過濾器濾材及使用它的空氣過濾裝置的制作方法

專利名稱：過濾器濾材及使用它的空氣過濾裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種可以用于，例如凈室內、液晶或半導體制造裝置內等的空氣凈化的過濾器濾材及使用它的空氣過濾裝置。
背景技術：
用濕法抄紙玻璃纖維的濾材被折入加工的高性能空氣過濾器，是提供凈化空氣的設備，它一直在為至今的半導體行業做著貢獻。而由于LSI的高集成化進展，部件的最小結構尺寸的微細化，除去對象微粒子也微小化。與此相伴，以至于在半導體凈室中較多使用具有超過HEPA(HighEfficiency Particulate Air)過濾器性能的ULPA(Ultra LowPenetration Air)過濾器。
但是，用作常規的ULPA過濾器濾材的硼硅酸玻璃纖維，由于用于半導體制造時的氟酸的侵蝕產生BF3氣體。這樣的硼在半導體制造工序中，堆積在硅片上，成為特性異常的原因，解決這個問題的對策已成當務之急。
因而，近年一躍被注目的是，使用了不產生硼的聚四氟乙烯(以下稱“PTFE”)制過濾器濾材的高性能空氣過濾器(例如，特開平5-202217號公報、WO 94/16802)。
這樣的PTFE制的空氣過濾器，由于成為濾材的原料PTFE非常潔凈，耐藥品性也優異，所以，不存在硼等的廢氣問題。而且，這種PTFE制的空氣過濾器，在懸浮微粒子的捕集效率上，也可能實現上述玻璃纖維制ULPA過濾器的上述性能，而且因為在具有同等的捕集效率性能時的壓力損失，與玻璃纖維過濾器的壓力損失比相當低(例如，PTFE制ULPA型過濾器是玻璃纖維ULPA過濾器的2/3)、所以，壓低過濾器運行時的能源成本能為可能。因為具有這樣的特性，PTFE制的空氣過濾器，以半導體行業為開端正在不斷迅速地向各種行業擴展。
然而，在各行業的成本降低的要求激烈，與此相伴，期待進一步開發同時滿足所謂“捕集效率進一步提高和為了降低其過濾器運行時的成本而進一步降低壓力損失”的條件的PTFE制過濾器濾材及使用它的空氣過濾裝置(不僅ULPA、包括HEPA及中性能型)。
但是，增大捕集效率和減小壓力損失是相反的事情(例如，參照日東技報、Vol.34，No，1(May.1996))，上述課題的解決決非容易，現狀不能感到滿足。
還有，如上述特開平5-202217號公報或WO 94/16802所記載的那樣，認為例如，以往公知的PTFE制過濾器濾材，將其用作高性能空氣過濾器時，如果其平均孔徑不在0.2～0.5μm范圍就不能達到目的。但是，將平均孔徑，通常，控制在上述微小的范圍并非容易。
發明的公開因此，本發明的目的在于提供一種兼備可以實現中性能、HEPA、ULPA各種型式所要求的空氣凈化度的捕集效率性能、和可以實現上述各種型式過濾器以往所不能達到的能源成本降低的壓力損失性能，而且平均孔徑的控制容易的過濾器濾材及使用它的空氣過濾裝置。
為了達到上述目的，本發明的過濾器濾材是一種由PTFE多孔膜構成的過濾器濾材，其特征在于上述PTFE多孔膜的孔的平均孔徑超過0.5μm，并且以5.3cm/秒的流速使空氣透過時的壓力損失為2～50mmH2O，且由上述壓力損失及使用粒徑0.10～0.12μm的鄰苯二甲酸二辛酯(以下稱“DOP”)的捕集效率按下述公式(數學式1)計算的PF值在18～22范圍。(數學式1)

透過率(％)＝100-捕集效率(％)這樣，本發明的過濾器濾材由于具有上述所定范圍的孔的平均孔徑，壓力損失及PF值，所以兼備優異的捕集效率及壓力損失、且平均孔徑的控制變得容易。在此，特別值得注意的是本發明的過濾器濾材的孔的平均孔徑超過了以往被認為是常識的孔的平均孔徑的范圍(0.2～0.5μm)。即，由于上述孔的平均孔徑超過0.5μm，所以本發明的過濾器濾材，其孔的平均孔徑的控制容易。
另外上述PF值是表示捕集效率和壓力損失平衡的一個指標。根據這種PF值意味著，例如在具有相同捕集效率的兩種以上過濾器濾材中，PF值大的一方其壓力損失小。
本發明的過濾器濾材優選，上述PTFE多孔膜是PTFE纖維相互纏結所形成的一種多孔膜，上述PTFE纖維的平均纖維直徑在0.1～0.2μm范圍。因為如果上述PTFE纖維的平均纖維直徑在此范圍，在上述孔的平均孔徑、壓力損失下，PF值充分屬于上述所定范圍。
本發明的過濾器濾材優選PTFE多孔膜的孔的平均孔徑為0.58～5μm，以5.3cm/sec的流速使空氣透過時的壓力損失為2～45mmH2O。
本發明的過濾器濾材優選PTFE多孔膜的孔的平均孔徑為1.1～3μm，以5.3cm/sec的流速使空氣透過時的壓力損失為2～45mmH2O。
本發明的過濾器濾材優選使用粒徑0.10～0.12μm的DOP的捕集效率在40％以上。這種捕集效率值，是指當將過濾器濾材組裝入過濾裝置時，相當于中性能過濾裝置的捕集性能同等以上的捕集效率值。
一般地，中性能過濾裝置是被用作從直接采用的空氣中首先粗略除去空氣塵埃的預過濾性的裝置，粒徑0.3μm的DOP的捕集效率需在90％以上(按0.10～0.12μm粒徑的DOP的捕集效率換算在60％以上)。而過濾裝置的捕集效率可以通過后述的裝置捕集效率測定方法測定。于是，為獲得與此同等以上的過濾裝置捕集性能，本發明的過濾器濾材捕集效率滿足上述范圍。
本發明的過濾器濾材優選使用粒徑0.10～0.12μm的DOP的捕集效率在99.0％以上。將過濾器濾材組裝入過濾裝置時這種捕集效率相當于玻璃纖維HEPA過濾裝置的捕集性能同等以上的捕集效率。
