具有干燥環(huán)境的測試平臺的制作方法
【專利摘要】一種具有干燥環(huán)境的測試平臺，其包含一承載座、一導(dǎo)流機構(gòu)以及一干燥氣體產(chǎn)生裝置。承載座具有一測試區(qū)域，導(dǎo)流機構(gòu)設(shè)置包圍承載座的周邊，干燥氣體產(chǎn)生裝置連結(jié)于導(dǎo)流機構(gòu)，用以產(chǎn)生一干燥氣體，干燥氣體利用導(dǎo)流機構(gòu)的引導(dǎo)往測試區(qū)域流動，以產(chǎn)生干燥環(huán)境防止結(jié)露。
【專利說明】具有干燥環(huán)境的測試平臺
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有干燥環(huán)境的測試平臺，尤其涉及一種利用導(dǎo)流機構(gòu)將干燥氣體引導(dǎo)至測試區(qū)域，以產(chǎn)生干燥環(huán)境的測試平臺。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技發(fā)展與時代進步的同時，人們環(huán)保意識抬頭及環(huán)保觀念隨著進步，節(jié)能減碳已成為世界各國重視的議題及努力的目標(biāo)，因此以往常使用的白炙燈、日光燈、碘鎢燈以及高壓鈉燈，漸漸地被發(fā)光二極管(Light Emitting Diode;LED)燈取代，LED燈具備不易碎、省電、環(huán)保無汞、光源具方向性、體積小、色域豐富、可應(yīng)用于低溫環(huán)境、造成光害少以及工作壽命長的優(yōu)點，因此LED將廣泛地、革命性地取代傳統(tǒng)的白熾燈等現(xiàn)有的光源，進而成為符合節(jié)能環(huán)保主題的主要光源。
[0003]其中，現(xiàn)有的LED芯片制造工藝工藝包含有在基底材料的基板上形成磊晶硅晶圓(Epitaxial Wafer)的磊晶硅工藝、使用晶圓來生產(chǎn)數(shù)個LED芯片的晶粒工藝、利用晶粒工藝所生產(chǎn)的LED芯片的封裝工藝、以及測試已經(jīng)由封裝工藝所處理的LED芯片的測試工藝。其中，在傳統(tǒng)LED芯片的測試工藝中，需于測試平臺上進行電性測試，進而得知一晶圓(圓片)上每一 LED芯片的光學(xué)特性與電流特性，而在進行電性測試的過程中，由于測試環(huán)境通常需要為常溫，更甚者需要在不同的溫度下進行測試(如負(fù)40°C或負(fù)50°C的低溫或135°C的高溫等)。然而，由于現(xiàn)有的測試平臺的測試環(huán)境的濕度較高，當(dāng)其于低溫環(huán)境下進行測試時，LED芯片容易有結(jié)露甚至結(jié)冰的問題發(fā)生，進而影響到電性測試的結(jié)果，因此現(xiàn)有技術(shù)仍有改善的空間。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明所欲解決的技術(shù)問題與目的:
[0005]有鑒于在現(xiàn)有技術(shù)中，由于現(xiàn)有的測試平臺在低溫環(huán)境下測試芯片時，其有容易結(jié)露甚至結(jié)冰的問題而影響到電性測試的結(jié)果，所以必須將該測試平臺置于一干燥容室內(nèi)，且該容室必須確實與外界隔離，以避免上述結(jié)露問題發(fā)生，當(dāng)測試過程需要維修或者測試結(jié)束時，皆必須讓系統(tǒng)回溫至常溫才能進行后續(xù)作業(yè)，使用上有其不方便性。
[0006]緣此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有干燥環(huán)境的測試平臺，其是利用導(dǎo)流機構(gòu)將干燥氣體引導(dǎo)至測試區(qū)域，藉以產(chǎn)生包覆測試平臺及待測物的干燥測試環(huán)境進而防止結(jié)露。
[0007]本發(fā)明解決問題的技術(shù)手段:
[0008]本發(fā)明為解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，所采用的必要技術(shù)手段是提供一種具有干燥環(huán)境的測試平臺，測試平臺包含一承載座、一導(dǎo)流機構(gòu)以及一干燥氣體產(chǎn)生裝置。承載座具有一測試區(qū)域，導(dǎo)流機構(gòu)設(shè)置包圍承載座的周邊，干燥氣體產(chǎn)生裝置系連結(jié)于導(dǎo)流機構(gòu)，用以產(chǎn)生一干燥氣體，干燥氣體系利用導(dǎo)流機構(gòu)的引導(dǎo)往測試區(qū)域流動，以包覆測試區(qū)域及待測物產(chǎn)生干燥環(huán)境防止結(jié)露。[0009]較佳者，上述的測試平臺中，導(dǎo)流機構(gòu)具有一導(dǎo)流部，且在干燥氣體流動至導(dǎo)流部后，利用導(dǎo)流部的引導(dǎo)往測試區(qū)域流動，且導(dǎo)流機構(gòu)還具有多個出氣孔，干燥氣體由該些出氣孔流動至導(dǎo)流部。此外，導(dǎo)流機構(gòu)還具有一進氣孔，用以連結(jié)干燥氣體產(chǎn)生裝置，干燥氣體由進氣孔進入導(dǎo)流機構(gòu)并流動至該些出氣孔，另外，導(dǎo)流部具有一導(dǎo)流角，藉以增加干燥氣體往測試區(qū)域流動的均勻性。
