的部分的剖視圖。本實施方式為雙燈頭型放電燈，這一點與圖l、圖3所示的放電燈不同。此外，對與圖1和圖3所示的放電燈相同的構成部分標上相同的符號而簡化或省略其說明。紫外線照射處理裝置200是將放電燈100B內插于在220nm以下波長范圍具有透光性的透光管2中而構成的。放電燈100B是放射包含220nm以下波長范圍的紫外線的雙燈頭型放電燈。其結構是在分別與放電燈100B的兩端的電極32a、32b電連接的燈頭37a、37b上嵌合有燈座50a、50b，與燈座50b連接的導線60在透光管2內被延伸到燈座50a側，在燈座50a側可以拆裝與用于點亮上述放電燈100B的供給電源的連接。此外，導線60如上所述，與圖l、圖2、圖3所示的導線相同。在適用這樣的兩燈頭型放電燈100B的紫外線照射處理裝置200中，導線60(參照圖2)的構成也是在由氟樹脂絕緣體22包覆導體21所得到的絕緣導體上，將鋁制的帶巻繞成螺旋狀、進而編織鋁纖維作為外裝構件23a、23b，因此，即使從放電燈100B放射220nm以下的紫外線，紫外線也不會直接照射到氟樹脂絕緣體22上。因此，能夠防止從導線60產生有害的氟化氫或氫氟酸，因而對人體是安全的，再者，這些氟化氫或氫氟酸不會與構成透光管的石英玻璃反應而在透光管上產生白濁，可以防止對被處理物的照射光量的降低。另外，也難以發生泄漏電流，從而能夠防止電子鎮流器的誤動作。(其它實施方式)另外，本發明不限于上述實施方式的記載內容，在不脫離本發明的主旨的范圍內可以適當地進行變更。例如，本實施方式在導線60中，用氟樹脂絕緣體22包覆的導體21由股線導線構成，但導體21的形態是任意的，例如也能使用單線、集線或編織線。另外，在本實施方式中，就具有使導線60與一對燈絲32a、32b各自的單側連接、且設置了供電管腳10a、10b的燈頭37的即時啟動型的低壓水銀蒸氣放電燈，即在管體31之外延伸的導線60為1根的情況進行了說明，但本發明并不局限于此。例如，也可以是一對燈絲32a、32b與導線60分別連接、使燈絲32a、32b預熱之后再放電的預熱型的低壓水銀蒸氣放電燈，即在管體31之外延伸的導線60為多根。放電燈100的燈頭37的形狀也是任意的。另外，放電燈IOO、IOOA、IOOB除了上述水銀蒸氣放電燈以外，例如也能適用于準分子燈(excimerlamp)、氙燈等在220nm以下波長范圍發光的光源。這種情況也能得到與本實施方式同樣的效果。另外，在紫外線照射處理裝置中，插入放電燈IOO、IOOA、100B的透光管2不限于在其兩端具有開口部的形狀，也可以是其一端被封閉的。另外，該裝置不只限于橫型，也可以是縱型。實驗例接著，參照圖5和圖6就模擬本發明的紫外線照射處理裝置的實驗例進行說明。在該實驗例中，通過實驗確認了在圖14所示的一實施方式的導線60中，由金屬制的外裝構件包覆氟樹脂絕緣體是合適的。圖5(a)是示意性地表示本實驗所使用的試驗用紫外線照射處理裝置的結構的剖視圖。圖5(b)是在圖5(a)的A-Aa剖切的剖視圖。圖6是示意性地表示比較例所使用的試驗用導線的結構的剖視圖。(實驗例l)使用圖5(a)、圖5(b)所示的試驗用紫外線照射處理裝置，在預定期限進行試驗用導線300的紫外線耐久性試驗，其結果示于表l中。該試驗用紫外線照射處理裝置的構成是遍及兩燈頭型的低壓水銀蒸氣放電燈100B的管體的大致全長，在其周圍集束了12根相同的試驗用導線300并以鎳裸線(未圖示)綁緊之后，將該低壓水銀蒸氣放電燈100B插入到石英玻璃制的透光管2中，用橡膠罩70封閉透光管2的兩端，該低壓水銀蒸氣放電燈100B放射包含185nm的波長在內的紫外線，外徑為15mm，全長為1.6m。