硅烷燃燒塔的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種硅烷燃燒塔，其特征在于：它包括塔體，塔體腰部設有硅烷尾氣進氣口和壓縮空氣、氮氣口，塔體頂部設有出氣口，塔體底部設有排污口。本發明與現有技術相比的優點是：本發明解決了【背景技術】在生產設備運行中負壓的不穩定性，前段壓縮空氣助燃功能，和氮氣的稀釋功能，強有力的保護尾氣排放的安全性，設備占地面積小，處理集中化；投資管理成本大大降低。
【專利說明】硅烷燃燒塔
【技術領域】
[0001]本發明涉及廢氣處理裝置，尤其是涉及一種硅烷燃燒塔。
【背景技術】
[0002]對于電池片生產中的PECVD環節，原本采用初步燃燒、直接通入水池的方法；有很高的危險性和處理不穩定性。
【發明內容】
[0003]本發明是為了解決上述不足，提供了 一種硅烷燃燒塔。
[0004]本發明的上述目的通過以下的技術方案來實現:一種硅烷燃燒塔，其特征在于:它包括塔體，塔體腰部設有硅烷尾氣進氣口和壓縮空氣、氮氣口，塔體頂部設有出氣口，塔體底部設有排污口。
[0005]本發明的工作原理:硅烷尾氣經過風管到達硅烷尾氣進氣口，并進入燃燒塔內進行化應處理。硅烷尾氣進入燃燒塔的同時也從壓縮空氣、氮氣口通入壓縮空氣和氮氣；壓縮空氣用來推助硅烷尾氣的燃燒反應，氮氣通入則達到吹散硅烷燃燒之后產生粉塵，不讓其粘到硅烷燃燒塔上；壓縮空氣及氮氣都配有流量控制器，控制氣體的流入體積；硅烷燃燒后的粉塵暫時停留在排污口處，當運行一段時間后，打開排污口進行清理粉塵；經過燃燒凈化后的氣體由出氣口排出進入硅烷凈化塔內。
[0006]本發明與現有技術相比的優點是:本發明解決了【背景技術】在生產設備運行中負壓的不穩定性，前段壓縮空氣助燃功能，和氮氣的稀釋功能，強有力的保護尾氣排放的安全性，設備占地面積小，處理集中化；投資管理成本大大降低。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0007]圖1是本發明的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0008]下面結合附圖對本發明進一步詳述:
[0009]如圖1所示，一種硅烷燃燒塔，其特征在于:它包括塔體1，塔體I腰部設有硅烷尾氣進氣口 2和壓縮空氣、氮氣口 3，塔體I頂部設有出氣口 4，塔體I底部設有排污口 5。
[0010]本發明的工作原理:硅烷尾氣經過風管到達硅烷尾氣進氣口 2并進入燃燒塔內進行化應處理。硅烷尾氣進入燃燒塔的同時也從壓縮空氣、氮氣口 3通入壓縮空氣和氮氣；壓縮空氣用來推助硅烷尾氣的燃燒反應，氮氣通入則達到吹散硅烷燃燒之后產生粉塵，不讓其粘到硅烷燃燒塔上；壓縮空氣及氮氣都配有流量控制器，控制氣體的流入體積；硅烷燃燒后的粉塵暫時停留在排污口處，當運行一段時間后，打開排污口 5進行清理粉塵；經過燃燒凈化后的氣體由出氣口 4排出進入硅烷凈化塔內。
[0011]以上所述僅為本發明的實施例，并非因此限制本發明的專利范圍，凡是利用本發明說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的【技術領域】，均同理包括在本發明的專利保護范圍內。
【權利要求】
1.一種硅烷燃燒塔，其特征在于:它包括塔體，塔體腰部設有硅烷尾氣進氣口和壓縮空氣、氮氣口，塔體頂部設有出氣口，塔體底部設有排污口。
【文檔編號】F23G7/06GK103574624SQ201210271161
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2012年7月31日 優先權日:2012年7月31日
【發明者】董仕宏 申請人:蘇州仕凈環保設備有限公司