專利名稱：一種硅片甩干機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種硅片甩干機，屬晶體硅制備裝置技術領域。
背景技術：
現有硅片甩干機多為進口設備，主流甩干方式采用水平旋轉甩干，該結構
兼容性強，操作簡單。4、 5、 6、 8、寸硅片均可用該設備甩干。設備內腔由不 銹鋼組成，甩干過程分兩步，低速旋轉一段時間后再進行高速旋轉，進風通過 設備頂部的高效過濾單元直接耳又自凈化間。
該設備與傳統的單cassette垂直甩干方式相比具有甩干時間短，效率高， 一次可甩干4個cassette,操作、安裝簡單等特點。
設備在雨水較多，大氣空氣質量較好的環境下安裝使用時沒有任何問題， 但在秋冬兩季，空氣干燥，大氣空氣質量不好以及凈化間溫濕度控制不當時， 清洗甩干后的硅片在存放一段時間后會出現色斑，在強光燈或顆粒檢測儀下看 是一些密集的點狀缺陷，會嚴重的影響器件的成品率。
該缺陷產生的原因在于，該類型的甩干機轉速只有1000轉/分，片子在甩 干完成后，干燥不充分，在凈化間存在有機物或其它的酸根和堿根離子時，會 形成時間依敕性的霧，時間依敕性的霧就是一些點狀缺陷，而且也會影響柵氧 的完整性，造成漏電，考慮該設備的進風是通過空氣過濾裝置直接將凈化間的 空氣給入的，國內現有凈化廠房條件與國外發達技術相比存在差距，凈化間中 的Airborne molecular contamination不易4空制。因jt匕在厄干過禾呈中力口裝氣氣 保護就變得非常重要。
實用新型內容
本實用新型需要解決的技術問題是提供一種硅片甩干機，通過對現有甩干 機的結構改造，使甩干后的產品干燥充分，徹底解決硅片表面形成時間依敕性
3霧的缺陷。
為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是 一種硅片甩干機，其結構中包括，腔體，腔體內設置旋轉體，旋轉體上承 載硅片架，腔體頂部設置包括空氣過濾裝置的頂蓋，空氣過濾裝置由過濾介質、 隔板和框架組成，在甩干機頂蓋上設置有連通空氣過濾裝置的氮氣進氣口 。
本實用新型的上述技術方案的進一步改進在于氮氣進氣口與空氣過濾裝 置之間設置一互相連通的氮氣箱。
由于采用了上述技術方案，本實用新型取得的技術進步是 本實用新型通過加裝氮氣進氣裝置，使設備具有強制干燥功能，片子在甩 千的同時，附加氮氣干燥作用，可徹底去除表面的水氣，解決表面形成時間依 敕性霧的問題，同時空氣過濾裝置又保證了硅片表面的顆粒不超標，本新型結 構在不改變原有結構前提下進行改進，結構筒單，性能可靠。
圖1是新型硅片甩干機結構原理示意其中1、空氣過濾裝置，2、氮氣箱，3、氮氣進氣口， 4、旋轉體，5、 硅片架，6、腔體，7、頂蓋。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型做進一步詳細說明
如圖l所示，本實用新型結構包括，腔體6,腔體6內設置旋轉體4，旋轉 體4上承載硅片架5，腔體6頂部設置包括空氣過濾裝置1的頂蓋7，空氣過濾 裝置1由過濾介質、隔板和框架組成，甩干機頂蓋7上設置有連通空氣過濾裝 置1的氮氣進氣口 3;氮氣進氣口 3與空氣過濾裝置1之間設置互相連通的氮氣
々々 ，相3。
清洗甩干過程
l.打開氮氣進氣口 3的控制閥門，把待甩干的清洗干凈的硅片及硅片架5 放在甩干機承載裝置內。2. 啟動甩干程序則帶有氮氣箱2及空氣過濾裝置1的甩干機項蓋7自動蓋
上，開始甩干過程。
3. 程序結束后，頂蓋7自動打開，取出帶有已干燥的硅片的硅片架5。
權利要求1、一種硅片甩干機，其結構中包括，腔體，腔體內設置旋轉體，旋轉體上承載硅片架，腔體頂部設置包括空氣過濾裝置的頂蓋，空氣過濾裝置由過濾介質、隔板和框架組成，其特征在于在甩干機頂蓋上設置有連通空氣過濾裝置的氮氣進氣口。
2、 根據權利要求1所述的一種硅片甩干機，其特征在于所述氮氣進氣口 與空氣過濾裝置之間設置有互相連通的氮氣箱。
專利摘要本實用新型涉及一種硅片甩干機，屬晶體硅制備裝置技術領域。其結構中包括，腔體，腔體內設置旋轉體，旋轉體上承載硅片架，腔體頂部設置包括空氣過濾裝置的頂蓋，空氣過濾裝置由過濾介質、隔板和框架組成，其特征在于在甩干機頂蓋上設置有連通空氣過濾裝置的氮氣進氣口。通過加裝氮氣進氣裝置，使設備具有強制干燥功能，片子在甩干的同時，附加氮氣干燥作用，可徹底去除表面的水氣，解決表面形成時間依敕性霧的問題，同時空氣過濾裝置又保證了硅片表面的顆粒不超標，本新型結構在不改變原有結構前提下進行改進，結構簡單，性能可靠。
文檔編號F26B5/00GK201266000SQ20082010568
公開日2009年7月1日 申請日期2008年9月1日 優先權日2008年9月1日
發明者趙麗霞 申請人:河北普興電子科技股份有限公司