用于amhs輸送車的卷輪及傳動結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構，卷輪為圓形且具有軸心，圓形卷輪上至少有一段圓弧構成圓弧面體，圓弧面體可分離于卷輪本體，軸心位于卷輪本體上，圓弧面體與卷輪本體之間具有可調兩者間距的連接件。本實用新型通過將圓形卷輪分為圓弧面體和卷輪本體兩個部分，并以可調兩者間距的連接件相連，使卷輪的直徑可變，從而改變各傳動皮帶的長度，保證了抓取模塊的水平度，提高了AMHS系統的安全性和穩定性，省去維修更換傳動皮帶的時間，也提高了AMHS系統的工作效率。
【專利說明】用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體集成電路物料輸送系統【技術領域】，尤其涉及一種用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構。
【背景技術】
[0002]隨著半導體技術的發展,300mm娃片已經逐步取代200mm娃片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。為了增加傳送效率，降低輸送錯誤率，一個功能強大且性能穩定的自動化物料傳輸系統(Automated Material Handling Systems,簡稱AMHS)在300mm工廠里扮演了一個非常重要的角色。AMHS系統不僅可以有效的利用寶貴的潔凈室的生產空間，并且還可以提高生產設備的利用率，縮短在制品生產時間，所以在很多的300_的半導體工廠里，AMHS都被視為可以快速提升產能，增加生產效率的尖兵利器。
[0003]現有的AMHS系統均采用懸掛于天花板上的多條軌道結構與軌道上行駛的OHT輸送車，往返于各個機臺之間(tool to tool輸送模式),或往返于機臺與暫存區Stocker之間(走道間系統interbay與走道內系統intrabay)。
[0004]輸送車作為AMHS系統的一部分，從第一代十幾年前只能低速走行單線軌道，只能移植裝載位于其正下方的硅片盒，到第二代可以高速走行在分歧軌道，第三代不僅可以走行在分歧軌道，還可以左右移載設置在STS、UTS上的硅片盒，再到第四代450mm搬運小車，更新速度可謂非常之快。一般的輸送車為抓取硅片盒通常采用傳動皮帶垂直升降相應的抓取模塊抓取機臺上的硅片盒。一般的輸送車距離地面3米以上，由于其高度較高，又要盡量快速且平穩的運送抓取重達9公斤的硅片盒，所以輸送車傳動模塊的穩定性很重要。
[0005]輸送車的抓取模塊由傳動模塊中纏繞于四個卷輪上的四根傳動皮帶負責控制升降，由于300mm的硅片盒重量較200mm的硅片盒增加不少，皮帶的負重增加，皮帶多次升降后會難免會產生變形，使四根傳動皮帶有長有短，導致抓取模塊的水平度改變，從而影響抓取的穩定性。
實用新型內容
[0006]本實用新型的目的在于彌補上述現有技術的不足，提供一種用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構，通過可變直徑的卷輪來調節傳動皮帶的伸展長度，不需要拆卸更換傳動皮帶，從而保持抓取模塊的水平度，提高抓取穩定性。
[0007]為實現上述目的，本實用新型提供一種用于AMHS輸送車的卷輪，其為圓形且具有軸心，該圓形卷輪上至少有一段圓弧構成圓弧面體，該圓弧面體可分離于卷輪本體，該軸心位于卷輪本體上，該圓弧面體與卷輪本體之間具有可調兩者間距的連接件。
[0008]進一步地，該連接件分別與圓弧面體與卷輪本體相連接，并且該連接件還具有驅動件。[0009]進一步地，該驅動件為氣動裝置、液壓裝置或齒輪件。
[0010]進一步地，該圓弧面體與卷輪本體之間可調間距為0.1-lOcm。
[0011]進一步地，該圓弧面體與卷輪本體的連接縫呈一直線。
[0012]本實用新型還提供一種具有上述卷輪的傳動結構，其包括固定于輸送車車體的四個上述卷輪、各卷輪上的傳動皮帶以及與四根傳動皮帶下方連接的抓取模塊，每個卷輪上圓弧面體與卷輪本體之間的連接件均與輸送車車體內的控制單元信號連接。
[0013]本實用新型提供的用于AMHS輸送車的卷輪及傳動結構，通過將圓形卷輪分為圓弧面體和卷輪本體兩個部分，并以可調兩者間距的連接件相連，使卷輪的直徑可變，當卷輪上的傳動皮帶變形導致長度不一的情況發生時，通過本實用新型的結構調節卷輪的直徑，從而改變各傳動皮帶的長度，保證了抓取模塊的水平度，提高了 AMHS系統的安全性和穩定性，省去維修更換傳動皮帶的時間，也提高了 AMHS系統的工作效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]為能更清楚理解本實用新型的目的、特點和優點，以下將結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行詳細描述，其中:
