晶圓存儲貨架的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體領域，尤其涉及一種晶圓存儲貨架。
【背景技術】
[0002]晶圓(Wafer)是生產集成電路所用的載體，一般意義晶圓多指單晶硅圓片。晶圓按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規格，近來發展出12英寸甚至研發更大規格(14英寸、15英寸、16英寸、……20英寸以上等)。晶圓越大，同一圓片上可生產的IC就越多，可降低成本；但對材料技術和生產技術的要求更高。
[0003]一般會將晶圓存儲于晶圓盒中，再使用貨架進行晶圓盒存儲，此貨架對產線中的晶圓存儲足夠使用，但對于晶圓成品倉庫中做好真空包裝的晶圓盒存儲，卻有如下不足:
[0004]1.貨架上的用于消防安全的孔洞設計，使人員在操作時容易對真空包裝袋造成摩擦損壞，從而導致真空泄露；
[0005]2.成品倉庫中的晶圓數量巨大，且很多要存儲很長時間，因此在操作人員需要盤點及搬運晶圓盒，晶圓盒在貨架上頻繁的摩擦甚至不當的操作很容易造成真空包裝的損壞。
[0006]對于真空包裝損壞的晶圓，如發現及時，則需要重新進行包裝，浪費人力物力；如發現不及時，則對晶圓的良品率產生嚴重影響。
【實用新型內容】
[0007]為解決現有技術存在的問題，本實用新型提供了一種晶圓存儲貨架，包括承載部以及位于所述承載部四周的止擋部，用以從四個方向固定承載晶圓的晶圓盒。
[0008]可選的，所述晶圓存儲貨架還包括兩個相互垂直的滑軌，所述承載部固定于兩個所述滑軌的交叉處，所述止擋部可在所述滑軌上滑動，以靠近或遠離所述晶圓盒。
[0009]可選的，所述止擋部上具有第一鎖固件，用于在所述止擋部滑動至所述滑軌的特定位置時鎖固所述止擋部。
[0010]可選的，每個所述滑軌由兩根平行的滑竿構成，兩滑竿的距離不大于所述止擋部的寬度。
[0011]可選的，所述晶圓存儲貨架還包括設置于所述止擋部兩側的固定件，所述止擋部通過所述固定件滑動連接兩根所述滑竿。
[0012]可選的，所述承載部位于4根所述滑竿圍成的矩形上。
[0013]可選的，所述晶圓存儲貨架還包括環繞所述承載部和所述止擋部的圓形導軌，所述滑軌于所述圓形導軌的直徑方向連接所述圓形導軌的兩側，且能圍繞所述圓形導軌的中心轉動。
[0014]可選的，所述圓形導軌呈中空的管狀，所述滑軌的兩端伸入并通過球狀端點卡合于所述管狀內部。
[0015]可選的，所述滑軌的兩端包含第二鎖固件，用于在所述滑軌轉動至所述圓形導軌的特定位置時鎖固所述滑軌。
[0016]可選的，所述第二鎖固件位于所述球狀端點上，通過卡住所述球狀端點與所述圓形導軌之間的孔隙以鎖固所述滑竿。
[0017]本實用新型提供了一種貨架，包括承載部以及位于所述承載部四周的止擋部，用以從四個方向固定承載晶圓的晶圓盒。此晶圓存儲貨架通過止擋部的可移動設計，能夠承載不同大小的晶圓盒，由于可轉動而方便操作人員查看晶圓盒的各個面。相比于現有技術更為方便，也保證了晶圓盒的安全。
【附圖說明】
[0018]圖1為本實用新型一實施例所述晶圓存儲貨架的俯視圖；
[0019]圖2為本實用新型一實施例所述晶圓存儲貨架中止擋部的結構示意圖；
[0020]圖3為本實用新型一實施例所述晶圓存儲貨架中圓形導軌及球狀端點的剖面圖；
[0021]圖4為本實用新型一實施例所述晶圓存儲貨架承載晶圓盒的立體圖。
【具體實施方式】
[0022]以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0023]如圖1所示，本實用新型提供了一種晶圓存儲貨架，包括承載部10以及位于所述承載部10四周的止擋部20，止擋部20用以從四個方向固定晶圓盒。
