專利名稱：一種無噪聲化學液冷熱交換精密溫度控制器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及化學腐蝕輔助器件，特別是涉及一種無噪聲化學液冷熱交換精 密溫度控制器。
背景技術：
半導體器件工業生產工藝中，廣泛使用化學腐蝕方法來完成硅片表面刻蝕圖 形。在化學腐蝕中，化學液的溫度對腐蝕質量起著重要作用，過高的溫度將使腐蝕 表面粗糙和過度，無法得到精細的結果影響質童量；過低的溫度無法完成所需的刻 蝕深度。因此在工藝上對溫度和精度有著嚴格要求。現有技術一般使用壓縮機制冷 技術另加電加熱調節溫度來實現，體積大精度不易控制且有噪音。
發明內容
本實用新型所要解決的技術問題就是為了克服上述現有技術存在的缺陷而提 供一種無噪聲化學液冷熱交換精密溫度控制器。
本實用新型的目的可以通過以下技術方案來實現 一種無噪聲化學液冷熱交換 精密溫度控制器，其特征在于，包括冷卻水熱交換器、半導體制冷片、多組制冷加 熱熱交換組件以及多組化學液塑料管，所述的冷卻水熱交換器上設有熱交換回路以 及與該回路連通的冷卻水進口和冷卻水出口，所述的冷卻水熱交換器的兩面均勻設 有多片半導體制冷片，所述的多組制冷加熱熱交換組件均勻設于多片半導體制冷片 的外側，該制冷加熱熱交換組件上均勻設有多路塑料管通道，所述的多組化學液塑 料管分別穿繞于塑料管通道中。
所述的制冷加熱熱交換組件上設有多重過熱保護片。
所述的制冷加熱熱交換組件包括四塊鋁板，該四塊鋁板上均設有多條半圓溝 槽，該四塊鋁板兩兩対合并分別設置于冷卻水熱交換器的兩側，構成多個塑料管多 路通道。所述的化學液塑料管上設有彈性金屬保護套。
與現有技術相比，本實用新型使設備體積大為縮小，且無噪音，易精確控溫， 安全可靠。
圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明。
如圖1， 一種無噪聲化學液冷熱交換精密溫度控制器，包括冷卻水熱交換器1、
半導體制冷片2、多組制冷加熱熱交換組件3以及多組化學液塑料管4，所述的冷 卻水熱交換器1上設有熱交換回路以及與該回路連通的冷卻水進口 IO和冷卻水出 口 11，所述的冷卻水熱交換器1的兩面均勻設有多片半導體制冷片2，所述的多組 制冷加熱熱交換組件3均勻設于多片半導體制冷片2的外側，該制冷加熱熱交換組 件3上均勻設有多路塑料管通道，所述的多組化學液塑料管4分別穿繞于塑料管通 道中。冷卻水熱交換器二面安裝半導體制冷片，在其外側安裝制冷加熱熱交換組件。 本實用新型通過半導體制冷片、制冷量和加熱量的比例控制，以獲得對化學液的溫 度精密控制。
所述的制冷加熱熱交換組件3上設有多重過熱保護片；所述的制冷加熱熱交換 組件3包括四塊鋁板30，該四塊鋁板30上均設有多條半圓溝槽，該四塊鋁板兩兩 対合并分別設置于冷卻水熱交換器的兩側，構成多個塑料管多路通道；所述的化學 液塑料管4上設有彈性金屬保護套40，化學液塑料管4具有化學液進口 41和化學 液出口 42。
本實用新型使用半導體制冷器制冷技術，利用其改變電流方向既能制冷也能加 熱的原理，來實現對化學液的溫度調節和精確控制。
本實用新型重點在于制冷加熱熱交換組件，它由四片鋁制熱交換板，中間開有 半圓槽，四片合成一組，將熱交換塑料管緊密壓在中間。實現理想的熱交換性能。 更重要的是熱交換器內部流通化學液管是整體結構。杜絕了化學液泄漏的可能。
在半導體工業中所用的化學腐蝕液都為強酸堿泄漏會產生很大危害，且對整體 設備污污染將產生不可沽量的損失。本實用新型可最大限度杜絕此事故發生。
權利要求1.一種無噪聲化學液冷熱交換精密溫度控制器，其特征在于，包括冷卻水熱交換器、半導體制冷片、多組制冷加熱熱交換組件以及多組化學液塑料管，所述的冷卻水熱交換器上設有熱交換回路以及與該回路連通的冷卻水進口和冷卻水出口，所述的冷卻水熱交換器的兩面均勻設有多片半導體制冷片，所述的多組制冷加熱熱交換組件均勻設于多片半導體制冷片的外側，該制冷加熱熱交換組件上均勻設有多路塑料管通道，所述的多組化學液塑料管分別穿繞于塑料管通道中。
2. 根據權利要求1所述的一種無噪聲化學液冷熱交換精密溫度控制器，其特 征在于，所述的制冷加熱熱交換組件上設有多重過熱保護片。
3. 根據權利要求1或2所述的一種無噪聲化學液冷熱交換精密溫度控制器， 其特征在于，所述的制冷加熱熱交換組件包括四塊鋁板，該四塊鋁板上均設有多條 半圓溝槽，該四塊鋁板兩兩対合并分別設置于冷卻水熱交換器的兩側，構成多個塑 料管多路通道。
4. 根據權利要求3所述的一種無噪聲化學液冷熱交換精密溫度控制器，其特 征在于，所述的化學液塑料管上設有彈性金屬保護套。
專利摘要本實用新型涉及一種無噪聲化學液冷熱交換精密溫度控制器，包括冷卻水熱交換器、半導體制冷片、多組制冷加熱熱交換組件以及多組化學液塑料管，所述的冷卻水熱交換器上設有熱交換回路以及與該回路連通的冷卻水進口和冷卻水出口，所述的冷卻水熱交換器的兩面均勻設有多片半導體制冷片，所述的多組制冷加熱熱交換組件均勻設于多片半導體制冷片的外側，該制冷加熱熱交換組件上均勻設有多路塑料管通道，所述的多組化學液塑料管分別穿繞于塑料管通道中。與現有技術相比，本實用新型使設備體積大為縮小，且無噪音，易精確控溫，安全可靠。
文檔編號F25B21/04GK201381362SQ20092006961
公開日2010年1月13日 申請日期2009年3月30日 優先權日2009年3月30日
發明者倪黨生, 孫義榮 申請人:上海思恩電子技術有限公司