專利名稱：凈化室的逆流防止裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體制造工廠、FPD(Flat Panel Display)制造工廠、精密機(jī)械工廠、或藥品制造工廠等的無塵室或無菌室中適用的凈化室的逆流防止裝置。
背景技術(shù)：
一直以來，作為實(shí)現(xiàn)高潔凈度的凈化室的方式，有圖6所示那樣的整面下降流方式。在該方式中，頂室264內(nèi)的空氣從設(shè)置在凈化室262的頂部的風(fēng)扇過濾器單兀(以下，稱為FFU) 217的空氣取入口向凈化室262內(nèi)流入，由內(nèi)部的鼓風(fēng)機(jī)升壓且由高性能過濾器 除塵之后，潔凈的空氣在凈化室262內(nèi)向鉛垂下方流動(dòng)。接下來，通過凈化室262的篩板261而流入底板下室263，經(jīng)由返回流路266而返回頂室264，從而形成循環(huán)流。通過此種循環(huán)，同樣的空氣多次由高性能過濾器除塵，因此在凈化室262的運(yùn)轉(zhuǎn)開始并經(jīng)過了某一段時(shí)間之后，凈化室262內(nèi)保持高潔凈度。在半導(dǎo)體工廠或Fro制造工廠中，伴隨著裝置的高集成化，而要求將潔凈度或溫濕度等環(huán)境條件控制成更高的水平。而且，由于近年來的半導(dǎo)體或FPD的價(jià)格競爭的激化，而要求減少凈化室的建設(shè)成本即最初成本、及凈化室自身的運(yùn)行成本。因此，嘗試了削減FFU等潔凈空氣吹出裝置的設(shè)置臺(tái)數(shù)的辦法。在凈化室262內(nèi)，通常FFU或僅具備風(fēng)扇的制造裝置265設(shè)置多個(gè)，其取入的空氣在大多數(shù)情況下向外部空氣排出或直接向底板下室263排出，從而凈化室262內(nèi)的空氣量減少。因此，在削減了設(shè)置于凈化室頂部264的FFU217等潔凈空氣吹出裝置的設(shè)置臺(tái)數(shù)時(shí)，會(huì)產(chǎn)生凈化室262的室內(nèi)的壓力比底板下室263的壓力低的部位，從而從底板下室263向凈化室262的室內(nèi)發(fā)生逆流。當(dāng)從底板下室263向凈化室262的室內(nèi)產(chǎn)生逆流時(shí)，凈化室262的室內(nèi)的鉛垂向下的空氣流動(dòng)會(huì)發(fā)生較大的紊亂，成為凈化度惡化的原因。而且，在底板下室263內(nèi)通常配置有泵、藥品槽、配管類等，堆積附著在這些附帶設(shè)備的表面上的塵埃與逆流空氣一起飛揚(yáng)，流入凈化室262的室內(nèi)，因此污染顯著加重。此種逆流引起的污染的問題是推進(jìn)凈化室262的省設(shè)備化及省能量化而越接近設(shè)計(jì)極限越無法避免的重要的課題。因此，作為現(xiàn)有技術(shù)，在底板的附近位置配置檢測空氣的流動(dòng)方向或速度的傳感器，且設(shè)有控制機(jī)構(gòu)，該控制機(jī)構(gòu)按照傳感器的檢測值來調(diào)整從設(shè)置在凈化室頂部的FFU217吹出的潔凈空氣的流量。在該控制機(jī)構(gòu)中，設(shè)置在凈化室底板的附近的傳感器是通過檢測以底板為邊界的上下空間的差壓而間接地檢測空氣的流動(dòng)方向或速度的差壓計(jì)。控制機(jī)構(gòu)為了使所述差壓計(jì)檢測的差壓成為恒定范圍內(nèi)，而調(diào)整從設(shè)置在凈化室頂部264的FFU217吹出的潔凈空氣的流量，由此，不會(huì)發(fā)生來自底板下室的逆流，明確地顯示出削減設(shè)置在凈化室頂部264的FFU217等潔凈空氣吹出裝置的設(shè)置臺(tái)數(shù)的效果(例如，參照日本特開2004-218919號(hào)公報(bào))。然而，在上述現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中，能夠抑制從底板下室向凈化室內(nèi)逆流的問題，但還留有以下的課題。即，伴隨著排氣的設(shè)備或裝置為發(fā)生逆流的主要原因，凈化室內(nèi)的空氣不足為發(fā)生逆流的本質(zhì)的主要原因。設(shè)置于頂部的FFU在凈化室內(nèi)處于距空氣不足的部位遠(yuǎn)的位置，因此空氣分散，需要從所述FFU供給比在凈化室內(nèi)真正不足的流量多出很多的流量。