全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及一種全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，屬于移料設備領域。
【背景技術】
[0002]在半導體清洗設備中，為了適應產能的要求，保證批次產品的質量，以及提高工人效率，全自動移料機臺的應用越來越多，而以前經常是單個工對應一組上料下料位，對于一些復雜路徑的移料，則需要多組移料機構，成本高，耗能大，不能適應需求。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型要解決的技術問題是:克服現有技術中的移料設備效率較低的技術問題，提供一種安裝在全自動機臺中的多工位上下料位移載機構，來滿足整機的工藝要求。
[0004]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:
[0005]全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，包括裝載位、分裝位、轉向位、中間緩沖位、機械手抓取位；
[0006]所述裝載位與分裝位之間通過滑槽A連接，轉向位通過滑槽A的延展部與分裝位連接；
[0007]所述中間緩沖位包括兩個分緩沖位，其中一個分緩沖位通過滑槽B-1與分裝位連接，另一個分緩沖位通過滑槽B-2與轉向位連接；
[0008]機械手抓取位包括兩個分抓取位，其中一個分抓取位通過滑槽C-1與其中一個分緩沖位連接，另一個分抓取位通過滑槽C-2與另一個分緩沖位連接；
[0009]其中滑槽A與其延展部同軸設置，滑槽B-1、滑槽B-2與滑槽C-1、滑槽C-2同軸設置，滑槽B-1與滑槽A垂直設置，滑槽B-2與滑槽A的延伸端垂直設置；
[0010]在所述滑槽A對應裝載位的位置設置有平移驅動機構A，在平移驅動機構A的升縮桿上設置有托舉驅動機構A，在托舉驅動機構A上設置有一個托板A，托板A的承托面積小于裝載位的裝載面積；
[0011 ]在所述轉向位上設置有一個托舉驅動機構B，在所述托舉驅動機構B的驅動機構桿上設置有旋轉驅動機構，在旋轉驅動機構的驅動機構桿上設置有托板B;
[0012]所述滑槽B-1、滑槽B-2對應中間緩沖位的位置設置有平移驅動機構C，在平移驅動機構C的升縮桿端部上設置有托舉驅動機構D，托舉驅動機構D的升縮桿端部分別對應兩個分緩沖位設置有托板C-1和托板C-2，平移驅動機構C的移動軸線與滑槽B-1、滑槽B-2平行；
[0013]所述滑槽C-1、滑槽C-2對應各機械手抓取位的位置設置有平移驅動機構B，在平行驅動機構B的升縮桿端部上設置有托舉驅動機構C，托舉驅動機構C的升縮桿端部分別對應兩個分抓取位分別設置有托板D-1和托板D-2，平移驅動機構B的軸線與滑槽C-1、滑槽C-2平行。
[0014]作為本實用新型的進一步創新，所述旋轉驅動機構的旋轉角度為180°。
[0015]作為本實用新型的進一步創新，平移驅動機構C和平移驅動機構B為一體結構，所述托舉驅動機構D和托舉驅動機構C均位于同一個升縮桿端部上，所述托板C-1、托板C-2、托板D-1、托板D-1同步固定。
[0016]作為本實用新型的進一步創新，所述各驅動機構均為氣缸。
[0017]作為本實用新型的進一步創新，在所述各托舉驅動機構的升縮桿端部上還設置有用于檢測各托板承重力的壓力傳感器。
[0018]本實用新型的有益效果是:
[0019]1、本實用新型通過在一個平臺上安裝實現各工步的物料運輸設備，相比于傳統的多設備傳輸，本實用新型不容易發生擺放基準的改變，縮小了設備的體積，提高了運輸的效率和精準度。
[0020]2、氣缸機構推動力大，而且對于定行程的傳動而言，氣缸速度快，準確度高，故障率低。
【附圖說明】
[0021]下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0022]圖1是本實用新型的工位不意圖；
[0023]圖2是本實用新型花籃托板的不意圖。
【具體實施方式】
[0024]現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。
[0025]如圖1?2所示，本實用新型為全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，其特征是:包括裝載位、分裝位、轉向位、中間緩沖位、機械手抓取位；
[0026]所述裝載位與分裝位之間通過滑槽A連接，轉向位通過滑槽A的延展部與分裝位連接；
[0027]所述中間緩沖位包括兩個分緩沖位，其中一個分緩沖位通過滑槽B-1與分裝位連接，另一個分緩沖位通過滑槽B-2與轉向位連接；
[0028]機械手抓取位包括兩個分抓取位，其中一個分抓取位通過滑槽C-1與其中一個分緩沖位連接，另一個分抓取位通過滑槽C-2與另一個分緩沖位連接；
[0029]其中滑槽A與其延展部同軸設置，滑槽B-1、滑槽B-2與滑槽C-1、滑槽C-2同軸設置，滑槽B-1與滑槽A垂直設置，滑槽B-2與滑槽A的延伸端垂直設置；
[0030]在所述滑槽A對應裝載位的位置設置有平移氣缸A，在平移氣缸A的活塞桿上設置有托舉氣缸A，在托舉氣缸A上設置有一個托板A，托板A的承托面積小于裝載位的裝載面積；
[0031]在所述轉向位上設置有一個托舉氣缸B，在所述托舉氣缸B的氣缸桿上設置有旋轉氣缸，所述旋轉氣缸的旋轉角度為180°，在旋轉氣缸的氣缸桿上設置有托板B;