此外，之所以相對于l支放電燈IOOB，將試驗用導線300設定為12根，是因為可以加速從在管體之外延伸的試驗用導線300產生氟化氫或氫氟酸，從而使由石英玻璃構成的透光管2的內表面發生白濁的現象。本實驗例所使用的試驗用導線300的構成為在圖2所示的導線60中，作為導體21，使用截面積大約為0.6mn^的鍍錫的銅；作為氟樹脂絕緣體22(厚度為0.15mm)，使用ETFE;作為外裝構件23a、23b，巻繞厚度20Pm的鋁制帶，并在該帶上編織鍍錫的銅纖維。(比較例l)作為試驗用導線300，使用圖6所示的、剝離出厚度為0.15mm的由FEP構成的氟樹脂絕緣體22的導線，除此以外，與實驗例l同樣地進行，結果示于表l中。(比較例2)作為試驗用導線300，使用圖6所示的、剝離出厚度為0.15mm的由ETFE構成的氟樹脂絕緣體22的導線，除此以外，與實驗例l同樣地進行，結果示于表l中。(比較例3)作為試驗用導線300，所使用的導線是適用由厚度為0.25mm的PVC(聚氯乙烯樹脂)構成的絕緣體以代替圖6所示的氟樹脂絕緣體22、并剝離出該絕緣體所得到的，除此以外，與實驗例l同樣地進行，結果示于表1中。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>從表1可知，在使用金屬制的外裝構件作為試驗用導線300的實施例1中，導線300的外側表面雖變為黑色，但透光管2的外觀看不出變化，未產生白濁。一般認為導線300外側表面的黑色是在通過185mn的紫外線和氧而生成的臭氧的作用下，編織在最外部的鍍錫的銅纖維中的錫生成了錫氧化物。在對被處理物照射紫外線的情況下，該錫氧化物不會成為任何障礙。因此，實驗例l所用的使用了金屬制的外裝構件的導線300也能優選作為圖1所示的單燈頭型放電燈的導線使用。另外，在比較例1的、剝離出由FEP構成的氟樹脂絕緣體22的導線300(參照圖6)中，在透光管2的內側表面產生了白濁。如上所述，在對被處理物照射紫外線的情況下，該白濁導致紫外線照度的衰減。另外，成為白濁的主要原因的氟化氫或氫氟酸的產生對人體有害。因此，比較例1所使用的剝離出氟樹脂絕緣體22的導線300不適合作為圖1所示的單燈頭型放電燈的導線。另外，在比較例2的、剝離出由耐紫外線特性優良的ETFE構成的氟樹脂絕緣體22的導線300中，氟樹脂劣化而失去絕緣性。再者，透光管2的內側表面與使用了具有比較例1所示的FEP的導線的情況相比，白濁的程度很明顯。因此，剝離出比較例2所使用的氟樹脂絕緣體22的導線300不適合作為圖1所示的單燈頭型放電燈的導線。另外，在比較例3的、使用了由PVC構成的絕緣體的導線中，PVC發生劣化，由PVC包覆的導體露出。因此，剝離出比較例3所使用的PVC絕緣體的導線不適合作為圖l所示的單燈頭型放電燈的導線。因此，在導體被氟樹脂絕緣體絕緣的絕緣導體上設有金屬制的外裝構件的導線作為在放射220nm以下的紫外線的放電燈的管體之外延伸的導線是優選的。權利要求1.一種短波長紫外線放電燈，其構成為在石英玻璃管的兩端具有互相對置的一對電極，在該石英玻璃管內封入有至少在220nm以下波長范圍發光的物質，沿著所述石英玻璃管的外壁將與一側的所述電極電連接的導線引導到另一側，在與電連接于另一側的所述電極的導線相同的一側與供給電源連接，所述短波長紫外線放電燈的特征在于沿著所述石英玻璃管的外壁被引導到另一電極附近的導線在由氟樹脂絕緣體包覆的絕緣導體上具有金屬制的外裝構件。2.根據權利要求l所述的短波長紫外線放電燈，其特征在于所述由氟樹脂絕緣體所包覆的絕緣導體是利用氟樹脂的擠出成形、管狀包覆或帶巻繞的方法包覆在導體上而形成的。3.根據權利要求l所述的短波長紫外線放電燈，其特征在于所述金屬制的外裝構件由不銹鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金制成。