專利名稱：清潔工作艙和清潔通道的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種清潔工作艙，其具有一種結構，該結構使得可以相對于位于一個清潔空間內的工件進行各種操作，其中向下流動的清潔空氣被供應給該清潔空間，本發明還涉及一種清潔通道，其包括若干上述清潔工作艙。
本發明基于日本專利申請號396762/2000以及396763/2000，這兩個專利申請的全部內容被本文所引用。
如圖4所示，清潔臺被如此地設計，即清潔空氣3僅向下流動到圍繞著一個放置在支承臺1上的工作單元2的區域中。如果通過將若干如此構造的清潔臺并置并連接在一起，從而形成清潔通道，則當工件在清潔通道中被輸送時，能夠連續并順序地進行加工等各種操作。
在通過采用舞廳型(大房間型)的清潔房間或者局部清潔臺而充分地獲得均勻向下流動的清潔空氣的場合，天花板的整個表面由一個高效粒子空氣(HEPA)過濾器而組成，地板由格柵而分隔，空氣沿著向下的方向而被均勻地抽吸到地板中。
但是，這種傳統結構的清潔臺存在以下問題(1)因為尺寸的限制，要通過一個輸送器非常困難，并且安裝工作單元也存在大的限制。
(2)因為儀器被放置在清潔臺上，因此儀器所產生的熱量使得溫度升高。
(3)因為所采用的結構是工作單元從底部連續地被堆疊上去，因此較低的部分一側被堵塞，又由于向下流動的空氣停滯在那里，所以懸浮的粒子容易附著在工件上。
(4)當要修理工作單元時，清潔通道(工作臺站)中的所有工作單元必須停止操作。
(5)當需要達到高水平的清潔度時，因為清潔臺和管道必須安裝在高清潔度的清潔房間內，所以安裝成本變得非常高。
如果HEPA過濾器被安裝在清潔房間的天花板的整個表面上，則在HEPA過濾器的邊緣部分和連接部分上形成有空氣不流動的部分。結果，就產生清潔空氣向下流動的流率的不同，使得很難得到一個均勻的向下流動。而且，為了提高清潔度水平，必須增加循環換氣裝置的數目，結果氣流量增加了，從而造成運行成本增加的問題。
另外，在氣流量增加的場合，在HEPA過濾器出口附近的氣流和在HEPA過濾器出口下方區域的氣流之間的速度差增加，從而清潔空氣的向下流動經常變得不穩定。因此，即使氣流量增加，并且循環換氣裝置的數目增加了，但是清潔度和清潔度恢復特征并不象預期的那樣高，而且整個系統變得很大，非常不利。另外，當在具有特殊形狀的清潔通道的整個范圍上采用HEPA過濾器時，過濾器就需要定制，因此交付周期非常長，并且系統的成本變得非常高。
因此，本發明的目的是提供具有一種結構的清潔工作艙，所述結構使得可以相對于工件而有效地進行各種操作，并且提供了一種清潔通道，其包括若干以上清潔工作艙。
因此，向下流動的清潔空氣被設置得沿著一個方向，在該方向清潔空氣從清潔空間并通過操作室而向著工作艙外部持續地流動。因此，清潔空間內的清潔度達到高的水平，并且成功地保持著這個清潔狀態。
在本發明的清潔工作艙中，如果用于抽吸操作室內部的空氣的吸氣部被設置在操作室的上部，則操作室上側容易滯流的空氣通過吸氣部而被排出操作室。因此，就有可能成功地防止操作室內的污濁空氣進入清潔空間的內部。
在本發明的清潔工作艙中，如果吸氣部所抽吸的空氣量被調節，以便將操作室內的壓力保持在高于工作艙外部的壓力的水平，則就可能防止工作艙外側的污濁空氣流入操作室中。
在本發明的清潔工作艙中，如果用于使操作者觀察清潔空間內的工件的工作孔被設置在位于清潔空間和操作室之間的深度方向前側的本體壁部，同時如果具有彎曲表面的、并向著清潔空間內側伸出的窗板被安裝在工作孔上，那么操作者的視野通過具有彎曲表面的窗板而被擴大了，使得有可能有效地提高操作效率。另外，借助于窗板的空間遮斷作用，可以防止操作者所帶來的灰塵進入清潔空間的內部。
