玻璃基板供給裝置制造方法
【專利摘要】一種玻璃基板供給裝置，包括收納箱、收納箱升降機(jī)構(gòu)、引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)、玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)、搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)包括搬送機(jī)構(gòu)主體、玻璃基板升降單元、玻璃基板吸附單元。玻璃基板引出單元根據(jù)玻璃基板的尺寸利用第二檢測部使玻璃基板中央部引出到規(guī)定位置，搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)從收納箱中的第一檢測部接收信號，使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)吸附保持玻璃基板引出單元上的位于規(guī)定位置的玻璃基板。根據(jù)本實(shí)用新型，能夠以較小的動(dòng)作使玻璃基板旋轉(zhuǎn)，節(jié)省旋轉(zhuǎn)用作業(yè)空間，提高生產(chǎn)速度。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種玻璃基板供給裝置，特別涉及一種能夠吸附玻璃基板的中央 部并使玻璃基板旋轉(zhuǎn)的玻璃基板供給裝置。 玻璃基板供給裝置
【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)有的玻璃基板供給裝置使用機(jī)械手等從收納有多張玻璃基板的收納箱向玻璃 基板搬送裝置供給玻璃基板。
[0003] 作為所述玻璃基板供給裝置，例如有如圖1和圖2所示的專利文獻(xiàn)1所公開的玻 璃基板供給裝置。該玻璃基板供給裝置具有收納多張玻璃基板50的收納箱48和自動(dòng)搬送 機(jī)構(gòu)46,該自動(dòng)搬送機(jī)構(gòu)46從收納箱48逐一地取出玻璃基板50并搬送到下一個(gè)工序，該 自動(dòng)搬送機(jī)構(gòu)46具有：自動(dòng)搬送主體54,其沿導(dǎo)軌60移動(dòng)；旋轉(zhuǎn)體56,其能夠繞軸52旋轉(zhuǎn) 并且能夠升降；機(jī)械手58,其能夠在旋轉(zhuǎn)臺(tái)56上沿旋轉(zhuǎn)臺(tái)56的長度方向滑動(dòng)。
[0004] 如圖2所示，機(jī)械手58從收納箱48逐一地取出玻璃基板50并且繞軸52旋轉(zhuǎn)并 移動(dòng)到下一個(gè)工序的預(yù)對準(zhǔn)區(qū)域44。具有這種結(jié)構(gòu)的玻璃基板供給裝置通過使偏離旋轉(zhuǎn)軸 52設(shè)置的機(jī)械手58旋轉(zhuǎn)，使玻璃基板50移動(dòng)，因此需要較大的旋轉(zhuǎn)用空間，以較大的旋轉(zhuǎn) 半徑進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)致生產(chǎn)速度降低。
[0005] 針對上述的玻璃基板供給裝置，專利文獻(xiàn)2公開了一種旋轉(zhuǎn)用空間較小的玻璃基 板移動(dòng)裝置。如圖3所示，專利文獻(xiàn)2的玻璃基板移動(dòng)裝置具有支撐臂16、安裝在該支撐臂 16上的伺服電機(jī)13c、上端部與伺服電機(jī)13c的驅(qū)動(dòng)軸連結(jié)的驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13b、安裝在該驅(qū) 動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13b下方的主齒輪13d、在主齒輪13d的下方安裝于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13b的下端部的旋 轉(zhuǎn)臂13a、安裝成沿上下方向貫通該旋轉(zhuǎn)臂13a的前端部并且向上方突出的旋轉(zhuǎn)軸12a、安 裝在該旋轉(zhuǎn)軸12a的向上方突出的上端部并隨著主齒輪13d的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)且齒數(shù)是該主齒 輪13d的一半的從動(dòng)齒輪12b、在旋轉(zhuǎn)軸12a的下端部隔著旋轉(zhuǎn)臂13a安裝在從動(dòng)齒輪12b 的相反側(cè)的玻璃基板保持機(jī)構(gòu)11。
[0006] 專利文獻(xiàn)1 :(日本）特開平9 - 138256號公報(bào)
[0007] 專利文獻(xiàn)2 :(日本）特開2005 - 101235號公報(bào)
[0008] 如圖4所示，專利文獻(xiàn)2的具有上述結(jié)構(gòu)的玻璃基板移動(dòng)裝置利用驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13 和旋轉(zhuǎn)軸12a二者而旋轉(zhuǎn)，因此，與專利文獻(xiàn)1的玻璃基板供給裝置相比，旋轉(zhuǎn)半徑變小，但 是由于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13b仍偏離玻璃基板50的中央部配置，因此還存在使旋轉(zhuǎn)用空間進(jìn)一步 縮小的余地。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0009] 本實(shí)用新型解決上述現(xiàn)有的技術(shù)課題，目的在于提供一種玻璃基板供給裝置，其 構(gòu)成為能夠吸附保持玻璃基板的中央部并且能夠旋轉(zhuǎn)，能夠以較小的旋轉(zhuǎn)半徑進(jìn)行旋轉(zhuǎn)， 從而節(jié)省空間且生產(chǎn)速度提高。
