一種新型濕法卸片流水板的制作方法
【專利摘要】一種新型濕法卸片流水板，適用于單晶硅拋光片生產【技術領域】。本實用新型所述的流水板主要由進水底板（1）、出水板（2）構成；進水底板（1）上的底板水路（9）由四條豎向水路和兩條橫向水路組成，使帶有一定水壓的純水快速、均衡充滿底板水路（9）流入出水板（2）；出水板（2）上設有單排橫向出水孔（3），出水板進水孔（10）與出水孔（3）通過連接水路（11）連接，使出水板（2）表面的水膜均勻穩定，硅片定位板（4）通過定位板安插軸（12）安插到相應硅片定位板安插孔（5）內，防止硅片在流水板表面滑動左右偏移。本實用新型加工工藝簡單，使用過程中表面水膜均勻、穩定，硅片在下滑過程中不會發生左右偏移，杜絕了流水板表面對硅片背面及片盒對硅片表面擦傷的情況出現，大大提高了硅片的成品率。
【專利說明】一種新型濕法卸片流水板
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于單晶硅拋光片生產【技術領域】，主要涉及一種新型濕法卸片流水板。
【背景技術】
[0002]目前正在使用的單晶硅拋光片濕法卸片臺流水板主要有進水底板、出水板構成，進水底板上有底板進水孔和底板水路，能為出水板提供具有一定壓力的純水，出水板上設計加工有單排橫向圓柱直通型出水孔、兩排豎向圓柱直通型出水孔、安裝孔、硅片感應傳感器安裝孔。正常使用時，純水由底板進水孔進入，順著底板水路流入出水板，從出水板出水孔流出，在出水板表面形成一層水膜，當單晶硅拋光片從載體板上卸到流水板表面時，單晶硅拋光片可以在流水板表面水膜浮力的作用下順暢下滑進入流水板下方的片盒中，完成對單晶娃拋光片的收集工作。娃片感應器安裝在娃片感應器安裝孔中控制卸到片盒中的娃片數量；由于水膜的浮力，不僅可以使硅片順暢的滑入片盒中，而且有效避免了流水板表面與硅片背面之間的磨擦而產生廢品的情況出現。但是現有的流水板存在以下缺點:1.由于進水底板的底板水路最多有兩條豎向水路，易造成各個出水板出水孔的水壓分配不均，距離底板豎向水路近的出水孔出現水柱噴射現象，而距離底板豎向水路遠的出水孔沒有水流流出，導致流水板表面不能形成均勻覆蓋的水膜，不僅硅片不能順暢滑入片盒而且出現流水板表面與硅片背面摩擦造成硅片背面擦傷的情況；2.出水板表面既有單排橫向出水孔又有兩排豎向出水孔，出水孔數量過多，不僅增加了出水孔截面與硅片背面摩擦的機率，還增加了底板水路均衡各個出水孔水壓的難度，同時由于出水板上的出水孔為圓柱直通型，對底板水路提供的水流沒有緩沖作用，出水孔易出現水柱噴射現象；3.沒有針對不同尺寸硅片的定位導向裝置，對硅片在流水板表面下滑過程中出現的偏移不能有效阻擋，容易出現硅片不能準確滑入片盒中而造成片盒對硅片表面擦傷的情況。
實用新型內容
[0003]鑒于現有單晶硅拋光片濕法卸片流水板存在的不足，本實用新型提供一種新型濕法卸片流水板,該流水板增加了底板水路豎向水路數量,減少了出水板上出水孔數量,出水板進水孔和出水孔設計為錐形孔并增加連接水路。這些設計能使底板水路中各個位置的水壓均衡，能向各個出水板進水孔提供壓力一致的純水，出水板上出水孔不會出現水柱噴射現象且出水大小一致，易在流水板表面形成均勻水膜，降低了出水孔截面摩擦硅片背面的機率。在出水板上增加硅片定位板，能對單晶硅拋光片在流水板表面上的下滑過程進行定位導向控制，防止硅片在進入片盒前出現位置偏移，使硅片更加順暢的滑入片盒中，避免了流水板表面對硅片背面及片盒對硅片表面擦傷的情況出現，提高了單晶硅拋光片的成品率。
[0004]為實現上述發明目的，本實用新型所采用的具體技術方案是:一種新型濕法卸片流水板，主要是由進水底板、出水板構成，其中進水底板與出水板用膠粘合成一體，用螺栓通過安裝孔安裝到單晶硅拋光片濕法卸片臺上。進水底板上設置有安裝孔、底板進水孔、底板水路；底板水路是由四條豎向水路和兩條橫向水路組成，純水由底板進水孔流入，通過底板水路向出水板提供壓力一致的純水；出水板上分別設置有單排橫向出水孔、硅片定位板、硅片定位板安插孔、安裝孔、硅片感應器安裝孔；出水板進水孔、出水孔之間有一條圓柱型連接水路，圓柱型連接水路的尺寸直徑為1_;出水板上設置硅片定位板，硅片定位板通過定位板安插軸安插在娃片定位板安插孔內。所述的一種新型濕法卸片流水板，其中出水板進水孔、出水孔的上部是直徑尺寸為3mm，深度尺寸為Imm的圓柱型，下部為120°的錐型，兩孔的中心間距為1mm ;所述的一種新型濕法卸片流水板，其中硅片定位板安插孔在出水板表面底部兩側各有3個。
