基板搬送設備的制作方法
【專利摘要】基板搬送設備具備：頂部搬送車，其沿行駛軌道行駛移動而將容器搬送至容器搬送部位；基板搬送裝置，其從位于基板取出部位的容器取出基板并將其搬送至基板處理裝置；以及中轉搬送裝置，其使載置容器的載置部沿水平方向移動而在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器。將基板搬送裝置構成為：從在載置于載置部的狀態下位于基板取出部位的容器取出基板，并將該基板自如地搬送至基板處理裝置。
【專利說明】基板搬送設備
【技術領域】
[0001]本發明涉及設有頂部搬送車的基板搬送設備，該頂部搬送車在被配設于頂部的行駛軌道引導支撐的狀態下沿所述行駛軌道行駛移動而將容納有多塊基板的容器搬送至容器搬送部位。
【背景技術】
[0002]作為上述那樣的基板搬送設備的一個示例，存在構成為由頂部搬送車將容納有基板的容器搬送至容器搬送部位的設備(例如，參照日本特開2010-137961號公報(專利文獻 I))。
[0003]在該專利文獻I記載的基板搬送設備中，設有:第一搬送裝置，其通過使載置容器的第一載置部沿水平方向移動而在容器搬送部位與中轉部位之間搬送容器；以及第二搬送裝置，其通過使載置容器的第二載置部沿水平方向和上下方向移動而在中轉部位與物品容納架的容納部之間搬送容器，構成為由這些第一搬送裝置和第二搬送裝置將容器搬送部位的容器搬送至物品容納架的容納部。
[0004]而且，存在如下構成的設備:在物品容納架的附近設定基板取出部位，在該基板取出部位設置載置支撐容器的載置臺，并且設置從載置于載置臺的容器取出基板并將該基板搬送至基板處理裝置的基板搬送裝置(例如，參照日本特開2008-068963號公報(專利文獻2))。在該專利文獻2記載的基板搬送設備中，構成為:利用第二搬送裝置在物品容納架的容納部與基板取出部位的載置臺之間搬送容器，利用基板搬送裝置從載置臺上的容器取出基板并將該基板搬送至基板處理裝置而將基板搬送至基板處理裝置。
[0005]根據上述專利文獻I中記載的基板搬送設備以及專利文獻2中記載的基板搬送設備，可考慮如以下這樣構成基板搬送設備。即，用頂部搬送車將容納有基板的容器搬送至容器搬送部位，用第一搬送裝置將位于該容器搬送部位的容器搬送至中轉部位，用第二搬送裝置將位于中轉部位的容器搬送至物品容納架的容納部，并且根據需要將容納于物品容納架的容納部的容器搬送至基板取出部位的載置臺上。然后，用基板搬送裝置從在載置于載置臺上的狀態下位于基板取出部位的容器取出基板，將該基板4搬送至基板處理裝置。
[0006]然而，在如上述那樣構成的基板搬送設備中，為了在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器，設有使第一載置部沿水平方向移動的第一搬送裝置和使第二載置部沿水平方向和上下方向移動的第二搬送裝置，設有暫時容納容器的物品容納架，且在基板取出部位設有載置臺，由于這些方面，基板搬送設備的構成變得復雜。另外，由于將容器從第一搬送裝置轉交給第二搬送裝置這點和將容器從第二搬送裝置轉交給載置臺這點，難以高效地將基板搬送至基板處理裝置。
【發明內容】
[0007]鑒于上述背景，希望實現謀求構成的簡單化同時能夠將基板高效地搬送至基板處理裝置的基板搬送設備。[0008]根據本發明的基板搬送設備，具備以下:
頂部搬送車，其在被配設于頂部的行駛軌道引導支撐的狀態下沿所述行駛軌道行駛移動，將容納有多塊基板的容器搬送至容器搬送部位；
中轉搬送裝置，其在所述容器搬送部位與基板取出部位之間自如地搬送所述容器；基板搬送裝置，其從位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，將取出的所述基板搬送至對所述基板進行處理的基板處理裝置；
在此，所述中轉搬送裝置構成為:具備載置所述容器的單一載置部，使所述載置部沿水平方向移動而在所述容器搬送部位與所述基板取出部位之間自如地搬送所述容器，
所述基板搬送裝置構成為:從在載置于所述載置部的狀態下位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，將該基板自如地搬送至所述基板處理裝置。