4.根據權利要求l所述的短波長紫外線放電燈，其特征在于所述金屬制的外裝構件是通過蒸鍍、管狀包覆、帶巻繞、纖維編織的方法或將這些方法加以組合而設置在所述絕緣導體上的。5.—種短波長紫外線放電燈，其構成為在石英玻璃管的兩端具有互相對置的一對電極，在該石英玻璃管內封入有至少在220nm以下波長范圍發光的物質，沿著所述石英玻璃管的外壁將與一側的所述電極電連接的導線引導到另一側，將該導線被引導的末端與電連接于所述另一側的電極的導線的末端收納在成為一體的燈頭內，該燈頭以能夠拆裝的方式與供給電源連接，所述短波長紫外線放電燈的特征在于沿著所述石英玻璃管的外壁被引導到另一電極附近的導線在由氟樹脂絕緣體包覆的絕緣導體上具有金屬制的外裝構件。6.根據權利要求5所述的短波長紫外線放電燈，其特征在于所述由氟樹脂絕緣體所包覆的絕緣導體是利用氟樹脂的擠出成形、管狀包覆或帶巻繞的方法包覆在導體上而形成的。7.根據權利要求5所述的短波長紫外線放電燈，其特征在于所述金屬制的外裝構件由不銹鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金制成。8.根據權利要求5所述的短波長紫外線放電燈，其特征在于所述金屬制的外裝構件是通過蒸鍍、管狀包覆、帶巻繞、纖維編織的方法或將這些方法加以組合而設置在所述絕緣導體上的。9.一種紫外線照射處理裝置，其特征在于其是將權利要求18的任一項所述的短波長紫外線放電燈內插于至少在220nm以下波長范圍具有透光性的透光管中而成的。10.—種紫外線照射處理裝置，其構成為將兩燈頭型的短波長紫外線放電燈內插于至少在220nm以下波長范圍具有透光性的透光管中，該兩燈頭型的短波長紫外線放電燈在石英玻璃管的兩端具有互相對置的一對電極，且在該石英玻璃管內封入有至少在220nm以下波長范圍發光的物質，所述紫外線照射處理裝置的特征在于其構成是將金屬制的外裝構件設置在絕緣導體上，所述絕緣導體是由氟樹脂絕緣體包覆經由與所述短波長紫外線放電燈的一側的燈頭嵌合的燈座進行電連接的導線而成的，其中，將該導線沿著所述短波長紫外線放電燈的外壁引導到另一側，在與另一側的燈頭嵌合的燈座相同的一側與用于點亮所述短波長紫外線放電燈的供給電源連接。11.根據權利要求10所述的紫外線照射處理裝置，其特征在于所述由氟樹脂絕緣體所包覆的絕緣導體是利用氟樹脂的擠出成形、管狀包覆或帶巻繞的方法包覆在導體上而形成的。12.根據權利要求10所述的紫外線照射處理裝置，其特征在于所述金屬制的外裝構件由不銹鋼、鋁、鋁合金、鎳或鎳合金制成。13.根據權利要求10所述的紫外線照射處理裝置，其特征在于所述金屬制的外裝構件是通過蒸鍍、管狀包覆、帶巻繞、纖維編織的方法或將這些方法加以組合而設置在所述絕緣導體上的。全文摘要本發明提供一種短波長紫外線放電燈和紫外線照射處理裝置。本發明的目的在于在具有由氟樹脂包覆的絕緣導體、且放射波長在220nm以下的紫外線的放電燈中，能夠抑制對人體有害且成為放射光量減少的原因的氟化氫或氫氟酸的產生。本發明的放電燈具有石英玻璃管(31)、配置在其兩端的一對電極(32a、32b)、沿著上述石英玻璃管的外壁延伸的導線(60)。上述導線是由金屬制的外層構件包覆在由氟樹脂構成的絕緣體所包覆的絕緣導體而形成的。紫外線雖照射到上述導線上，但紫外線不照射到氟樹脂上，因此不會產生氟化氫或氫氟酸。文檔編號C02F1/32GK101517695SQ20078003576公開日2009年8月26日申請日期2007年9月19日優先權日2006年9月26日發明者中野浩二,江村浩司,角谷祐公,辻中則子申請人:株式會社日本光電科技;栗田工業株式會社