因此，無法減少設(shè)置于頂部的FFU的流量，結(jié)果是能量成本大幅增加。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有問題而提出，其目的在于提供一種能夠消除凈化室內(nèi)的負(fù)壓部位，防止凈化室的來自底板下的逆流的凈化室的逆流防止裝置。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明如下所述構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明的第一形態(tài)，提供一種凈化室的逆流防止裝置，在該凈化室中，使從頂 部面吹出的潔凈空氣朝向由通氣性的底板分隔的底板下室，從而使氣流以下降流進(jìn)行流動(dòng)，所述凈化室的逆流防止裝置具備對(duì)所述凈化室的所述底板下室的空氣進(jìn)行吸引的吸引口 ；向所述凈化室內(nèi)吹出所述空氣的吹出口；從所述吸引口吸引所述底板下室的所述空氣并將其從所述吹出口向所述凈化室內(nèi)吹出的風(fēng)扇；對(duì)從所述吹出口吹出的空氣流的高度方向的朝向進(jìn)行調(diào)整的板狀的吹出角度調(diào)整用翅片；在所述吹出口從裝置中心呈放射狀地延伸且在高度方向上相互平行的板狀的放射狀空氣吹出用翅片；對(duì)所述風(fēng)扇進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，將所述凈化室內(nèi)不足的流量從所述底板下室向所述凈化室內(nèi)供給的控制裝置。如以上所述，根據(jù)本發(fā)明的凈化室的逆流防止裝置，通過從底板下室向凈化室內(nèi)供給而能夠彌補(bǔ)凈化室內(nèi)不足的流量，不會(huì)發(fā)生來自底板下室的逆流，能夠進(jìn)行減少了循環(huán)次數(shù)的節(jié)省的凈化設(shè)計(jì)。
根據(jù)關(guān)于附圖的優(yōu)選實(shí)施方式所關(guān)聯(lián)的如下的記述明確可知本發(fā)明的上述和其他的目的、特征。在該附圖中，圖IA是本發(fā)明的實(shí)施方式的凈化室的逆流防止裝置的簡要縱向剖視圖，圖IB是本發(fā)明的實(shí)施方式的凈化室內(nèi)的空氣流動(dòng)圖，圖2A是表示來自本發(fā)明的實(shí)施方式的凈化室的逆流防止裝置的吹出口的空氣的吹出方式的俯視圖，圖2B是表示來自本發(fā)明的實(shí)施方式的凈化室的逆流防止裝置的吹出口的空氣的吹出方式的縱向剖視圖，圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式的實(shí)施例I的凈化室的設(shè)有逆流防止裝置的解析模型圖，圖4是以曲線圖形式表示本發(fā)明的實(shí)施方式的凈化室的逆流防止裝置的裝置吹出流量與逆流面積的關(guān)系的解析結(jié)果的圖，圖5A是以曲線圖形式表示本發(fā)明的實(shí)施方式的凈化室的逆流防止裝置中的流量最小時(shí)的裝置吹出角度與逆流面積的關(guān)系的解析結(jié)果的圖，圖5B是以曲線圖形式表示本發(fā)明的實(shí)施方式的凈化室的逆流防止裝置中的流量最大時(shí)的裝置吹出角度與逆流面積的關(guān)系的解析結(jié)果的圖，圖6是表示日本特開2004-218919號(hào)公報(bào)的以往的凈化室的簡要剖視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，說明本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖IA是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的凈化室的逆流防止裝置10的簡要結(jié)構(gòu)圖的俯視圖。在該凈化室62中，使從頂部面吹出的潔凈空氣朝向由通氣性的篩板61分隔的底板下室63，而使氣流以下降流流動(dòng)。該凈化室的逆流防止裝置10包括逆流防止裝置10的框體11 ;在凈化室62的比篩板61靠上部的位置的框體11的側(cè)面設(shè)置的吹出口 12 ;離開吹出口 12，在比篩板61靠下部的位置且框體11內(nèi)設(shè)置的FFU (風(fēng)扇過濾器單元)13 ;在框體11的底面且FFU的下方配置的吸入口 14。