[0009]S卩，中轉搬送裝置通過使載置容器的單一載置部沿水平方向移動，從而不使該載置部上的容器轉移于另一載置部就能夠在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送載置于載置部的容器。基板搬送裝置能夠從在載置于載置部的狀態下位于基板取出部位的容器取出基板，將該基板搬送至所述基板處理裝置。
[0010]因此，作為在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器的搬送裝置，可以只設置使載置部沿水平方向移動的中轉搬送裝置，另外，不需要暫時容納容器的物品容納架，也不必另外設置用于在基板取出部位載置支撐容器的載置臺。因此，能夠謀求基板搬送設備的構成的簡單化。再者，由于基板搬送裝置構成為在基板取出部位從載置于中轉搬送裝置的載置部的容器直接取出基板并將該基板搬送至基板處理裝置，因而不必將容器從中轉搬送裝置的載置部轉交給另一部位，易于將基板高效地搬送至基板處理裝置。
[0011]以下，說明本發明的優選實施方式的示例。
[0012]在根據本發明的基板搬送設備的實施方式中，優選地，所述基板是被形成為矩形狀的板狀體。
[0013]S卩，基板是玻璃基板等被形成為矩形狀的板狀體，能夠將該被形成為矩形狀的板狀體高效地從容器取出而搬送至基板處理裝置。
[0014]在根據本發明的基板搬送設備的實施方式中，優選地，所述中轉搬送裝置構成為:使所述載置部圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉移動，在所述容器搬送部位與所述基板取出部位之間搬送所述容器。
[0015]即，在使容器被載置于載置部的狀態下，能夠通過使載置部旋轉移動而在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器。
[0016]而且，載置部的旋轉移動例如能夠以將載置部連結至圍繞沿鉛垂方向的旋轉軸心旋轉自如的連結部并用電動馬達使該連結部旋轉等簡單的構成來實現，因而能夠謀求中轉搬送裝置的構成的簡單化。
[0017]在根據本發明的基板搬送設備的實施方式中，優選地，所述基板取出部位被設定多個，所述中轉搬送裝置以將所述容器分別搬送至多個所述基板取出部位的狀態被設有多個，所述基板搬送裝置構成為在所述容器位于多個所述基板取出部位中任何一個的狀態下均從該容器自如地取出所述基板。
[0018]S卩，由于設置多個中轉搬送裝置，能夠分別將容器搬送至多處基板取出部位，因而即使在容器存在于一塊基板取出部位的情況下，也能夠將容器搬送至另外的基板取出部位。而且，能夠將多個基板取出部位中的、用基板搬送裝置取出基板的容器所存在的基板取出部位以外的基板取出部位用作暫時保存容器的緩沖區。
[0019]在根據本發明的基板搬送設備的實施方式中，優選地，所述頂部搬送車升降自如地具備懸掛支撐所述容器的支撐體，構成為在使所述支撐體上升移動至上升位置的行駛用狀態下行駛移動自如，并且構成為以使所述支撐體從所述上升位置下降移動而將所述容器卸于所述載置部上的形態將所述容器搬送至所述容器搬送部位；所述容器搬送部位被設定于以下部位:在載置于所述載置部上的狀態下位于所述容器搬送部位的所述容器的上端比所述行駛用狀態的所述頂部搬送車的所述支撐體的下端更位于下方，且比被所述行駛用狀態的所述頂部搬送車支撐的所述容器的下端更位于上方。
[0020]S卩，容器搬送部位被設定成:在載置于載置部上的狀態下位于容器搬送部位的容器的上端比行駛用狀態的頂部搬送車的支撐體的下端更位于下方，且比被行駛用狀態的頂部搬送車支撐的容器的下端更位于上方。因此，使載置支撐位于容器搬送部位的容器的載置部的位置接近位于容器搬送部位正上方的頂部搬送車，能夠減少頂部搬送車在搬送至容器搬送部位時的支撐體的下降量，能夠快速地將容器搬送至容器搬送部位。
[0021]另外，由于容器搬送部位處于在載置于載置部上的狀態下位于容器搬送部位的容器的上端比行駛用狀態的頂部搬送車的支撐體的下端更位于下方的部位，因而即使容器存在于容器搬送部位，也能夠使未支撐容器的行駛用狀態的頂部搬送車行駛于容器搬送部位正上方O