玻璃纖維HEPA過濾裝置是被安裝于各種凈室的頂棚上或液晶、半導體制造裝置內等的裝置中，所以粒徑0.3μm的DOP的捕集效率需在99.97％以上(按粒徑0.10～0.12μm的DOP的捕集效率換算在99.8％以上)。為獲得與此同等以上的過濾裝置捕集性能，本發明的過濾器材其捕集效率滿足上述范圍。
本發明的過濾器濾材優選使用粒徑0.10～0.12μm的DOP其捕集效率在99.99％以上。將過濾器濾材組裝到過濾裝置中時，這種捕集效率是與玻璃纖維ULPA過濾裝置的捕集性能同等以上的捕集效率。
玻璃纖維ULPA過濾裝置是比上述玻璃纖維HEPA過濾裝置捕集效率更高的裝置，具體地說，粒徑0.10～0.12μm的DOP的捕集效率需在99.9995％以上。為獲得與此同等以上的捕集效率，本發明的過濾器濾材捕集效率滿足上述范圍。
本發明的過濾器濾材優選在PTFE多孔膜的至少單面具有通氣性支撐材料。由此，可提高過濾器濾材的強度，并使操作性能優異。
在此，從上述通氣性支撐材料中，在80℃的條件下檢測出的有機物總量，相對于上述通氣性支撐材料每250mg，優選在1000ng以下，特別優選500ng以下，最佳為150ng以下。而這種檢測出的有機物總量的下限，是檢測界限，優選每250mg上述通氣性支撐材料為0ng。
這樣，在一定條件下從上述通氣性支撐材料中檢測出的有機物總量如果可以設定在上述所定的范圍，將空氣過濾器用于半導體工業或精密電子機器領域等的凈室時，可使制品的合格率提高。
而上述有機物總量通稱總有機碳(TOC)，這是，例如，十二烷、十三烷、丁基羥基乙烯(BHT)、磷酸酯、鄰苯二甲酸二辛酯和硅氧烷等各種氣態有機物的總量。
上述通氣性支撐材料實質上優選由聚酰胺及聚酯至少一種材料所形成的材料。這是因為這些材料有機物的產生少。
在此，上述所謂的“實質上由聚酰胺及聚酯至少一種材料所形成”是指主要成分含有聚酰胺及聚酯的至少一種，不含有聚烯烴等有機物產生起因的物質，而且不含有在空氣過濾器使用時的氣氛下可以揮發的成分。
因此，上述通氣性支撐材料實質上優選由聚酯材料所形成，且不含有聚烯烴的材料，作為上述聚酯優選聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)及聚對苯二甲酸丁二醇酯的至少一種。
再者，本發明中上述通氣性支撐材料在80℃下的有機物檢測可以通過使用氣相色譜的凈化與捕集法實施，這種方法可以通過例如，后述的方法實施。
本發明的空氣過濾裝置就是將上述本發明的過濾器濾材彎曲成波浪狀，并以此狀態存貯在框體內，上述框體與上述濾材的間隙被密封的裝置。這種空氣過濾裝置由于使用上述高性能的本發明的過濾器濾材，所以壓力損失小且具有較高的捕集效率。
附圖的簡單說明

圖1為表示縱向拉伸裝置的一例模式圖。
圖2為表示橫向拉伸裝置的一例模式圖。
實施發明的最佳方案下面詳細說明本發明。
本發明的濾材，例如，可以如下制造。
首先將PTFE細粉末成型成所定的形狀。上述PTFE細粉末通常采用數均分子量50萬以上，優選采用200萬～2000萬的物質。而上述PTFE細粉末的成型成可按照例如，公知的糊膏擠壓法進行。這種成型之際，通常相對于PTFE細粉末100重量份，可以配合15～40重量份，優選20～30重量份的液體潤滑劑。作為液體潤滑劑可以使用以往糊膏擠壓法所采用的公知的物質。而在上述糊膏擠壓法之前也可以進行預成型。一般地，將上述PTFE細粉末和液體潤滑劑的混合物預成型，然后通過糊膏擠壓機擠壓成型，或通過壓延輥等壓延，或擠壓后壓延等制造成所定形狀的成型體。成型體的形狀沒有特殊限制，經后述的加熱處理之后，如可以拉伸為好。作為優選的成型體的形狀可以列舉帶狀。
然后將通過上述糊膏擠出成型得到的未燒結成型體在PTFE燒結體的熔點以上，優選在PTFE燒結體的熔點(約327℃)和PTFE未燒結體的熔點(約347℃)之間的溫度加熱處理，制備燒結度小于0.3的PTFE半燒結成型體。上述燒結度的優選范圍為0.1～0.29的燒結度。
再者，本發明的PTFE半燒結成型體的燒結度可以通過特開平5-202217號公報所記載的方法確定，具體可以如下確定。
首先，從PTFE未燒結體切取稱量3.0±0.1mg試樣，用該試樣測定求出結晶熔融曲線。同樣從PTFE半燒結體切取稱量3.0±0.1mg試樣，用該試樣測定求出結晶熔融曲線。
上述結晶熔融曲線可以采用示差掃描量熱分析儀(以下稱“DSC”。作為DSC可以列舉出例如島津制作所社制的DSC-50型)得到。首先，將PTFE半燒結體試樣裝入DSC鋁坩鍋中，按以下的次序測定其熔融熱及PTFE燒結體的熔融熱。
(1)將試樣以50℃/分的加熱速度加熱至250℃，然后以10℃/分的加熱速度從250℃加熱至380℃。將這種加熱過程中出現的吸熱曲線的峰位置定義為“PTFE未燒結體的熔點”或“PTFE細粉末的熔點”。
(2)加熱至380℃以后，馬上以10℃/分的冷卻速度將試樣冷卻至250℃。
(3)將試樣再次以10℃/分的加熱速度加熱至380℃。將這種加熱過程中出現的吸熱曲線的峰位置定義為“PTFE燒結體的熔點”。
然后，對于PTFE半燒結體，將結晶熔融曲線按上述過程(1)記錄。PTFE半燒結體、PTFE燒結體及PTFE半燒結體的熔融熱，可以按吸熱曲線與基線之間的面積比例，在上述島津制作所社制DSC-50型中，設定解析溫度自動計算。
于是，PTFE的燒結度可以通過下述公式(數學式2)計算。(數學式2)燒結度＝(ΔH1-ΔH3)/(ΔH1-ΔH2)在上述式(數學式2)中，ΔH1為PTFE未燒結體的熔融熱、ΔH2為PTFE燒結體的熔融熱、ΔH3為PTFE半燒結體的熔融熱。
再者，對于PTFE半燒結體，在特開昭59-152825號公報有詳細記載。
