基板位置偏差調(diào)整裝置制造方法
【專利摘要】一種基板位置偏差調(diào)整裝置，設(shè)置于用于運送基板的機械手上，以對由所述機械手運送的基板進(jìn)行位置偏差調(diào)整。所述基板位置偏差調(diào)整裝置設(shè)置于所述機械手的下方，且包括水平部、位于水平部兩側(cè)的兩個側(cè)部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部。所述兩個側(cè)部中的每一個側(cè)部均由旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸來進(jìn)行控制，以使所述側(cè)部執(zhí)行上下運動和水平運動。根據(jù)本實用新型的基板位置偏差調(diào)整裝置可以對機械手上運送的基板進(jìn)行有效的整列，即，通過在機械手上加裝整列單元，使得每次在進(jìn)入下一個工序單元之前都能夠進(jìn)行調(diào)整，因而能很好地避免基板偏移情況的發(fā)生，降低生產(chǎn)產(chǎn)品發(fā)生異常的概率，有效提升合格率和降低生產(chǎn)成本。
【專利說明】基板位置偏差調(diào)整裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種基板位置偏差調(diào)整裝置，特別地涉及一種用于調(diào)整機械手上的基板位置偏差的調(diào)整裝置，即整列單元。
【背景技術(shù)】
[0002]機械手又叫機器人(robot)在技術(shù)上日趨成熟，已經(jīng)成為一種標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備而得到工業(yè)界廣泛應(yīng)用，機械手的應(yīng)用例如可提高生產(chǎn)效率、提高產(chǎn)品質(zhì)量、降低企業(yè)成本。隨著我國經(jīng)濟(jì)的持續(xù)發(fā)展和科學(xué)技術(shù)的突飛猛進(jìn)，機械手在涂膠、碼垛、點焊、弧焊、噴涂、搬運、測量等行業(yè)都有著相當(dāng)廣泛的應(yīng)用。
[0003]例如，在TEL涂膠顯影裝置中，通常是使用機械手來傳送基板的。圖1為示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的機械手傳送基板的示意圖，其中的(a)圖示出了基板在機械手上發(fā)生位置偏差的情形；(b)圖示出了發(fā)生位置偏差的基板被運輸?shù)交_上的情形；以及(C)圖示出了機械手撤走后，基臺上的基板保持位置偏差的情形。具體如下，如圖1所示，在機械手10傳送基板20時，基板20發(fā)生位置偏差的概率通常比較大，例如在涂完光刻膠之后，機械手10傳送基板20時，首先執(zhí)行抓取基板20的動作，如果在此階段基板20的位置發(fā)生偏差，則被送至下一工序，例如被送至熱板時，基板20的位置偏差會一直保留而得不到糾正和調(diào)整。如圖1中的(a)圖所示，機械手10在抓取基板20時發(fā)生了基板20的位置偏差，例如基板20偏差5°?，F(xiàn)有技術(shù)中的TEL涂膠顯影裝置中，對基板20的位置偏差進(jìn)行校正的整列單元40通常位于基臺30上，例如在圖1中的(a)圖中示出了位于基臺30的四個拐角處的四個整列單元40。但是，如圖1的(b)圖、(c)圖所示，盡管在基臺30上設(shè)置了整列單元40，但是基板20在機械手10上的位置偏差會被一直保留，在機械手10撤走之后,基板20在基臺30上仍然會保持偏差5°。
[0004]這是因為基板20在驅(qū)動銷下降后可能會擱在整列單元40上，從而使得基臺30上的整列單元40不能真正起到調(diào)整位置偏差的作用。具體如圖2所示，圖2示出了現(xiàn)有技術(shù)中的基板發(fā)生位置偏差的示意圖，其中的(a)圖為基板擱置到驅(qū)動銷上的情形，(b)圖為驅(qū)動銷下降后的情形。如圖2的(a)所示，例如在下一工序的熱板內(nèi)，機械手10將基板20擱置在驅(qū)動銷50上，之后驅(qū)動銷50下降將基板20擱置在基臺30上，但是由于基板20在機械手10上已經(jīng)發(fā)生位置偏差，因此，下降后的基板20可能會擱在整列單元40上，且由于熱板內(nèi)的高溫?zé)o法安裝用于檢測基板位置的任何傳感器，即使基板20的位置發(fā)生偏差，設(shè)備也不會有提示報警。因此會由于基板20與熱板未充分接觸而造成膜厚不均，例如在基板20未充分接觸熱板的區(qū)域?qū)е履ず裨龃?。只有在后續(xù)工序中進(jìn)行抽檢時才可能發(fā)現(xiàn)上述問題，因而會造成產(chǎn)品大批返工，產(chǎn)生額外的成本支出。
[0005]實踐中，由于機械手的皮帶張力會失去準(zhǔn)確性，因而容易發(fā)生基板偏移，基于此，可以通過按時測試及調(diào)整皮帶張力來盡量避免上述情形。但是，機械手在長時間運行之后，基板位置發(fā)生偏移的概率還是會大大增加。因此，非常有必要研發(fā)一種可以對基板的位置偏移進(jìn)行有效調(diào)整的整列單元。實用新型內(nèi)容
