專利名稱：氟酸的回收方法
技術領域：
本發明涉及氟酸的回收方法，詳細來說，涉及通過蒸餾法，從玻璃基板的蝕刻工序等排出的含有二氧化硅成分和金屬成分的氟酸廢液回收氟酸的氟酸的回收方法。
背景技術：
在玻璃與玻璃基板的蝕刻中，使用例如濃度為15重量％左右的氫氟酸(以下稱為“氟酸”)，這樣的氟酸，通常在現場(on-site)由以純水稀釋約50重量％的高濃度氟酸配制。然后，在上述的蝕刻等利用氟酸的工序中，排出含有二氧化硅成分和金屬成分的氟酸廢液，但這樣的廢液含有大量在反應中未利用的氟酸，所以，期望將其回收再利用。
在氟酸利用工序中，作為從氟酸廢液簡便地回收氟酸的方法，可以列舉使用擴散透析膜的回收方法。在這樣的氟酸回收方法中，首先，使用過濾器或離心分離裝置，從氟酸廢液回收作為已分離淤泥的精制原料的氟酸廢液，接著，通過利用陰離子交換膜過濾器的擴散透析法，從氟酸廢液除去作為溶解成分的金屬離子或氟硅酸等的雜質，得到精制氟酸。由上述的擴散透析法進行的回收方法，在可以將設備小型化、能夠在現場再生氟酸方面優異。
專利文獻1日本特開2003-12305號公報但是，考慮到在從氟酸廢液回收氟酸中，以更高收率回收雜質更少的氟酸，與制造氟酸時同樣，優選利用蒸餾法回收氟酸。但是，在上述的氟酸廢液中，溶解存在有Si、B、Al、Ca、Zr等的金屬，通過蒸餾法回收，在濃縮液(被分離濃縮的氟酸廢液)中的金屬成分會析出，因此會在包含蒸餾塔的系統內產生水垢，使得設備無法運轉。此外，如通常的氟酸制造中，一旦通過蒸餾法制造氟化氫，設備規模變大，所以，從經濟的觀點出發，很難在現場實施。
發明內容
本發明是鑒于上述實際情況完成的，其目的在于提供一種通過蒸餾法從玻璃基板的蝕刻工序等排出的氟酸廢液回收氟酸的方法，該方法不產生水垢，可以以高回收率回收雜質更少的精制氟酸。
為了解決上述課題，本發明的氟酸的回收方法，通過蒸餾法，從含有金屬成分的氟酸廢液中回收氟酸，其中，具備在蒸發釜中以一定流量供給氟酸廢液、加熱，以蒸氣回收粗氟酸，同時分離濃縮廢液的粗氟酸蒸發工序；利用第一蒸餾塔蒸餾粗氟酸、分離為濃度高于粗氟酸的濃縮氟酸和回收水的第一蒸餾工序；和利用第二蒸餾塔進一步蒸餾濃縮氟酸，分離為被精制的精制氟酸和廢液的第二蒸餾工序，在上述粗氟酸的蒸發工序的氟酸廢液中添加有抑制金屬成分析出的足量的硫酸。
即，在本發明中，在粗氟酸蒸發工序中，利用蒸發釜從氟酸廢液中蒸發粗氟酸時，通過在氟酸廢液中添加硫酸，由硫酸溶解在利用蒸發釜濃縮的氟酸廢液(濃縮廢液)中未析出的金屬成分，由此，可防止蒸發釜中的水垢，防止傳熱效率下降。之后，在后段的第一和第二蒸餾工序中，蒸餾雜質極少的粗氟酸和濃縮氟酸，得到被精制的精制氟酸。
根據本發明的氟酸的回收方法，在最初的粗氟酸蒸發工序中，像蒸發釜的氟酸廢液中添加硫酸，溶解在所濃縮的氟酸廢液(濃縮廢液)中的金屬成分，因此，可以防止蒸發釜中的水垢，而且可以防止傳熱效率下降，其結果，可以以高收率回收雜質更少的精制氟酸。其后，不像現有的氟酸制造制造氟化氫，在粗氟酸蒸發工序中，從氟酸廢液直接回收氟酸，在第一和第二蒸餾工序中濃縮、精制，因此，可以使設備簡單化。
圖1是本發明的氟酸的回收方法和在該回收方法的實施中適用的氟酸回收裝置的主要部分的構成例的流程圖。
圖2是表示氟酸回收裝置中的蒸發釜加熱單元的一個例子的縱向截面圖。
圖3是表示氟酸回收裝置中的蒸發釜加熱單元的另一個例子的縱向截面圖。