逆流防止裝置10的吹出口 12優(yōu)選是距篩板61的底板面不太高的部位。在吹出口 12的位置比篩板61的底板面高時(shí)，在凈化室62內(nèi)，距逆流的篩板61的底板面變遠(yuǎn)，因此吹出的空氣發(fā)生擴(kuò)散，后述的逆流防止效果變?nèi)?。作為一例，如圖IA所示，在距篩板61的底板面為規(guī)定尺寸的高度之間且在框體11的側(cè)面配置有吹出口 12。需要說明的是，作為逆流防止裝置10的另一結(jié)構(gòu)，當(dāng)在吹出口 12設(shè)有過濾器時(shí)，F(xiàn)FU13的結(jié)構(gòu)也可以是無過濾器的僅為風(fēng)扇(鼓風(fēng)機(jī))的結(jié)構(gòu)。而且，通過在吹出口 12設(shè)置FFU，逆流防止裝置10也可以是在框體11的下方不配置FFU13而僅為吸入口 14的結(jié)構(gòu)。FFU13的過濾器根據(jù)凈化室62中需要的潔凈度而采用最佳的過濾器。而且，風(fēng)扇選定并采用能夠滿足需要的吹出量的風(fēng)扇。吹出口 12優(yōu)選使從吹出口 12吹出的空氣成為水平方向或斜向下那樣的結(jié)構(gòu)。在從吹出口 12向上或斜向上吹出空氣時(shí)，產(chǎn)生卷入了周圍的空氣的上升氣流，伴隨于此，底板下室63的空氣也可能被卷起。因此，可能會(huì)從凈化室62的底板下室63引起逆流。從在逆流防止裝置10的下部(底部)設(shè)置的吸入口 14吸入底板下室63的空氣。該空氣由FFU13提升至凈化室62內(nèi)所需的潔凈度。該空氣在到達(dá)吹出口 12之前，由FFU13的風(fēng)扇傳送至逆流防止裝置10內(nèi)的上部，從高度位于比凈化室62的篩板61靠上部的吹出口 12向凈化室62內(nèi)吹出，對(duì)凈化室62內(nèi)的不足的空氣進(jìn)行補(bǔ)充。作為FFU13的風(fēng)扇的動(dòng)作方法，僅在從凈化室62的底板下室63發(fā)生了逆流時(shí)進(jìn)行動(dòng)作，在沒有發(fā)生逆流時(shí)，使風(fēng)扇的動(dòng)作停止，由此，能夠形成為實(shí)現(xiàn)逆流防止裝置10自身的節(jié)能的動(dòng)作方法。為了實(shí)現(xiàn)該動(dòng)作，設(shè)置差壓計(jì)16，該差壓計(jì)16檢測以篩板61為邊界的上下空間的差壓，將差壓計(jì)16的檢測值向控制裝置90輸入，在控制裝置90中，基于差壓計(jì)16的檢測值，對(duì)FFU13的風(fēng)扇進(jìn)行啟動(dòng)/停止控制，由此能夠?qū)崿F(xiàn)該動(dòng)作。作為一例，考慮進(jìn)行如下的控制在利用控制裝置90判定為差壓計(jì)16的檢測值超過閾值時(shí)，為了避免發(fā)生逆流而使FFU13的風(fēng)扇啟動(dòng)，在利用控制裝置90判定為差壓計(jì)16的檢測值為閾值以下時(shí)，為了避免發(fā)生逆流而使FFU13的風(fēng)扇停止。另外，發(fā)生逆流的主要原因由于是凈化室62內(nèi)的設(shè)備65進(jìn)行排氣，因此，也可以將設(shè)備65的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況的信息向控制裝置90輸入，根據(jù)設(shè)備65的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，在控制裝置90的控制下，對(duì)FFU13的風(fēng)扇進(jìn)行啟動(dòng)/停止控制。使用圖2A和圖2B，說明逆流防止裝置10的吹出口 12的結(jié)構(gòu)和吹出方法。如圖2A和圖2B所示，吹出口 12在逆流防止裝置10的側(cè)面上，設(shè)置在比篩板61靠上的部分。吹出口 12的高度方向的長度到達(dá)比逆流防止裝置10的上表面低的位置為止。需要說明的是，吹出口 12的最上部的位置優(yōu)選距篩板61為2m以下。在來自逆流防止裝置10的吹出口 12的吹出相對(duì)于篩板61過高時(shí)，從吹出口 12吹出的空氣在到達(dá)篩板61之前發(fā)生擴(kuò)散，因此防止逆流的效果減弱。因此，為了防止逆流，而需要更多的吹出流量。
