出貨包裝機臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種出貨包裝機臺，所述出貨包裝機臺包括：封包機；設置于所述封包機上的標識碼讀取機；以及設置于所述封包機上的攝像頭；其中，所述標識碼讀取機與所述攝像頭連接。在本實用新型提供的出貨包裝機臺中，通過封包機、標識碼讀取機以及攝像頭能夠實現出貨包裝中的標識碼讀取、盒裝晶圓拍照以及盒裝晶圓包裝的工作。進一步的，通過處理器能夠實現對盒裝晶圓的追蹤處理。由此降低了工序的復雜度，解放了人力資源，同時避免了人員操作所導致的差錯。
【專利說明】出貨包裝機臺
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及集成電路制造設備【技術領域】，特別涉及一種出貨包裝機臺。
【背景技術】
[0002]晶圓(成品)的出貨包裝作為晶圓工廠端的最后一關，其十分重要也非常繁瑣。現有技術中，通常需要三種工作臺來完成晶圓的出貨包裝。具體的，通過第一工作臺讀取盒裝晶圓標識碼(ID號)，此時，操作人員需要將該盒裝晶圓的信息(標識碼)錄入到制造執行系統(manufacturing execut1n system,MES),作為記錄，以便對該盒裝晶圓進行追蹤；接著，操作人員將該盒裝晶圓移動至第二工作臺，在該第二工作臺上對盒裝晶圓進行第一次拍照；然后，操作人員將該盒裝晶圓移動至第三工作臺，即封包機，對該盒裝晶圓進行包裝；緊接著，操作人員將包裝好的盒裝晶圓移動至第二工作臺，在該第二工作臺上對包裝好的盒裝晶圓進行拍照，也就是對盒裝晶圓進行第二次拍照，此時，操作人員需要再次進入制造執行系統，核對包裝好的盒裝晶圓的信息(標識碼)與記錄的信息是否一致，以完成對該盒晶圓的追蹤。
[0003]上述過程需要人為的將盒裝晶圓在三種工作臺之間移動，工序比較繁雜，人力消耗比較大；同時，還需要在制造執行系統中手動完成對盒裝晶圓的追蹤，此項工作同樣增加了人力的消耗，并且容易導致差錯。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的在于提供一種出貨包裝機臺，以解決現有的晶圓出貨包裝工序比較繁雜，人力消耗比較大，以及容易導致差錯的問題。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種出貨包裝機臺，所述出貨包裝機臺包括:封包機；設置于所述封包機上的標識碼讀取機；以及設置于所述封包機上的攝像頭；其中，所述標識碼讀取機與所述攝像頭連接。
[0006]可選的，在所述的出貨包裝機臺中，還包括:設置于所述封包機上的處理器，所述標識碼讀取機及攝像頭均與所述處理器連接，所述處理器還與制造執行系統連接。
[0007]可選的，在所述的出貨包裝機臺中，還包括用于開啟和關閉所述封包機、標識碼讀取機、攝像頭以及處理器的控制鍵盤，所述控制鍵盤設置于所述封包機上。
[0008]可選的，在所述的出貨包裝機臺中，所述標識碼讀取機與所述封包機轉動連接。
[0009]可選的，在所述的出貨包裝機臺中，所述標識碼讀取機在所述封包機上的高度可調。
[0010]可選的，在所述的出貨包裝機臺中，所述攝像頭與所述封包機轉動連接。
[0011]可選的，在所述的出貨包裝機臺中，所述攝像頭在所述封包機上的高度可調。
[0012]可選的，在所述的出貨包裝機臺中，所述封包機包括基座、設置于所述基座上的工作平臺以及設置于所述工作平臺上的封裝口。
[0013]可選的，在所述的出貨包裝機臺中，所述封裝口包括下封口座、設置于下封口座上的上封口座以及設置于下封口座和上封口座之間的抽氣口。