圖4是表示氟酸回收裝置中的蒸發釜加熱單元的其它例子的縱向截面圖。
符號說明1...蒸發釜、11...夾套、12...管式熱交換器、13...盤管式熱交換器、14...水蒸氣供給管、15...水蒸氣排出管、21...第一蒸餾塔、22...第二蒸餾塔、41...回收水容器、42...精制氟酸容器、51...重沸器、52...重沸器、61...冷卻冷凝器、62...冷卻冷凝器、71...原料通路、72...硫酸供給通路、73...粗氟酸通路、74...廢液排出通路、81...塔底液排出通路、82...循環通路、83...濃縮氟酸通路、84...蒸氣通路、85...冷凝液通路、86...回流通路、87...回收水取出通路、89...排氣通路、91...塔底液排出通路、92...循環通路、93...塔底液回流通路、94...蒸氣通路、95...冷凝液通路、96...回流通路、97...精制氟酸取出通路具體實施方式
基于圖面說明本發明的氟酸回收方法(以下稱為“回收方法”)的實施方式。本發明的回收方法，是通過蒸餾法從玻璃或玻璃基板的蝕刻等使用的至少含有金屬成分的氟酸廢液回收氟酸的回收方法，使用圖1所示的氟酸回收裝置，主要以連續處理的方式實施。圖1是表示本發明的回收方法和在該回收方法的實施中適用的氟酸回收裝置的主要部分的構成例子的流程圖。圖2～圖4是表示氟酸回收裝置中的蒸發釜的加熱單元的例子的縱向截面圖。圖中省略了用于控制流體的切換閥河流量調整閥。此外，在以下的發明中，將氟酸廢液、粗氟酸、濃縮氟酸和精制氟酸的各氟化氫濃度稱為“濃度”。
首先，說明用于實施本發明的回收方法的氟酸回收裝置。本發明中適用的氟酸回收裝置如圖1所示，具備從應處理的氟酸廢液將粗氟酸作為蒸氣回收，且分離濃縮廢液的蒸發釜(1)；濃縮得到的粗氟酸、分離為濃縮氟酸和回收水的第一蒸餾塔(21)；和進一步精制濃縮氟酸，分離為精制氟酸和廢液(圖1中的“塔底液”)的第二蒸餾塔(22)。其中，上述的蒸發釜(1)、第一蒸餾塔(21)、第二蒸餾塔(22)和后述的容器、各通路(配管)等的設備類，使用具有耐腐蝕性的、通常以氟樹脂制造的、或以氟樹脂涂覆或內襯的設備。
蒸發釜(1)是用于加熱氟酸廢液、將粗氟酸以蒸氣狀態回收的蒸煮裝置。在蒸發釜(1)的上部，連接有導入應處理的氟酸廢液的原料通路(71)、取出蒸發后的粗氟酸的粗氟酸通路(73)和后述的添加硫酸的硫酸供給通路(72)，以及利用第二蒸餾塔(22)分離的作為廢液的塔底液返回該蒸發釜流經的塔底液回流通路(93)。此外，在蒸發釜(1)的底部，設置有排出濃縮廢液、即被濃縮的氟酸廢液的廢液排出通路(74)。
蒸發釜(1)的結構可以通過加熱單元加熱容納的氟酸廢液。作為在蒸發釜(1)使用的加熱單元，只要能夠充分蒸發來自應處理量的氟酸廢液的粗氟酸，可以使用各種加熱單元，例如，可以列舉圖2～圖4所示的夾套(11)、管式熱交換器(12)、盤管式熱交換器(13)等。
即，圖2所示的蒸發釜(1)，在釜體的外周設置有構成水蒸氣室的夾套(11)，形成將水蒸氣供給到上述水蒸氣室中、加熱釜內部的氟酸廢液的式樣。圖3所示的蒸發釜(1)，將多個傳熱管集束構成的管式熱交換器(12)插通在釜內部的蒸發釜，通過將水蒸氣供給到上述的各傳熱管中，加熱釜內部的氟酸廢液。此外，圖4所示的蒸發釜(1)，在釜內部配置有將傳熱管盤卷層疊為線圈狀而構成的盤管式熱交換器(13)，通過將水蒸氣供給到上述的傳熱管中，加熱釜內部的氟酸廢液。各圖中的符號(14)和(15)分別表示水蒸氣供給管和水蒸氣排出管。