然后，將通過這樣的加熱處理得到的具有特定燒結度的PTFE半燒結成型體，在兩軸方向(MD縱向，TD橫向)以至少700倍，優選700～1500倍的伸長面積倍率拉伸。這時，在MD方向(縱向或擠出方向)至少15倍，優選15～30倍，且TD方向(與縱向垂直的方向或橫向)至少40倍、優選40～60倍的拉伸倍率下拉伸是重要的。即通過將具有特定低的燒結度的PTFE半燒結成成型體，在MD方向以較高的拉伸倍率、且在TD方向以極高的拉伸倍率、而且作為總體最終達到以極高伸長面積倍率拉伸，從而得到具有本發明所定物性的PTFE多孔膜。
上述MD方向的拉伸可以使用例如圖1所示的拉伸裝置進行。即，在此裝置中，半燒結的PTFE薄膜從薄膜退繞輥1經過輥3，4，5、被送至輥6，7、在此對MD方向拉伸至上述所定倍率。這種拉伸的原理是根據與退繞輥1的薄膜輸送速度相比，輥6，7的卷繞速度更快的原理。被拉伸的薄膜按照輥8，9、熱定型輥10、冷卻輥11及輥12這種次序被輸送，最終卷取在卷繞輥2上。還有，MD方向的拉伸優選在PTFE燒結體熔點以下的溫度進行。
上述TD方向的拉伸可以使用例如圖2所示的拉伸裝置進行。這種裝置是可以將在縱向(MD方向)拉伸的薄膜的寬度方向的兩端用定速運送器連續挾持的裝置。即，在此裝置上，半燒結的PTFE薄膜(MD方向拉伸結束)從薄膜退繞筒子13經退繞控制輥14送出，然后按照預熱箱15、橫向拉伸箱16和熱定型箱17這種次序通過，在這種通過之際，進行橫向拉伸處理及熱定型處理。于是，將橫向拉伸的薄膜送至層壓輥18，19、根據需要與從無紡布等通氣性支撐材料退繞輥22，23送出的通氣性支撐材料進行層壓。然后，層壓薄膜經過卷繞控制輥20，最終卷取至卷繞筒子21。還有，在圖示裝置中，準備了兩個退繞筒子13，根據需要也可以在將兩張以上PTFE薄膜重疊的狀態下拉伸。TD方向的拉伸，通常可以在200～420℃氣氛的溫度下進行。
拉伸的PTFE多孔膜也可以在PTFE未燒結體的熔點(約347℃)以上的溫度熱定型。
這樣得到的拉伸PTFE多孔膜，PTFE纖維相互絡合連接，變成多孔性物質。而這種拉伸PTFE多孔膜實質上只是由不存在結節部分的纖維組成的結構。于是，這種拉伸PTFE多孔膜，其孔的平均孔徑超過0.5μm，以5.3cm/sec的流速使空氣透過時的壓力損失為2～50mmH2O，且由這種壓力損失及使用粒徑0.10～0.12μm的DOP的捕集效率所計算的上述PF值在18～22的范圍。
在此，上述孔的平均孔徑優選大于0.5小于15μm的范圍，更優選大于0.5小于5μm的范圍，大于0.51小于5μm的范圍及0.58～5μm的范圍的至少一種范圍，特別優選1.1～3μm的范圍。
而上述壓力損失優選2～50mmH2O的范圍，更優選2～48mmH2O的范圍，特別優選2～45mmH2O的范圍。
要想得到高性能(HEPA、ULPA型)的空氣過濾器濾材時，適宜將幾張通過上述制法得到的具有較低壓力損失的PTFE多孔膜重疊，也可以作為本發明的過濾器濾材。即，將平均孔徑、壓力損失及PF值在上述本發明所定范圍的PTFE多孔膜，例如，如果2張重疊、平均孔徑相同，壓力損失大約變成2倍，可以得到捕集效率比1張高的濾材。因此，這種2張重疊的過濾器濾材，如果滿足上述各種型式的過濾裝置所定的壓力損失，就可成為捕集效率性能更高的濾材。
下面，對上述PF值進行說明。各種型式的過濾器濾材所要求的空氣中懸浮的微粒子的捕集效率性能的概況如前所述。如以往技術說明欄中所述如果只著眼這種捕集效率性能，上述各種過濾裝置所要求的捕集效率性能，通過以往的技術已經完成。
但是，另一方面，在使用了這些過濾器濾材的空氣過濾裝置的運行時，能量成本的削減也同時被要求，因此，要求壓力損失進一步降低。換言之，作為過濾器濾材真正所要求的性能，可以說是根據所使用的目的、場所，要同時滿足捕集效率的進一步提高和壓力損失的進一步降低。將這種性能，用捕集效率和壓力損失的平衡數值化，就是本發明所說的PF值。
市售的玻璃纖維中性能型、玻璃纖維HEPA型及玻璃纖維ULPA型過濾器濾材的上述PF值低約10，相反，本發明的過濾器濾材的PF值在18～22的高范圍內。而本發明的過濾器濾材的優選PF值的范圍是從18.5～22的范圍、19～22的范圍、19.5～22的范圍、20～22的范圍、20.5～22的范圍及21～22的范圍選擇的至少一種范圍。
上述PF值，如果過濾器濾材的PTFE多孔膜結構相同，顯示一定值。因而，本發明的過濾器濾材，顯示與具有平均孔徑0.2～0.5μm的以往PTFE制的過濾器濾材同等或其以上的PF值，因此，其結構變得與以往結構不同。關于這一點，如比較本發明的過濾器濾材與以往的過濾器濾材，作為不同點，可以列舉出其平均孔徑大(大于0.5mm)，而且，其PTFE纖維的平均纖維直徑小。
本發明的過濾器濾材，其PTFE纖維的平均纖維直徑通常在0.1～0.2μm的范圍，優選0.1～0.16μm的范圍，更優選大于0.1小于0.14μm的范圍，最優選0.101～0.139μm的范圍。
而本發明的過濾器濾材，PTFE多孔膜的膜厚通常在0.1～30μm的范圍、優選0.1～20μm的范圍、更優選0.5～15μm的范圍。
本發明的過濾器濾材也可以將上述PTFE多孔膜按其原封不動的狀態使用，而在不損害PTFE多孔膜的物性范圍內，也可以作為與其它的低壓力損失的通氣性支撐材料層壓的復合膜使用。層壓的PTFE多孔膜，膜強度提高，處理性變好。而層壓的PTFE多孔膜可以作為，例如折疊成褶狀，懸浮微粒子捕集用過濾器濾材使用。