[0006]要解決的技術(shù)問題
[0007]有鑒于此，本實用新型要解決的技術(shù)問題在于提供一種基板位置偏差調(diào)整裝置，其可以對現(xiàn)有技術(shù)中容易發(fā)生的基板位置偏移進(jìn)行有效的調(diào)整。
[0008]解決問題的手段
[0009]根據(jù)本實用新型的一個方案，提供一種基板位置偏差調(diào)整裝置，用于對機械手所運送的基板進(jìn)行調(diào)整，該基板位置偏差調(diào)整裝置設(shè)置于所述機械手上，以對由所述機械手運送的基板進(jìn)行位置偏差調(diào)整，使得所述基板在進(jìn)入下一工序之前即完成位置偏差調(diào)整，所述基板位置偏差調(diào)整裝置包括水平部、位于水平部兩側(cè)的兩個側(cè)部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個側(cè)部中的每一個側(cè)部均由旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸來進(jìn)行控制，以使所述側(cè)部執(zhí)行上下運動和水平運動，所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸整合到所述機械手的控制部中，通過所述縱向部實現(xiàn)所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸與所述側(cè)部的電氣連接，從而實現(xiàn)控制所述側(cè)部的上下運動和水平運動。
[0010]優(yōu)選地，所述基板位置偏差調(diào)整裝置設(shè)置于所述機械手的下方。
[0011]所述基板位置偏差調(diào)整裝置包括多個水平部、分別位于每個水平部兩側(cè)的兩個側(cè)部以及沿著所述機械手的手臂的縱向延伸的縱向部。
[0012]所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸分別位于所述水平部的上、下面上。
[0013]所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸可以對所述側(cè)部執(zhí)行反向復(fù)位操作。
[0014]所述基板位置偏差調(diào)整裝置呈支架的形式且設(shè)置于所述機械手的尾部。
[0015]根據(jù)本實用新型的另一方面，還提供一種機械手，用于傳送基板，該機械手設(shè)置有基板位置偏差調(diào)整裝置，以對由所述機械手運送的基板進(jìn)行位置偏差調(diào)整，使得所述基板在進(jìn)入下一工序之前即完成位置偏差調(diào)整，所述機械手的基板位置偏差調(diào)整裝置包括水平部、位于水平部兩側(cè)的兩個側(cè)部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個側(cè)部中的每一個側(cè)部均由旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸來進(jìn)行控制，以使所述側(cè)部執(zhí)行上下運動和水平運動。
[0016]有益技術(shù)效果
[0017]根據(jù)本實用新型的基板位置偏差調(diào)整裝置可以對機械手上運送的基板進(jìn)行有效的整列，即，通過在機械手上加裝整列單元，使得每次在進(jìn)入下一個工序單元之前都能夠進(jìn)行調(diào)整，因而能很好地避免基板偏移情況的發(fā)生，降低生產(chǎn)產(chǎn)品發(fā)生異常的概率，有效提升合格率和降低生產(chǎn)成本。
[0018]應(yīng)理解，本實用新型的前述大體描述和以下的詳細(xì)描述都是示意性和說明性的，并旨在提供對所聲稱的實用新型的進(jìn)一步的解釋。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]所包括的附圖提供對本實用新型的進(jìn)一步的理解，附圖被并入并構(gòu)成本申請的一部分，本實用新型的示出實施例連同描述一起用于解釋本實用新型的原理。
[0020]在圖中:
[0021]圖1為示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的機械手傳送基板的示意圖，其中的(a)圖示出了基板在機械手上發(fā)生位置偏差的情形；(b)圖示出發(fā)生位置偏差的基板為運輸?shù)交_上的情形；以及(C)圖示出機械手撤走后，基臺上的基板保持位置偏差的情形。
[0022]圖2示出了現(xiàn)有技術(shù)中的基板發(fā)生位置偏差的示意圖，其中的(a)圖為基板擱置到驅(qū)動銷上的情形，(b)圖為驅(qū)動銷下降后的情形。
[0023]圖3為示出了根據(jù)本實用新型的基板位置偏差調(diào)整裝置的示意圖。
