專利名稱：一種硅烷燃燒塔的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種硅烷燃燒塔，特別用于太陽能硅片的生產。
背景技術：
在太陽能硅片生產中，硅烷燃燒塔是PECVD工段的一種尾氣處理裝置，主要將尾氣以及尾氣中的硅烷(SIH4)在燃燒室燃燒后，再通過洗滌室凈化，然后由抽風機抽排到大氣中。但是，在PECVD工段中還需要使用三氟化氮(NF3)氣體，并在高頻電離的情況下與腔體附著的硅反應進行腔體清洗，而三氟化氮(NF!3)氣體與硅烷(SIH4)在一定比例和有火源的情況下會發生劇烈爆炸。鑒于安全性考慮，為保證硅烷在燃燒室內充分燃燒，必須保證燃燒塔內負壓，即控制在負100 左右。
發明內容本實用新型的目的是提供能確保生產安全的一種硅烷燃燒塔。本實用新型采取的技術方案是一種硅烷燃燒塔，燃燒室、洗滌塔和抽風機依次通過管道連接，其特征在于在洗滌塔之后以及抽風機前連接有負壓傳感器，且負壓傳感器連接著控制裝置。采用本實用新型，如遇抽風不良或者風機故障，可以及時將信號送到控制裝置，便于及時切斷相關電源和氣源，確保生產安全。
圖1是本實用新型的示意圖。圖中序號表示燃燒室1、洗滌塔2、抽風機3、負壓傳感器4和控制裝置5。
具體實施方式
下面對本實用新型作進一步說明。參照圖1，該硅烷燃燒塔依次通過管道連接有燃燒室1、洗滌塔2和抽風機3，在洗滌塔2之后以及抽風機3前連接有負壓傳感器4，且負壓傳感器4連接著控制裝置5。使用時，硅烷通過管道進入燃燒室1燃燒，再通過洗滌塔2凈化，然后通過抽風機3排向大氣，其中，負壓傳感器4檢測負壓范圍，并將狀態信號送到控制裝置5，一旦抽風壓力過低或者抽風機3發生故障時，控制裝置5得到負壓傳感器4的報警信號，就會切斷相關電源和氣源， 確保生產安全。
權利要求1. 一種硅烷燃燒塔，燃燒室、洗滌塔和抽風機依次通過管道連接，其特征在于在洗滌塔之后以及抽風機前連接有負壓傳感器，且負壓傳感器連接著控制裝置。
專利摘要本實用新型涉及一種硅烷燃燒塔，該燃燒塔的燃燒室、洗滌塔和抽風機依次通過管道連接，在洗滌塔之后以及抽風機前連接有負壓傳感器，且負壓傳感器連接著控制裝置。采用本實用新型，如遇抽風不良或者風機故障，可以及時將信號送到控制裝置，便于及時切斷相關電源和氣源，確保生產安全。
文檔編號F23G7/06GK202253680SQ20112034918
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月9日 優先權日2011年9月9日
發明者徐新毅, 李德云, 童鵬飛 申請人:浙江嘉毅能源科技有限公司