本發明的過濾器濾材整體的膜厚通常在50～1000μm的范圍，優選100～700μm范圍，特別優選100～500μm范圍。
作為上述通氣性支撐材料可以使用非織造布、織造布、篩網及其它多孔膜。作為上述通氣性材料的材質，可以例示烯類(例如，聚乙烯、聚丙烯等)、尼龍、聚酯、芳香酰胺類(アラミド)、這些材料的復合物(例如，由皮芯結構的纖維組成的非織造布、由低熔點材料層和高熔點材料層構成的2層結構的非織造布等)、氟素類多孔膜[例如，PFA(四氟乙烯/全氟烷基乙烯醚共聚物)的多孔膜、TEP(四氟乙烯/六氟丙烯共聚物)的多孔膜，PTFE的多孔膜等)。
上述通氣性支撐材料中，優選由皮芯結構的纖維構成的非織造布、由低熔點材料層及高熔點材料層構成的2層結構的非織造布等。這是因為這些通氣性支撐材料，層壓時不收縮。而這樣的通氣性支撐材料與上述PTFE多孔膜的層壓膜，作為HEPA、ULPA型過濾器濾材，具有加工容易的優點。
層壓的方式，既可以在上述通氣性支撐材料的單面或雙面上層壓本發明的PTFE多孔膜，也可以將本發明的PTFE多孔膜用2張上述通氣性支撐材料挾入層疊起來。
特別地，優選將本發明的PTFE多孔膜用2張上述通氣性材料挾入層疊的方式。
層壓的方法從以往公知的方法中適當選擇既可，例如，優選將上述通氣性支撐材料進行部分熔融的熱壓粘合法、將聚乙烯、聚酯、PFA等粉末作為粘合劑使用的熱壓粘合法、使用熱熔樹脂的熱壓粘合法等。在上述的通過粘合一體化中，特別優選采用聚酯類熱熔粘合劑，有機物的產生被壓制在低水平。
如上所述，作為上述通氣性支撐材料，優選在所定條件下檢測出的有機物的總量在上述所定值以下的材料。而且，作為被測出有機物總量達到上述所定值的通氣性支撐材料，優選聚酯和聚酰胺中的至少一種材料，特別優選不含有聚烯烴的聚酯材料。
作為上述實質上由聚酯和聚酰胺中的至少一種材料組成的通氣性支撐材料的形態，有例如，非織造布、織造布、篩網、多孔膜等，優選非織造布。作為這種非織造布，根據其制法，有例如，使用以下的長絲的非織造布和使用短纖維的非織造布。
(1)長絲紡粘法非織造布、熔噴法非織造布、閃蒸紡絲法非織造布(2)短纖維熱粘合法非織造布、濕法抄紙非織造布、針刺法非織造布、縫編法非織造布、水刺法非織造布其中，優選采用長絲紡粘法非織造布。這是因為如果將這種非織造布作為通氣性支撐材料使用，TOC降低。而上述濕法抄紙PET纖維非織造布，因為在制法上必然地被付與油劑等添加劑，有時這種油劑等從材料自身上脫離、成為產生不純物(TOC等)的原因，因此，原封不動，即，市售的狀態下原封不動使用不好，優選除去油劑后再使用。
作為上述非織造布的構成，有使用單一纖維的非織造布、使用混紡纖維的非織造布、使用皮芯纖維的非織造布和具有疊層結構的非織造布等。其中，使用單一纖維的非織造布具有成本低的優點，使用皮芯纖維的非織造布具有不易收縮、加工容易的優點，各有好處。
上述非織造布定積重量10～600g/m2，優選15～300g/m2，更優選15～100g/m2。如超過100g/m2，將過濾器濾材加工成例如褶裥型空氣過濾器之際，加工變難(例如，難以折彎)，且有成本升高的傾向。
作為上述聚酰胺，可以例示尼龍-6、尼龍-6，6等。
作為上述聚酯，可以例示PET、PBT、聚2，6-萘二酸乙二醇酯等，優選具有120℃以上的熔點的。作為聚酯材料，優選由聚酯纖維組成的非織造布。由單獨的聚酯組成的材料(熔點有一個)，其熔點至少為120℃，優選180℃以上。對于混紡或皮芯結構等2種以上的聚酯組合的材料(至少有兩個熔點)，高熔點通常在240～280℃的范圍，低熔點至少在120℃以上，優選180℃以上。即，熔點如低于120℃，TOC升高不好。
作為聚酯纖維非織造布的種類，例如，可以列舉的有，PET纖維非織造布、PBT纖維非織造布、芯成分為PET皮成分為PBT的皮芯結構的非織造布(PET/PBT皮芯結構非織造布)、芯成分為高熔點PET皮成分為低熔點PET的皮芯結構非織造布(高熔點PET/低熔點PET皮芯結構非織造布)、由PET纖維及PBT纖維的復合纖維構成的非織造布、由高熔點PET纖維及低熔點PET纖維的復合纖維構成的非織造布等。
進一步，作為優選的上述低熔點PET為將間苯二甲酸、己二酸、二甘醇、聚乙二醇等共聚的共聚聚對苯二甲酸乙二醇酯、作為優選的上述高熔點PET及單獨的PET，實質上是由對苯二甲酸成分和乙二醇成分構成的熔點約260℃的物質。
上述PBT也可以是與其它的有共聚可能的成分的共聚物。
PBT制的非織造布與PTFE多孔膜處于接觸狀態的過濾器濾材，例如，用上述PET/PBT皮芯結構非織造布、并優選將上述兩者通過例如，熱輥熱熔融粘合(層壓)一體化。這是因為，與其它的聚酯相比，PBT容易熱融粘合在PTFE多孔膜上，如果采用例如，熱輥熱熔融粘合，可以使一體化過程成為連續過程，提高過濾器濾材的制造效率。
將上述通氣性支撐材料的一部分進行熔融，通過熱熔融粘合一體化的情況，可以例示例如以下的方式。
(1)(低熔點PET纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(低熔點PET纖維非織造布)(高熔點PET纖維非織造布)(2)(低熔點PET纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(高熔點PET/低熔點PET皮芯結構非織造布)(3)(高熔點PET/低熔點PET皮芯結構非織造布)(PTFE多孔膜)(高熔點PET/低熔點PET皮芯結構非織造布)(4)用(高熔點PET纖維與低熔點PET纖維的混合纖維構成的非織造布)取代上述(3)中(高熔點PET/低熔點PET皮芯結構非織造布)(5)(PET/PBT皮芯結構非織造布)(PTFE多孔膜)(PET/PBT皮芯結構非織造布)(6)(PET/PBT皮芯結構非織造布)(PTFE多孔膜)(低熔點PET非織造布)(7)(PET/PBT皮芯結構非織造布)(PTFE多孔膜)(高熔點PET/低熔點PET皮芯結構非織造布)(8)(低熔點PET纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(高熔點PET纖維和低熔點PET纖維的混合纖維構成的非織造布)