[0014]在本實用新型提供的出貨包裝機臺中，通過封包機、標識碼讀取機以及攝像頭能夠實現出貨包裝中的標識碼讀取、盒裝晶圓拍照以及盒裝晶圓包裝的工作。進一步的，通過處理器能夠實現對盒裝晶圓的追蹤處理。由此降低了工序的復雜度，解放了人力資源，同時避免了人員操作所導致的差錯。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型實施例的出貨包裝機臺的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0016]以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的出貨包裝機臺作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0017]請參考圖1，其為本實用新型實施例的出貨包裝機臺的結構示意圖。如圖1所示，所述出貨包裝機臺I包括:封包機10 ;設置于所述封包機10上的標識碼讀取機11 ;以及設置于所述封包機10上的攝像頭12 ;其中，所述標識碼讀取機11與所述攝像頭12連接。
[0018]進一步的，所述出貨包裝機臺I還包括:設置于所述封包機10上的處理器13，所述標識碼讀取機11及攝像頭12均與所述處理器連接13，所述處理器13還與制造執行系統(圖1中未示出)連接。
[0019]在本申請實施例中，所述封包機10包括基座20，設置于所述基座20上的工作平臺21，以及設置于所述工作平臺21上的封裝口 22。進一步的，所述封裝口 22包括下封口座30，設置于下封口座30上的上封口座31，以及設置于下封口座30和上封口座31之間的抽氣口 32。當需要對盒裝晶圓進行包裝時，可將盒裝晶圓裝入包裝袋中，將包裝袋連同其中的盒裝晶圓置于工作平臺21上，包裝袋袋口置于下封口座30和上封口座31之間的抽氣口32中，對所述抽氣口 32進行抽氣，便可完成對于盒裝晶圓的包裝。
[0020]在本申請實施例中，所述標識碼讀取機11與所述封包機10轉動連接，即所述標識碼讀取機11在所述封包機10上能夠做轉動。進一步的，所述標識碼讀取機11在所述封包機10上的高度可調，即所述標識碼讀取機11能夠伸縮以改變其在所述封包機10上的高度。
[0021]在本申請實施例中，所述攝像頭12與所述封包機10轉動連接，即所述攝像頭12在所述封包機10上能夠做轉動。進一步的，所述攝像頭12在所述封包機10上的高度可調，即所述攝像頭12能夠伸縮以改變其在所述封包機10上的高度。
[0022]通過所述標識碼讀取機11以及所述攝像頭12的轉動以及高度調節，能夠更好的讀取盒裝晶圓的標識碼以及對盒裝晶圓進行拍照(對此，將在利用出貨包裝機臺I進行晶圓出貨包裝時做進一步描述)。
[0023]進一步的，所述標識碼讀取機11以及所述攝像頭12可以設置于所述封包機10的基座20上，也可以設置于所述封包機10的工作平臺21上或者上封口座31，對此本申請并不做限定。
[0024]在本申請實施例中，所述出貨包裝機臺I還包括設置于所述封包機10上的控制鍵盤14，所述控制鍵盤14能夠開啟以及關閉所述封包機10、標識碼讀取機11、攝像頭12以及處理器13。通過所述控制鍵盤14控制所述封包機10、標識碼讀取機11、攝像頭12以及處理器13的開啟與關閉，能夠保證所述出貨包裝機臺I的可靠性，例如，當所述封包機10已經完成對于盒裝晶圓的包裝，但是其仍舊沒有停止工作，例如抽氣口 32仍在持續抽氣，則此時可以通過所述控制鍵盤14上的相應控制鍵強行關閉所述封包機10。由此，在出現意外情況/故障時，也能一定程度控制所述出貨包裝機臺I的工作，從而可以保證所述出貨包裝機臺I的可靠性。
[0025]在本申請實施例中，所述封包機10、標識碼讀取機11、攝像頭12以及處理器13之間具有如下信號連接關系:所述標識碼讀取機11能夠向所述攝像頭12以及處理器13發送觸發信號，觸發所述攝像頭12以及處理器13工作；所述攝像頭12能夠向所述處理器13以及封包機10發送觸發信號，觸發所述處理器13以及封包機10工作；所述封包機10能夠向所述標識碼讀取機11以及攝像頭12發送觸發信號，觸發所述標識碼讀取機11以及攝像頭12工作。此外，所述處理器13能夠向所述制造執行系統讀寫數據。
[0026]接下去，將介紹通過本申請實施例提供的出貨包裝機臺I進行晶圓出貨包裝的方法/流程，具體如下:
[0027]首先，將需要進行出貨包裝的盒裝晶圓置于工作平臺21上，此時，可以通過控制鍵盤14上的相應控制鍵啟動標識碼讀取機11工作，標識碼讀取機11掃描所述盒裝晶圓以獲取所述盒裝晶圓的標識碼。在本申請的其他實施例中，也可以在所述工作平臺21上設置一感應器，當盒裝晶圓置于工作平臺21上時，感應器觸發標識碼讀取機11工作。