此外，雖然未圖示，但為了提高熱交換能力，在上述的蒸發釜(1)中，在釜本體的外周設置有圖2所示的夾套(11)，且在釜內部配置有圖3所示的管式熱交換器(12)或圖4所示的盤管式熱交換器(13)，在將水蒸氣供給到夾套(11)的水蒸氣室，同時將水蒸氣供給到管式熱交換器(12)或盤管式熱交換器(13)的傳熱管中，由此，可以從釜的內外加熱氟酸廢液。其中，作為圖3所示的管式熱交換器(12)，可以利用例如淀川ヒュ一テック社生產的“PFA殼管式熱交換器”(商品名)，作為圖4所示的盤管式熱交換器(13)，可以利用該公司生產的“PFA盤管式熱交換器”(商品名)。
第一蒸餾塔(21)和第二蒸餾塔(22)是用于蒸餾精制利用蒸發釜(1)回收的粗氟酸的蒸餾塔，設置第一蒸餾塔(21)使得來自粗氟酸的水作為回收水分離、且可以得到提高濃度的濃縮氟酸。設置第二蒸餾塔(22)進一步精制濃縮氟酸，且可以得到雜質極少的精制氟酸。第一蒸餾塔(21)和第二蒸餾塔(22)是由在現有公知的蒸餾塔，即由在空塔內設置多個多孔板支架等的氣液接觸用的支架(塔板)的多層蒸餾塔、在空塔內填充有不規則或規則填充物的填充塔等構成。
第一蒸餾塔(21)的結構可將應處理的粗氟酸通過上述的粗氟酸通路(73)從蒸發釜(1)供給到塔底部。然后，在第一蒸餾塔(21)的塔底部設置有加熱粗氟酸、使其蒸發的蒸發罐，以及根據情況附設有包含圖1所示的重沸器(51)的蒸煮機構。此蒸煮機構是蒸煮第一蒸餾塔(21)的塔底部的粗氟酸的機構，具備將供給第一蒸餾塔(21)的粗氟酸從該第一蒸餾塔的塔底排出的塔底液排出通路(81)；通過與水蒸氣等的熱介質的熱交換，加熱蒸發排出的粗氟酸的重沸器(51)；和蒸氣化的粗氟酸再返回塔底部流經的循環通路(82)。
作為重沸器(51)，可以使用具備由多個傳熱管形成多個通路的多管式熱交換器的物質。然后，在重沸器(51)的上流側，從塔底液排出通路(81)分支設置有將第一蒸餾塔(21)的塔底部的循環的部分塔底液，即，將利用第一蒸餾塔(21)濃縮的濃縮氟酸供給到第二蒸餾塔(22)的濃縮氟酸通路(83)(罐底液通路)。
此外，在第一蒸餾塔(21)的塔頂設置有將被蒸餾分離的回收水蒸氣排出、供給冷卻冷凝器(61)的蒸氣通路(84)。作為冷卻冷凝器(61)，通常使用在形成有多個通路的多個傳熱管的管內流通冷卻劑且在管外通過冷凝性蒸氣(蒸餾分離的蒸氣)液化上述冷凝性蒸氣的多管式的冷凝器。在冷卻冷凝器(61)的底部設置有將冷凝的回收水送液至回收水容器(41)的冷凝液通路(85)，在冷卻冷凝器(61)的上部設置有將非冷凝氣體排氣到除害裝置的排氣通路(89)。
上述的回收水容器(41)是儲存利用第一蒸餾塔(21)蒸餾分離且以冷卻冷凝器(61)冷卻而得到的回收水的容器。此回收水容器(41)，在蒸餾操作時，為了將部分回收水作為回流返回第一蒸餾塔(21)，所以通過回流通路(86)與第一蒸餾塔(21)的塔頂側連接。此外，為了在最終得到的精制氟酸的稀釋中，使用回收水容器(41)的回收水，將回收水容器(41)的回收水供給到氟酸利用工序等，所以，在上述的回流通路(86)中，分支設置有取出回收水的回收水取出通路(87)(餾出液通路)。