在本發明的清潔工作艙中，如果用于將部分向下流動的清潔空氣導入操作室內的空氣通孔被設置在位于具有彎曲表面的窗板的正下方的位置處，同時如果窗板的下側彎曲表面被如此地構造形狀，以使得它從窗板的彎曲表面的突出頂點向著空氣通孔彎曲，那么位于清潔空間內部的工作單元附近的部分空氣被沿著窗板下半部分的彎曲表面而導入空氣通孔一側，并通過空氣通孔而流入操作室中。因此，就有可能可靠地防止懸浮的顆粒附著在工件上。
在本發明的清潔工作艙中，如果儀器和操作者不處在同一位置，并且具有彎曲表面的窗板位于儀器和操作者之間，同時儀器位于清潔空間的外側，使儀器處在與窗板大致相同的高度，那么向下流動的清潔空氣就不會因儀器而成為紊流，并且清潔空間的內部不會由于儀器所產生的熱量而發生溫度上升，同時可以避免儀器所產生的灰塵進入清潔空間的內部。
在本發明的清潔工作艙中，如果用來提供向下流動的清潔空氣的空氣輸送部被是設置在清潔空間的天花板上的本體壁部，并且如果一個具有向下凸出曲面的彎曲過濾器被安置在空氣輸送部，從而由空氣輸送部提供的并通過彎曲過濾器而向下流動的清潔空氣向著垂直于深度方向的至少一個寬度方向大致放射狀地擴大，然后向下流動的清潔空氣令人滿意地被提供到沿著清潔空間的寬度方向的至少整個寬度上。
在本發明的清潔工作艙中，如果排氣孔被分別設置在確定清潔空間的本體壁部的下端以及分隔操作室的板件的下端，那么就有可能成功地形成清潔空氣的向下流動。
根據本發明的清潔通道，因為清潔通道是通過將以上所描述的清潔工作艙并置以及連接成一排而形成的，所以上述操作也可以在清潔通道中類似地獲得。
另外，在本發明的清潔工作艙中，設有一種構造，使得出口表面過濾器的空氣輸送表面被如此地形成以便至少沿著垂直于深度方向的寬度方向而大致放射狀地彎曲，從而當空氣輸送部所提供的向下流動的清潔空氣在至少沿著寬度方向被大致放射狀地擴大的同時被輸送。因此，從出口表面過濾器的空氣輸送表面所供應的向下流動的清潔空氣至少沿著清潔空間的寬度方向而被成功地供應到整個寬度上，從而有可能獲得均勻的向下流動。
在本發明的清潔工作艙中，如果設有一種構造，使得出口表面過濾器的空氣輸送表面被如此地形成以便沿著深度方向大致放射狀地彎曲，并且由空氣輸送部所提供的向下流動的清潔空氣在沿著深度方向大致放射狀地擴大的同時被輸送，那么從出口表面過濾器的空氣輸送表面所供應的向下流動的清潔空氣不僅沿著清潔空間的寬度方向而且沿著清潔空間的深度方向而被成功地供應到整個寬度上，從而使得有可能獲得更加均勻的向下流動。
在本發明的清潔工作艙中，內部主過濾器可以通過尺寸小于清潔空間的天花板部分的尺寸的高效粒子空氣過濾器而構成。
在本發明的清潔工作艙中，如果出口表面過濾器通過由尼龍布制成的網狀過濾器構成，并且由尼龍制造的網狀過濾器在松弛的狀態下被安裝并因此而沿著深度方向和相垂直的寬度方向大致放射狀地彎曲，從而由空氣輸送部提供的向下流動的清潔空氣在沿著深度方向和寬度方向大致放射狀地擴大的同時被輸送，因此借助于采用不昂貴過濾器元件的系統，就有可能在清潔空間的寬度和深度兩個方向上獲得均勻的向下流動。
在本發明的清潔工作艙中，如果用于使操作者觀察清潔空間內的工件的工作孔被設置在清潔空間的深度方向的前側，而一個向著清潔空間內側突出的并具有曲面的透明窗板與工作孔相連，并且如果內部主過濾器以及出口表面過濾器被安置在透明窗板的深度方向后側的上部，那么操作者的視野就通過具有曲面的透明窗板而被擴大了，使得有可能獲得令人滿意的操作效率。另外，借助于透明窗板的空間遮斷作用，就能夠防止操作者所帶來的灰塵進入清潔空間的內部。
在根據本發明的清潔工作艙中，如果用于將部分向下流動的清潔空氣向著操作者引導的空氣通孔被設置在位于具有彎曲表面的透明窗板的正下方的位置處，同時透明窗板的下側彎曲表面被如此地構造形狀，即它從透明窗板的彎曲表面的突出頂點向著空氣通孔彎曲，那么位于清潔空間內部的工作單元附近的部分空氣就被沿著窗板下半部分的彎曲表面而導入空氣通孔一側，并通過空氣通孔而流入操作室中。因此，就有可能有效地防止懸浮的顆粒附著在工件上。