[0024]在本實施例中，晶圓存儲貨架還包括兩個相互垂直的滑軌，所述承載部10固定于兩個所述滑軌的交叉處，所述止擋部20可在所述滑軌上滑動，以靠近或遠離所述晶圓盒(圖1中箭頭I方向)。每個所述滑軌由兩根平行的滑竿30構成，兩滑竿30的距離不大于所述止擋部20的寬度，止擋部20的兩端分別可滑動固定于所述兩根滑竿30上。
[0025]具體的，每兩根平行滑竿30的距離可以等于止擋部20的寬度，也可以小于止擋部20的寬度，使得止擋部20的兩端能夠分別連接到所述兩根滑竿30上。
[0026]每個止擋部20均包含第一鎖固件21，用于在所述止擋部滑動至所述滑軌的特定位置時鎖固所述止擋部20。優選方案中，每個止擋部20的第一鎖固件21分別位于止擋部20的兩端，當止擋部20滑動到所需的位置時，利用兩端的第一鎖固件21固定住止擋部20，使得止擋部20不能夠相對于滑竿30滑動。利用此結構，本實用新型的貨架可以適應不同晶圓盒的大小。將晶圓盒放置于承載部10上以后，再將周圍的止擋部20滑向晶圓盒，以從四個方向將晶圓盒夾住，以穩穩地將晶圓盒固定在承載部上。
[0027]由于本實施例中共有兩個滑軌，即4跟兩兩平行的滑竿組成，因此所述承載部固定于4根所述滑竿30圍成的矩形上。在本實施例中，承載部10的大小可以大于4根滑竿30圍成的矩形，也可以等于4根滑竿30圍成的矩形，對于承載部10的大小，本實用新型不作限制。
[0028]如圖2所示，止擋部20的兩端具有固定件22，止擋部20通過所述固定件22可滑動連接兩根所述滑竿30。具體的，固定件22固定連接于止擋部20的兩側，固定件22的下方呈環狀，用于套設于滑竿30上以在滑竿30上滑動。
[0029]繼續參見圖1，本實用新型的晶圓存儲貨架還包括環繞所述承載部10和所述止擋部20的圓形導軌40，所述滑竿30于所述圓形導軌40的直徑方向連接所述圓形導軌40的兩側，且能圍繞所述圓形導軌40的中心轉動(圖1中箭頭2方向)。
[0030]如圖3所示，圖3為圓形導軌40的剖面圖。在本實施例中，圓形導軌40呈中空的管狀，所述滑竿30的兩端伸入并通過球狀端點31卡合于所述管狀的內部。優選方案中，環繞所述滑竿30的周圍具有一個圓環，所述圓環上連接多個球狀端點31，均伸入圓形導軌40的內部，使得承載部10能夠通過滑竿30而圍繞圓形導軌40的中心點轉動。所述球狀端點31的數量至少為3個，以將4根滑竿托起，也可以為多個，用以更好地將4跟滑竿與圓形導軌40固定。對于球狀端點31的具體數量，本實用新型不作限制。
[0031]繼續參見圖3，滑竿30的兩端還包含第二鎖固件32，用于在所述滑竿30轉動至所述圓形導軌40的特定位置時鎖固所述滑竿30。本實施例中，第二鎖固件32位于球狀端點31上，通過卡住球狀端點31與圓形導軌40之間的孔隙，以固定滑竿30，使得滑竿30相對圓形導軌40靜止。
[0032]通過上述可轉動的結構，操作人員可以在不取下晶圓盒的情況下，通過轉動晶圓盒來查看晶圓盒的情況。在存儲真空包裝后的晶圓上，本實用新型的優勢明顯。
[0033]下面以一實施例詳細說明本實用新型所述晶圓存儲貨架在晶圓盒存儲上的使用過程。
[0034]如圖4所示，使用者將晶圓盒100放置于承載部10上，并將周圍的止擋部20向已放置的晶圓盒滑動，以從4個方向夾住所述晶圓盒100 ;之后，利用止擋部20的第一所固件21將止擋部20固定于滑竿30上，以免止擋部20相對于滑竿30滑動。如此一來，即可牢固地將晶圓盒100固定在承載部10上。由于止擋部20可以在滑竿30上滑動且能在滑竿30的任意位置固定，因此本實用新型的貨架可以用于承載不同大小和尺寸的晶圓盒。