另一方面，第二蒸餾塔(22)的結構可以通過上述濃縮氟酸通路(83)將利用第一蒸餾塔(21)提高了濃度的作為被處理液的濃縮氟酸供給到塔底部。在第二蒸餾塔(22)的塔底部，為了進一步加熱蒸發濃縮氟酸，附設有蒸發罐，以及根據情況附設的包含圖1所示的重沸器(52)的蒸煮機構。
上述的蒸煮機構，與第一蒸餾塔(1)中的同樣、是蒸煮第二蒸餾塔(22)的塔底部的濃縮氟酸的機構，具備將供給第二蒸餾塔(22)的濃縮氟酸從該第二蒸餾塔的塔底排出的塔底液排出通路(91)；通過與水蒸氣等的熱介質進行熱交換，加熱蒸發排出的濃縮氟酸的重沸器(52)；和蒸氣化的濃縮氟酸再返回塔底部流經的循環通路(92)。
作為重沸器(52)，使用與上述重沸器(51)同樣的重沸器。然后，在重沸器(51)的上流側，從塔底液排出通路(91)分支設置有第二蒸餾塔(22)的塔底部的循環的部分濃縮氟酸，即，在第二蒸餾塔(22)中殘留且略含雜質的塔底液再返回蒸發釜(1)流經的塔底液回流通路(93)(罐出液通路)。
此外，在第二蒸餾塔(22)的塔頂設置有將被蒸餾分離的精制氟酸供給冷卻冷凝器(62)的蒸氣通路(94)。作為冷卻冷凝器(62)，可以使用與上述的冷卻冷凝器(61)同樣的設備。在冷卻冷凝器(62)的底部設置有將冷凝的精制氟酸送液到精制氟酸容器(42)的冷凝液通路(95)，在冷卻冷凝器(62)的上部設置有將非冷凝氣體排氣到除害裝置，通向上述排氣通路(89)的通路。
上述的精制氟酸容器(42)是儲存利用第二蒸餾塔(22)蒸餾分離且利用冷卻冷凝器(62)冷卻而得到的精制氟酸的容器。此精制氟酸容器(42)，在蒸餾操作時，為了將部分精制氟酸作為回流返回第二蒸餾塔(22)中，通過回流通路(96)與第二蒸餾塔(22)的塔頂側連接。此外，為了將精制氟酸容器(42)的精制氟酸供給氟酸利用工序等，在上述的回流通路(96)中，分支設置有取出精制氟酸的精制氟酸取出通路(97)(餾出液通路)。
此外，在圖1所示氟酸回收裝置中，為了控制蒸餾中的罐出液和餾出液的流量及回流比，雖然未圖示，但分別在例如第一蒸餾塔(21)的塔頂側的冷卻冷凝器(61)的下流側、第二蒸餾塔(22)的塔頂側的冷卻冷凝器(62)的下流側設置分別測定濃縮氟酸和精制氟酸濃度的氟化氫濃度計。然后，通過裝載蒸餾程序的控制裝置，基于預先設定的處理條件和上述氟化氫濃度計測定的數據，控制蒸煮機構的動作、各通路的開閉、切換、流量調整。
此外，作為上述的氟化氫濃度計，以電磁感應方式連續測定氟酸中的電傳導率(導電率)，使用將其換算為氟化氫濃度的導電率型濃度計；或計算測量氟酸中的超聲波傳播速度，基于預先制成的規定溫度、濃度中的超聲波傳播速度的關系，檢出氟化氫濃度的超聲波型濃度計；或計算測量氟酸中的超聲波傳播速度和電磁導電率，基于預先制成的規定溫度、濃度中的超聲波傳播速度和電磁導電率的關系(矩陣)，檢出氟化氫濃度和H2SiF6等雜質濃度的超聲波型多成分濃度計。
特別是，上述的超聲波型多成分濃度計，通過測定一定溫度的溶液中的超聲波傳播速度和電磁導電率，可以實時并同時測定3成分體系溶液的2個成分的濃度。即，多成分濃度計是基于若確定溶液的溫度，對應于各成分的濃度，液體中的超聲波傳播速度和電磁導電率唯一特定的原理，在適用于氟酸濃度的測定時，例如，通過預先準備作為矩陣的在每個氟化氫和H2SiF6濃度下，在一定溫度下預先測定的超聲波傳播速度和電磁導電率的關系，基于上述矩陣，正確地從測定值計算氟化氫濃度和H2SiF6濃度。