[0010] 本實(shí)用新型提供一種玻璃基板供給裝置，其將來自收納箱的玻璃基板向玻璃基板 搬送裝置上的規(guī)定搬送線供給，多張所述玻璃基板上下隔開規(guī)定間隔收納在所述收納箱 內(nèi)，其特征在于，具有：
[0011] 所述收納箱，其設(shè)置有檢測所述玻璃基板被引出的第一檢測部；
[0012] 收納箱升降機(jī)構(gòu)，載置有所述收納箱，自動(dòng)調(diào)整該收納箱的高度；
[0013] 引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)，具有將所述收納箱內(nèi)的所述玻璃基板按照規(guī)定時(shí)間間隔逐一 地引出的玻璃基板引出單元，并且設(shè)置有檢測該玻璃基板引出單元的移動(dòng)距離的第二檢測 部；
[0014] 玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)，將所述玻璃基板引出單元上的所述玻璃基板的中央部吸 附并水平地保持該玻璃基板；
[0015] 搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，沿所述玻璃基板的引出方向配置在所述玻璃基板引出單元的 上方且與該玻璃基板引出單元離開規(guī)定高度的位置，其接收來自所述第一檢測部的信號， 使所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)往復(fù)移動(dòng)，由此搬送所述玻璃基板；
[0016] 所述玻璃基板引出單元根據(jù)所述玻璃基板的尺寸利用所述第二檢測部使所述玻 璃基板的中央部引出到規(guī)定位置；
[0017] 所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)將所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)移動(dòng)到所述規(guī)定位置，并使 所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)吸附位于所述規(guī)定位置的所述玻璃基板的中央部；
[0018] 所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)具有：
[0019] 搬送機(jī)構(gòu)主體，具有升降用驅(qū)動(dòng)源，其安裝在所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的下表面，利 用該搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，能夠繞其中央的鉛直軸旋轉(zhuǎn)；
[0020] 玻璃基板升降單元，沿著所述鉛直軸的軸線安裝，能夠利用所述升降用驅(qū)動(dòng)源升 降；
[0021] 玻璃基板吸附單元，與所述玻璃基板升降單元的下端連結(jié)，將被引出而位于所述 規(guī)定位置的所述玻璃基板的中央部吸附并水平地保持該玻璃基板。
[0022] 優(yōu)選的是，所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)由一對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成，所述一對搬送 方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著與所述玻璃基板的引出方向垂直的寬度方向隔開規(guī)定間隔平行地位于 同一高度上，并且隔著所述搬送線對稱設(shè)置；
[0023] 所述玻璃基板供給裝置還具有寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)在一對所 述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的下表面橫跨所述寬度方向設(shè)置，能夠使所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu) 沿所述寬度方向移動(dòng)，所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠利用一對所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)往復(fù)移 動(dòng)；
[0024] 所述收納箱和所述收納箱升降機(jī)構(gòu)與一對所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)對應(yīng)而配置一 對；
[0025] 在所述引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置一對所述玻璃基板引出單元，能夠從一對所述收 納箱引出所述玻璃基板；
[0026] -對所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)從一對所述收納箱中的一個(gè)所述收納箱的第一檢測 部接收信號，使所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)工作，并且利用所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述玻璃 基板吸附搬送機(jī)構(gòu)吸附保持一個(gè)所述玻璃基板引出單元上的位于所述規(guī)定位置的玻璃基 板；