[0022]在根據本發明的基板搬送設備的實施方式中，優選地，作為所述容器搬送部位，設定有低位置容器搬送部位和被設定于比該低位置容器搬送部位更高的位置的高位置容器搬送部位；作為所述基板取出部位，設定有低位置基板取出部位和被設定于比該低位置容器取出部位更高的位置的高位置基板取出部位；作為所述中轉搬送裝置，設有在所述低位置容器搬送部位與所述低位置基板取出部位之間搬送所述容器的低位置搬送裝置、以及在所述高位置容器搬送部位與所述高位置基板取出部位之間搬送所述容器的高位置搬送裝置；所述高位置搬送裝置所具備的高位置用所述載置部被設定在比所述低位置搬送裝置所具備的低位置用所述載置部中的載置所述容器的載置面的高度更高且比載置于所述低位置用載置部的所述容器的上端更低的高度；所述低位置用載置部在該低位置用載置部的移動軌跡與載置于所述高位置用載置部的所述容器的移動軌跡從上下方向看具有重復的部分和不重復的部分的狀態下設置，所述高位置用載置部在該高位置用載置部的移動軌跡與載置于所述低位置用載置部的所述容器的移動軌跡從上下方向看具有重復的部分和不重復的部分的狀態下設置。
[0023]S卩，在低位置用載置部的移動軌跡與載置于高位置用載置部的容器的移動軌跡從上下方向看具有重復的部分而且高位置用載置部的移動軌跡與載置于低位置用載置部的容器的移動軌跡從上下方向看具有重復的部分的狀態下，設置低位置用載置部以及高位置用載置部。因此，能夠謀求低位置搬送裝置和高位置搬送裝置在水平方向上的設置空間的節省空間化。
[0024]另外，由于高位置用載置部被設置在比低位置用載置部中的載置容器的載置面的高度更高且比載置于低位置用載置部的容器的上端更低的高度，因而能夠謀求低位置搬送裝置和高位置搬送裝置在上下方向上的設置空間的節省空間化。[0025]而且，在高位置用載置部和載置于該高位置用載置部的容器與低位置用載置部的移動軌跡從上下方向看不重復的狀態下，當使低位置用載置部移動而搬送容器時，高位置用載置部或載置于該高位置用載置部的容器不會變為妨礙。因此，如上述那樣，通過在使高位置用載置部和載置于該高位置用載置部的容器位于與低位置用載置部的移動軌跡從上下方向看不重復的部位的狀態下，使低位置用載置部移動至對應于低位置容器搬送部位的位置和對應于低位置基板取出部位的位置，從而能夠在低位置容器搬送部位與低位置基板取出部位之間搬送容器。
[0026]另外，通過在載置于低位置用載置部的容器與高位置用載置部的移動軌跡從上下方向看不重復的狀態下，使高位置用載置部移動至對應于高位置容器搬送部位的位置和對應于高位置基板搬送部位的位置，從而能夠在高位置容器搬送部位與高位置基板搬送部位之間搬送容器。
[0027]這樣，謀求了低位置搬送裝置和高位置搬送裝置在水平方向和上下方向上的設置空間的節省空間化，同時能夠不干擾被載置在高位置搬送裝置中的高位置用載置部上的容器而用低位置搬送裝置將容器搬送至低位置容器搬送部位或低位置基板取出部位。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0028]圖1是基板搬送設備的立體圖。
[0029]圖2是基板搬送設備的俯視圖。
[0030]圖3是基板搬送設備的側視圖。
[0031]圖4是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的立體圖。
[0032]圖5是顯示低位置搬送裝置與高位置搬送裝置的俯視圖。
[0033]圖6是顯示載置于低位置用載置部的容器的移動軌跡與高位置用載置部和載置于該載置部的容器的移動軌跡的俯視圖。
[0034]圖7是顯示載置于高位置用載置部的容器的移動軌跡與低位置用載置部和載置于該載置部上的容器的移動軌跡的俯視圖。
[0035]圖8是顯示載置部的支撐結構的圖。
[0036]圖9是控制方框圖。
[0037]圖10是流程圖。
[0038]符號說明:
I容器搬送部位 IL低位置容器搬送部位 IH高位置容器搬送部位 2基板取出部位 2L低位置基板取出部位 2H高位置基板取出部位 3容器 4基板
5中轉搬送裝置 5L低位置搬送裝置 5H高位置搬送裝置 6頂部搬送車 7基板處理裝置 8基板搬送裝置 11載置部 IlL低位置用載置部 IlH高位置用載置部 20行駛軌道 21支撐體 P 軸心。
【具體實施方式】
[0039]以下，基于【專利附圖】
【附圖說明】本發明的實施方式。
