一種基板的上下料裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種基板的上下料裝置，包括卡匣、載臺和滾輪組，所述卡匣設置于載臺的上方，且所述卡匣底部的底板具有開口，所述開口下方設置有滾輪組，所述載臺或滾輪組連接有升降機，所述滾輪組連接有電機。所述滾輪組包括多個滾輪，每個滾輪的滾輪軸與卡匣的底板相平行，且每個滾輪的滾動方向均朝向卡匣的料口方向。實用新型提供的基板的上下料裝置與機械手相比，采用滾輪傳送基板，通過降低或提升載臺的高度實現上下料，具有結構簡單、成本低廉以及空間占用面積小等優點，解決了傳統的機械手方式占用空間大操作、結構復雜、成本高等問題。
【專利說明】—種基板的上下料裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體設備行業，具體涉及一種基板的上下料裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體設備行業中，玻璃基板的傳輸方式有多種,其中最為常見的傳輸方式為通過機械手夾取方式，通過機械手將玻璃基板取出或放入卡匣，實現為設備的上下料動作。然而該最為普遍的機械手夾取進行上下料的方式卻存在明顯的不足之處，如空間占用大、機械手結構復雜、材料要求高、成本較高等方面，因而，急需開發一種結構簡單且成本相對較低的上下料裝置以滿足現有行業的使用需求。
實用新型內容
[0003]本實用新型提供一種基板的上下料裝置，通過卡匣升降、滾輪托舉基板的傳送方式實現上下料，解決了現有技術中玻璃基板上下料裝置的空間占用大、結構復雜、成本高等問題。
[0004]本實用新型提供一種基板的上下料裝置，所述上下料裝置包括卡匣、載臺和滾輪組，所述卡匣設置于載臺的上方，且所述卡匣底部的底板具有開口，所述開口下方設置滾輪組，所述卡匣側面還具有料口，所述滾輪組的滾動方向朝向卡匣的料口 ；所述上下料裝置還包括使所述卡匣升降或所述滾輪組升降以調整所述卡匣和滾輪組相對位置的升降機。
[0005]進一步地，所述載臺的側面連接有升降機。
[0006]進一步地，所述升降機為絲杠升降機或氣動升降機。
[0007]進一步地，所述滾輪組連接有電機。
[0008]進一步地，所述滾輪組包括多個滾輪，每個滾輪的滾輪軸與卡匣底部的底板相平行。
[0009]進一步地，所述開口的個數為多個，且開口的個數與滾輪的個數相等，每個開口對應設置有一個滾輪。
[0010]進一步地，所述開口的個數為I個，開口對應分散設置有多個滾輪。
[0011]進一步地，每個滾輪均豎直向下連接有單獨的豎直方向同步帶，而每個豎直方向同步帶的下方均與一共同的水平方向同步帶相連接，通過所述水平方向同步帶連接電機。
[0012]進一步地，每個滾輪的外側分別設置有罩子，每個滾輪的輪體表面均部分凸出于罩子的頂部。
[0013]本實用新型具有的優點在于:
[0014]本實用新型提供一種基板的上下料裝置，包括卡匣、載臺、滾輪組以及升降機，采用滾輪組傳送基板，并通過升降機降低或提升卡匣或滾輪組而實現基板與滾輪組的高度調整，從而實現上下料，與現有技術中采用機械手上下料技術相比，基板傳送方式更加靈活，傳送更易于操作，且上下料裝置的整體結構相對簡單，成本低廉，并且整個裝置空間占用面積較小，解決了傳統的機械手方式占用空間大操作、結構復雜、成本高等問題。【專利附圖】
【附圖說明】
[0015]圖1是實用新型提供的基板的上下料裝置中卡匣的結構簡圖；
[0016]圖2是實用新型提供的基板的上下料裝置的整體結構圖；
[0017]圖3是實用新型提供的基板的上下料裝置中載臺和滾輪組的結構示意圖。
[0018]圖中:1-卡匣；2_開口；3_載臺；4_滾輪組；5_滾輪；6_電機；7_升降機；8_料□。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本實用新型并能予以實施，但所舉實施例不作為對本實用新型的限定。
[0020]本實用新型提供一種基板的上下料裝置，如圖1-圖3所示，包括卡匣1、載臺3和滾輪組4。所述卡匣I的結構如圖1所示，為現有技術中常見的結構框架部件，圖1所示的卡匣I為400mmX500mm尺寸的卡匣，卡匣I底部的底板為具有開口 2的平板，該開口 2可以設置I個或多個，其中圖1所示的現有400mmX 500mm尺寸的卡匣，其底部為具有六個正方形開口。若選用現有技術中其他結構的卡匣I的底板為無開口 2的平板，則將其加工為具有開口 2的結構。
[0021]所述卡匣I設置于載臺3上方，所述載臺3采用適合卡匣I底部框架輪廓形狀的結構，實現有效承載卡匣1，限制卡匣I前后左右偏移的框體。載臺3或滾輪組4連接有升降機7，通過升降機7可以上升、下降該載臺3或滾輪組4，進而實現其上放置的卡匣I的升降或滾輪組4的升降，以實現位置調整。所述滾輪組4設置于載臺3的中空框架中，但不與所述載臺3或卡匣I有任何固定或連接，可相應設置于底面或者固定的操作臺平面上。所述卡匣側面還具有料口 8，所述滾輪組4的滾動方向朝向卡匣I的料口 8。