[0027] -對所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)從一對所述收納箱中的另一個(gè)所述收納箱的第一檢 測部接收信號，使所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)工作，并且利用所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述玻 璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)吸附保持另一個(gè)所述玻璃基板引出單元上的位于所述規(guī)定位置的玻 璃基板。
[0028] 根據(jù)本實(shí)用新型的玻璃基板供給裝置，能夠利用玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)所具有的 玻璃基板升降單元吸附并保持玻璃基板的中央部并且旋轉(zhuǎn)，因此能夠以較小的旋轉(zhuǎn)半徑旋 轉(zhuǎn)，從而節(jié)省空間且生產(chǎn)速度提高；另外，由于在旋轉(zhuǎn)之前和之后玻璃基板的位置不發(fā)生偏 離，因此能夠使搬送線成為直線，從而能夠?qū)崴脱b置整體設(shè)計(jì)得更加簡化。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0029] 圖1是表示現(xiàn)有的玻璃基板供給裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0030] 圖2是表示圖1的玻璃基板供給裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0031] 圖3是表示現(xiàn)有的玻璃基板裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0032] 圖4是表示利用圖3的玻璃基板移動(dòng)裝置使玻璃基板旋轉(zhuǎn)的狀況的俯視圖。
[0033] 圖5是表示本實(shí)用新型一實(shí)施例的玻璃基板供給裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0034] 圖6是表示利用本實(shí)用新型的玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)使玻璃基板旋轉(zhuǎn)的過程的 俯視圖。
[0035] 圖7是表示本實(shí)用新型的其他實(shí)施例的玻璃基板供給裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0036] 圖8是表示圖7的玻璃基板供給裝置的玻璃基板引出動(dòng)作的俯視圖。
[0037] 圖9(a)?（c)是表示本實(shí)用新型的玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)的搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu) 和寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038] 下面，參照圖5?圖8詳細(xì)說明本實(shí)用新型的玻璃基板供給裝置。需要說明的是， 附圖只是用于詳細(xì)說明本實(shí)用新型的例子，并不限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0039] 首先，參照圖5和圖6說明本實(shí)用新型一實(shí)施例的玻璃基板供給裝置。
[0040] 圖5是表示從側(cè)面看到的本實(shí)用新型一實(shí)施例的玻璃基板供給裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè) 視圖。在圖5中，圖示了本實(shí)用新型的玻璃基板供給裝置和玻璃基板搬送裝置兩個(gè)部分，其 中玻璃基板搬送裝置承接由該玻璃基板供給裝置搬送來的玻璃基板并將其搬送到下一個(gè) 工序。
[0041] 如圖5所示，本實(shí)用新型玻璃基板供給裝置主要包括：玻璃基板收納箱（以下簡稱 為收納箱）；收納箱升降機(jī)構(gòu)；玻璃基板引出單元的移動(dòng)機(jī)構(gòu)（以下簡稱為引出單元移動(dòng)機(jī) 構(gòu)），其具有從收納箱引出玻璃基板的玻璃基板引出單元；玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)，其吸附 保持玻璃基板引出單元上的玻璃基板的中央部并搬送玻璃基板；搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使 玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)向玻璃基板搬送裝置移動(dòng)。
[0042] [收納箱]
[0043] 如圖5所示，多張玻璃基板在上下方向上隔開規(guī)定間隔收納在收納箱內(nèi)。在此，對 玻璃基板的數(shù)量不特別限定。收納箱利用未圖示的收納箱搬送機(jī)構(gòu)載置在后述的收納箱升 降機(jī)構(gòu)上。另外，收納箱的至少與玻璃基板引出單元相對的一面敞開，以便收納箱內(nèi)的玻璃 基板能夠被玻璃基板引出單元逐一地引出。并且，在收納箱內(nèi)設(shè)置有第一檢測部，在玻璃基 板引出單元每次將玻璃基板引出時(shí)對該狀態(tài)進(jìn)行檢測。來自第一檢測部的信號傳送到搬送 方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)，搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)移動(dòng)。
[0044] 需要說明的是，對收納箱的尺寸、構(gòu)成材料、形狀及內(nèi)部構(gòu)成等不作特別限定。另 夕卜，作為第一檢測部，只要是能夠判斷玻璃基板的被引出的機(jī)構(gòu)即可，不作特別限定。