[0040]如圖1至圖3所示，在基板搬送設備上設有:搬送裝置5，其在第一搬送部位I (參照圖2和圖3)與第二搬送部位2(參照圖2和圖3)之間搬送自如地容納多塊基板4的容器3 ;頂部搬送車6，其在第一搬送部位I與自身之間搬送容器3 ;基板處理裝置7，其對基板4進行處理；以及基板搬送裝置8，其在位于第二搬送部位2的容器3與基板處理裝置7之間搬送基板4。在本例中，頂部搬送車6具有在第一搬送部位I與自身之間搬送容器3的機構，并且構成為沿水平方向移動自如。
[0041]而且，基板搬送設備構成為:由頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位1，由搬送裝置5將容器3從第一搬送部位I搬送至第二搬送部位2，由基板搬送裝置8從位于第二搬送部位2的容器3取出基板4并將該基板4向基板處理裝置7搬送。
[0042]另外，基板搬送設備構成為:由基板搬送裝置8將由基板處理裝置7進行的處理完成后的基板4從基板處理裝置7向位于第二搬送部位2的容器3搬送并將該基板4容納于容器3，由搬送裝置5將容器3從第二搬送部位2搬送至第一搬送部位1，由頂部搬送車6從第一搬送部位I搬送容器3。
[0043]基板搬送設備被設置于潔凈室內，作為基板4，用于液晶面板等的、形成為矩形狀的玻璃基板被容納于容器3中。容器3在橫側面上形成有用于放入取出基板4的開口，被頂部搬送車6的支撐體21支撐的凸緣部被設于上表面。另外，雖然圖示省略，但基板4以水平姿勢且在沿上下方向鄰接的基板4彼此之間形成有間隙的狀態下被容納于容器3。
[0044]此外，在基板處理裝置7中，對基板4進行涂布、曝光以及顯影等規定的處理。
[0045]如圖3所示，設有頂部搬送車6而由該頂部搬送車6搬送容器3的容器搬送區域El和設有基板處理裝置7和基板搬送裝置8而由該基板搬送裝置8搬送基板4的基板搬送區域E2由分隔壁9分隔。而且，搬送裝置5構成為:以向容器搬送區域El突出自如的狀態設于基板搬送區域E2，在容器搬送區域El與基板搬送區域E2之間搬送容器3。
[0046]此外，第一搬送部位I被設定于容器搬送區域El，第二搬送部位2被設定于基板搬送區域E2。
[0047]如圖4和圖5所示，作為第一搬送部位I，設定有低位置第一搬送部位IL和被設定于比該低位置第一搬送部位更高的位置的高位置第一搬送部位IH ;作為第二搬送部位2，設定有低位置第二搬送部位2L和被設定于比該低位置第二搬送部位2L更高的位置的高位置第二搬送部位2H。
[0048]而且，搬送裝置5構成為:通過使載置容器3的單一載置部11沿水平方向移動，從而在第一搬送部位I與第二搬送部位2之間搬送容器3。單一載置部11由從上下方向看形成為2字狀(成方形的U字狀)的板狀部件構成。
[0049]作為搬送裝置5，設有:低位置搬送裝置5L，使載置容器3的低位置用載置部IlL沿水平方向移動，在低位置第一搬送部位IL與所述低位置第二搬送部位2L之間搬送容器3 ;以及高位置搬送裝置5H，使載置容器3的高位置用載置部IlH沿水平方向移動，在高位置第一搬送部位IH與高位置第二搬送部位2H之間搬送容器3。
[0050]此外，第一搬送部位I相當于容器搬送部位，第二搬送部位2相當于基板取出部位。低位置第一搬送部位IL相當于低位置容器搬送部位，高位置第一搬送部位IH相當于高位置容器搬送部位。低位置第二搬送部位2L相當于低位置基板取出部位，高位置第二搬送部位2H相當于高位置基板取出部位。這樣，第二搬送部位2設定有多個。
[0051]另外，搬送裝置5相當于使載置容器3的載置部11沿水平方向移動而在容器搬送部位與基板取出部位之間搬送容器3的中轉搬送裝置。搬送裝置5以將容器3分別搬送至多個第二搬送部位2的狀態設置多個。
[0052]如圖1和圖3所示，低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H這一對搬送裝置5的組以沿上下方向并排的狀態設置兩組。這些上側的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H與下側的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H除高度不同外同樣地構成。另外，上側的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H與下側的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H被相同支撐框支撐于上下方向上不同的高度。