如圖2A和圖2B所示，放射狀空氣吹出用翅片18呈放射狀地設(shè)置在吹出口 12。在逆流防止裝置10為圓柱形時(shí)，吹出口 12及放射狀空氣吹出用翅片18從逆流防止裝置10的表面設(shè)置在從該圓柱形的軸中心呈放射狀延伸的直線A、B的范圍內(nèi)，且是在高度方向上相互平行的平板。通過如此設(shè)置放射狀空氣吹出用翅片18，且在控制裝置90的控制下驅(qū)動(dòng)放射狀空氣吹出用翅片18，由此，從吹出口 12朝著由逆流防止裝置10的中心散開的放射狀的方向吹出空氣。參照符號(hào)103是表示來自吹出口 12的寬度方向的吹出朝向的流線。另外，如圖2A所示，逆流防止裝置10的中心為0，從裝置中心0發(fā)生了逆流15時(shí)，將裝置中心0和該逆流15的范圍的左端連結(jié)的直線為A。將裝置中心0和逆流15的范圍的右端連結(jié)的直線為B。并且，Z AOB的二等分線為C。此時(shí)，Z AOC = Z BOC = 0。吹出口 12在逆流防止裝置10的表面上設(shè)置在直線A與直線B的范圍內(nèi)。由于成為此種結(jié)構(gòu)，因此，根據(jù)角度0來決定吹出口 12的寬度。另外，在吹出口 12同樣地設(shè)置有調(diào)整高度方向的吹出角度的板狀的吹出角度調(diào)整用翅片19。該吹出角度調(diào)整用翅片19的角度僅能夠從水平方向調(diào)整成向下方向。這是因?yàn)?，在從吹出?12吹出的空氣為向上時(shí)，會(huì)產(chǎn)生將周圍的空氣卷入的上升氣流，從而引起來自底板下室63的逆流。通過此種結(jié)構(gòu)，在吹出角度調(diào)整用翅片的作用下，空氣從吹出口 12朝向比水平方向向下的角度吹出。參照符號(hào)102是表示來自吹出口 12的高度方向的吹出朝向的流線。凈化室62內(nèi)的不足流量與發(fā)生逆流的流量相等，因此根據(jù)從凈化室62的篩板61發(fā)生逆流的流量，利用在控制裝置90內(nèi)與控制主體部90a分開設(shè)置的運(yùn)算部90b算出凈化室62內(nèi)的不足流量。來自差壓計(jì)16等的檢測信息及來自設(shè)備65的信息等向控制主體部90a輸入。來自差壓計(jì)16等的檢測信息從控制主體部90a向運(yùn)算部90b輸入時(shí)，運(yùn)算部90b進(jìn)行規(guī)定的運(yùn)算?；谶\(yùn)算部90b中的運(yùn)算結(jié)果，控制主體部90a對(duì)風(fēng)扇13進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。將發(fā)生逆流15的面積設(shè)為A (m2)，將根據(jù)流速計(jì)或差壓計(jì)16的檢測信息求出的發(fā)生逆流的各部位的流速設(shè)為Vi (m/s)，將發(fā)生逆流的流量設(shè)為Q。這樣，使用數(shù)學(xué)式IQ = AX /Vi dxdy .......(I)的數(shù)學(xué)式，利用運(yùn)算部90b能夠算出發(fā)生逆流的流量Q。在此，x、y是圖2A的平面中的正交坐標(biāo)的X坐標(biāo)和I坐標(biāo)。該算出值是凈化室62內(nèi)不足的真正的不足流量。發(fā)生逆流的面積或其流速或篩板61的上下的差壓可以通過利用I或多個(gè)流速計(jì)或差壓計(jì)16測定各部位來把握。控制成適當(dāng)量求出來自逆流防止裝置10的吹出口 12的吹出流量Qout。在吹出流量Qout相對(duì)于凈化室62內(nèi)不足的流量過少時(shí)，無法解決本來的課題即逆流防止，從而無法完全抑制來自底板下室63的逆流15。而且，在吹出流量Qout相對(duì)于適當(dāng)量過多時(shí)，如圖IB的箭頭101所示，剩余的空氣流入凈化室62的底板下室63后，在凈化室62的底板下室63內(nèi)進(jìn)行循環(huán)，在此過程中，產(chǎn)生了發(fā)生逆流15的部位。這是因?yàn)?，剩余的空氣流入凈化?2的底板下室63，由此在凈化室62的底板下室63中流動(dòng)有比通常多的流量，其結(jié)果是，產(chǎn)生底板下室63內(nèi)的壓力與凈化室62內(nèi)的室壓的壓力平衡被破壞的部位，從而從底板下室63發(fā)生逆流15。