[0045][收納箱升降機(jī)構(gòu)]
[0046] 如圖5所示，收納箱升降機(jī)構(gòu)在玻璃基板引出單元每次取出一張玻璃基板后對收 納箱的高度進(jìn)行調(diào)整，以使玻璃基板引出單元能夠準(zhǔn)確地引出下一張玻璃基板。詳細(xì)而言， 在從下往上依次引出收納箱內(nèi)的玻璃基板的情況下，收納箱升降機(jī)構(gòu)使收納箱的高度每次 下降規(guī)定高度；在從上往下依次取出收納箱內(nèi)的玻璃基板的情況下，收納箱升降機(jī)構(gòu)使收 納箱每次上升規(guī)定高度。
[0047] 需要說明的是，作為收納箱升降機(jī)構(gòu)，只要是具有能夠自動(dòng)調(diào)整高度的功能的機(jī) 構(gòu)即可，不作特別限定。
[0048] [引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)]
[0049] 如圖5和圖8所示，引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)在其上表面設(shè)置有能夠滑移的玻璃基板引 出單元，以便能夠逐一地從載置在收納箱升降機(jī)構(gòu)上的收納箱引出玻璃基板。
[0050] 另外，在引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有第二檢測部，第二檢測部能夠檢測玻璃基板 引出單元向收納箱移動(dòng)規(guī)定距離，并且引出的玻璃基板的中央部位于規(guī)定位置。在第二檢 測部檢測到玻璃基板引出單元向收納箱移動(dòng)了規(guī)定距離時(shí)，引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)使玻璃基板 引出單元停止移動(dòng)，并且使承載有玻璃基板的玻璃基板引出單元向相反側(cè)滑移，使玻璃基 板的中央部位于規(guī)定位置。接著，在經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后再次進(jìn)行引出動(dòng)作，這樣反復(fù)進(jìn)行引出 動(dòng)作。"規(guī)定時(shí)間"是指從復(fù)位到待機(jī)狀態(tài)的玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)吸附引出的玻璃基板的 中央部為止的時(shí)間。
[0051] [搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)]
[0052] 搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)在玻璃基板引出單元的上方（優(yōu)選為正上方）且與該玻璃基板 引出單元離開規(guī)定高度的位置，沿玻璃基板的引出方向設(shè)置，固定在未圖示的框架等上。另 夕卜，對于搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成、形狀和長度，只要是能夠使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)移動(dòng) 的機(jī)構(gòu)，不作特別限定。
[0053] [玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)]
[0054] 如圖5所示，玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)具有：搬送機(jī)構(gòu)主體，具有升降用驅(qū)動(dòng)源，其 安裝在搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的下表面，利用搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，能夠繞中央的鉛直軸旋 轉(zhuǎn)；玻璃基板升降單元，沿所述鉛直軸的軸線安裝，能夠利用所述升降用驅(qū)動(dòng)源升降；玻璃 基板吸附單元，與該玻璃基板升降單元的下端連結(jié)，吸附被引出的玻璃基板的中央部并將 該玻璃基板保持為水平。
[0055] 需要說明的是，對于玻璃基板吸附單元，只要是能夠吸附玻璃基板的機(jī)構(gòu)即可，不 作特別限定。例如，在圖5和圖6等中，圖示了按照2行X3列的方式配置的吸嘴，但是不限 于此。另外，雖然圖示了矩形狀的玻璃基板吸附單元，但是不限于矩形狀。而且，對玻璃基 板升降單元的構(gòu)成也不作特別限定，而且對搬送機(jī)構(gòu)主體的形狀和構(gòu)成，也不作特別限定。
[0056] 另外，在玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)上設(shè)置有作為第三檢測部的檢測玻璃基板被吸附 的玻璃基板檢測機(jī)構(gòu)（圖9(b))，在該玻璃基板檢測機(jī)構(gòu)檢測到玻璃基板時(shí)，搬送機(jī)構(gòu)主體 驅(qū)動(dòng)玻璃基板升降單元使下降規(guī)定高度的玻璃基板吸附單元復(fù)位。
[0057] 需要說明的是，在圖9(b)中，作為玻璃基板升降單元，圖示了玻璃基板升降單元 由兩個(gè)旋轉(zhuǎn)升降單元構(gòu)成，但是不限于此。只要是能夠使玻璃基板吸附單元旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)即 可，不作特別限定。例如，可以由一個(gè)或三個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)升降單元構(gòu)成。