[0053]低位置搬送裝置5L設置成使低位置用載置部IlL圍繞沿鉛垂方向的軸心P旋轉移動自如。
[0054]如果施加說明，則如圖8所示，低位置連結部14L圍繞軸心P旋轉自如地被連結至低位置電動馬達13L的輸出軸，低位置用載置部IlL懸臂狀地被連結至該低位置連結部14L。而且構成為:通過用低位置電動馬達13L使低位置連結部14L圍繞軸心P旋轉驅動，從而使低位置用載置部IlL圍繞軸心P旋轉移動而在低位置第一搬送部位IL與低位置第二搬送部位2L之間搬送容器3。
[0055]另外，同樣地，高位置搬送裝置5H也被設置成使高位置用載置部IlH圍繞沿鉛垂方向的軸心P旋轉移動自如，構成為:通過用高位置電動馬達13H使高位置連結部14H圍繞軸心P旋轉驅動，從而使高位置用載置部IlH圍繞軸心P旋轉移動而在高位置第一搬送部位IH與高位置第二搬送部位2H之間搬送容器3。
[0056]這樣，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH被設置成圍繞同一軸心旋轉自如。
[0057]低位置電動馬達13L和高位置電動馬達13H在低位置電動馬達13L位于高位置電動馬達13H更上方的狀態下被支撐框12支撐。
[0058]低位置電動馬達13L以輸出軸向上方突出的姿勢被設置，從低位置連結部14L的上側連結部分14a向上方突出的上突部分14c以一體旋轉的狀態連結至該低位置電動馬達13L的輸出軸。[0059]另外，高位置電動馬達13H以輸出軸向下方突出的姿勢被設置，從高位置連結部14H的下側連結部分14b向下方突出的下突部分14d以一體旋轉的狀態連結至該高位置電動馬達13H的輸出軸。
[0060]而且，低位置連結部14L的下側連結部分14b以圍繞軸心P旋轉自如的狀態被連結至高位置連結部14H的下突出部分14d，高位置連結部14H的上側連結部分14a以圍繞軸心P旋轉自如的狀態被連結至低位置連結部14L的上突出部分14c。
[0061]另外，在低位置連結部14L的上側連結部分14a與高位置連結部14H的下側連結部分14b之間，介入有被支撐框12支撐的部件15，低位置連結部14L的上側連結部分14a以圍繞軸心P旋轉自如的狀態被連結至部件15的上端部，高位置連結部14H的下側連結部分14b以圍繞軸心P旋轉自如的狀態被連結至部件15的下端部。
[0062]這樣，低位置連結部14L和高位置連結部14H以沿上下方向被夾持于低位置電動馬達13L與高位置電動馬達13H之間的狀態設置。而且，從上起按高位置連結部14H的上側連結部分14a、低位置連結部14L的上側連結部分14a、高位置連結部14H的下側連結部分14b、低位置連結部14L的下側連結部分14b的順序排列，使低位置連結部14L的上側連結部分14a位于高位置連結部14H的上側連結部分14a與下側連結部分14b之間，使高位置連結部14H的下側連結部分14b位于低位置連結部14L的上側連結部分14a與下側連結部分14b之間。由此，能夠將低位置連結部14L和高位置連結部14H中的每一個以沿上下方向較寬的間隔連結至支撐框12側，同時謀求低位置連結部14L和高位置連結部14H在上下方向上的設置空間的節省空間化。
[0063]而且，連結至低位置連結部14L的低位置用載置部IIL和連結至高位置連結部14H的高位置用載置部IlH以如下狀態設置:高位置用載置部IlH位于比低位置用載置部IlL中的載置容器3的載置面(載置部IlH的上表面)的高度更高且比載置于低位置用載置部IlL的容器3的上端更低的高度。
[0064]接下來，說明低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH的旋轉移動以及從上下方向看的位置關系。此外，將容器搬送區域El與基板搬送區域E2并排的方向稱為設備前后方向(圖2和圖5中由箭頭X所示的方向)且將與設備前后方向正交的方向稱為設備左右方向(圖2和圖5中由箭頭Y所示的方向)來說明。在本例中，設備前后方向和設備左右方向中的每一個為平行于水平面的方向。
[0065]如圖5所示，支撐框12被設置于基板搬送區域E2，軸心P位于基板搬送區域E2。