在本發明的清潔工作艙中，如果一個工作單元被如此地安裝以便從一個確定了清潔空間的深度方向后側的本體壁部向著清潔空間的內側突出，從而形成了一個位于工作單元正下方的空間狀態的部分。因此，穿過工作單元的向下流動的清潔空氣令人滿意地以均勻層狀流動的形式向下流動，并隨后通過一個安置在清潔空間下側的排氣部而向著工作艙外部平穩地排出。
另外，可以設有一種構造，以便用于將向下流動的清潔空氣排出工作艙的排氣部被設置在清潔空間的下側，并且操作者所位于的操作室被如此地形成以便通過一個覆蓋操作室的板件而與工作艙的外部從空間上分隔，這樣，由于板件的空間遮斷作用，所以操作室內的壓力被設置得比工作艙外部的壓力要高，并被保持在低于清潔空間內的壓力的水平。如果設有這種構造，則向下流動的清潔空氣被沿著一個方向定向，在該方向清潔空氣從清潔空間內通過操作室而向著工作艙的外部持續地流出。因此，清潔空間內的清潔度達到高的水平，并且成功地維持著這種清潔狀態。
在根據本發明的清潔通道中，因為清潔通道是通過將若干清潔工作艙并置并連接成一排而形成的，所以上述操作在清潔通道中也能夠類似地獲得。
優選實施例的詳細描述下面，將參考附圖而對一個實施例進行詳細的描述。
在
圖1和圖2所示出的根據本發明實施例的清潔工作艙10中，確定出一個供應有向下流動的清潔空氣11的清潔空間12，以便被框架狀的本體部13的壁部從空間上分隔。操作者P所位于的操作室14被設置以便通過位于前側(圖1中的左側)的本體前壁部13a而與清潔空間12相鄰，如沿著清潔空間12的深度方向(圖1中的左右方向)所示。當位于操作室14中的操作者P向著放置在清潔空間12中的工作單元15并朝著內側伸展他的手時，操作者可以相對于支撐在工作單元15上的工件W而執行各種操作。
具體地說，本體部13被構造以使得本體壁部被適當地安裝在由方管等形成的機架的必要的部分上。清潔空間12通過安置在深度方向前側的本體前壁部13a而與操作室14隔離。通過一個遠離本體前壁部13a并位于深度方向后側的本體后壁部13b，使得清潔空間12與工作艙外部空間S分隔開。
如圖3所示，過濾器單元16被安裝在對應于本體部13的天花板部的壁部的上部。由于位于過濾器單元16中的風扇電機16a的驅動力，工作艙外部空間S中的空氣通過一個位于過濾器單元16的上表面上的預過濾器16b而被吸入工作艙內部。另外，已經由位于過濾器單元16下部的空氣輸送部16c中的高效粒子空氣(HEPA)過濾器16d凈化過的空氣被作為向下流動的清潔空氣11而被從清潔空間12的上側向著下側供應。
由HEPA過濾器所構成的內部主過濾器16d被設置在空氣輸送部16c內部的上游側(圖中的上側)，同時一個出口表面過濾器(彎曲過濾器)16e被設置在內部主過濾器16d的下游側(下側)，它由尼龍布制造的網狀過濾器構成。內部主過濾器16d的平面視圖具有矩形的外部形狀，并基本小于清潔空間12的天花板部的尺寸，并且出口表面過濾器16e被安置以便從下側覆蓋住內部主過濾器16d。
通過具有向下凸出的曲面的彎曲過濾器而形成位于空氣輸送部16c中的HEPA過濾器16d。通過由彎曲過濾器而形成的HEPA過濾器16d，向下流動的清潔空氣在向著垂直于深度方向的寬度方向(圖2中的左右方向)大致放射狀地擴大的同時而被供應。
由尼龍布制造的網狀過濾器所構成的出口表面過濾器16e在松弛的狀態下被安裝，以便向著下側彎曲地下垂，因此出口表面過濾器16e所具有的表面形狀大致沿著深度方向(圖1中的左右方向)以及相垂直的寬度方向(圖2中的左右方向)而大致放射狀地彎曲。這種結構使得從出口表面過濾器16e中供應的向下流動的清潔空氣11在沿著深度方向和寬度方向通過該出口表面過濾器16e的大致放射形的彎曲而被大致放射狀地擴大的同時被輸送。