[0058] 如上所述構(gòu)成的收納箱、引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)、玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)、搬送方向移 動(dòng)機(jī)構(gòu)及玻璃基板搬送裝置呈直線狀地依次排列。
[0059] 以下參照圖5和圖6,說明本實(shí)用新型的一實(shí)施例的玻璃基板供給裝置的動(dòng)作。
[0060] 首先，玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)在搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上待機(jī)（初始位置）。
[0061] 當(dāng)搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)從第一檢測部接收到玻璃基板從收納箱被引出的信號時(shí)，使 玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)移動(dòng)到玻璃基板引出單元上的玻璃基板所在位置（玻璃基板的中 央部所在的規(guī)定位置）的正上方，通過驅(qū)動(dòng)玻璃基板升降單元，使玻璃基板吸附單元下降 并靠近玻璃基板，由第三檢測部檢測玻璃基板，如果檢測到，則吸附玻璃基板的中央部并水 平地抬起。
[0062] 接著，玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)在吸附玻璃基板的中央部的狀態(tài)下，利用搬送方向 移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)到玻璃基板搬送裝置所在位置，并且在移動(dòng)過程中，搬送機(jī)構(gòu)主體繞其中央 的鉛直軸旋轉(zhuǎn)90°，然后放下玻璃基板，被放下的玻璃基板由玻璃基板搬送裝置搬送到下 一個(gè)工序。需要說明的是，只要搬送機(jī)構(gòu)主體能夠向一定方向旋轉(zhuǎn)90°，就不對旋轉(zhuǎn)方向特 別限定。
[0063] 本實(shí)施例的玻璃基板供給裝置通過反復(fù)以上動(dòng)作而進(jìn)行玻璃基板的搬送。
[0064]以上說明了本實(shí)用新型的一實(shí)施例的玻璃基板供給裝置搬送玻璃基板的動(dòng)作。如 圖6所示，根據(jù)本實(shí)用新型的玻璃基板供給裝置，因?yàn)樵谛D(zhuǎn)的前后，玻璃基板的位置不發(fā) 生偏離，所以能夠使搬送線設(shè)為直線，從而能夠?qū)崴脱b置整體設(shè)計(jì)得更加簡化且節(jié)省空 間。
[0065] 以下參照圖7?圖9說明其他實(shí)施例的玻璃基板供給裝置。
[0066] 本實(shí)施例的玻璃基板供給裝置與上述實(shí)施例的玻璃基板供給裝置在以下方面存 在不同。即，具有：一對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其在與玻璃基板搬送方向（即，玻璃基板的引出 方向）垂直的方向上隔開規(guī)定間隔平行地位于同一高度，并且隔著上述實(shí)施例中的玻璃基 板搬送裝置上的玻璃基板搬送線（規(guī)定搬送線）對稱設(shè)置；寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其沿著與玻 璃基板搬送方向垂直的方向（即，寬度方向）橫跨一對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的下表面設(shè)置，能 夠使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)沿寬度方向移動(dòng)，并且其自身也能夠利用一對搬送方向移動(dòng)機(jī) 構(gòu)向玻璃基板搬送裝置移動(dòng)；一對收納箱及一對收納箱升降機(jī)構(gòu)，與所述一對搬送方向移 動(dòng)機(jī)構(gòu)對應(yīng)地配置；一對玻璃基板引出單元（第一和第二玻璃基板引出單元），與一對收納 箱對應(yīng)地設(shè)置在引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)上。在這種情況下，玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)安裝在寬度 方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的下表面。并且，第一和第二玻璃基板引出單元可以交替地從對應(yīng)的收納箱 引出玻璃基板，也可以在一對收納箱中的一個(gè)收納箱內(nèi)的玻璃基板全部引出之后，接著引 出另一個(gè)收納箱內(nèi)的玻璃基板。需要說明的是，在交替引出的情況下，由于搬送效率高，生 產(chǎn)速度提高，因此優(yōu)選這種交替引出的方式。
[0067] 需要說明的是，寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以由一對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)中的任一方驅(qū) 動(dòng)，也可以由二者驅(qū)動(dòng)。
[0068] 以下參照圖7?圖9,說明本實(shí)施例的玻璃基板供給裝置中第一和第二玻璃基板 引出單元交替地從對應(yīng)收納箱分別引出玻璃基板的動(dòng)作。
[0069] 首先，玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)在一對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)上待機(jī)（初始位置）。