例如，作為上述的導電率型濃度計，可以使用東亞ディ一ケ一ケ一公司生產的“電磁感應式濃度變換器MBM-102A型”(商品名)，作為超聲波型濃度計，可以使用富士工業公司生產的“超聲波液體濃度計FUD-1 Model-12”(商品名)，此外，作為超聲波型多成分濃度計，可以使用富士工業公司生產的商品名為“FUD-1 Model-52”的濃度計。
接著，說明使用上述的氟酸回收裝置的本發明的回收方法。作為適用于本發明的氟酸廢液，可以列舉從例如在玻璃或玻璃基板實施蝕刻和洗凈或進行鑄件的水垢脫落的氟酸利用工序中排出的廢液。此氟酸廢液，含有二氧化硅成分和金屬成分、即通過與被蝕刻材料等的被處理物成分的反應，作為各種氟化物溶解或結晶化的成分或生成的反應生成物。具體地，含有Si、B、Al、Ca、Fe、Sr、Zr、K、Na、Mg等成分。此外，通常作為例如蝕刻液使用的氟酸廢液的濃度是0.1～20重量％左右。
在本發明的回收方法中，具備將上述的氟酸廢液以一定流量供給蒸發釜(1)加熱、作為蒸氣回收粗氟酸，同時分離濃縮廢液的粗氟酸蒸發工序；利用第一蒸餾塔(21)蒸餾粗氟酸、分離為濃度高于粗氟酸的濃縮氟酸和回收水的第一蒸餾工序；和利用第二蒸餾塔(22)進一步蒸餾濃縮氟酸，分離為被精制的精制氟酸和廢液的第二蒸餾工序。
在粗氟酸蒸發工序中，從氟酸廢液以蒸氣狀態只將幾乎不含二氧化硅成分和金屬成分的氟酸作為粗氟酸分離。具體的，將應處理的氟酸廢液通過原料通路(71)以一定流量供給到蒸發釜(1)，通過圖2～圖4所示的加熱單元或這些的組合，加熱蒸發釜(1)內的氟酸廢液，蒸發分離氟酸作為粗氟酸。此時，在本發明中，為了防止伴隨蒸發釜(1)內的氟酸廢液的濃縮，該氟酸廢液(濃縮廢液)中的金屬成分的析出，在氟酸廢液中添加抑制金屬成分析出的足量的硫酸。
硫酸通過硫酸供給通路(72)供給蒸發釜(1)，相對蒸發釜(1)的氟酸廢液，根據含有的金屬成分及其濃度，至少添加溶解氟酸廢液中的金屬成分的足量硫酸。作為硫酸的添加方法，可以以一定流量連續地添加一定濃度的硫酸，也可以間歇地添加高濃度的硫酸。如上所述，在粗氟酸蒸發工序中，通過氟酸的蒸發、濃縮蒸發釜(1)的氟酸廢液時，通過添加硫酸，可以在氟酸廢液(濃縮廢液)中將金屬成分維持在溶解狀態，因此可以防止蒸發釜(1)中的水垢的附著和加熱單元的傳熱效率的下降。
作為蒸氣被分離的粗氟酸，通過粗氟酸通路(73)供給到第一蒸餾塔(21)。此外，被分離的濃縮廢液通過廢液排出通路(74)從蒸發釜(1)的底部排出，或返回作為最初原料的氟酸廢液的儲槽(省略圖示)等、或送液到除害裝置進行無害化處理。此外，在粗氟酸蒸發工序中，處理例如濃度5～10重量％左右的氟酸廢液時，通過使氟酸蒸發、將蒸發釜(1)內的氟酸廢液濃縮到濃度30～35％左右。
在第一蒸餾工序中，利用第一蒸餾塔(21)蒸餾從蒸發釜(1)供給的粗氟酸，將粗氟酸中的主要的水作為回收水回收。利用第一蒸餾塔(21)進行蒸餾操作時，通常將系統內的壓力保持在大氣壓以下的規定壓力進行。具體的，從蒸發釜(1)通過粗氟酸通路(73)以一定的流量將粗氟酸供給第一蒸餾塔(21)。在第一蒸餾塔(21)中，通過塔底液排出通路(81)，將該第一蒸餾塔的塔底部的粗氟酸供給重沸器(51)加熱蒸發、以蒸氣的狀態通過循環通路(82)返回塔底部。即，在第一蒸餾塔(21)，由蒸煮機構，將塔底側的粗氟酸變為蒸氣進行蒸餾操作，分離多量的水分。
