一種吹風裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于硅片加工裝置技術領域，具體涉及一種吹風裝置。
【背景技術】
[0002]硅棒在經過拉晶處理后，需要將硅棒粘棒膠固定粘附在樹脂板上沿豎直方向切割成硅片后進行噴淋處理，以除去硅棒切割縫間的雜質，然后通過機械臂吊起送入酸槽利用乳酸進行酸洗。但是現有的噴淋處理后由于硅棒上部切割縫的水分之間的表面張力而形成一層水膜，這將延緩酸槽中的乳酸進入切割縫的速度，降低乳酸與粘棒膠中固化劑的軟化速度，從而延緩了硅棒的脫膠速度。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種吹風裝置，解決了現有技術中噴淋后硅棒切割縫間由于存在水膜使得硅棒脫膠時間較長的缺點。
[0004]本實用新型所采用的技術方案是:一種吹風裝置，包括進氣管，進氣管與硅棒切割縫所在平面相互垂直，進氣管上設置有出氣組件，出氣組件的任一位置出氣量大小一致并且共同形成一道線性氣簾正對硅棒切割縫。
[0005]本實用新型的特點還在于，
[0006]進氣管為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進氣管口，出氣組件為沿進氣管的軸向正對硅棒切割縫開設的一條出氣管縫，出氣管縫的寬度從進氣管口端到末端線性加寬以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。
[0007]進氣管為圓柱形、長方形或錐形，進氣管管體上等距離設置有多個進氣管口，出氣組件為進氣管管體正對硅棒切割縫的軸向上開設的一條出氣管縫，所述出氣管縫任一位置的寬度相同。
[0008]進氣管為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進氣管口，出氣組件為沿進氣管的軸向正對硅棒切割縫等距離設置的多個出氣孔，出氣孔的孔徑從進氣管口端到末端線性增大以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。
[0009]進氣管為圓柱形、長方形或錐形，進氣管管體上等距離設置有多個進氣管口，出氣組件為進氣管管體正對硅棒切割縫的軸向上設置的多個出氣孔，所述出氣孔的孔徑相同。
[0010]出氣孔的孔徑為0.3mm-0.5mm。
[0011]出氣孔的開口角度為60° -70°。
[0012]本實用新型的有益效果是:本實用新型的一種吹風裝置解決了現有技術中噴淋后硅棒切割縫間由于存在水膜使得硅棒脫膠時間較長的缺點。本實用新型的一種吹風裝置結構簡單，在硅棒經過噴淋后利用出氣組件形成正對硅棒切割縫并且出氣量一致的氣流，從而將硅棒切割縫間的水分吹干，去除硅棒切割縫間的水膜，以便在后續的酸化處理中加快乳酸進入切割縫的速度，從而達到增加乳酸與粘棒膠中固化劑的反應接觸時間，最終達到縮短硅棒脫膠時間、提高生產效率的目的。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的一種吹風裝置的第一種結構示意圖；
[0014]圖2是本實用新型的一種吹風裝置的第二種結構示意圖；
[0015]圖3是本實用新型的一種吹風裝置的第三種結構示意圖。
[0016]圖中，1.進氣管，2.出氣組件，3.進氣管口。
【具體實施方式】
[0017]下面結合【具體實施方式】對本實用新型進行詳細說明。
[0018]本實用新型提供的一種吹風裝置的結構如圖1-圖3所示，包括進氣管1，進氣管I與硅棒切割縫所在平面相互垂直，事例性的，進氣管I的形狀可以為圓柱形、長方體或錐形。進氣管I上設置有出氣組件2，如果出氣組件2不同位置的出氣量不同，則會造成部分硅棒切割縫粘連無法去除之間形成的水膜，因此必須保證正對硅棒切割縫的出氣組件2的任一位置出氣量大小一致并且共同形成一道線性氣簾。
[0019]事例性的，進氣管I的形狀可以為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進氣管口 3，出氣組件2為沿進氣管I的軸向正對硅棒切割縫開設的一條出氣管縫，由于靠近進氣管口位置的風速快，因此將出氣管縫的寬度從進氣管口 3端到進氣管I的末端線性加寬，以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。
[0020]進一步的，當進氣管I為圓柱形、長方形或錐形時，進氣管I管體上可以等距離地設置有多個進氣管口 3，出氣組件2仍然為進氣管I管體正對硅棒切割縫的軸向上開設的一條出氣管縫，由于多個進氣管口 3等距離設置，使得任一位置的風速相同，因此出氣管縫任一位置的寬度相同即可保證該位置出氣管縫的出氣量大小一致。