[0028]接著，當所述標識碼讀取機11讀取到盒裝晶圓的標識碼后，所述標識碼讀取機11將獲取的標識碼發送給處理器13，所述處理器13將獲取的標識碼錄入到制造執行系統；并且所述標識碼讀取機11觸發所述攝像頭12拍照。此時，所述攝像頭12對盒裝晶圓進行第一次拍照。進一步的，所述攝像頭12可將拍到的照片發送給處理器13，所述處理器13將所述照片保存或者錄入到制造執行系統，以備后續翻查等。此外，通過所述處理器13將獲取的標識碼錄入到制造執行系統中，可以實現對盒裝晶圓的追蹤處理，將避免操作人員的手動錄入，從而避免出現錯誤。
[0029]當攝像頭12完成對于盒裝晶圓的第一次拍照后，操作人員便可將盒裝晶圓裝入包裝袋中，以對盒裝晶圓進行包裝。
[0030]接著，將放入包裝袋的盒裝晶圓置于工作平臺21上，此時，可以通過控制鍵盤14上的相應控制鍵啟動封包機10工作，封包機10對所述盒裝晶圓進行包裝(具體包裝過程可參見上文描述)。在本申請的其他實施例中，也可以在所述工作平臺21上設置另一感應器，當放入包裝袋的盒裝晶圓置于工作平臺21上時，該感應器觸發封包機10工作。
[0031]當所述封包機10包裝好所述盒裝晶圓后，所述封包機10觸發所述標識碼讀取機11讀取包裝好的盒裝晶圓的標識碼，即再次讀取盒裝晶圓的標識碼，以便與第一次讀取到的標識碼進行比對，確認是否是之前的盒裝晶圓。具體的，當所述標識碼讀取機11讀取到包裝好的盒裝晶圓的標識碼后，所述標識碼讀取機11將獲取的標識碼發送給處理器13，所述處理器13將獲取的標識碼與制造執行系統中記錄的標識碼進行比對；當比對結果相同時，即說明包裝好的盒裝晶圓即為之前需要包裝的盒裝晶圓。此時，所述處理器13觸發所述攝像頭12拍照，即對包裝好的盒裝晶圓進行拍照，也即對盒裝晶圓進行第二次拍照。進一步的，所述攝像頭12也可將第二次拍到的照片發送給處理器13，所述處理器13將所述照片保存或者錄入到制造執行系統，以備后續翻查等。
[0032]綜上可見，通過封包機、標識碼讀取機以及攝像頭能夠實現出貨包裝中的標識碼讀取、盒裝晶圓拍照以及盒裝晶圓包裝的工作。進一步的，通過處理器能夠實現對盒裝晶圓的追蹤處理。由此降低了工序的復雜度，解放了人力資源，同時避免了人員操作所導致的差錯。
[0033]上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領域的普通技術人員根據上述揭示內容做的任何變更、修飾，均屬于權利要求書的保護范圍。
【權利要求】
1.一種出貨包裝機臺，其特征在于，包括:封包機；設置于所述封包機上的標識碼讀取機；以及設置于所述封包機上的攝像頭；其中，所述標識碼讀取機與所述攝像頭連接。
2.如權利要求1所述的出貨包裝機臺，其特征在于，還包括:設置于所述封包機上的處理器，所述標識碼讀取機及攝像頭均與所述處理器連接，所述處理器還與制造執行系統連接。
3.如權利要求2所述的出貨包裝機臺，其特征在于，還包括用于開啟和關閉所述封包機、標識碼讀取機、攝像頭以及處理器的控制鍵盤，所述控制鍵盤設置于所述封包機上。
4.如權利要求1所述的出貨包裝機臺，其特征在于，所述標識碼讀取機與所述封包機轉動連接。
5.如權利要求1所述的出貨包裝機臺，其特征在于，所述標識碼讀取機在所述封包機上的聞度可調。
6.如權利要求1所述的出貨包裝機臺，其特征在于，所述攝像頭與所述封包機轉動連接。
7.如權利要求1所述的出貨包裝機臺，其特征在于，所述攝像頭在所述封包機上的高度可調。
8.如權利要求1所述的出貨包裝機臺，其特征在于，所述封包機包括基座、設置于所述基座上的工作平臺以及設置于所述工作平臺上的封裝口。
9.如權利要求8所述的出貨包裝機臺，其特征在于，所述封裝口包括下封口座、設置于下封口座上的上封口座以及設置于下封口座和上封口座之間的抽氣口。
【文檔編號】B65B5/04GK203996962SQ201420381066
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月10日 優先權日:2014年7月10日
【發明者】劉孜謙, 譚孝林 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司