(9)(高熔點PET纖維與低熔點PET纖維的混合纖維構成的非織造布)(PTFE多孔膜)(低熔點PET纖維非織造布)(高熔點PET纖維非織造布)(10)(高熔點PET纖維與低熔點PET纖維的混合纖維構成的非織造布)(PTFE多孔膜)(PET/PBT皮芯結構非織造布)(11)(PET/PBT皮芯結構非織造布)(PTFE多孔膜)(低熔點PET非織造布)(高熔點PET纖維非織造布)(12)(PBT纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(PBT纖維非織造布)(13)(PBT纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(低熔點PET纖維非織造布)(14)(PBT纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(低熔點PET纖維非織造布)(高熔點PET纖維非織造布)(15)(PBT纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(高熔點PET/低熔點PET皮芯結構非織造布)(16)(PBT纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(高熔點PET纖維與低熔點PET纖維的混合纖維構成的非織造布)(17)(PBT纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(PET/PBT皮芯結構非織造布)(18)(低熔點PET纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(低熔點PET纖維非織造布)(19)(高熔點PET纖維非織造布)(PTFE多孔膜)(高熔點PET纖維非織造布)上述的層積方法中的熱輥上的熔融粘合可以按挾緊輥方式或如特開平6-218899號公報所記載，在疊層體的厚度方向上不直接加壓的方式(例如，不挾緊)進行。而熱輥的表面既可以是鏡面又可以是花紋面。輥溫度可以使用例如，在低熔點PET或PBT的軟化點溫度以上，不超過高熔點PET的熔點的溫度。
在使用熱熔粘接劑粘接的方式中，優選采用的聚酯纖維材料為由高熔點PET纖維、低熔點PET纖維、高熔點PET纖維與低熔點PET纖維的混合纖維、高熔點PET/低熔點PET皮芯纖維構成的非織造布等之類的PET制非織造布。
上述粘接方法可以采用公知的方法，但從所謂的不損害通氣性支撐材料的通氣量的理由考慮時，優選通過噴霧涂敷方式、螺旋噴霧涂敷方式、縫隙噴霧涂敷方式、熔噴涂敷方式、打印字輪涂敷方式、帶狀絞鏈(リボソリツプ)涂敷方式等粘接。作為粘接劑優選使用在壓低有機物產生的同時，低成本的熱熔粘接劑。
其次，本發明的過濾器濾材的各型式分別優選的具體方式如下。
(1)中性能型用捕集效率粒徑0.10～0.12μm的DOP的捕集效率40％以上PF值18～22(2)HEPA型用捕集效率粒徑0.10～0.12μm的DOP的捕集效率99.0％以上PF值18～22(3)ULPA型用捕集效率粒徑0.10～0.12μm的DOP的捕集效率99.99％以上PF值18～22本發明的過濾器濾材可以代替用于各種空氣過濾裝置的過濾器濾材使用，具體地，可以代替中性能空氣過濾器、玻璃纖維HEPA過濾器、玻璃纖維ULPA過濾器用的過濾器濾材使用。其中，優選代替可以充分發揮本發明過濾器濾材具有的高捕集效率性能的玻璃纖維HEPA過濾器、玻璃纖維ULPA過濾器用的過濾器濾材使用。
而本發明的過濾器濾材不僅可以用于作為空氣過濾裝置的過濾器濾材，而且也可以用于作為清潔加濕器的隔膜。另外，也可以用于硬磁盤機(ハ一ドデイスクドライブ)的粉塵(呼吸)(breath)過濾器和循環(recirculation)過濾器、其它的防水通氣材料。
本發明的空氣過濾裝置就是將上述本發明的過濾器濾材彎曲成波浪狀，并以此狀態存貯在框體內，上述框體與上述濾材間間隙被密封的裝置。上述密封，可以通過以往公知的方法進行。
本發明的空氣過濾裝置的方式并沒有特殊限制，例如可以是獨立型的，也可以是小型折疊型的。而對于本發明的空氣過濾裝置，作為上述本發明的優選方式，優選使用所例示的過濾器濾材。
本發明的空氣過濾裝置可以用于醫療、食品工業、生物工程、液晶工業和半導體工業等的凈室、擴散爐、涂敷機改進、液體站、化學蒸鍍(CVD)、浸漬器(ステツパ一)、儲料器、干蝕刻裝置、等離子蝕刻裝置、提純工作間、凈化室、晶片檢查裝置(サ一フスキヤソ、プロ一バ一)、FFU、CMP等的半導體制造裝置。另外，本發明的空氣過濾裝置，也可以與各種化學過濾器組合使用。
下面，說明本發明的實施例。在以下實施例中，過濾器濾材的孔的平均孔徑、壓力損失、透過率、捕集效率、膜厚、PTFE纖維平均直徑、空氣過濾裝置的壓力損失、捕集效率及由通氣性支撐材料產生的有機物總量，分別由下述方法測定。
