專利名稱：可在線維護的硅烷燃燒塔的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種運用焚燒法處理可燃無機氣體吸收的裝置，特別是涉及一種可在線維護的硅烷燃燒塔。
背景技術：
在電子元件和集成電路行業中產生的有害氣體，一般采用以燃燒可燃性氣體來燃燒硅烷的方式，采用這種方式處理有害氣體時，由于可燃性氣體的熄滅極易產生爆炸危險。為了解決這個問題，中國專利申請200810093385. 5公開了一種硅烷燃燒塔，具有塔體和水箱，塔體頂端設置有排氣口，塔體內設置有燃燒筒、填料室、噴淋室和脫液室，燃燒筒下部設置在水箱中，燃燒筒外罩有鎮流罩，鎮流罩與燃燒筒間的空腔中裝有噴淋裝置，鎮流罩外為填料室，填料室上方為脫液室，燃燒筒中設置有二塊多孔擋板，將燃燒筒分隔成三個室，底部為燃燒室，中部為均壓室，頂部為氮氣保護室，燃燒室底部有通向塔體外的排渣口，燃燒室的塔體上有廢氣進氣口和壓縮空氣進氣口，廢氣進氣口裝有單向閥，氮氣保護室的筒體上裝有氮氣進氣口，氮氣保護室的塔體的頂端有出氣口 ；在填料室上部和噴淋室處的塔體上開有檢修口，塔體外裝有循環水泵，循環水泵的水泵進水口通入水箱的液面下、出水口通過水管接各噴淋裝置。但是這種可在線維護的硅烷燃燒塔在清渣或者給噴淋系統填料時，必須要停機，大大影響了處理廢氣的進度，同時在遇到大量的廢氣時，單噴淋系統的設計使得廢氣的吸收處理不徹底，污染了環境。由此可見，上述硅烷燃燒塔在結構與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。為了解決硅烷燃燒塔存在的問題，相關廠商莫不費盡心思來謀求解決之道， 但長久以來一直未見適用的設計被發展完成，而一般產品又沒有適切的結構能夠解決上述問題，此顯然是相關業者急欲解決的問題。有鑒于上述現有的硅烷燃燒塔存在的缺陷，本實用新型人基于從事此類產品設計制造多年豐富的實務經驗及專業知識，并配合學理的運用，積極加以研究創新，以期創設一種新型結構的可在線維護的硅烷燃燒塔，能夠改進一般現有的可在線維護的硅烷燃燒塔， 使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計，并經反復試作樣品及改進后，終于創設出確具實用價值的本實用新型。
實用新型內容本實用新型的主要目的在于，克服現有的硅烷燃燒塔存在的缺陷，而提供一種新型結構的可在線維護的硅烷燃燒塔，所要解決的技術問題是使其可以實現在線給噴淋系統填料，并且左右噴淋室和雙氣路的設計，可以使得氨氣的吸收更充分以及氣路更加順暢，從而更加適于實用，且具有產業上的利用價值。本實用新型的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本實用新型提出的可在線維護的硅烷燃燒塔，包括塔體以及設置在塔體底部的水箱，所述塔體內的頂端設置有收水器，所述塔體內設置有燃燒室、左噴淋室和右噴淋室，所述塔體內設置有將燃燒室、左噴淋室和右噴淋室相互獨立的隔板，所述隔板上分別對應設置有控制交換燃燒室氣體到左右噴淋室的左右氣路隔斷閥，所述左噴淋室和右噴淋室之間設置有控制氣體交換的噴淋室隔斷閥，所述燃燒室的底部設置有通向塔體外的左清渣口和右清渣口，所述燃燒室和左右清渣口之間分別對應設置有左清渣隔斷閥和右清渣隔斷閥，所述燃燒室處的塔體上設置有壓縮多個進氣口，所述水箱中的液體通過管路流入到左右噴淋室內對應設置的左噴淋系統和右噴淋系統中，所述左噴淋系統和右噴淋系統中的液體噴灑后最終流入到塔體底部的水箱中，尾氣從進氣口進入到塔體的燃燒室內，硅烷與通入的空氣接觸從而燃燒或者發生氧化反應，生成的二氧化硅粉塵落到水箱內，燃燒完的氣體中的氨氣則通過打開左右氣路隔斷閥對應進入到左噴淋室和右噴淋室內，所述水箱中的液體通過管路連接到左右噴淋室內設置的噴淋系統，噴淋系統中的液體噴灑后流入到塔體底部的水箱中，通過設置在塔體外的循環泵實現噴淋系統中的液體和水箱中的液體的循環，經過左右噴淋室中和反應后的氣體最終由排氣口排人大氣中。本實用新型的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現。前述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其中所述塔體的底部設置有可以將懸浮在所述水箱液體表面的泡沫分離出來的粉塵分離系統。前述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其中所述燃燒室處對應的塔體上設置有新風補氣口和壓縮空氣進氣口，由于硅烷與空氣接觸發生自燃的特點，由進氣口進入燃燒室內的硅烷與壓縮空氣進氣口的空氣充分燃燒生成二氧化硅，消除了硅烷廢氣。