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此時(shí),吹出流量Qout的適當(dāng)量優(yōu)選保持數(shù)學(xué)式2I. 20 X Q 彡 Qout 彡 3. 47 X Q ......(2)的關(guān)系。在圖3的結(jié)構(gòu)中，使用熱流體解析軟件(Cradle社制的stream)對(duì)設(shè)置在凈化室62內(nèi)的逆流防止裝置10的吹出流量Qout的最佳值與在凈化室62內(nèi)從底板61發(fā)生逆流的面積的關(guān)系進(jìn)行熱流體解析，根據(jù)其結(jié)果來得到該關(guān)系式。在圖3中，在發(fā)生7. 49mVmin的逆流15的凈化室62內(nèi)設(shè)置逆流防止裝置10，對(duì)來自逆流防止裝置10的吹出流量Qout的最佳流量進(jìn)行了熱流體解析的結(jié)果如圖4所示。在圖4中，縱軸表示發(fā)生逆流15的面積(m2)，橫軸表示來自逆流防止裝置10的吹出流量(m3/min) ο解析的結(jié)果是通過將吹出流量形成為9m3/min以上，能夠防止來自篩板61下的逆流15。相反地，在吹出流量為26m3/min以上時(shí)，從底板下室63新產(chǎn)生逆流15。S卩，可知本來相對(duì)于逆流的流量(7. 49m3/min)，需要為I. 20倍以上且3. 47倍以下的流量。其結(jié)果是，能得到上述(2)式。使用圖2A，說明來自逆流防止裝置10的吹出口 12的吹出的寬度方向。另外，如圖2A所示，如上所述，將來自裝置中心O的逆流15的范圍的二分之一的角度設(shè)為Θ，將實(shí)際來自吹出口 12的吹出角度設(shè)為Θ ’。在相對(duì)于發(fā)生逆流的范圍(逆流15的范圍)僅以狹窄的面積吹出時(shí)，Θ ’ < Θ。而且，在相對(duì)于發(fā)生逆流的范圍(逆流15的范圍)以大面積吹出時(shí)，Θ ’ > Θ。根據(jù)此種結(jié)構(gòu)，成為按照角度Θ ’來決定吹出口 12的吹出寬度和能夠覆蓋逆流15的范圍(逆流15的范圍)的結(jié)構(gòu)。由此，在角度為Θ ’ = Θ時(shí)，從逆流防止裝置10的吹出口 12吹出的空氣的寬度正好與發(fā)生逆流的范圍(逆流15的范圍)一致。另外，由于采用此種結(jié)構(gòu)，與將逆流防止裝置10相對(duì)于逆流15設(shè)置在近距離的情況和設(shè)置在遠(yuǎn)距離的情況相比可知，相對(duì)于逆流15在近距離的場所設(shè)置逆流防止裝置10時(shí)的角度Θ增大，因此吹出口 12的吹出寬度增大。然而，相對(duì)于逆流15在近的場所設(shè)置逆流防止裝置10的情況和在遠(yuǎn)的場所設(shè)置逆流防止裝置10的情況下，逆流防止裝置10的吹出流量相同，因此在近的場所設(shè)置逆流防止裝置10的情況必然會(huì)使流速變慢(這是因?yàn)?，吹出流速為V，吹出面積為D時(shí)，吹出流速V由V = Q/D的關(guān)系式定義，Q恒定，因此流速V成為與吹出面積D反比例的關(guān)系)。在來自逆流防止裝置10的吹出口 12的吹出寬度中求出最佳寬度。該吹出寬度如上所述可以由角度Θ ’定義。由此，最佳的吹出角度根據(jù)Θ與Θ ’的關(guān)系式θ ’ / Θ優(yōu)選保持數(shù)學(xué)式3O. 9 彡(Θ，/ Θ )彡 I. 2 ......(3)的關(guān)系。利用熱流體解析軟件(cradle社制stream)對(duì)來自逆流防止裝置10的吹出口 12·的吹出角度Θ ’與發(fā)生逆流的面積的關(guān)系進(jìn)行熱流體解析，根據(jù)其結(jié)果來得到該關(guān)系式。在本次的解析模型中，實(shí)施方式中定義的Θ值成為Θ = 33°。在此，根據(jù)上述的適當(dāng)?shù)拇党隽康慕Y(jié)果，分別利用來自逆流防止裝置10的吹出口12的流量最少的模型I (吹出流量9m3/min)和來自吹出口 12的流量最多的模型2 (吹出流量26m3/min)，進(jìn)行了熱流體解析。圖5A和圖5B分別表示其解析結(jié)果?？v軸為發(fā)生逆流的面積(m2)，橫軸使用量綱為I的值作為Θ ’ / Θ。解析的結(jié)果是，在吹出流量為9m3/min的最小流量的模型I時(shí)，可知若Θ ’ / Θ的值為O. 9以上且I. 2以下，則能夠防止逆流。另外，在吹出流量為26m3/min的最大流量的模型2時(shí)，可知若Θ ’ / Θ的值為O. 