一種槽式烘干結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種槽式烘干結構，其包括帶有蓋子的烘干槽。烘干槽中設有一內槽體，該內槽體與烘干槽的兩側以及底部形成氣流通道，烘干槽的上有出風口，內槽體有補風口；在兩側的氣流通道上安裝有加熱裝置和溫度檢測裝置，在底部的氣流通道中設有一個風輪，該風輪的進風口與內槽體內腔連通，風輪的轉軸與安裝在烘干槽底部外的馬達連接。與現有技術相比，本實用新型體積小，結構簡單，安裝方便，烘干效率高。
【專利說明】
一種槽式烘干結構
技術領域
[0001]本實用新型涉及太陽能硅片的槽式清洗設備和濕法處理設備，尤其設計一種太陽能硅片的加工設備中的具有體積小，結構簡單，安裝方便，烘干效率高的槽式烘干結構。
【背景技術】
[0002]在太陽能硅片的槽式清洗設備和槽式濕法處理設備中，需要機械手將裝載硅片的承載件，如，片盒或花籃，依次提放到各個容器內進行化學腐蝕或水清洗處理。在處理結束后往往需要對硅片和承載件進行烘干處理。目前常見的有隧道式烘干或槽式烘干等方式，由于隧道式烘干占地面積大，烘干效率低，已經逐漸被市場所淘汰。目前使用的槽式烘干仍然存在體積大、能耗高、烘干效率不高、安裝復雜等問題。
【發明內容】
[0003]本實用新型為了解決現有對硅片和承載件進行烘干設備體積大、能耗高、烘干效率不高、安裝復雜的技術問題，提出一種具有體積小，結構簡單，安裝方便，烘干效率高的槽式烘干結構。
[0004]本實用新型提出的槽式烘干的結構，其包括帶有蓋子的烘干槽。所述烘干槽中設有一內槽體，該內槽體兩側以及底部與所述烘干槽對應的兩側以及底部設有間隙而形成氣流通道，所述烘干槽的上部設有出風口，所述內槽體設有與外界連通的補風口；在兩側的氣流通道上安裝有加熱裝置和溫度檢測裝置，在底部的氣流通道中設有一個風輪，該風輪的進風口與內槽體內腔連通，風輪的轉軸與安裝在所述烘干槽底部外的馬達連接。
[0005]本實用新型在烘干槽中設置一內槽體，并使得兩側以及底部形成氣流通道，并通過風輪抽吸被加熱的空氣，使得烘干槽內部形成氣體循環來對承載件及硅片進行干燥處理。與現有技術相比，本實用新型體積小，結構簡單，安裝方便，烘干效率高。
【附圖說明】
[0006]圖1是本實用新型較佳實施例的結構示意圖；
[0007]圖2是圖1中A—A向的剖視圖。
【具體實施方式】
[0008]如圖1、圖2所示，本實用新型較佳實施例的結構示意圖。本實用新型提出的一種槽式烘干結構，其包括帶有蓋子7的烘干槽I，烘干槽I中設有一內槽體5，該內槽體5兩側以及底部與烘干槽I對應的兩側以及底部設有間隙而形成氣流通道4，烘干槽I的上部設有出風口 6，內槽體5設有與外界連通的補風口 8。在烘干槽I和內槽體5兩側的氣流通道上安裝有加熱裝置2和溫度檢測裝置3，在烘干槽I和內槽體5底部的氣流通道中設有一個風輪9，該風輪的進風口與內槽體5內腔連通，風輪9的轉軸與安裝在烘干槽I底部外的馬達10連接。
[0009]參閱圖1、圖2，工作時，當馬達1上電驅動風輪9進行旋轉，將內槽體5中的氣體抽吸到底部的氣流通道4，并通過兩側的氣流通道4，經過加熱裝置2時氣體加熱，然后由上部進入再進入內槽體5中。加熱的氣體流經承載件11及硅片，再次被風輪9抽吸到底部的氣流通道4中，如此形成烘干槽I內部氣體循環。熱空氣蒸發水分并帶走水分從而對承載件11及硅片進行干燥處理。溫度檢測裝置3用于檢測內槽體5內空氣的溫度，以便控制加熱裝置2加熱空氣。同時，由于內槽體5屬于負壓狀態，會從外界往內吸入氣體。烘干槽I設有出風孔6，從而達到不斷有新風補入，同時含水分的氣體不斷被排出烘干槽I的目的。本實用新型的體積小，結構簡單，安裝方便，烘干效率高。
[0010]本實用新型要求保護的權益范圍不限于烘干槽大小及形狀，也不限于加熱器的種類、功率和尺寸形狀，加熱的介質不限于空氣，可以是氮氣或其它氣體。只要是上述的烘干結構和烘干方法均在保護范圍之內。
【主權項】
1.一種槽式烘干結構，包括帶有蓋子(7)的烘干槽(I)，其特征在于，所述烘干槽(I)中設有一內槽體(5)，該內槽體(5)兩側以及底部與所述烘干槽(I)對應的兩側以及底部設有間隙而形成氣流通道(4)，所述烘干槽(I)的上部設有出風口(6)，所述內槽體(5)設有與外界連通的補風口(8);在兩側的氣流通道上安裝有加熱裝置(2)和溫度檢測裝置(3)，在底部的氣流通道中設有一個風輪(9)，該風輪的進風口與內槽體(5)內腔連通，風輪(9)的轉軸與安裝在所述烘干槽(I)底部外的馬達(10)連接。
【文檔編號】F26B9/06GK205561438SQ201620224519
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年3月23日
【發明人】左國軍, 戴洪燁
【申請人】常州捷佳創精密機械有限公司