(1)過濾器濾材的平均孔徑將以ASTM F-316-86為基準所測定的平均流動氣孔(MFP)作為平均孔徑。實際測定采用計數氣孔儀(Coulter Porometer)[計數電子(Coulter Electronics)公司(英國)制]進行測定。
(2)過濾器濾材的壓力損失將測定樣品切出直徑47mm的圓形，放置在有效透過面積12.6cm2的夾具上，將此入口側加上0.4kg/cm2壓力，用流量計(上島制作所社制，以下同)調整由出口側出來的空氣的流量，設定透過流速為5.3cm/秒。并用氣壓表測定此時的壓力損失。
(3)過濾器濾材的透過率將測定樣品放置在直徑100mm的過濾器夾具上，用壓縮機給入口加壓，用流量計使空氣透過的流量符合5.3cm/秒。在這種狀態下，于上游以濃度107個/300ml使多分散DOP流動，通過下游設置的粒子計數器(PMS LAS-X-CRT PAPTICLE MEASURING SYSTEMINC.(PMS)公司制、以下同)，求出在粒徑0.10～0.12μm的范圍內的粒徑不同的透過粉塵數，根據其比率，求出粒子的透過率。對于高捕集效率的樣品，通過增長測定時間，求出增加的吸引量。
(4)過濾器濾材的捕集效率過濾器濾材的捕集效率通過下述公式(數學式3)求出。
(數學式3)捕集效率(％)＝100-透過率(％)
再者，具備通氣性支撐材料的PTFE多孔膜的上述(1)～(4)的測定，是在具備通氣性支撐材料的狀態下測定，將這種測定值視為PTFE多孔膜的測定值。
(5)過濾器濾材(PTFE多孔膜)的膜厚使用膜厚計(1D-110MH型、ミツトヨ公司制)，重復測定10張膜的全部膜厚，以其平均值作為1張的膜厚。
(6)PTFE平均纖維直徑對PTFE多孔膜，用掃描電子顯微鏡(S4000型、日立公司制)拍攝放大7000倍的照片。將此照片切四份大幅度放大，在照片上縱橫分別以5cm間隔畫4根同長度的直線，測定在其直線上的PTFE纖維的直徑(約500根)，將其平均值作為PTFE纖維的平均纖維直徑。
(7)過濾裝置的壓力損失使用根據MIL-STD-282的HOT DOP法Q107型DOP測試儀的裝置，用傾斜式氣壓儀測定使過濾裝置透過流速0.5m/秒時的壓差。
(8)過濾裝置的捕集效率使用根據MIL-STD-282的HOT DOP法Q107型DOP測試儀的裝置，使過濾裝置透過流速符合0.5m/秒，在這種狀態下，于上游在粒徑0.1～0.12μm下，使濃度1×109/ft3的HOT DOP流動，通過粒子計數器求出下游粒徑0.1～0.12μm的粒子數，按其比率求出粒子的透過率(％)，用此值從上述公式(數學式3)，求出捕集效率。
(9)由通氣性支撐材料產生的有機物總量這種測定是通過使用氣相色譜法的凈化與捕集的方式進行。即，首先將通氣性支撐材料用以丙酮洗凈剪刃的剪刀準確剪成6cm的方形。進一步，將其剪碎成5mm的小方塊。這樣，將采集的試樣放入預先在80℃保溫的取樣管中，將純氦氣在80℃以50ml/分的流速通氣60分鐘洗凈。(注，因為一般地空氣過濾裝置的使用溫度上限是80℃，所以設定此條件。)而且，繼續在同等條件下通氣15分鐘，將從試樣產生的揮發成分、氣體成分從取樣管中趕出(凈化)、通入捕集管。將上述揮發成分蓄積濃縮在此捕集管中冷卻至-40℃的吸附劑(石英棉)上。然后，將上述吸附劑瞬間加熱至314℃，將吸附劑所吸附的吸附物變成氣體放出20秒鐘。然后，將上述放出氣體通入氣相色譜儀，將此量作為上述有機物總量進行測定。測定條件如下。
氣相色譜儀GC14A、島津制作所社制柱FRONTIER LAB Ultra ALLOY Ca pillary Colomn，UA-5柱溫度50℃→250(10分鐘)、升溫速度10℃/分分流比1∶50(柱流量10ml/分)(實施例1)數均分子量620萬的PTFE細粉(ポリフロソフアイソパウダ一F104U、ダイキソ社制)100重量份中，添加碳氫化物油(アイソパ一、エツソ石油社制)25重量份并進行混合。上述碳氫化物油是液體潤滑劑，作為擠出助劑使用。將這種混合物通過糊膏擠壓成型，制成圓棒狀。將這種圓棒狀成型體，通過加熱至70℃的壓延輥成型制成薄膜狀，得到PTFE薄膜。將此薄膜通過250℃的熱風干燥爐干燥并除去擠出助劑，得到平均厚度100μm，平均幅寬150mm的未燒結PTFE薄膜。然后，將這種未燒結PTFE薄膜在338℃烘箱中加熱處理23秒鐘，得到燒結度0.20的連續的半燒結PTFE薄膜。
然后，將這種半燒結的PTFE薄膜，用圖1所示的裝置在縱向拉伸20倍。拉伸的薄膜卷取在卷繞輥2上。再者，這種縱向的拉伸條件如下。(拉伸條件)輥3、4 速度差 0.5m/分輥6 線速度 4m/分 輥溫度 300℃輥7 線速度 10m/分 輥溫度 300℃輥10 線速度 10m/分 輥溫度 室溫輥2 卷繞速度10m/分輥6、輥7的間隔距離5mm然后，將所得的縱向拉伸的薄膜2張重疊，使用可以通過定速運送器連續挾持的圖2所示的裝置在橫向進行50倍的拉伸。這種橫向的拉伸及熱定型處理的條件如下。(處理條件)薄膜運行速度10m/分預熱箱溫度 300℃拉伸箱溫度 360℃熱定型箱溫度350℃這樣獲得的過濾器濾材(PTFE多孔膜)，通過上述方法測定的物性如表1所示。(表1)膜厚 平均孔徑 壓力損失 捕集效率 PF值 PTFE纖維平均(μm) (μm)(mmH2O)(％)直徑(μm)3.31.3 14.8 99.92 20.9 0.121由上述表1可知，此實施例的PTFE多孔膜，孔的平均孔徑大，壓力損失小，捕集效率高，PF值也在目的范圍之內。