以第一蒸餾塔(1)蒸餾分離的水蒸氣，以一定流量從塔頂取出、通過蒸氣通路(84)供給冷卻冷凝器(61)、利用該冷卻冷凝器液化后，通過冷凝液通路(85)送液到回收水容器(41)中，作為回收水在該回收水容器中儲存。此外，進行上述的蒸餾時，在回收水容器(41)中所儲存的部分回收水，通過回流通路(86)，作為回流以一定流量返回蒸餾塔(21)。
在上述的第一蒸餾塔(21)中的蒸餾操作，使得被分離的濃縮氟酸高于粗氟酸的濃度并且小于氟酸的共沸濃度。換言之，在只有水被蒸餾分離的條件下進行。例如，由此蒸餾操作，從最初濃度0.5～20重量％的粗氟酸，與回收水同時，回收濃度10～30重量％左右的濃縮氟酸。然后，在第一蒸餾塔(21)的塔底側可以得到的部分濃縮氟酸，從塔底液排出通路(81)以一定流量排出，通過濃縮氟酸通路(83)供給第二蒸餾塔(22)。此外，被回收的回收水容器(41)的部分回收水，通過回收水取出通路(87)，根據需要，作為濃度調整水供給氟酸利用工序等。
在第二蒸餾工序中，利用第二蒸餾塔(22)進一步蒸餾利用第一蒸餾工序得到的濃縮氟酸，回收比第一蒸餾工序進一步精制的精制氟酸。第二蒸餾塔(22)中的蒸餾操作，通常也將系統內的壓力保持在大氣壓以下的規定壓力進行。具體地，將由濃縮氟酸通路(83)供給第二蒸餾塔(22)的濃縮氟酸與上述的蒸餾操作同樣由蒸煮機構蒸氣化。即，從該第二蒸餾塔的塔底通過塔底液排出通路(91)將供給第二蒸餾塔(22)的濃縮氟酸排出、供給重沸器(52)加熱蒸發、以蒸氣狀態通過循環通路(92)返回塔底部、在第二蒸餾塔(22)中蒸餾。
由上述的第二蒸餾塔(22)中的蒸餾操作，得到更精制的精制氟酸。利用第二蒸餾塔(22)蒸餾分離的精制氟酸，從該第二蒸餾塔的塔頂作為蒸氣以一定流量取出，通過蒸氣通路(94)供給冷卻冷凝器(62)，利用該冷卻冷凝器液化后，通過冷凝液通路(95)送液到精制氟酸容器(42)，在該精制氟酸容器中暫時儲存。此外，進行上述的蒸餾時，儲存在精制氟酸容器(42)的部分精制氟酸，通過回流通路(96)作為回流返回第二蒸餾塔(22)。
在第二蒸餾工序中，通過上述的蒸餾操作，可以回收與向第二蒸餾塔(22)供給的濃縮氟酸大致是同樣濃度、并且與上述的濃縮氟酸相比，雜質更少的精制氟酸、例如濃度為15～30重量％的精制氟酸。此后，得到的精制氟酸，如上述暫時儲存在精制氟酸容器(42)后，通過精制氟酸取出通路(97)供給例如氟酸利用工序等。
此外，在利用在第二蒸餾工序回收的精制氟酸時，由利用第一蒸餾工序得到的回收水，即通過回收水取出通路(87)取出的回收水，將精制氟酸稀釋到規定濃度，可以有效地利用回收水。此外，在第二蒸餾塔(22)的塔底部殘留的部分塔底液、即部分濃縮氟酸，因為通過上述蒸餾，有少量雜質累積，所以，從塔底液排出通路(91)以一定流量排出，通過塔底液回流通路(93)再返回蒸發釜(1)。
如上所述，在本發明的回收方法中，在粗氟酸蒸發工序中，在通過蒸發釜(1)從氟酸廢液蒸發粗氟酸時，通過在氟酸廢液中添加硫酸，由硫酸溶解在以蒸發釜(1)濃縮的氟酸廢液(濃縮廢液)中未析出的金屬成分，由此，可以防止在蒸發釜(1)的氟酸廢液中的金屬成分析出。然后，在后段的第一蒸餾工序和第二蒸餾工序中，蒸餾雜質極少的粗氟酸和濃縮氟酸，得到進一步精制的精制氟酸。