7以上且I. 6以下，則能夠防止逆流。吹出流量越多，越容易抑制逆流的發(fā)生，因此成為此種解析結(jié)果。根據(jù)本次的結(jié)果可知，來自逆流防止裝置10的吹出口 12的吹出角度的最佳值在本次中的條件最嚴(yán)格，需要滿足數(shù)學(xué)式4O. 9 彡(Θ，/ Θ )彡 I. 2 ......(4)的范圍。如上所述，逆流防止裝置10的吹出流量通過測定各部位的面積、流速或篩板61的上下的差壓而能夠把握?？墒?，根據(jù)凈化室62內(nèi)的環(huán)境變化或生產(chǎn)狀況，吹出流量可能每時(shí)每刻發(fā)生變化。因此，在發(fā)生逆流15的范圍內(nèi)，設(shè)置多個(gè)測定流速或篩板61的上下的差壓的傳感器(流速計(jì)或差壓計(jì))16。并且，根據(jù)顯示了逆流15的傳感器(流速計(jì)或差壓計(jì))16的范圍來算出發(fā)生逆流的面積，而且根據(jù)由各傳感器測定的流速或利用運(yùn)算部90b由差壓算出的流速，而利用運(yùn)算部90b算出發(fā)生逆流的流量。并且，基于該逆流的流量，利用控制裝置90來控制逆流防止裝置10的FFU13的流量。通過設(shè)置此種機(jī)構(gòu)，能夠應(yīng)對(duì)每時(shí)每刻發(fā)生變化的逆流面積或逆流的流速。如以上所述，根據(jù)實(shí)施方式的凈化室62，通過從底板下室63直接向凈化室62內(nèi)空氣不足的區(qū)域供給其不足流量，而能夠進(jìn)一步削減凈化室頂部的FFU17，與以往相比進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)節(jié)能的凈化室62，由此能夠得到本發(fā)明的效果。需要說明的是，通過將上述各種實(shí)施方式或變形例中的任意的實(shí)施方式或變形例適當(dāng)組合，而能夠起到各自具有的效果。
根據(jù)本發(fā)明的凈化室的逆流防止裝置，由于能夠防止污染空氣從底板下室向凈化室室內(nèi)的逆流，因此，不僅在通過削減凈化室的FFU等而使循環(huán)次數(shù)減少從而實(shí)現(xiàn)節(jié)能的凈化室中有用，而且在伴隨較多的裝置排氣的一般的凈化室的設(shè)計(jì)的用途中也有用。 本發(fā)明參照附圖并與優(yōu)選的實(shí)施方式相關(guān)聯(lián)而充分地進(jìn)行了記載，但對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然能進(jìn)行各種變形或修正。此種變形或修正只要不脫離權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明的范圍，就應(yīng)認(rèn)為包含于其中。
權(quán)利要求
1.一種凈化室的逆流防止裝置，在該凈化室中，使從頂部面吹出的潔凈空氣朝向由通氣性的底板分隔的底板下室，從而使氣流以下降流進(jìn)行流動(dòng)， 所述凈化室的逆流防止裝置具備 對(duì)所述凈化室的所述底板下室的空氣進(jìn)行吸引的吸引口； 向所述凈化室內(nèi)吹出所述空氣的吹出口； 從所述吸引口吸引所述底板下室的所述空氣并將其從所述吹出口向所述凈化室內(nèi)吹出的風(fēng)扇； 對(duì)從所述吹出口吹出的空氣流的高度方向的朝向進(jìn)行調(diào)整的板狀的吹出角度調(diào)整用翅片； 在所述吹出口從裝置中心呈放射狀地延伸且在高度方向上相互平行的板狀的放射狀空氣吹出用翅片； 對(duì)所述風(fēng)扇進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，將所述凈化室內(nèi)不足的流量從所述底板下室向所述凈化室內(nèi)供給的控制裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的凈化室的逆流防止裝置，其中， 利用所述風(fēng)扇進(jìn)行流量調(diào)整，以使來自所述吹出口的吹出流量Qout相對(duì)于從所述底板向所述凈化室內(nèi)逆流的流量Q滿足I. 20XQ ≤ Qout ≤ 3. 47XQ的關(guān)系。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的凈化室的逆流防止裝置，其中， 所述吹出角度調(diào)整用翅片的角度被調(diào)整為使所述空氣流從水平方向朝下方吹出的方向。