[0035]晶圓盒100放置并固定于承載部10上以后，若操作人員需要檢查或盤點晶圓盒，只需用手轉動所述晶圓盒100，晶圓盒100即可帶動滑竿30—起圍繞圓形導軌40轉動。如此一來，操作人員能夠在不取下晶圓盒100的情況下查看晶圓盒100各個面的情況。
[0036]本實用新型提供了一種晶圓存儲貨架，包括承載部以及位于所述承載部四周的止擋部，用以從四個方向固定承載晶圓的晶圓盒。此晶圓存儲貨架通過止擋部的可移動設計，能夠承載不同大小的晶圓盒，由于可轉動而方便操作人員查看晶圓盒的各個面。相比于現有技術更為方便，也保證了晶圓盒的安全。
[0037]顯然，本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。
【主權項】
1.一種晶圓存儲貨架，其特征在于，包括承載部以及位于所述承載部四周的止擋部，用以從四個方向固定承載晶圓的晶圓盒。2.如權利要求1所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，還包括兩個相互垂直的滑軌，所述承載部固定于兩個所述滑軌的交叉處，所述止擋部可在所述滑軌上滑動，以靠近或遠離所述晶圓盒。3.如權利要求2所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，所述止擋部上具有第一鎖固件，用于在所述止擋部滑動至所述滑軌的特定位置時鎖固所述止擋部。4.如權利要求2所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，每個所述滑軌由兩根平行的滑竿構成，兩滑竿的距離不大于所述止擋部的寬度。5.如權利要求4所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，還包括設置于所述止擋部兩側的固定件，所述止擋部通過所述固定件滑動連接兩根所述滑竿。6.如權利要求4所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，所述承載部位于4根所述滑竿圍成的矩形上。7.如權利要求2所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，還包括環繞所述承載部和所述止擋部的圓形導軌，所述滑軌于所述圓形導軌的直徑方向連接所述圓形導軌的兩側，且能圍繞所述圓形導軌的中心轉動。8.如權利要求7所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，所述圓形導軌呈中空的管狀，所述滑軌的兩端伸入并通過球狀端點卡合于所述管狀內部。9.如權利要求8所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，所述滑軌的兩端包含第二鎖固件，用于在所述滑軌轉動至所述圓形導軌的特定位置時鎖固所述滑軌。10.如權利要求9所述的晶圓存儲貨架，其特征在于，所述第二鎖固件位于所述球狀端點上，通過卡住所述球狀端點與所述圓形導軌之間的孔隙以鎖固所述滑竿。
【專利摘要】本實用新型提供了一種晶圓存儲貨架，包括承載部以及位于所述承載部四周的止擋部，用以從四個方向固定承載晶圓的晶圓盒。此晶圓存儲貨架通過止擋部的可移動設計，能夠承載不同大小的晶圓盒，由于可轉動因而方便操作人員查看晶圓盒的各個面。相比于現有技術更為方便，也保證了晶圓盒的安全。
【IPC分類】B65D25/10, B65D85/86, B65D61/00
【公開號】CN204675080
【申請號】CN201520334078
【發明人】張學良, 高海林
【申請人】中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請日】2015年5月21日