因此，根據本發明的回收方法，在粗氟酸蒸發工序中，可以防止蒸發釜(1)中的水垢，并且，可以防止在蒸發釜(1)的加熱單元中的傳熱效率下降。其結果，可以將雜質更少的氟酸作為精制氟酸以高收率回收。不是以現有制造氟酸的方法制造氟化氫，在粗氟酸蒸發工序中直接從氟酸廢液回收氟酸，在第一蒸餾工序和第二蒸餾工序中濃縮、精制，因此可以簡化設備。由此，可以在玻璃基板的蝕刻等的氟酸利用工序中在現場回收氟酸。
實施例通過本發明的回收方法，從玻璃基板的蝕刻工序排出的氟酸廢液回收精制氟酸。作為處理的氟酸廢液，準備濃度是10重量％，Si、B、Al、Ca、Zt等的金屬成分濃度是1重量％的廢液。在粗氟酸蒸發工序中，將氟酸廢液以300cc/小時的流量供給蒸發釜(1)，在100Torr的壓力條件下、在74℃加熱氟酸廢液，將粗氟酸作為蒸氣回收、供給第一蒸餾塔(21)。此時，在蒸發釜(1)中以3cc/小時的流量添加98％的硫酸。此外，通過粗氟酸的制造，在蒸發釜(1)中將氟酸廢液濃縮到濃度30重量％。
在第一蒸餾工序中，通過第一蒸餾塔(21)的蒸餾，以280cc/小時的流量將回收水回收到回收水容器(41)中，此外，通過濃縮氟酸通路(83)、以120cc/小時的流量回收濃度為25重量％的濃縮氟酸，然后，將此濃縮氟酸供給第二蒸餾塔(22)。在第二蒸餾工序中，利用第二蒸餾塔(22)進一步蒸餾濃縮氟酸，以100cc/小時的流量回收精制氟酸到精制氟酸容器(42)中。在精制氟酸容器(42)中，回收的精制氟酸的濃度是20重量％、從塔底回流通路(93)排出的塔底液的濃度是35重量％。
然后，將上述一系列操作進行1周后，檢查蒸發釜(1)、第一蒸餾塔(21)、第二蒸餾塔(22)及配管類，確認未產生水垢。此外，測定在精制氟酸容器(42)中回收的精制氟酸的雜質濃度，金屬成分濃度是0.1ppm以下。
權利要求
1.一種氟酸的回收方法，通過蒸餾法，從含有金屬成分的氟酸廢液中回收氟酸，其中，具備以一定流量將氟酸廢液供給到蒸發釜中、加熱，作為蒸氣回收粗氟酸，同時分離濃縮廢液的粗氟酸蒸發工序；利用第一蒸餾塔蒸餾粗氟酸，分離為濃度高于粗氟酸的濃縮氟酸和回收水的第一蒸餾工序；和利用第二蒸餾塔進一步蒸餾濃縮氟酸，分離為被精制的精制氟酸和廢液的第二蒸餾工序，在所述粗氟酸蒸發工序的氟酸廢液中添加抑制金屬成分析出的足量硫酸。
2.如權利要求1所述的氟酸的回收方法，其特征在于，利用在第一蒸餾工序中得到的回收水，將在第二蒸餾工序中得到的精制氟酸稀釋到規定濃度。
全文摘要
本發明提供從玻璃基板的蝕刻工序等排出的氟酸廢液中回收氟酸的方法，是不產生水垢、可以以高收率回收雜質更少的精制氟酸的氟酸的回收方法。氟酸的回收方法通過蒸餾法從含有金屬成分的氟酸廢液中回收氟酸，具備將氟酸廢液供給到蒸發釜(1)、加熱，將粗氟酸作為蒸氣回收，同時分離濃縮廢液的粗氟酸蒸發工序；利用第一蒸餾塔(21)蒸餾粗氟酸，分離為濃縮氟酸和回收水的第一蒸餾工序；和利用第二蒸餾塔(22)進一步蒸餾濃縮氟酸，分離為被精制的精制氟酸和廢液的第二蒸餾工序。其中，在粗氟酸蒸發工序的氟酸廢液中添加抑制金屬成分析出的足量的硫酸。
文檔編號C02F1/04GK101028918SQ20061005777
公開日2007年9月5日 申請日期2006年2月27日 優先權日2006年2月27日
發明者宮田堅洋, 亀山薰, 川瀬泰人 申請人:三菱化學工程株式會社, 日本瑞環株式會社