[0032]所述滑槽C-1、滑槽C-2對應各機械手抓取位的位置設置有平移氣缸B，在平行氣缸B的活塞桿端部上設置有托舉氣缸C，托舉氣缸C的活塞桿端部分別對應兩個分抓取位分別設置有托板D-1和托板D-2，平移氣缸B的軸線與滑槽C-1、滑槽C-2平行；
[0033]在平移氣缸B的活塞桿端部上還設置有托舉氣缸D，托舉氣缸D的活塞桿端部分別對應兩個分緩沖位設置有托板C-1和托板c-2，平移氣缸B的移動軸線與滑槽B-1、滑槽B-2平行；
[0034]其中托舉氣缸D和托舉氣缸C之間的間距等于滑槽C-1或滑槽C-2的長度，滑槽C-1或滑槽C-2的長度同時也等于滑槽B-1或滑槽B-1。
[0035]設兩個花籃要移到分抓取位5-1和分抓取位5-2，需先保證分裝位和轉向位要都有花籃，才可以運行托板C和托板D，且所有托板都在下降的位置，:
[0036]先將第一個花籃放在裝載位，托板A上升托起花籃后，平移到轉向位，然后托板A下降返回到裝載位，花籃落在轉向位上，B托板上升托起花籃后旋轉180度，然后下降；第一個花籃已完成轉向放在轉向位上;再將第二個花籃放在裝載位，托板A上升托起花籃后，平移到分裝位，然后托板A下降返回到裝載位，花籃落在分裝位上;托板C平移到分裝位，同時也到轉向位，上升托起兩個花籃后，平移到中間緩沖位，然后托板C下降返回到分裝位，兩花籃落在中間緩沖位上，這時換托板D上升托起兩個花籃后，平移到機械手抓取位，然后托板D下降，兩花籃落在機械手抓取位，動作結束。
[0037]以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。
【主權項】
1.全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，其特征是:包括裝載位、分裝位、轉向位、中間緩沖位、機械手抓取位； 所述裝載位與分裝位之間通過滑槽A連接，轉向位通過滑槽A的延展部與分裝位連接； 所述中間緩沖位包括兩個分緩沖位，其中一個分緩沖位通過滑槽B-1與分裝位連接，另一個分緩沖位通過滑槽B-2與轉向位連接； 機械手抓取位包括兩個分抓取位，其中一個分抓取位通過滑槽C-1與其中一個分緩沖位連接，另一個分抓取位通過滑槽C-2與另一個分緩沖位連接； 其中滑槽A與其延展部同軸設置，滑槽B-1、滑槽B-2與滑槽C-1、滑槽C-2同軸設置，滑槽B-1與滑槽A垂直設置，滑槽B-2與滑槽A的延伸端垂直設置； 在所述滑槽A對應裝載位的位置設置有平移驅動機構A，在平移驅動機構A的升縮桿上設置有托舉驅動機構A，在托舉驅動機構A上設置有一個托板A，托板A的承托面積小于裝載位的裝載面積； 在所述轉向位上設置有一個托舉驅動機構B，在所述托舉驅動機構B的驅動機構桿上設置有旋轉驅動機構，在旋轉驅動機構的驅動機構桿上設置有托板B; 所述滑槽B-1、滑槽B-2對應中間緩沖位的位置設置有平移驅動機構C，在平移驅動機構C的升縮桿端部上設置有托舉驅動機構D，托舉驅動機構D的升縮桿端部分別對應兩個分緩沖位設置有托板C-1和托板C-2，平移驅動機構C的移動軸線與滑槽B-1、滑槽B-2平行； 所述滑槽C-1、滑槽C-2對應各機械手抓取位的位置設置有平移驅動機構B，在平行驅動機構B的升縮桿端部上設置有托舉驅動機構C，托舉驅動機構C的升縮桿端部分別對應兩個分抓取位分別設置有托板D-1和托板D-2，平移驅動機構B的軸線與滑槽C-1、滑槽C-2平行。2.如權利要求1所述的全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，其特征是:所述旋轉驅動機構的旋轉角度為180°。3.如權利要求1所述的全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，其特征是:平移驅動機構C和平移驅動機構B為一體結構，所述托舉驅動機構D和托舉驅動機構C均位于同一個升縮桿端部上，所述托板C-1、托板C-2、托板D-1、托板D-1同步固定。4.如權利要求1所述的全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，其特征是:所述各驅動機構均為氣缸。5.如權利要求1所述的全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，其特征是:在所述各托舉驅動機構的升縮桿端部上還設置有用于檢測各托板承重力的壓力傳感器。
【專利摘要】本實用新型涉及全自動清洗機臺中的多工位上下料位移載機構，裝載位與分裝位之間通過滑槽連接，轉向位通過滑槽與分裝位連接；中間緩沖位通過兩個滑槽與轉向位、分裝位連接；機械手抓取位通過兩個滑槽與中間緩沖位連接；在滑槽A對應裝載位的位置設有氣缸A，在氣缸A的升縮桿上設有托舉驅動機構A，在托舉驅動機構A上設有托板A；在轉向位上設有托舉驅動機構B，在托舉驅動機構B上設有旋轉驅動機構，在旋轉驅動機構上設有托板B；緩沖位設有氣缸C，在氣缸C上設有托舉驅動機構D，托舉驅動機構D設有兩個托舉板C；機械手抓取位位置設有氣缸B，在平行驅動機構B上設有托舉驅動機構C，托舉驅動機構C的與兩個托板D連接。
【IPC分類】B65G47/90
【公開號】CN205274658
【申請號】CN201520644864
【發明人】卡爾.羅伯特.休斯特
【申請人】硅密（常州）電子設備有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2015年8月25日