(實施例2)將實施例1所制作的PTFE多孔膜2張重疊，在其上下熱熔粘合聚乙烯/聚酯制的熱熔粘合性非織造布(商品名エルベス(注冊商標)、ユニチカ社制)，得到過濾器濾材。這樣所得到的過濾器濾材的，通過上述方法測定的物性如下述表2所示。(表2)膜厚 平均孔徑 壓力損失 捕集效率 PF值 PTFE纖維平均(μm) (μm)(mmH2O)(％) 直徑(μm)- 1.3 29.799.99993 20.7 0.121由上述表2可知，此實施例的過濾器濾材，因為將實施例1的PTFE多孔膜2張重疊，壓力損失變成實施例1的約2倍，但與以往比較還是充分地小，捕集效率與實施例1相比進一步提高，而PF值也在目的范圍之內。而且，此實施例的過濾器濾材，因為具備以非織造布作為通氣性支撐材料，所以強度高，處理性優異。
再者，上述通氣性支撐材料[エルベス]的有機物總量，每250mg上述通氣性支撐材料為1215ng。
(實施例3)數均分子量620萬的PTFE細粉(ポリフロソフアイソパウダ一F104U、ダイキソ社制)100重量份中，添加碳氫化物油(アイソパ一、エツソ石油社制)25重量份并進行混合。上述碳氫化物油是液體潤滑劑，作為擠出助劑使用。將這種混合物通過糊膏擠壓成型，制成圓棒狀。將這種圓棒狀成型體，通過加熱至70℃的壓延輥成型制成薄膜狀，從而得到PTFE薄膜。將此薄膜通過250℃的熱風干燥爐干燥除去擠出助劑，得到平均厚度200μm，平均幅寬150mm的未燒結PTFE薄膜。于是，將這種未燒結PTFE薄膜在338℃烘箱中加熱處理18秒鐘，得到燒結度0.15的連續的半燒結PTFE薄膜。
然后，將這種半燒結的PTFE薄膜，用圖1所示的裝置，在縱向拉伸30倍。拉伸的薄膜卷取在卷繞輥2上。再者，這種縱向的拉伸條件如下。(拉伸條件)輥3、4 速度差 0.33m/分輥6 線速度 4m/分 輥溫度300℃輥7 線速度 10m/分 輥溫度300℃輥10線速度 10m/分 輥溫度室溫輥2 卷取速度 10m/分輥6、輥7的間隔距離5mm然后，將所得的縱向拉伸薄膜使用可以通過定速運送器連續挾持的圖2所示的裝置在橫向進行40倍的拉伸。這種橫向的拉伸及熱定型處理條件如下。(處理條件)薄膜運行速度10m/分預熱箱溫度 300℃拉伸箱溫度 340℃熱定型箱溫度340℃將這樣得到的PTFE多孔膜的壓力損失，用上述方法測定，測得其壓力損失為7.1mmH2O。
然后，將這種PTFE多孔膜3張重疊，并在其上下，熱熔粘合上熱熔粘合性非織造布(與實施例2相同)，得到過濾器濾材。這樣得到的過濾器濾材，通過上述方法測定的物性如下述表3所示。(表3)膜厚 平均孔徑 壓力損失 捕集效率 PF值 PTFE纖維平均(μm) (μm) (mmH2O) (％) 直徑(μm)- 7.2 21.5 99.998 21.8 0.112由上述表3可知，此實施例的過濾器濾材，平均孔徑與實施例1、2相比相當大，而將PTFE多孔膜3張重疊，壓力損失與實施例1幾乎是相等的低值。還有，捕集效率比實施例1高，PF值也在目的范圍之內。而且，此實施例的過濾器濾材，因為具備以非織造布作為通氣性支撐材料，所以強度高，處理性優異。
(實施例4)將實施例1～3的過濾器濾材折曲成波浪狀，并將其組裝入框體(鋁制)的內部，制作成外形尺寸為高610mm，寬610mm，深度65mm的過濾裝置。另外，實施例1及實施例2的過濾器濾材的場合，在PTFE多孔膜的上下，熱熔粘合上熱熔粘合性非織造布(與實施例2相同)，將其折曲成波浪狀組裝入框體內。而上述框體與過濾器濾材的間隙的密封是使用聚氨酯進行的。在這樣得到的3種過濾裝置中組裝入的過濾器濾材的面積為11.8m2。
將這樣得到的過濾裝置的壓力損失和捕集效率，通過上述方法測定。其結果如表4所示。(表4)壓力損失捕集效率mmH2O (％)實施例1裝置5.0 99.995實施例2裝置9.8 99.999998實施例3裝置7.2 99.99997000由上述表4可知，所有的過濾裝置的壓力損失都小，而且捕集效率也都高。
(實施例5～10)在以下的實施例5～10中，PTFE多孔膜使用與實施例1相同的膜。而如以下所示，使用通氣性支撐材料A～E，制作過濾器濾材。再者，對于上述PTFE多孔膜，根據上述測定方法，測定從其中產生的有機物總量，但未檢測出有機物。
(實施例5)作為通氣性支撐材料A，使用2張PET長絲非織造布(東洋紡社制商品名エク一レ6602B、纖度2d，定積重量60g/m2，熔點265℃)。而且在它們的各單面上按6g/m2的比例涂敷聚酯類熱熔粘接劑(ノガワケミカル社制ダイアボソドDH 598B)。并且用這種通氣性支撐材料A2張挾持PTFE多孔膜，在線速度10m/分及180℃的條件下，使其接觸熱輥，通過熱熔粘合使成一體化，獲得壓力損失15.0mmH2O，捕集效率99.94％，PF值＝21.5的過濾器濾材。
(實施例6)作為通氣性支撐材料B，使用2張阻燃PET長絲非織造布(東洋紡社制商品名ハイムH6301B，纖度2d，定積重量30g/m2，熔點250℃)。在它們的各單面上按6g/m2的比例涂敷聚酯類熱熔粘接劑(ノガワケミカル社制ダイアボソドDH 598B)。而且用這種通氣性支撐材料B2張挾持PTFE多孔膜，在線速度10m/分及180℃的條件下使其接觸熱輥，通過熱熔粘合成為一體化，獲得壓力損失14.6mmH2O，捕集效率99.91％，PF值＝20.9的過濾器濾材。
(實施例7)作為通氣性支撐材料C，使用2張PET/PBT芯/皮長絲非織造布(東洋紡社制商品名パルコソポHP 6060G，纖度8d，定積重量60g/m2，PET熔點265℃，PBT熔點216℃)。并且，用這種通氣性支撐材料C2張挾持PTFE多孔膜，在線速度10m/分及220℃的條件下，使其接觸熱輥，通過熱熔粘合成為一體化，獲得壓力損失15.1mmH2O，捕集效率99.92％，PF值＝20.5的過濾器濾材。