[0005]本實用新型所述的一種新型濕法卸片流水板，設計結構簡單，各個出水口水壓均衡穩定，出水水膜均勻，硅片下滑過程中在硅片定位板的導向下不會偏移，能順暢滑入片盒中，同時流水板表面、片盒不會對硅片表面造成損傷，明顯提高了產品成品率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0006]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0007]圖2為本實用新型出水板結構示意圖；
[0008]圖3為本實用新型的進水底板結構示意圖；
[0009]圖4為本實用新型出水板進水孔、出水孔及連接水路剖視圖；
[0010]圖5為硅片定位板結構示意圖。
[0011]圖中:1、進水底板、2、出水板，3、出水孔，4、硅片定位板，5、硅片定位板安插孔，6、安裝孔，7、硅片感應器安裝孔，8、底板進水孔，9、底板水路，10、出水板進水孔，11、連接水路，12、定位板安插軸。
【具體實施方式】
[0012]下面結合附圖給出本實用新型的【具體實施方式】如下:
[0013]如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5所示，本實用新型所述的一種新型濕法卸片流水板，主要由進水底板(I)、出水板(2)構成,其中進水底板(I)和出水板(2)用膠粘合成一體,用螺栓通過安裝孔(6)安裝到單晶硅拋光片濕法卸片臺上；進水底板(I)上設置有安裝孔(6)、底板進水孔(8 )、底板水路(9 )。底板水路(9 )由四條豎向水路和兩條橫向水路組成；出水板(2)上分別設置有單排橫向出水孔(3)、硅片定位板(4)、硅片定位板安插孔(5)、安裝孔(6)和用于控制卸到片盒中硅片數量的硅片感應器安裝孔(7)。出水板(2)上的出水板進水孔(10 )與出水孔(3 )之間連接一條直徑為Imm的圓柱型連接水路(11)，出水板進水孔(10 )和出水孔(3)的上部為圓柱型，圓柱型的直徑尺寸為3mm，深度尺寸為1mm，下部為120°的錐型；硅片定位板(4)根據硅片的直徑尺寸大小通過底部的定位板安插軸(12)安插到出水板(2)相應的的硅片定位板安插孔(5)內。工作時，純水通過底板進水孔(8)和底板水路(9)流入出水板(2)的進水孔(10)，再通過出水板(2)的連接水路(11)、出水孔(3)到達出水板
(2)表面，在出水板(2)表面形成更加均勻、穩定水膜，安全運載硅片進入硅片盒。
【權利要求】
1.一種新型濕法卸片流水板，其特征是:所述的一種新型濕法卸片流水板主要是由進水底板(I)、出水板(2)構成；其中進水底板(I)與出水板(2)用膠粘合為一體,用螺栓通過安裝孔(6)安裝在單晶硅拋光片濕法卸片臺上，進水底板(I)上設置有安裝孔(6)、底板進水孔(8 )，底板水路(9 );底板水路(9 )由四條豎向水路、兩條橫向水路組成；出水板(2 )上設置有單排橫向出水孔(3)、娃片定位板(4)、娃片定位板安插孔(5)、安裝孔(6)、娃片感應器安裝孔(7);出水板進水孔(10)與出水孔(3)之間有一條直徑尺寸為Imm的圓柱型連接水路(11)，娃片定位板(4)通過定位板安插軸(12)安插在娃片定位板安插孔(5)內。
2.根據權利要求1所述的一種新型濕法卸片流水板，其特征是:出水板進水孔(10)、出水孔(3)的上部為圓柱型，圓柱型直徑尺寸為3_，深度尺寸為1_，下部為120°的錐型。
3.根據權利要求1所述的一種新型濕法卸片流水板，其特征是:出水板(2)上的硅片定位板(4)安插在娃片定位板安插孔(5)內，娃片定位板安插孔(5)在出水板(2)表面底部兩側各有3個。
4.根據權利要求1所述的一種新型濕法卸片流水板，其特征是:硅片定位板(4)底部有定位板安插軸(12)。
【文檔編號】B65G51/01GK203938186SQ201420268766
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年5月26日 優先權日:2014年5月26日
【發明者】高燁, 牛海濤, 趙文龍, 胡曉亮, 邵奇 申請人:洛陽單晶硅有限責任公司