[0015]圖1a和Ib是本實用新型第一實施例卷輪的結構示意圖；
[0016]圖2是具有第一實施卷輪的例輸送車的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0017]請參閱圖la，本實施例的用于AMHS輸送車的卷輪，作為懸吊式AMHS系統中OHT輸送車的一部分，其為圓形且具有軸心17，圓形卷輪的圓周上分為小圓弧14和大圓弧15，小圓弧14所在的卷輪構成了圓弧面體12，大圓弧15所在的卷輪構成了卷輪本體11，軸心17位于卷輪本體11上。
[0018]其中，圓弧面體12可分離于卷輪本體11，具體地，圓弧面體12與卷輪本體11之間具有兩個連接件13，連接件13可調節圓弧面體12和卷輪本體11的間距。本實施例的連接件13具有氣動裝置作為驅動件，該氣動裝置包括氣動閥、氣泵等，并與輸送車的控制單元信號連接控制其開閉，由此調節圓弧面體12遠離或靠近卷輪本體11。
[0019]本實施例中，圓弧面體和卷輪本體之間的可調間距范圍為5cm，即圓弧面體與卷輪本體最大距離可以是5cm，本實施例的連接件13分別與圓弧面體12和卷輪本體11相固定連接，用于防止圓弧面體12的掉落。在實際應用中，該兩者的可調間距可根據實際需要調整，較佳地在0.1-1Ocm之間，由于傳動皮帶是纏繞在卷輪上的,卷輪直徑增加0.1cm可以使傳動皮帶實際伸長量達到0.5-2cm左右，滿足調節水平度要求；另一方面，卷輪的可變直徑也不宜過大，超過IOcm就沒有了調節的意義。
[0020]在其他實施例中，驅動件也可以用現有調節高度的液壓裝置或齒輪件代替，甚至可以通過人工操作連接件，來調節卷輪的直徑，但優選使用可自動調節的自動驅動件，如本實用新型的氣動、液壓或齒輪。
[0021]本實施例中圓弧面體與卷輪本體的連接縫呈一直線，從圖中可以看出，但實際應用不僅限于此，只要能將卷輪分為兩個或兩個以上的部分，且繞開軸心，就可以實現調整卷輪直徑的目的，但本實施例的直線連接縫更便于卷輪的加工和安裝。[0022]圖1b是本實施例卷輪使用狀態時的結構示意圖，可見，由于連接件13的運作，圓弧面體12遠離卷輪本體11形成間隙，卷輪的直徑變大了。
[0023]請繼續參閱圖2，本實施例的輸送車傳動結構，包括固定于輸送車車體21的四個上述卷輪10、各卷輪10上的傳動皮帶22以及與四根傳動皮帶22下方連接的抓取模塊23，每個卷輪10上圓弧面體與卷輪本體之間的連接件均與輸送車車體21內的控制單元信號連接。
[0024]具有本實施例傳動結構的輸送車在搬送硅片盒2過程中，發現四根傳動皮帶變形導致長度不一，此時，將傳動皮帶完全放下伸展，得到長出部分的量，根據計算，可以很容易得到需要增加卷輪直徑的量，通過控制單元發送指令至每個卷輪連接件，調節每個卷輪的直徑，使傳動皮帶下端保持齊平，從而保證抓取模塊的水平度。
【權利要求】
1.一種用于AMHS輸送車的卷輪，其為圓形且具有軸心，其特征在于，該圓形卷輪上至少有一段圓弧構成圓弧面體，該圓弧面體可分離于卷輪本體，該軸心位于卷輪本體上，該圓弧面體與卷輪本體之間具有可調兩者間距的連接件。
2.根據權利要求1所述的用于AMHS輸送車的卷輪，其特征在于:該連接件分別與圓弧面體與卷輪本體相連接，并且該連接件還具有驅動件。
3.根據權利要求2所述的用于AMHS輸送車的卷輪，其特征在于:該驅動件為氣動裝置、液壓裝置或齒輪件。
4.根據權利要求1至3任一項所述的用于AMHS輸送車的卷輪，其特征在于:該圓弧面體與卷輪本體之間可調間距為0.1-lOcm。
5.根據權利要求4所述的用于AMHS輸送車的卷輪，其特征在于:該圓弧面體與卷輪本體的連接縫呈一直線。
6.一種具有權利要求1所述卷輪的傳動結構，其特征在于:其包括固定于輸送車車體的四個如權利要求1所述的卷輪、各卷輪上的傳動皮帶以及與四根傳動皮帶下方連接的抓取模塊，每個卷輪上圓弧面體與卷輪本體之間的連接件均與輸送車車體內的控制單元信號連接。
【文檔編號】B65G35/00GK203714696SQ201420091012
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年2月28日 優先權日:2014年2月28日
【發明者】王毅博, 李佳青 申請人:上海集成電路研發中心有限公司