另外，工作單元15被支撐在一個可移動的單元15a上，可移動單元15a可沿著清潔空間12的深度方向移動。這種構造使得在可移動單元15a與位于本體部13的本體后壁部13b上的開口連接時形成上述清潔空間12。也就是說，工作單元15以壁安裝形式被支撐，即具有一種從確定清潔空間12的本體后壁部13b而向著清潔空間12的內側突出的結構。安置在工作單元15上的工件W通過一個未示出的進給輸送器或者適當的部件而被進給。
另外，操作室14被如此地形成以便能夠通過用于覆蓋操作室14四周的透明尼龍板件14a而與工作艙外部空間S從空間上分隔開。由于這種尼龍板件14a的空間分隔作用，所以操作室14內部的壓力BP被設置得比工作艙外部空間S中的壓力OP略微大一些(BP＞OP)，并被保持得比清潔空間12內的壓力CP略微低一些，從而清潔空間12內的空氣將流入操作室14中(BP＜CP)。
因此，向下流動的清潔空氣11被設置在一個方向上，在該方向清潔空氣11從清潔空間12的內部通過操作室14而向著工作艙外部空間S持續地流出。因此，清潔空間12內部的清潔度具有一個高的水平，并且這種清潔狀態被成功地保持著。
同時，用于抽吸操作室14內部空氣的吸氣部14b被設置在操作室14的上部，因此操作室14上側的容易滯留的空氣通過吸氣部14b而被排出操作室。因此，就有可能成功地防止操作室14內部的污濁空氣進入清潔空間12中。
多個未示出的抽吸孔被貫穿地形成在吸氣部14b的前表面上，并通過管子而與過濾器單元16相連以便與它連通，這種構造使得操作室14上側的滯留空氣通過抽吸孔而被抽吸。也就是說，操作室14上側的滯留空氣通過抽吸孔部14b而被吸入過濾器單元16中，在空氣通過HEPA過濾器16d，即過濾器單元16中的內部主過濾器和出口表面過濾器16e而被凈化后，空氣被作為向下流動的清潔空氣11而被輸送到清潔空間12中。應當注意到吸氣部14b所抽吸的空氣量被調節以便將操作室14內的壓力BP保持在比工作艙外部的壓力OP高的水平，從而防止工作艙外面的污濁空氣流入操作室14中。
另外，用于使操作者P在觀察清潔空間12內的工件W時執行操作的工作孔13c被貫穿地形成在清潔空間12和操作室14之間的深度方向前側的本體前壁部13a上。一個透明的窗板14c具有大致半圓形的截面并向著清潔空間12突出，該窗板14c與工作孔13c相連。并且，由于內部主過濾器16d和出口表面過濾器16e被安置在透明窗板14c的深度方向的后側的上部，所以就提供了一種結構，使得操作者P的視野通過具有曲面的窗板14c而被擴大了，因此就可能獲得令人滿意的操作效率，并且通過透明窗板14c的空間遮斷作用，由操作者P所帶來的灰塵不能進入清潔空間12的內部。
另外，工作孔13c被貫穿地形成，從而對應于位于透明窗板14c的正下方位置處的工作孔13c作為一個空氣通孔14d，其通過清潔空間12和操作室14之間的壓力差而引導向下流動的清潔空氣11進入操作室14中。同時，具有半圓形表面的透明窗板14c的下彎曲表面被如此地成形，即從透明窗板14c的彎曲表面的突出頂點A向著空氣通孔14d彎曲。
另外，在一個遠離操作者P的位置，其中透明窗板14c位于該位置和操作者P之間并且該位置處在清潔空間12的外面，在該位置各種用于測量和顯示的儀器17被設置得大致和透明窗板14c的高度相同。這些儀器17不是被安置在清潔空間12中，而是被安置在本體部13的框架上，從而操作者P能夠通過透明窗板14c而觀察到儀器17。
因此，向下流動的清潔空氣11不會因儀器17而形成紊流，清潔空間12的內部不會由于儀器17所產生的熱量而發生溫度上升的現象，并且由儀器17所產生的灰塵不會進入清潔空間12內。
另外，排氣孔12a和14e分別被設置在確定清潔空間12的相應的本體壁部的下端以及分隔操作室14的尼龍板件14a的一個下端部分，從而向下流動的清潔空氣11最終通過這些排氣孔12a和14e而被排到工作艙外部空間S中。因此，就有可能成功地形成清潔空氣11的向下流動。