[0066]低位置用載置部IlL構成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看逆時針方向旋轉移動而向容器搬送區域El突出移動，從而旋轉移動至對應于低位置第一搬送部位IL的位置(圖5(a)中由實線所示的位置)。此時，低位置用載置部IlL相對于軸心P位于設備前后方向的容器搬送區域El所位于的一側。
[0067]另外，低位置用載置部IlL構成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看順時針方向旋轉移動而向基板搬送區域E2退出移動，從而旋轉移動至對應于低位置第二搬送部位2L的位置(圖5(a)中由假想線所示的位置)。此時，低位置用載置部IlL相對于軸心P位于設備左右方向的一側(頂部搬送車6的行駛方向上游側)。
[0068]而且，高位置用載置部IlH構成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看順時針方向旋轉移動而向容器搬送區域El突出移動，從而旋轉移動至對應于高位置第一搬送部位IH的位置(圖5(b)中由實線所示的位置)。此時，高位置用載置部IlH相對于軸心P位于設備前后方向的容器搬送區域El所位于的一側。
[0069]另外，高位置用載置部IlH構成為:通過使其以軸心P為中心從上下方向看逆時針方向旋轉移動而向基板搬送區域E2退出移動，從而旋轉移動至對應于高位置第二搬送部位2H的位置(圖5(b)中由假想線所示的位置)。此時，高位置用載置部IlH相對于軸心P位于設備左右方向的另一側(頂部搬送車6的行駛方向下游側)。
[0070]此外，對應于搬送部位(低位置第一搬送部位IL等)的位置是指在容器3位于搬送部位時載置該容器3的載置部11所存在的位置。另外，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH中的每一個的擺動角度被設定為90°。
[0071]順便提及，位于圖3中上側的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H的組成為圖5(b)所示的位置關系，位于圖3中下側的低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H的組成為圖5(a)所示的位置關系。
[0072]如圖5所示，低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH都被設定在相對于軸心P而設備前后方向的容器搬送區域El所位于的一側，低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH被設定于從上下方向看相同的位置。于是，旋轉移動至對應于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL和旋轉移動至對應于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH都移動至相對于軸心P而設備前后方向的容器搬送區域El所位于的一側，這些低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH位于從上下方向看相同的位置。
[0073]另外，低位置第二搬送部位2L相對于軸心P被設定在設備左右方向的一側，高位置第二搬送部位2H相對于軸心P被設定在設備左右方向的另一側，低位置第二搬送部位2L和高位置第二搬送部位2H被設定在從上下方向看不同的位置。于是，旋轉移動至對應于低位置第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL相對于軸心P移動到設備左右方向的一側，旋轉移動至對應于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH相對于軸心P移動到設備左右方向的另一側，低位置用載置部IlL和高位置用載置部IlH位于從上下方向看不同的位置。