前述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其中所述水箱和所述左右噴淋室內的噴淋系統連接的管路上分別對應設置有流量調節閥，通過流量調節閥可以控制噴淋系統中的中和液的流速和流量，當需要檢修一個噴淋室時，關閉相對應控制噴淋室中噴淋系統的中和液的流量調節閥和左右噴淋室之間設置的噴淋室隔斷閥，這樣另一個噴淋室可以繼續中和尾氣，檢修所在的噴淋室不進行中和尾氣的工作，方便用戶的維護。前述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其中所述隔板和塔體之間處的塔體上設置有清理粘結在隔板內壁上粉塵的清渣通氣口和保護用的氮氣口，通過吹掃清渣通氣口可以清除粘結在隔板內壁上的粉塵。前述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其中所述左右噴淋室和收水器的塔體上分別對應設置有檢修孔，客戶通過關閉控制閥，通過檢修孔實現了用戶的在線檢修。前述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其中所述水箱的塔體上設置有進水口和補水借由上述技術方案，本實用新型可在線維護的硅烷燃燒塔至少具有下列優點1、通過燃燒室的反應的廢氣通過雙氣路分別到達左右噴淋室與循環液發生中和反應，使得廢氣吸收的速度更快，效果更好，同時在兩個噴淋室之間設置噴淋室隔斷閥，當需要更換噴淋系統內的填料或者對噴淋室進行檢修或填料及噴頭更換時，通過關閉噴淋室隔斷閥，左右噴淋室分別獨立密封，這樣可以實現在線維修，一個噴淋室繼續進行處理廢氣，另一個噴淋室可進行檢修或填料及噴頭更換，大大的方便了客戶。2、粉塵分離系統的設計，可以有效的將漂浮在水箱液面上的二氧化硅分離出來。3、通過流量調節閥，便于使用者對噴淋室進行檢修或者對中和反應的快慢進行調控，同時也便于填料更換。
4[0019]4、增加了清渣通氣口，利用壓縮空氣的壓力可以輕松的清除粘結在隔板內壁上的二氧化硅粉塵。綜上所述，本實用新型特殊結構的可在線維護的硅烷燃燒塔，實現了在線給噴淋系統填料，并且左右噴淋室和雙氣路的設計，可以使得氨氣的吸收更充分以及氣路更加順暢，從而更加適于實用，其具有上述諸多的優點及實用價值，并在同類產品中未見有類似的結構設計公開發表或使用而確屬創新，其不論在結構上或功能上皆有較大的改進，在技術上有較大的進步，并產生了好用及實用的效果，且較現有的可在線維護的硅烷燃燒塔具有增進的多項功效，從而更加適于實用，而具有產業的廣泛利用價值，誠為一新穎、進步、實用的新設計。上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。本實用新型的具體實施方式
由以下實施例及其附圖詳細給出。
圖1為本實用新型所述的可在線維護的硅烷燃燒塔的內部結構示意圖；圖2為本實用新型所述的可在線維護的硅烷燃燒塔的左右噴淋室的結構示意圖；圖3為本實用新型所述的可在線維護的硅烷燃燒塔的燃燒室的示意圖。圖中，1、水箱；2、收水器；3、燃燒室；4、左清渣口 ；4.1右清渣口 ；5、壓縮空氣進氣口 ；6、左清渣隔斷閥；6. 1右清渣隔斷閥；7、新風補氣口 ；8、左清渣通氣口 ；9、右清渣通氣口 ；10、進氣口 ；11、左氣路隔斷閥；11. 1右氣路隔斷閥；12、進水口 ；13、補水口 ；15、粉塵分離系統；16、左噴淋室；16. 1、右噴淋室；17、左噴淋系統；17. 1右噴淋系統；18、噴淋室隔斷閥；19、流量調節閥；20、循環泵；21、第一填料層。
具體實施方式
為更進一步闡述本實用新型為達成預定實用新型目的所采取的技術手段及功效，
以下結合附圖及較佳實施例，對依據本實用新型提出的可在線維護的硅烷燃燒塔其具體實施方式
、結構、特征及其功效，詳細說明如后。請參閱圖1、圖2和圖3所示，本實用新型較佳實施例的可在線維護的硅烷燃燒塔， 包括塔體以及設置在塔體底部的水箱1，塔體內的頂端設置有收水器2，塔體內設置有燃燒室、左噴淋室和右噴淋室，所述塔體內設置有將燃燒室3、左噴淋室16和右噴淋室16. 1相互獨立的隔板，隔板上分別設置有左氣路隔斷閥11和右氣路隔斷閥11. 1，左噴淋室16和右噴淋室16. 1之間設置有控制氣體交換的噴淋室隔斷閥18，當需要對某一噴淋室進行維護時， 關閉噴淋室隔斷閥18，同時對應關閉其與燃燒室相連接的氣路調節閥，這樣實現了在線維護，便于客戶生產。燃燒室3的底部設置有通向塔體外的左清渣口 4和右清渣口 4. 1，燃燒室3和左右清渣口之間分別對應設置有左清渣隔斷閥6和右清渣隔斷閥6. 1，燃燒室3處的塔體上設置有多個進氣口 10，左噴淋系統17和右噴淋系統17. 1中的液體噴灑后最終流入到塔體底部的水箱1中，設置在塔體外部的循環泵20將水箱1中的液體通過管路流入到左右噴淋室內對應設置的左噴淋系統17和右噴淋系統17. 