[0070] 當(dāng)一對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)在例如第一檢測部接收到玻璃基板從一對收納箱中的 一個(gè)收納箱引出的信號時(shí)，使寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)到第一玻璃基板引出單兀上的玻璃基 板所在位置，并且利用寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)將玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)移動(dòng)到玻璃基板的正上 方（玻璃基板的中央部所在的規(guī)定位置），通過驅(qū)動(dòng)玻璃基板升降單元，使玻璃基板吸附單 元下降并靠近玻璃基板，由第三檢測部檢測玻璃基板，如果檢測到，則吸附玻璃基板的中央 部并水平地抬起。
[0071] 接著，寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)在吸附玻璃基板的中央部的狀態(tài)下，利用一對搬送方向 移動(dòng)機(jī)構(gòu)向玻璃基板搬送裝置移動(dòng)，同時(shí)使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)向?qū)挾确较虻闹醒氩颗c 上述實(shí)施例的規(guī)定搬送線一致地移動(dòng)，在移動(dòng)過程中使玻璃基板旋轉(zhuǎn)90°，在寬度方向移 動(dòng)機(jī)構(gòu)到達(dá)玻璃基板搬送裝置所在位置時(shí)，使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)下降并放下玻璃基 板，放下的玻璃基板由玻璃基板搬送裝置搬送到下一個(gè)工序。
[0072] 在玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)放下玻璃基板之后，使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)復(fù)位。一 對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)從另一個(gè)第一檢測部（一對收納箱中另一個(gè)收納箱所具有的檢測部） 接收到玻璃基板從另一個(gè)收納箱被引出的信號時(shí)，使寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)到第二玻璃基 板引出單元上的玻璃基板所在位置，并且利用寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu) 移動(dòng)到玻璃基板的正上方（玻璃基板的中央部所在的規(guī)定位置），通過驅(qū)動(dòng)玻璃基板升降 單元，使玻璃基板吸附單元下降并靠近玻璃基板，利用第三檢測部檢測玻璃基板，如果檢測 至IJ，則吸附玻璃基板的中央部并水平地抬起。
[0073] 接著，寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)在吸附玻璃基板的中央部的狀態(tài)下，利用一對搬送方向 移動(dòng)機(jī)構(gòu)向玻璃基板搬送裝置移動(dòng)，同時(shí)使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)向?qū)挾确较虻闹醒氩颗c 上述實(shí)施例的規(guī)定搬送線一致地移動(dòng)，在移動(dòng)過程中使玻璃基板旋轉(zhuǎn)90°，在寬度方向移 動(dòng)機(jī)構(gòu)到達(dá)玻璃基板搬送裝置所在位置時(shí)，使玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)下降并放下玻璃基 板，被放下的玻璃基板由玻璃基板搬送裝置搬送到下一個(gè)工序。
[0074] 這樣，玻璃基板供給裝置利用一對玻璃基板引出單元交替地引出玻璃基板并進(jìn)行 搬送，因此與僅利用一個(gè)玻璃基板引出單元進(jìn)行搬送的情況相比，能夠進(jìn)一步提高搬送效 率。
[0075] 需要說明的是，不限于由所述一個(gè)第一檢測部先發(fā)送信號，可以由所述另一個(gè)第 一檢測部先發(fā)送信號。即，只要所述一個(gè)第一檢測部和所述另一個(gè)第一檢測部交替地發(fā)送 信號即可。另外，可以在剛吸附玻璃基板的中央部之后就使玻璃基板旋轉(zhuǎn)90°，然后使玻璃 基板搬送裝置利用寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)先向?qū)挾确较虻闹醒氩恳苿?dòng)，之后再利用搬送方向移 動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)到玻璃基板搬送裝置。