[0022]優選地，所述載臺3的側面連接有所述升降機7。
[0023]優選地，所述升降機7優選為絲杠升降機，也可以選擇氣動升降機。
[0024]優選地，所述滾輪組4連接有電機6。
[0025]優選地，所述滾輪組4包括多個滾輪5，每個滾輪5的滾輪軸與卡匣底部的底板相平行。
[0026]優選地，所述開口 2的個數為多個，且開口 2的個數與滾輪5的個數相等，每個開口 2對應設置有一個滾輪5。
[0027]優選地,所述卡匣I底部設計為一個大尺寸的開口 2，則多個滾輪5對應均勻分散設置于該開口 2的下方。
[0028]優選地，所述滾輪5為豎直方向設置的帶動力滾輪，設置時使每個滾輪5的滾動方向均朝向相同的方向，即朝向卡匣I的料口 8出去或進入方向。每個滾輪5分別豎直向下連接有單獨的豎直方向同步帶，而每個豎直方向同步帶的下方均與一共同的水平方向同步帶相連接，通過該水平方向同步帶連接電機6,進而提供滾輪5滾動動力，并通過水平方向同步帶以及多個豎直方向同步帶的同步傳遞動力，使各個滾輪5同步滾動。
[0029]優選地，每個滾輪5的外側分別設置有罩子進行遮擋，罩子也可以將滾輪5下方相應的豎直方向同步帶一并進行遮擋，但滾輪5的輪體表面可部分凸出于罩子的頂部，以滿足能夠透過開口 2接觸并滾動傳送基板。
[0030]本實用新型中卡匣I在載臺3的帶動下可以上下升降。當上料時，通過升降機7可以下降載臺3，使卡匣I下降，可以使卡匣I中層層疊放于支撐片中的基板可以逐層降落到滾輪5上被托起，并通過滾輪5滑動傳送出卡匣I料口 8，卡匣I的料口 8對齊機臺的上料口，機臺通過本身傳動的滾輪5接收基板，然后可以再驅動升降機7，使卡匣I再下降一層支撐片高度，繼續完成下一片基板的上料過程。當下料時，卡匣I的料口 8對齊機臺的上料口，基板通過機臺本身傳動的滾輪5進入卡匣I的料口 8，然后通過滾輪5滾動使基板完全移動進入卡匣I中相應支撐片處，然后通過升降機7上升載臺3，進而使卡匣I上升，使卡匣I中的基板上升一層支撐片的位置高度，然后再逐層一一疊放其他層基板即可，這樣就可以逐一完成各層基板的下料過程。
[0031]本實用新型中根據卡匣I底面結構，設計多組豎直設置的帶動力滾輪，并通過升降機7驅動載臺3升降而控制卡匣I升降，并通過電機6驅動同步帶使基板移入或移出卡匣I。該基板的上下料裝置結構簡單，成本低，占用空間小，可以高效的完成基板的上下料過程。
[0032]以上所述實施例僅是為充分說明本實用新型而所舉的較佳的實施例，本實用新型的保護范圍不限于此。本【技術領域】的技術人員在本實用新型基礎上所作的等同替代或變換，均在本實用新型的保護范圍之內。本實用新型的保護范圍以權利要求書為準。
【權利要求】
1.一種基板的上下料裝置，其特征在于，所述上下料裝置包括卡匣、載臺和滾輪組，所述卡匣設置于載臺的上方，且所述卡匣底部的底板具有開口，所述開口下方設置滾輪組，所述卡匣側面還具有料口，所述滾輪組的滾動方向朝向卡匣的料口 ；所述上下料裝置還包括使所述卡匣升降或所述滾輪組升降以調整所述卡匣和滾輪組相對位置的升降機。
2.根據權利要求1所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述載臺的側面連接有升降機。
3.根據權利要求2所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述升降機為絲杠升降機或氣動升降機。
4.根據權利要求3所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述滾輪組連接有電機。
5.根據權利要求4所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述滾輪組包括多個滾輪，每個滾輪的滾輪軸與卡匣底部的底板相平行。
6.根據權利要求5所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述開口的個數為多個，且開口的個數與滾輪的個數相等，每個開口對應設置有一個滾輪。
7.根據權利要求6所述的基板的上下料裝置，其特征在于，所述開口的個數為I個，開口對應分散設置有多個滾輪。
8.根據權利要求6或7所述的基板的上下料裝置，其特征在于，每個滾輪均豎直向下連接有單獨的豎直方向同步帶，而每個豎直方向同步帶的下方均與一共同的水平方向同步帶相連接，所述水平方向同步帶與所述電機連接。
9.根據權利要求8所述的基板的上下料裝置，其特征在于，每個滾輪的外側分別設置有罩子，每個滾輪的輪體表面均部分凸出于罩子的頂部。
【文檔編號】B65G49/06GK203624570SQ201320836178
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年12月18日 優先權日:2013年12月18日
【發明者】岳偉星, 楊碩, 李素華, 高峰, 崔永鑫 申請人:昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司, 昆山國顯光電有限公司