若干具有上述結構的清潔工作艙10沿著寬度方向并置，當若干清潔工作艙10彼此相連時，就可能形成一個清潔通道，其中清潔工作艙10為管型。通過這種清潔通道，也有可能以類似的方式獲得上述操作以及優點。
根據本發明的清潔工作艙10，工作單元15被如此地安裝，以便從確定清潔空間12的深度方向后側的本體壁部13b向著清潔空間12的內側突出，從而形成正好位于工作單元15下方的空間形式的部分。因此向下流動的穿過工作單元15的清潔空氣11令人滿意地以均勻的層狀流動而向下流動，并且通過位于清潔空間12下側的排氣孔12a而向著工作艙外部空間S順序平穩地排出。
另外，用于將部分向下流動的清潔空氣11導入操作室14中的空氣通孔14d被形成在具有曲面的窗板14c的正下方的位置處。而且，具有曲面的透明窗板14c的下部曲面被如此地成形，即從透明窗板14c的曲面的突出頂點A向著空氣通孔14d彎曲。因此，清潔空間12內的工作單元15附近的部分空氣被沿著窗板14c的下半部分而導入空氣通孔14d，并被允許通過空氣通孔14d而流入操作室14中。因此，就有可能有效地防止懸浮粒子附著在工件W上。
另外，根據本實施例的清潔工作艙10，用于提供向下流動的清潔空氣11的空氣輸送部16c被設置在位于清潔空間12的天花板上的本體壁部，具有向下凸出的曲面的出口表面過濾器16e被設置在空氣輸送部16c中。該出口表面過濾器16e的空氣輸送表面被如此地形成以便沿著深度方向以及相垂直的寬度方向而大致放射狀地彎曲。結果，這種構造使得由出口表面過濾器16e的空氣輸送表面所提供的向下流動的清潔空氣11在沿著深度方向和寬度方向大致放射狀地擴大的同時而被輸送。因此，由出口表面過濾器16e的空氣輸送表面所提供的向下流動的清潔空氣11就會沿著清潔空間12的深度方向和寬度方向整體地令人滿意地被輸送，從而就可能獲得一個均勻的向下的流動。
出口表面過濾器16e通過由尼龍布制造的網狀過濾器而構成，并且這種尼龍布制造的網狀過濾器以松弛的狀態被安裝，從而沿著深度和寬度方向大致放射狀地彎曲。這種構造使得由空氣輸送部16c所提供的向下流動的清潔空氣11在沿著深度方向和寬度方向大致放射狀地擴大的同時而被輸送。因此借助于這種采用不昂貴過濾件的系統，就有可能獲得沿清潔空間的寬度方向和深度方向的均勻的向下流動。
另外，由于上述內部主過濾器16d由HEPA過濾器構成，HEPA過濾器具有比清潔空間12的天花板的尺寸小很多的平面形狀，所以就有可能通過一種簡單并小巧的HEPA過濾器而獲得一個均勻的向下的流動。
雖然以上對由本申請的發明人所設計的實施例進行了描述，但是本發明不僅僅限于上述實施例，毋庸置疑可以在不脫離本發明主旨的范圍內進行各種改變。
綜上所述，根據本發明的清潔工作艙被構造，從而工作單元被如此地安裝以便從確定清潔空間的深度方向后側的本體壁部向著清潔空間的內側突出，藉此位于工作單元正下方的部分被形成為空間，而且使得穿過工作單元的向下流動的清潔空氣以均勻層狀的流動而向下流動并且通過位于清潔空間下側的排氣部而向著工作艙外部平穩地排出。另外，提供一種構造，從而使得操作室通過覆蓋操作室的板件而與工作艙外部從空間上隔離，因此由于板件的空間分隔作用，操作室內的壓力被設置得比工作艙外部的壓力要高，并被保持在低于清潔空間內部的壓力水平。因此，清潔空間內的清潔度達到高的水平，并且成功地保持這個清潔狀態，從而清潔空間內部的清潔度能夠以低成本而輕松地得到改善。
另外，根據本發明的清潔工作艙，因為用于抽吸操作室內部空氣的吸氣部位于操作室的上部，所以操作室上側的容易滯流的空氣通過吸氣部而被排出操作室。因此，就有可能成功地防止操作室內的污濁空氣進入清潔空間的內部。