[0076] 以上通過兩個(gè)實(shí)施例說明了本實(shí)用新型，但是不限于此。在上述構(gòu)成的基礎(chǔ)上，經(jīng) 由變形或變更得到的技術(shù)方案也落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種玻璃基板供給裝置，其將來自收納箱的玻璃基板向玻璃基板搬送裝置上的規(guī) 定搬送線供給，多張所述玻璃基板上下隔開規(guī)定間隔收納在所述收納箱內(nèi)，其特征在于，具 有： 所述收納箱，其設(shè)置有檢測所述玻璃基板被引出的第一檢測部； 收納箱升降機(jī)構(gòu)，載置有所述收納箱，自動(dòng)調(diào)整該收納箱的高度； 引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)，具有將所述收納箱內(nèi)的所述玻璃基板按照規(guī)定時(shí)間間隔逐一地引 出的玻璃基板引出單元，并且設(shè)置有檢測該玻璃基板引出單元的移動(dòng)距離的第二檢測部； 玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)，將所述玻璃基板引出單元上的所述玻璃基板的中央部吸附并 水平地保持該玻璃基板； 搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，沿所述玻璃基板的引出方向配置在所述玻璃基板引出單元的上方 且與該玻璃基板引出單元離開規(guī)定高度的位置，其接收來自所述第一檢測部的信號，使所 述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)往復(fù)移動(dòng)，由此搬送所述玻璃基板； 所述玻璃基板引出單元根據(jù)所述玻璃基板的尺寸利用所述第二檢測部使所述玻璃基 板的中央部引出到規(guī)定位置； 所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)將所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)移動(dòng)到所述規(guī)定位置，并使所述 玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)吸附位于所述規(guī)定位置的所述玻璃基板的中央部； 所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)具有： 搬送機(jī)構(gòu)主體，具有升降用驅(qū)動(dòng)源，其安裝在所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的下表面，利用該 搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)，能夠繞其中央的鉛直軸旋轉(zhuǎn)； 玻璃基板升降單元，沿著所述鉛直軸的軸線安裝，能夠利用所述升降用驅(qū)動(dòng)源升降； 玻璃基板吸附單元，與所述玻璃基板升降單元的下端連結(jié)，將被引出而位于所述規(guī)定 位置的所述玻璃基板的中央部吸附并水平地保持該玻璃基板。
2. 如權(quán)利要求1所述的玻璃基板供給裝置，其特征在于， 所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)由一對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成，所述一對搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)沿 著與所述玻璃基板的引出方向垂直的寬度方向隔開規(guī)定間隔平行地位于同一高度上，并且 隔著所述搬送線對稱設(shè)置； 所述玻璃基板供給裝置還具有寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)在一對所述搬 送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)的下表面橫跨所述寬度方向設(shè)置，能夠使所述玻璃基板吸附搬送機(jī)構(gòu)沿所 述寬度方向移動(dòng)，所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠利用一對所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)往復(fù)移動(dòng)； 所述收納箱和所述收納箱升降機(jī)構(gòu)與一對所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)對應(yīng)而配置一對； 在所述引出單元移動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置一對所述玻璃基板引出單元，能夠從一對所述收納箱 引出所述玻璃基板； 一對所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)從一對所述收納箱中的一個(gè)所述收納箱的第一檢測部接 收信號，使所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)工作，并且利用所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述玻璃基板 吸附搬送機(jī)構(gòu)吸附保持一個(gè)所述玻璃基板引出單元上的位于所述規(guī)定位置的玻璃基板； 一對所述搬送方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)從一對所述收納箱中的另一個(gè)所述收納箱的第一檢測部 接收信號，使所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)工作，并且利用所述寬度方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述玻璃基 板吸附搬送機(jī)構(gòu)吸附保持另一個(gè)所述玻璃基板引出單元上的位于所述規(guī)定位置的玻璃基 板。
【文檔編號】B65G43/00GK203877491SQ201420252768
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年5月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月16日
【發(fā)明者】由良友和, 小鹽智, 大澤曜彰, 川合涉史 申請人:日東電工株式會(huì)社