1中，水箱1和左右噴淋系統連接的管路上分別對應設置有流量調節閥19，通過流量調節閥19來控制中和液的流量以及控制噴淋系統的開關，在水箱1處的塔體上設置有進水口 12和補水口 13。廢氣首先從進氣口 10進入燃燒室3中和從壓縮空氣進氣口 5中進入的空氣進行燃燒后，硅烷和氧氣作用生成二氧化硅，經過反應的帶著二氧化硅粉塵的氣體通過打開的左氣路隔斷閥11和右氣路隔斷閥11.1沿著隔板和塔體的內壁進入設置在噴淋室下部的第一填料層21，有的落在水箱1內的液體上，通過設置在水箱1液體表面的粉塵分離系統15 將懸浮在液體表面的泡沫分離出來，隔板和塔體之間處的塔體上設置有清渣通氣口和氮氣口用來清理粘結在隔板內壁上二氧化硅粉塵，經過第一填料層21中和后的氣體進入到左噴淋室16和右噴淋室16. 1，廢氣與左噴淋系統17和右噴淋系統17. 1噴灑的中和液發生反應被充分吸收后，通過設置在塔體頂端的收水器2吸收中和液后排出塔體外，收水器2的設計可以節約由于發熱隨著中和掉的氣體流入到大氣中的中和液，降低了成本，并且保護了環境。上述如此結構構成的本實用新型可在線維護的硅烷燃燒塔的技術創新，對于現今同行業的技術人員來說均具有許多可取之處，而確實具有技術進步性。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案范圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾， 均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。
權利要求1.可在線維護的硅烷燃燒塔，包括塔體以及設置在塔體底部的水箱，所述塔體內的頂端設置有收水器，所述塔體內設置有燃燒室、左噴淋室和右噴淋室，所述塔體內設置有將燃燒室、左噴淋室和右噴淋室相互獨立的隔板，所述隔板上分別對應設置有能夠控制交換燃燒室內的氣體與左右噴淋室內的氣體的左氣路隔斷閥和右氣路隔斷閥，所述左噴淋室和右噴淋室之間設置有控制氣體交換的噴淋室隔斷閥，所述燃燒室的底部設置有通向塔體外的左清渣口和右清渣口，所述燃燒室和左右清渣口之間分別對應設置有左清渣隔斷閥和右清渣隔斷閥，所述燃燒室處的塔體上設置有壓縮多個進氣口，所述水箱中的液體通過管路流入到左右噴淋室內對應設置的左噴淋系統和右噴淋系統中，所述左噴淋系統和右噴淋系統中的液體噴灑后最終流入到塔體底部的水箱中。
2.根據權利要求1所述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其特征在于，所述塔體的底部設置有可以將懸浮在所述水箱液體表面的泡沫分離出來的粉塵分離系統。
3.根據權利要求1所述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其特征在于，所述燃燒室處對應的塔體上設置有新風補氣口和壓縮空氣進氣口。
4.根據權利要求1所述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其特征在于，所述水箱和所述左右噴淋室內的噴淋系統連接的管路上分別對應設置有流量調節閥。
5.根據權利要求1所述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其特征在于，所述隔板和塔體之間處的塔體上設置有清理粘結在隔板內壁上粉塵的清渣通氣口和保護用的氮氣口。
6.根據權利要求1所述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其特征在于，所述左右噴淋室處的塔體上分別對應設置有檢修孔。
7.根據權利要求1所述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其特征在于，所述收水器的塔體上設置有檢修孔。
8.根據權利要求1所述的可在線維護的硅烷燃燒塔，其特征在于，所述水箱的塔體上設置有進水口和補水口。
專利摘要本實用新型公開了一種可在線維護的硅烷燃燒塔，所述塔體內設置有燃燒室、左噴淋室和右噴淋室，所述塔體內設置有將燃燒室、左噴淋室和右噴淋室相互獨立的隔板，所述隔板上分別對應設置有能夠控制交換燃燒室內的氣體與左右噴淋室內的氣體的左氣路隔斷閥和右氣路隔斷閥，所述左噴淋室和右噴淋室之間設置有控制氣體交換的噴淋室隔斷閥，所述燃燒室的底部設置有通向塔體外的左清渣口和右清渣口，所述燃燒室和左右清渣口之間分別對應設置有左清渣隔斷閥和右清渣隔斷閥，雙氣路到達雙噴淋室使得廢氣吸收的速度更快，效果更好。
文檔編號F23G7/06GK201992667SQ20112001831
公開日2011年9月28日 申請日期2011年1月20日 優先權日2011年1月20日
發明者張文光 申請人:常州恒威凈化設備有限公司