另外，根據本發明的清潔工作艙，因為吸氣部所抽吸的空氣量被調節以便將操作室內的壓力保持在高于工作艙外部的壓力的水平，所以就有可能防止工作艙外部的污濁空氣流入操作室中。
另外，在本發明的清潔工作艙中，因為用于使操作者觀察清潔空間內的工件的工作孔被設置在位于清潔空間和操作室之間的深度方向前側的本體壁部，同時因為具有彎曲表面的、并向著清潔空間內側伸出的窗板被安裝在工作孔上，所以操作者的視野通過具有彎曲表面的窗板而被擴大了，使得有可能有效地提高操作效率。另外，借助于窗板的空間遮斷作用，可以防止由操作者所帶來的灰塵進入清潔空間的內部。
另外，在本發明的清潔工作艙中，因為用于將部分向下流動的清潔空氣導入操作室內的空氣通孔被設置在具有彎曲表面的窗板的正下方的位置處，同時因為窗板的下側彎曲表面被如此地構造形狀，即它從窗板的彎曲表面的突出頂點向著空氣通孔彎曲，所以位于清潔空間內部的工作單元附近的部分空氣被沿著窗板下半部分的彎曲表面而導入空氣通孔一側，并通過空氣通孔而流入操作室中。因此，就可能有效地防止懸浮的顆粒附著在工件上。
另外，根據本發明的清潔工作艙，因為儀器和操作者不處在同一位置，具有彎曲表面的窗板位于儀器和操作者之間并且儀器位于清潔空間的外部，同時儀器處在與窗板大致相同的高度，所以向下流動的清潔空氣不會因儀器而成為紊流，并且清潔空間的內部不會由于儀器所產生的熱量而發生溫度上升，同時可以避免儀器所產生的灰塵進入清潔空間的內部。
另外，根據本發明的清潔工作艙，因為用來提供向下流動的清潔空氣的空氣輸送部位于清潔空間的天花板上的本體壁部，并且具有向下凸出曲面的彎曲過濾器被安置在空氣輸送部，從而由空氣輸送部提供并通過彎曲過濾器的向下流動的清潔空氣至少向著垂直于深度方向的寬度方向而大致放射狀地擴大。因此，向下流動的清潔空氣令人滿意地被供應到清潔空間寬度方向的至少整個寬度上。
另外，根據本發明的清潔工作艙，因為排氣孔被分別設置在確定清潔空間的本體壁部的下端以及分隔操作室的板件的下端，所以就有可能成功地形成清潔空氣的向下流動。
另外，根據本發明的清潔通道，因為清潔通道是通過將以上所描述的清潔工作艙并置以及連接成一排而形成的，所以上述操作也可以在清潔通道中類似地獲得。
另外，根據本發明的清潔工作艙被構造，使得出口表面過濾器的空氣輸送表面被如此地形成以便沿著垂直于深度方向的至少一個寬度方向而大致放射狀地彎曲，并且當空氣輸送部所提供的向下流動的清潔空氣在至少沿著寬度方向而被大致放射狀地擴大的同時被輸送，因此由出口表面過濾器的空氣輸送表面所提供的向下流動的清潔空氣能夠至少沿著清潔空間的寬度方向而被成功地供應到整個寬度上，從而使得有可能獲得均勻的向下流動。
另外，根據本發明的清潔工作艙，因為設有一種構造，使得出口表面過濾器的空氣輸送表面被如此地形成以便沿著深度方向大致放射狀地彎曲，同時由空氣輸送部所提供的向下流動的清潔空氣在沿著深度方向大致放射狀地擴大的同時被輸送，所以由出口表面過濾器的空氣輸送表面所提供的向下流動的清潔空氣不僅沿著清潔空間的寬度方向而且沿著清潔空間的深度方向而被成功地供應到整個寬度上，從而使得有可能獲得更加均勻的向下流動。
另外，因為本發明的清潔工作艙被構造而使得內部主過濾器可以通過尺寸小于清潔空間的天花板部分的尺寸的高效粒子空氣過濾器而構成，所以就有可能通過一個簡單并小巧的HEPA過濾器而獲得均勻的向下流動。
另外，本發明的清潔工作艙被構造以使得出口表面過濾器通過由尼龍布制成的網狀過濾器而構成，并且由尼龍布制造的網狀過濾器在松弛的狀態下被安裝，因此它沿著深度方向和相垂直的寬度方向大致放射狀地彎曲，從而由空氣輸送部提供的向下流動的清潔空氣在沿著深度方向和寬度方向大致放射狀地擴大的同時被輸送。因此借助于采用便宜過濾器元件的系統，就有可能在清潔空間的寬度和深度兩個方向上獲得均勻的向下流動。