[0010]較佳者，上述的測試平臺中，其用以測試一布有發(fā)光二極管(Light EmittingDiode;LED)芯片的待測晶圓(圓片)(wafer),并且還包含一殼體以及一干燥氣體管線,殼體用以遮蓋測試區(qū)域的上方空間，而干燥氣體管線連結(jié)于干燥氣體產(chǎn)生裝置，干燥氣體管線設(shè)置于殼體內(nèi)部，以于測試區(qū)域的上方空間產(chǎn)生干燥環(huán)境防止結(jié)露。此外，干燥氣體產(chǎn)生裝置為一空氣過濾器，且承載座為一具有溫度控制功能的承載座，可對測試區(qū)域進行溫度控制。
[0011]本發(fā)明對照現(xiàn)有技術(shù)的功效:
[0012]相較于現(xiàn)有技術(shù)，利用本發(fā)明所提供的具有干燥環(huán)境的測試平臺，由于利用導(dǎo)流機構(gòu)將干燥氣體引導(dǎo)至測試區(qū)域而產(chǎn)生干燥的測試環(huán)境，因而使得在測試LED芯片時可防止結(jié)露或結(jié)冰的現(xiàn)象發(fā)生，進而提高電性測試的可靠度。
[0013]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細描述，但不作為對本發(fā)明的限定。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1顯示本發(fā)明第一較佳實施例的具有干燥環(huán)境的測試平臺的示意圖；
[0015]圖2顯示本發(fā)明第一較佳實施例的承載座以及導(dǎo)流機構(gòu)立體剖視示意圖；
[0016]圖3顯示本發(fā)明第二較佳實施例的測試平臺的承載座以及導(dǎo)流機構(gòu)立體剖視示意圖；以及
[0017]圖4顯示本發(fā)明第三實施例的具有干燥環(huán)境的測試平臺的剖視示意圖。
[0018]其中，附圖標(biāo)記
[0019]1、1a具有干燥環(huán)境的測試平臺
[0020]IlUla承載座
[0021]IllUlla測試區(qū)域
[0022]12、12a導(dǎo)流機構(gòu)
[0023]121、121a導(dǎo)流部
[0024]1211導(dǎo)流角
[0025]122、122a進氣孔
[0026]123a出氣孔
[0027]13干燥氣體產(chǎn)生裝置
[0028]14殼體
[0029]15干燥氣體管線
【具體實施方式】
[0030]由于本發(fā)明所提供的具有干燥環(huán)境的測試平臺中，其組合實施方式不勝枚舉，故在此不再一一贅述，僅列舉三個較佳實施例來加以具體說明。[0031]請一并參閱圖1以及圖2，圖1顯示本發(fā)明第一較佳實施例的具有干燥環(huán)境的測試平臺的示意圖，圖2顯示本發(fā)明第一較佳實施例的承載座以及導(dǎo)流機構(gòu)立體剖視示意圖。如圖所示，本發(fā)明第一較佳實施例所提供的具有干燥環(huán)境的測試平臺I用以測試一布有發(fā)光二極管(Light Emitting Diode;LED)芯片的待測晶圓(wafer),當(dāng)然在其他實施例中可測試其他待測物而不限于上述，其中，具有干燥環(huán)境的測試平臺I包含一具有溫度控制功能的承載座11、一導(dǎo)流機構(gòu)12以及一干燥氣體產(chǎn)生裝置13，承載座11具有一測試區(qū)域111，測試區(qū)域111用以容置上述的待測物以進行電性測試，且承載座11可對測試區(qū)域111進行溫度控制。
[0032]導(dǎo)流機構(gòu)12設(shè)置包圍承載座11的周邊，進一步而言環(huán)繞并鄰近于承載座11而設(shè)置，且導(dǎo)流機構(gòu)12以及承載座11間具有縫隙，而導(dǎo)流機構(gòu)12可由一般具有剛性的金屬材質(zhì)制成，此外，導(dǎo)流機構(gòu)12設(shè)有一導(dǎo)流部121以及四個進氣孔122 (圖中僅標(biāo)示一個)，導(dǎo)流部121具有導(dǎo)流角1211，而導(dǎo)流角1211遮蓋于上述的縫隙，而導(dǎo)流角1211的角度例如是三十度或四十五度(以導(dǎo)流部121的平面為水平面而往下所張的角度)，但不限于上述。
[0033]干燥氣體產(chǎn)生裝置13連結(jié)于導(dǎo)流機構(gòu)12，具體而言是利用管線(圖未示)連結(jié)于進氣孔122，且干燥氣體產(chǎn)生裝置13可產(chǎn)生干燥氣體，而干燥氣體產(chǎn)生裝置13為一空氣過濾器，但不限于上述，只要是可產(chǎn)生干燥氣體的裝置均不脫離本發(fā)明的精神。
[0034]其中，使用者在啟動本發(fā)明第一較佳實施例所提供的具有干燥環(huán)境的測試平臺I時，干燥氣體產(chǎn)生裝置13產(chǎn)生干燥氣體，且干燥氣體經(jīng)由管線以及上述的縫隙，并經(jīng)由進氣孔122而流動，在干燥氣體流動至導(dǎo)流部121后，是利用導(dǎo)流機構(gòu)12的引導(dǎo)往測試區(qū)域111流動，以使測試區(qū)域111形成干燥環(huán)境進而防止結(jié)露，其中，導(dǎo)流角1211可增加干燥氣體往測試區(qū)域111流動的均勻性。