[0024]圖4為說明根據(jù)本實用新型的整列單元如何進(jìn)行基板位置偏差調(diào)整的示意圖，圖4中的(a)圖為整列單元對基板位置偏差進(jìn)行調(diào)整的第一步；(b)圖為整列單元對基板位置偏差進(jìn)行調(diào)整的第二步；(C)圖為整列單元對基板位置偏差進(jìn)行調(diào)整的第三步；以及(d)圖為整列單元對基板位置偏差進(jìn)行調(diào)整的第四步。
【具體實施方式】
[0025]以下將參照附圖詳細(xì)地說明本實用新型的實施方式。
[0026]首先如圖3所示，該圖3為示出了根據(jù)本實用新型的基板位置偏差調(diào)整裝置的示意圖。與圖1的現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的改進(jìn)之處在于在機械手100上加裝了整列單元400。如前所述，由于機械手100的皮帶張力會失去準(zhǔn)確性，因而容易發(fā)生基板偏移的問題，因此，本實用新型直接在機械手100上加裝增列單元400，通過該整列單元400可以很好地調(diào)整基板位置，保證基板位置調(diào)整到最好后再送入下一單元，從而降低生產(chǎn)產(chǎn)品發(fā)生異常的概率，有效提升合格率和降低生產(chǎn)成本。
[0027]具體地，如圖3所示，該整列單元400呈支架的形式，其安裝在機械手100的兩個手臂的下方，優(yōu)選地如圖所示，位于機械手100的尾部，且該整列單元400包括水平部410和位于水平部410兩側(cè)的兩個側(cè)部420，該兩個側(cè)部420分別連接旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸(圖中未示出)，例如，旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸可分別安裝在水平部分410的上、下面，用來分別控制兩個側(cè)部420的上下運動和水平運動。旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸可選擇本領(lǐng)域內(nèi)公知的任一種類的氣缸。
[0028]此外，如圖3中所示出的，整列單元400的沿著機械手100的兩個手臂的縱向延伸的縱向部430連接到機械手100的下方控制部，通過該縱向部430可以更好地支撐基板，且如果將上述的旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸設(shè)置與機械手的控制部分中時，可利用該縱向部430實現(xiàn)兩個側(cè)部420與各自的氣缸的電氣連接，進(jìn)而實現(xiàn)對兩個側(cè)部420的控制。
[0029]圖3中示出了僅包括一個水平部410的情形，當(dāng)然本實用新型也可包括多個水平部410,例如包括兩個水平部410,以及分別位于兩個水平部410兩側(cè)的兩個側(cè)部420,和沿著機械手100的手臂的縱向延伸的縱向部430。在包括兩個水平部410的情形下，共包括四個側(cè)部420，可對這四個側(cè)部420進(jìn)行分別控制，或者可以對這四個側(cè)部420進(jìn)行組合來控制。對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言顯然的，優(yōu)選地，這四個側(cè)部420或者如前述實施例中所述的兩個側(cè)部420對稱設(shè)置，以對基板提供對稱均勻的作用力，從而有效調(diào)整基板位置偏差。
[0030]以下將參照圖4來說明根據(jù)本實用新型的整列單元400如何進(jìn)行基板位置偏差的調(diào)整的，圖4中的(a)圖為整列單元400對基板位置偏差進(jìn)行調(diào)整的第一步；(b)圖為整列單元400對基板位置偏差進(jìn)行調(diào)整的第二步；(c)圖為整列單元400對基板位置偏差進(jìn)行調(diào)整的第三步；以及(d)圖為整列單元400對基板位置偏差進(jìn)行調(diào)整的第四步。[0031]首先參照圖4的(a)圖所示，抓取到機械手上的基板200發(fā)生了位置偏差，同樣地例如該基板200的位置偏差為5°。與現(xiàn)有技術(shù)不同的是，在根據(jù)本實用新型的該實施例中，由于在機械手上加裝了整列單元400，通過控制整列單元400的一系列動作可以對該基板200進(jìn)行有效地位置偏差調(diào)整。該整列單元400的動作控制可以事先通過編程輸入控制器來自動執(zhí)行，可以根據(jù)需要手動執(zhí)行。圖4的(a)圖為整列單元400的原始位置。在圖4的(b)圖中，整列單元400的側(cè)部420通過旋轉(zhuǎn)氣缸的驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)運動，到達(dá)直立的狀態(tài)，之后，如圖4的(c)圖所示，側(cè)部420在導(dǎo)軌氣缸的驅(qū)動下進(jìn)行水平滑動運動而靠近基板200的兩個邊緣，通過對基板200施加擠壓動作而對基板200的位置偏差進(jìn)行有效調(diào)整。圖中示出了包括兩個側(cè)部420的實施例，當(dāng)然，也可包括四個側(cè)部，進(jìn)而在四個位置對基板200進(jìn)行位置偏差校正。