另外，本發明的清潔工作艙被構造以使得用于使操作者觀察清潔空間內的工件的工作孔被設置在清潔空間的深度方向的前側，并且一個向著清潔空間內側突出的具有曲面的透明窗板與工作孔相連，同時內部主過濾器以及出口表面過濾器被安置在透明窗板的深度方向后側的上部。因此，操作者的視野通過具有曲面的透明窗板而被擴大了，使得有可能獲得令人滿意的操作效率。另外，借助于透明窗板的空間遮斷作用，就能夠防止操作者所帶來的灰塵進入清潔空間的內部。
還有，本發明的清潔工作艙被構造以使得用于將部分向下流動的清潔空氣向著操作者導入的空氣通孔被設置在具有彎曲表面的透明窗板的正下方的位置處，同時透明窗板的下側彎曲表面被如此地構造形狀，使得它從透明窗板的彎曲表面的突出頂點向著空氣通孔彎曲。因此，清潔空間內部的工作單元附近的部分空氣被沿著窗板下半部分的彎曲表面而導入空氣通孔一側，并通過空氣通孔而流入操作室中。因此，就有可能防止懸浮的顆粒附著在工件上。
還有，因為本發明的清潔工作艙被構造以使得一個工作單元被如此地安裝，即從一個確定清潔空間的深度方向后側的本體壁部向著清潔空間的內側突出，從而形成了一個位于工作單元正下方的空間狀態的部分，因此穿過工作單元的向下流動的清潔空氣令人滿意地以均勻層狀流動的形式向下流動，并且通過一個安置在清潔空間下側的排氣部而向著工作艙的外部平穩地排出。另外，因為操作者所位于的操作室被如此地形成以便通過一個覆蓋操作室的板件而與工作艙的外部從空間上分隔，這樣，由于板件的空間分隔作用，操作室內的壓力被設置得比工作艙外部的壓力要高，并被保持在低于清潔空間內的壓力的水平。因此，清潔空間內的清潔度能夠達到高的水平。
另外，根據本發明的清潔通道，因為清潔通道是通過將若干清潔工作艙并置并連接成一排而形成的，所以上述優點在清潔通道中也能夠類似地獲得。
權利要求
1.一個清潔工作艙，包括清潔空間，其通過一個本體部的壁部形成，并且向下流動的清潔空氣被供應到所述清潔空間中；工作單元，其用于支撐安置在所述清潔空間內的一個工件；以及室，其通過一個位于所述清潔空間前側的本體壁部而毗鄰所述清潔空間，以便使得位于所述室內的操作者在將手伸展到所述清潔空間中的時候，可相對于安置在所述工作單元上的工件執行操作，其中，所述工作單元從形成所述清潔空間的一個后側的所述本體壁部向著所述清潔空間的內側突出，用于將向下流動的清潔空氣排出所述工作艙的排氣部被設置在所述清潔空間的下側，所述室被構造以便將所述室通過一個覆蓋所述室的板件而與所述工作艙的外部從空間上進行分隔，以及由于所述板件的分隔作用，所述室內部的壓力被設置得比所述工作艙外部的壓力要高，并且所述室內部的所述壓力被設置得比所述清潔空間內部的壓力要低。
2.如權利要求1所述的清潔工作艙，其特征在于，一個用于抽吸所述室內部空氣的吸氣部被安置在所述室的下部。
3.如權利要求2所述的清潔工作艙，其特征在于，所述吸氣部所抽吸的空氣量被調節，以便將所述室內部的壓力保持得比所述工作艙外部的壓力要高。
4.如權利要求1所述的清潔工作艙，其特征在于，進一步包括一個位于所述本體壁部的工作孔，用于使操作者能夠觀察所述清潔空間內部的工件，以及一個窗板，其具有向著所述清潔空間的內側突出的曲面，并被連接在所述工作孔上。
5.如權利要求4所述的清潔工作艙，其特征在于，一個用于將部分向下流動的清潔空氣導入所述室中的空氣通孔被形成在所述彎曲窗板正下方的位置，并且所述具有曲面的窗板的下側曲面被成形以便從所述窗板的曲面的突出頂點向著所述空氣通孔彎曲。
6.如權利要5所述的清潔工作艙，其特征在于，儀器被設置在遠離操作者的位置，并且具有彎曲表面的窗板位于儀器和操作者之間，同時儀器位于清潔空間的外部，所述儀器處在與所述窗板大致相同的高度。
7.如權利要1所述的清潔工作艙，其特征在于，用來提供向下流動的清潔空氣的空氣輸送部被設置在所述清潔空間的天花板上的所述本體壁部，并且具有向下凸出的曲面的彎曲過濾器被安置在所述空氣輸送部，并且由所述空氣輸送部供應的、通過所述彎曲過濾器的向下流動的清潔空氣向著垂直于深度方向的至少一個寬度方向大致放射狀地擴大。