[0035]請參閱圖3，圖3顯示本發(fā)明第二較佳實施例的測試平臺的承載座以及導(dǎo)流機構(gòu)立體剖視示意圖。如圖3所示，第二較佳實施例與第一較佳實施例不同的是，導(dǎo)流機構(gòu)12a僅包含導(dǎo)流部121a、多個進氣孔122a (圖中僅標(biāo)示一個)以及多個出氣孔123a (圖中僅標(biāo)示一個)，而不包含如第一較佳實施例的導(dǎo)流角1211。其中，使用者在啟動本發(fā)明第二較佳實施例所提供的具有干燥環(huán)境的測試平臺Ia時，干燥氣體是由進氣孔122a進入導(dǎo)流機構(gòu)12a并流動至該些出氣孔123a，干燥氣體再由該些出氣孔123a流動至導(dǎo)流部121a，再利用導(dǎo)流部121a的引導(dǎo)往測試區(qū)域Illa流動，其他均與第一較佳實施例相同，在此不再予以贅述。
[0036]請參閱圖4，圖4顯示本發(fā)明第三實施例的具有干燥環(huán)境的測試平臺的剖視示意圖。如圖4所示，與第一較佳實施例不同的是，具有干燥環(huán)境的測試平臺I還包含一殼體14以及一干燥氣體管線15，殼體14用以遮蓋測試區(qū)域111的上方空間，而干燥氣體管線15連結(jié)于干燥氣體產(chǎn)生裝置13，并且設(shè)置于殼體14的內(nèi)部，以于測試區(qū)域111的上方空間產(chǎn)生干燥環(huán)境而防止結(jié)露，其余均與第一較佳實施例相同，在此不再予以贅述。
[0037]綜合以上所述，利用本發(fā)明所提供的具有干燥環(huán)境的測試平臺，由于利用導(dǎo)流機構(gòu)將干燥氣體引導(dǎo)至測試區(qū)域而產(chǎn)生干燥的測試環(huán)境，因而使得在測試LED芯片時可防止結(jié)露或結(jié)冰的現(xiàn)象發(fā)生，進而提高電性測試的可靠度。
[0038]當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實施例，在不背離本發(fā)明精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，該測試平臺包含: 一承載座，具有一測試區(qū)域； 一導(dǎo)流機構(gòu)，設(shè)置包圍該承載座的周邊；以及 一干燥氣體產(chǎn)生裝置，連結(jié)于該導(dǎo)流機構(gòu)，用以產(chǎn)生一干燥氣體，該干燥氣體利用該導(dǎo)流機構(gòu)的引導(dǎo)往該測試區(qū)域流動，以產(chǎn)生干燥環(huán)境防止結(jié)露。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，該導(dǎo)流機構(gòu)具有一導(dǎo)流部，且在該干燥氣體流動至該導(dǎo)流部后，利用該導(dǎo)流部的引導(dǎo)往該測試區(qū)域流動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，該導(dǎo)流機構(gòu)還具有多個出氣孔，該干燥氣體由該些出氣孔流動至該導(dǎo)流部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，該導(dǎo)流機構(gòu)還具有一進氣孔，用以連結(jié)該干燥氣體產(chǎn)生裝置，該干燥氣體由該進氣孔進入該導(dǎo)流機構(gòu)并流動至該些出氣孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，該導(dǎo)流部具有一導(dǎo)流角，藉以增加該干燥氣體往該測試區(qū)域流動的均勻性。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，用以測試一布有發(fā)光二極管芯片的待測晶圓。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，還包含: 一殼體，用以遮蓋該測試區(qū)域的上方空間；以及 一干燥氣體管線，連結(jié)于該干燥氣體產(chǎn)生裝置，該干燥氣體管線設(shè)置于該殼體內(nèi)部，以于該測試區(qū)域的上方空間產(chǎn)生干燥環(huán)境防止結(jié)露。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，該干燥氣體產(chǎn)生裝置為一空氣過濾器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有干燥環(huán)境的測試平臺，其特征在于，該承載座為一具有溫度控制功能的承載座，對該測試區(qū)域進行溫度控制。
【文檔編號】F26B21/00GK103901359SQ201210590876
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2012年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月31日
【發(fā)明者】吳信毅, 沈軒任, 高宏達 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司