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的凈化室的逆流防止裝置，其中， 在將裝置中心設(shè)為0，將連結(jié)所述裝置中心0和逆流的范圍的左端而成的直線設(shè)為A，將連結(jié)所述裝置中心0和所述逆流的范圍的右端而成的直線設(shè)為B，將Z AOB的二等分線設(shè)為C，將Z AOC和Z BOC設(shè)為Z AOC =Z BOC= 0，且將實(shí)際從所述吹出口吹出的角度設(shè)為0，時(shí)，滿足0. 9 ≤(0 ’ / 0 )≤ I. 2的關(guān)系。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的凈化室的逆流防止裝置，其中， 在將裝置中心設(shè)為0，將連結(jié)所述裝置中心0和逆流的范圍的左端而成的直線設(shè)為A，將連結(jié)所述裝置中心0和所述逆流的范圍的右端而成的直線設(shè)為B，將ZAOB的二等分線設(shè)為C，將Z AOC和Z BOC設(shè)為Z AOC =Z BOC= 0，且將實(shí)際從所述吹出口吹出的角度設(shè)為0，時(shí)，滿足0. 9 ≤(0 ’ / 0 ≤ I. 2的關(guān)系。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的凈化室的逆流防止裝置，其中， 還具備檢測以所述底板為邊界的上下空間的差壓的差壓計(jì)， 基于由所述差壓計(jì)檢測到的所述差壓，利用所述控制裝置對(duì)所述風(fēng)扇進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，將所述凈化室內(nèi)不足的流量從所述底板下室向所述凈化室內(nèi)供給。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的凈化室的逆流防止裝置，其中， 還具備檢測以所述底板為邊界的上下空間的差壓的差壓計(jì)， 基于由所述差壓計(jì)檢測到的所述差壓，利用所述控制裝置對(duì)所述風(fēng)扇進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，將所述凈化室內(nèi)不足的流量從所述底板下室向所述凈化室內(nèi)供給。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的凈化室的逆流防止裝置，其中， 還具備檢測以所述底板為邊界的上下空間的差壓的差壓計(jì)， 基于由所述差壓計(jì)檢測到的所述差壓，利用所述控制裝置對(duì)所述風(fēng)扇進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，將所述凈化室內(nèi)不足的流量從所述底板下室向所述凈化室內(nèi)供給。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的凈化室的逆流防止裝置，其中， 還具備檢測以所述底板為邊界的上下空間的差壓的差壓計(jì)， 基于由所述差壓計(jì)檢測到的所述差壓，利用所述控制裝置對(duì)所述風(fēng)扇進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，將所述凈化室內(nèi)不足的流量從所述底板下室向所述凈化室內(nèi)供給。
全文摘要
本發(fā)明提供一種凈化室的逆流防止裝置。具備對(duì)底板下室的空氣進(jìn)行吸引的吸入口、將空氣向裝置內(nèi)的上部供給的風(fēng)扇、在裝置中設(shè)置在底板上部的側(cè)面且用于向凈化室內(nèi)供氣的吹出口，通過將底板下室的空氣向凈化室內(nèi)供給，來防止從底板下室向凈化室內(nèi)的逆流。
文檔編號(hào)F24F7/007GK102788400SQ20121004427
公開日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月18日
發(fā)明者奧井洋介, 池野直也 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社