8.如權利要1所述的清潔工作艙，其特征在于，所述排氣孔被分別設置在確定所述清潔空間的本體壁部的下端以及分隔所述室的板件的下端。
9.一個清潔通道，其包括若干根據前面權利要求1-8中任一權利要求所述的清潔工作艙，所述清潔工作艙被并置以及連接成一排。
10.一個清潔工作艙，其中，清潔空氣通過設置在清潔空間中的空氣輸送部上的一個內部過濾器而被凈化，并通過位于所述內部過濾器的下游端的一個出口表面過濾器而作為向下流動的清潔空氣被從所述空氣輸送部向下供應到所述清潔空間中，以及所述出口表面過濾器的一個空氣輸送表面被形成以便沿著垂直于深度方向的至少一個寬度方向而大致放射狀地彎曲，以及由所述空氣輸送部所供應的向下流動的清潔空氣沿著寬度方向被大致放射狀地擴大的同時被輸送。
11.如權利要求10所述的清潔工作艙，其特征在于，所述出口表面過濾器的空氣輸送表面被形成以便沿著深度方向大致放射狀地彎曲，并且由所述空氣輸送部所提供的向下流動的清潔空氣沿著深度方向被大致放射狀地擴大的同時被輸送。
12.如權利要求10所述的清潔工作艙，其特征在于，所述內部過濾器由尺寸小于所述清潔空間的天花板部的尺寸的一個高效粒子空氣過濾器而構成。
13.如權利要求10所述的清潔工作艙，其特征在于，所述出口表面過濾器通過由尼龍布制成的網狀過濾器而構成，并且所述網狀過濾器在松弛的狀態下被安裝，并因此而沿著深度方向和相垂直的寬度方向大致放射狀地彎曲，從而由所述空氣輸送部所供應的向下流動的清潔空氣在沿著深度方向和寬度方向大致放射狀地擴大的同時被輸送。
14.如權利要求10所述的清潔工作艙，其特征在于，一個操作者相對于安置在所述清潔空間內的一個工作單元上的工件而執行操作，并且一個用于使所述操作者觀察所述清潔空間內的工件的工作孔被設置在所述清潔空間的深度方向的前側，具有向著所述清潔空間內側突出的曲面的一個透明窗板與所述工作孔相連，以及所述內部過濾器和所述出口表面過濾器被設置在所述透明窗板的深度方向后側的上部。
15.如權利要求14所述的清潔工作艙，其特征在于，用于將部分向下流動的清潔空氣向著操作者引導的空氣通孔被設置在具有彎曲表面的窗板的正下方，同時具有彎曲表面的所述透明窗板的下側彎曲表面被如此地構造形狀，即它從所述透明窗板的彎曲表面的突出頂點向著所述空氣通孔彎曲。
16.如權利要求10所述的清潔工作艙，其特征在于，所述工作單元從確定所述清潔空間的深度方向后側的本體壁部向著所述清潔空間的內側突出，用于將向下流動的清潔空氣排出所述工作艙的一個排氣部被設置在所述清潔空間的下側，所述室被如此地形成以便通過一個覆蓋所述室的板件而與所述工作艙的外部從空間上分隔開，由于所述板件的分隔作用，所述室內的壓力被設置得比所述工作艙外部的壓力要高，并被設置得低于所述清潔空間內部的壓力。
17.一種清潔通道，其包括若干根據前面權利要求10-16中任一權利要求所述的清潔工作艙，所述清潔工作艙被并置以及連接成一排。
全文摘要
一種清潔工作艙,其具有一個向著一個清潔空間的內側突出的工作單元,從而形成一個位于所述工作單元正下方的呈空間狀態的部分。穿過工作單元的向下流動的清潔空氣令人滿意地均勻地向下流動,隨后通過一個安置在清潔空間下側的排氣部而向著工作艙的外部平穩地排出。另外,一個室被形成以便與所述工作艙的外部從空間上分隔開。操作室內的壓力被設置得比工作艙外部的壓力要高,并被保持在低于清潔空間內的壓力的水平。
文檔編號F24F5/00GK1362600SQ0114488
公開日2002年8月7日 申請日期2001年12月27日 優先權日2000年12月27日
發明者神原博文, 杉山佳之, 石野智明 申請人:株式會社三協精機制作所, 東洋熱工業株式會社