[0032]完成位置偏差校正之后，側(cè)部420再次通過水平氣缸的驅(qū)動滑移到圖4中的(b)所示的位置，最后在旋轉(zhuǎn)氣缸的驅(qū)動下如圖4的(d)所示，回到原始狀態(tài)。
[0033]以上為根據(jù)本實用新型的整列單元400的動作過程。實踐中，機械手在取基板之后實現(xiàn)釋放機械手墊上的真空，在傳送信號至控制器，由控制器進(jìn)行控制來執(zhí)行上述的位置偏差校正程序，對基板200進(jìn)行整列，隨后，在整列單元400恢復(fù)到原始位置時，再吸附真空，對基板200進(jìn)行下一步傳送。
[0034]根據(jù)本實用新型，由于在機械手上加裝了整列單元400，因此在每次將基板送入下一單元前都能進(jìn)行調(diào)整，從而可以有效地糾正基板位置偏差，降低產(chǎn)品發(fā)生異常的概率，有效提升合格率和降低生產(chǎn)成本。
[0035]對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員明顯的是，對本實用新型進(jìn)行的各種更改和變型不背離本實用新型的精神或范圍。因此，本實用新型旨在覆蓋本實用新型的更改和變型，只要所述更改和變型落入所附的權(quán)利要求及其等同替換的范圍內(nèi)即可。
【權(quán)利要求】
1.一種基板位置偏差調(diào)整裝置，用于對機械手所運送的基板進(jìn)行調(diào)整，其特征在于，該基板位置偏差調(diào)整裝置設(shè)置于所述機械手上，以對由所述機械手運送的基板進(jìn)行位置偏差調(diào)整，使得所述基板在進(jìn)入下一工序之前即完成位置偏差調(diào)整，所述基板位置偏差調(diào)整裝置包括水平部、位于水平部兩側(cè)的兩個側(cè)部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個側(cè)部中的每一個側(cè)部均由旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸來進(jìn)行控制，以使所述側(cè)部執(zhí)行上下運動和水平運動，所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸整合到所述機械手的控制部中，通過所述縱向部實現(xiàn)所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸與所述側(cè)部的電氣連接，從而實現(xiàn)控制所述側(cè)部的上下運動和水平運動。
2.如權(quán)利要求1所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述基板位置偏差調(diào)整裝置設(shè)置于所述機械手的下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述基板位置偏差調(diào)整裝置包括多個水平部、分別位于每個水平部兩側(cè)的兩個側(cè)部以及沿著所述機械手的手臂的縱向延伸的縱向部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸分別位于所述水平部的上、下面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸可以對所述側(cè)部執(zhí)行反向復(fù)位操作。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述基板位置偏差調(diào)整裝置呈支架的形式且設(shè)置于所述機械手的尾部。
7.一種機械手，用于傳送基板，其特征在于，該機械手設(shè)置有基板位置偏差調(diào)整裝置，以對由所述機械手運送的基板進(jìn)行位置偏差調(diào)整，使得所述基板在進(jìn)入下一工序之前即完成位置偏差調(diào)整，所述基板位置偏差調(diào)整裝置包括水平部、位于水平部兩側(cè)的兩個側(cè)部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個側(cè)部中的每一個側(cè)部均由旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸來進(jìn)行控制，以使所述側(cè)部執(zhí)行上下運動和水平運動。
【文檔編號】B65H5/08GK203728253SQ201320717797
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月13日
【發(fā)明者】龔金金, 吳康成, 林永富 申請人:上海和輝光電有限公司