[0021]事例性的，進氣管I可以為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進氣管口 3，出氣組件2為沿進氣管I的軸向正對硅棒切割縫等距離設置的多個出氣孔，由于靠近進氣管口 3位置的風速快，導致靠近進氣管口 3的出氣孔出氣量大于遠離進氣管口的出氣孔的出氣量，因此出氣孔的孔徑從進氣管口端到末端線性增大以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。
[0022]進一步的，進氣管I為圓柱形、長方形或錐形時，進氣管I管體上等距離設置有多個進氣管口 3，出氣組件2為進氣管I管體正對硅棒切割縫的軸向上設置的多個出氣孔，由于多個進氣管口等距離設置，任一位置的風速相同，因此每個孔徑相同的出氣孔出氣量保持一致。
[0023]出氣孔的孔徑為0.3mm-0.5mm。
[0024]出氣孔的開口角度為60° -70°。
[0025]綜上所述可以看出，本實用新型的一種吹風裝置的進氣管I形狀可以為圓柱形、長方形或錐形等任意形狀，其上所設置的進氣管口 3可以在進氣管I的一端設置、也可在進氣管I上等距離設置，同時進氣組件2可以是寬度相同或線性加寬的出氣管縫、也可以是多個孔徑相同或線性增大的出氣孔，只要保證出氣管I上的任一位置的出氣量大小一致即可。
[0026]使用時，本實用新型的一種吹風裝置可以雙排堆成設置于噴淋槽兩端的噴管上或直接設置于機械臂的兩端，在結束噴淋后對硅棒切割縫進行吹干操作；也可以單排設置于上述位置，在出氣量一致的基礎上，并且由于單排設置的吹風裝置氣流方向單一，因此其吹干的效果反而優于雙排設置的吹風裝置。由于本實用新型的一種吹風裝置將噴淋后樹脂板上硅棒切割縫之間的水封吹干，使切割縫形成空穴，當硅棒進入酸槽后，加快了乳酸進入切割縫的速度，從而增加了乳酸與粘棒膠中固化劑的軟化時間，最終達到縮短脫膠時間、提高生產效率的目的，經過實驗驗證，經過本實用新型的一種吹風裝置處理過硅棒切割縫間的水分后，硅棒的脫膠時間從原來的1600s縮短至900s，使得脫膠產能提升了 14.29%。
【主權項】
1.一種吹風裝置，其特征在于，包括進氣管(I)，所述進氣管(I)與硅棒切割縫所在平面相互垂直，所述進氣管(I)上設置有出氣組件(2)，所述出氣組件(2)的任一位置出氣量大小一致并且共同形成一道線性氣簾正對硅棒切割縫。2.如權利要求1所述的一種吹風裝置，其特征在于，所述進氣管(I)為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進氣管口(3)，出氣組件(2)為沿進氣管(I)的軸向正對硅棒切割縫開設的一條出氣管縫，出氣管縫的寬度從進氣管口端到末端線性加寬以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。3.如權利要求1所述的一種吹風裝置，其特征在于，所述進氣管(I)為圓柱形、長方形或錐形，所述進氣管(I)的管體上等距離設置有多個進氣管口(3)，出氣組件(2)為進氣管(I)管體正對硅棒切割縫的軸向上開設的一條出氣管縫，所述出氣管縫任一位置的寬度相同。4.如權利要求1所述的一種吹風裝置，其特征在于，所述進氣管(I)為圓柱形、長方體或錐形，其一端為進氣管口(3)，出氣組件(2)為沿進氣管(I)的軸向正對硅棒切割縫等距離設置的多個出氣孔，出氣孔的孔徑從進氣管口端到末端線性增大以保證任一出氣管縫位置出氣量大小一致。5.如權利要求1所述的一種吹風裝置，其特征在于，所述進氣管(I)為圓柱形、長方形或錐形，所述進氣管(I)的管體上等距離設置有多個進氣管口(3)，出氣組件(2)為進氣管(I)管體正對硅棒切割縫的軸向上設置的多個出氣孔，所述出氣孔的孔徑相同。6.如權利要求4或5所述的一種吹風裝置，其特征在于，所述出氣孔的孔徑為0.3mm-0.5mm07.如權利要求6所述的一種吹風裝置，其特征在于，所述出氣孔的開口角度為60。-70。。
【專利摘要】本實用新型公開的一種吹風裝置，包括進氣管，進氣管與硅棒切割縫所在平面相互垂直，進氣管上設置有出氣組件，出氣組件的任一位置出氣量大小一致并且共同形成一道線性氣簾正對硅棒切割縫。本實用新型的一種吹風裝置解決了現有技術中噴淋后硅棒切割縫間由于存在水膜使得硅棒脫膠時間較長的缺點。本實用新型的一種吹風裝置結構簡單，在硅棒經過噴淋后利用出氣組件形成正對硅棒切割縫并且出氣量一致的氣流，從而將硅棒切割縫間的水分吹干，去除硅棒切割縫間的水膜，以便在后續的酸化處理中加快乳酸進入切割縫的速度，從而達到增加乳酸與粘棒膠中固化劑的反應接觸時間，最終達到縮短硅棒脫膠時間、提高生產效率的目的。
【IPC分類】F26B21/00
【公開號】CN204648888
【申請號】CN201520133195
【發明人】張濤, 趙晨光, 田濤
【申請人】西安隆基硅材料股份有限公司
【公開日】2015年9月16日
【申請日】2015年3月9日