(實施例8)作為通氣性支撐材料D，使用2張PET/低熔點PET混紡長絲非織造布(ユニチカ社制商品名マリツクス90703 WSO，纖度2d，定積重量70g/m2，PET熔點264℃，低熔點PET熔點238℃)。而且，用這種通氣性支撐材料C2張挾持PTFE多孔膜，在線速度10m/分及240℃的條件下，使其接觸熱輥，通過熱熔粘合成為一體化，獲得壓力損失14.8mmH2O，捕集效率99.90％，PF值＝20.3的過濾器濾材。
(實施例9)作為通氣性支撐材料E，準備2張聚酰胺長絲非織造布(旭化成社制商品名エルタスNO 1050，纖度2d，定積重量50g/m2，熔點223℃)。而在它們的各自的單面上按6g/m2的比例涂敷聚酯類熱熔粘接劑(ノガワケミカル社制ダイアボソドDH 598B)。并且，用這種通氣性支撐材料E2張挾持PTFE多孔膜，在線速度10m/分及180℃的條件下，使其接觸熱輥，通過熱熔粘合成為一體化，獲得壓力損失14.2mmH2O，捕集效率99.89％。PF值＝20.8的過濾器濾材。
(實施例10)作為通氣性支撐材料F，準備2張PET/低熔點PET芯/皮長絲非織造布(東レ社制商品名G 5040，纖度2d，定積重量40g/m2，PET熔點264℃，低熔點PET熔點234℃)。用它們挾持PTFE多孔膜，在線速度10m/分及240℃的條件下，使其接觸熱輥，通過熱熔粘合成為一體化，獲得壓力損失15.6mmH2O，捕集效率99.95％，PF值＝21.2的過濾器濾材。
這樣所得的實施例5～10的過濾器濾材的通氣性支撐材料A～J的有機物總量如下。
通氣性支撐材料種類有機物總量(ng/250mg)實施例5A112實施例6B37實施例7C14實施例8D69實施例9E684實施例10 F100工業實用性如上所述，本發明的過濾器濾材是一種捕集效率高，壓力損失低，且孔的平均孔徑比以往大，平均孔徑的控制容易的濾材。因此，本發明的過濾器濾材最適合作為空氣過濾器濾材，使用它的空氣過濾裝置，可以在低的運行成本下供給極清凈的空氣。另外，本發明的過濾器濾材及過濾裝置適用范圍廣，可以用于作為中性能、HEPA、ULPA等各型過濾器濾材及過濾裝置。這樣，本發明的過濾器濾材及過濾裝置，由于可以實現在高性能下能量成本的降低，所以，例如，通過用于半導體制造裝置和凈室等，可以期待制品的高質量化及低成本化。
權利要求
1.一種過濾器濾材，它是由聚四氟乙烯多孔膜構成的過濾器濾材，其特征在于，上述聚四氟乙烯多孔膜的孔的平均直徑超過0.5μm，以5.3cm/秒的流速使空氣透過時的壓力損失為2～50mmH2O，且由上述壓力損失及使用粒徑0.10～0.12μm的鄰苯二甲酸二辛酯的捕集效率按下述公式(數學式1)計算出的PF值在18～22范圍，(數學式1)
透過率(％)＝100-捕集效率(％)。
2.按權利要求1所述的過濾器濾材，其中，聚四氟乙烯多孔膜，是一種聚四氟乙烯纖維相互纏結所形成的多孔膜，上述聚四氟乙烯纖維的平均纖維直徑在0.1～0.2μm的范圍。
3.按權利要求1或2所述的過濾器濾材，其中，聚四氟乙烯多孔膜的孔的平均孔徑為0.58～5μm，以5.3cm/秒的流速使空氣透過時的壓力損失為2～50mmH2O。
4.按權利要求1或2所述的過濾器濾材，其中，聚四氟乙烯多孔膜的孔的平均孔徑為1.1～3μm，以5.3cm/秒的流速使空氣透過時的壓力損失為2～45mmH2O。
5.按權利要求1～4任一項所述的過濾器濾材，其中，使用粒徑0.10～0.12μm的鄰苯二甲酸二辛酯的捕集效率在40％以上。
6.按權利要求1～4任一項所述的過濾器濾材，其中，使用粒徑0.10～0.12μm的鄰苯二甲酸二辛酯的捕集效率在99.0％以上。
7.按權利要求1～4任一項所述的過濾器濾材，其中，使用粒徑0.10～0.12μm的鄰苯二甲酸二辛酯的捕集效率在99.99％以上。
8.按權利要求1～7任一項所述的過濾器濾材，其中，在聚四氟乙烯多孔膜的至少單面上具備通氣性支撐材料。
9.按權利要求8所述的過濾器濾材，其中，在80℃條件下，以通氣性支撐材料中檢測出的有機物的總量，相對于上述通氣性支撐材料每250mg，在1000ng以下。
10.按權利要求8所述的過濾器濾材，其中，在80℃條件下，從通氣性支撐材料中檢測出的有機物總量，相對于上述通氣性支撐材料每250mg，在1000ng以下。
11.按權利要求8所述的過濾器濾材，其中，在80℃條件下，從通氣性支撐材料中檢測出的有機物總量，相對于上述通氣性支撐材料每250mg，在150ng以下。
12.按權利要求8所述的過濾器濾材，其中，通氣性支撐材料實質上是由聚酰胺和聚酯的至少一種材料所形成的。
13.按權利要求8所述的過濾器濾材，其中，通氣性支撐材料實質上是由聚酯材料所形成的，而且是一種不含聚烯烴的材料。
14.一種空氣過濾裝置，其特征在于，它是將按照權利要求1～13任一項所述的過濾器濾材，在被折曲成波浪狀的狀態下，裝入框體內，并且上述框體與上述過濾器濾材的間隙是被密封著的。
全文摘要
提供一種平均孔徑超過0.5μm,以5.3cm/秒的流速使空氣透過時的壓力損失為2—50mmH
文檔編號B29C55/06GK1245446SQ9718166
公開日2000年2月23日 申請日期1997年12月1日 優先權日1996年12月4日
發明者田中修, 楠見智男, 涉谷吉之, 田野猛 申請人:大金工業株式會社