[0074]而且，如圖5至圖7所示，低位置用載置部IlL設置成:在使其移動至對應于低位置第一搬送部位IL的位置的狀態下，與高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡從上下方向看重復，在使其移動至對應于低位置第二搬送部位2L的位置的狀態下，與高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡從上下方向看不重復。
[0075]另外，高位置用載置部IlH設置成:在使其移動至對應于高位置第一搬送部位IH的位置的狀態下，與低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡從上下方向看重復，在使其移動至對應于高位置第二搬送部位2H的位置的狀態下，與低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡從上下方向看不重復。
[0076]此外，在圖6中，由一點劃線3LT表示載置于低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡，由一點劃線IlHT表示高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡。另外，在圖7中，由一點劃線3HT表示載置于高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡，由一點劃線IlLT表示低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡。
[0077]這樣，低位置用載置部IlL中，該低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡與高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡從上下方向看，具有重復的重復部分和不重復的非重復部分，該重復部分和該非重復部分以沿著低位置用載置部IlL的移動方向并排的狀態設置。另外，高位置用載置部IlH中，該高位置用載置部IlH的移動軌跡和載置于該高位置用載置部IlH的容器3的移動軌跡與低位置用載置部IlL的移動軌跡和載置于該低位置用載置部IlL的容器3的移動軌跡從上下方向看，具有重復的重復部分和不重復的非重復部分，該重復部分和該非重復部分以沿著高位置用載置部IlL的移動方向并排的狀態設置。
[0078]而且，高位置用載置部IIH和低位置用載置部IlL中的每一個構成為:在另一方的載置部IlLUlH位于不重復部位的狀態下，在第一搬送部位I與第二搬送部位2之間自如地搬送容器3。
[0079]S卩，如圖5 (a)所示，在高位置用載置部IIH位于對應于高位置第二搬送部位2H的位置的狀態下，能夠不接觸高位置用載置部IlH或載置于該高位置用載置部IlH的容器3而使低位置用載置部IlL移動至對應于低位置第一搬送部位IL的位置或對應于低位置第二搬送部位2L的位置，將容器3搬送至低位置第一搬送部位IL或低位置第二搬送部位2L。
[0080]另外,如圖5(b)所示,在低位置用載置部IlL位于對應于低位置第二搬送部位2L的位置的狀態下，能夠不接觸低位置用載置部IlL或載置于該低位置用載置部IlL的容器3而使高位置用載置部IlH移動至對應于高位置第一搬送部位IH的位置或對應于高位置第二搬送部位2H的位置，將容器3搬送至高位置第一搬送部位IH或高位置第二搬送部位2H。
[0081]基板搬送裝置8具備在設備前后方向上設置于搬送裝置5與基板處理裝置7之間的升降移動自如的升降臺17和沿設備左右方向自如地移動該升降臺17的移動機械手18而被構成。在移動機械手18上，升降移動自如、圍繞鉛垂軸心旋轉移動自如以及沿水平方向退出移動自如地具備叉狀的支撐部18a。
[0082]該基板搬送裝置8構成為:通過升降臺17的升降移動和移動機械手18沿設備左右方向的移動以及支撐部18a的升降、旋轉和退出，從而如以下這樣動作。即，基板搬送裝置8構成為:從在載置于低位置用載置部IlL的狀態下位于低位置第二搬送部位2L的容器3逐一取出基板4并將該基板4搬送至基板處理裝置7，從在載置于高位置用載置部IlH的狀態下位于高位置第二搬送部位2H的容器3逐一取出基板4并將該基板4搬送至基板處理裝置7，并且將由基板處理裝置7結束處理后的基板4逐一搬送至在載置于高位置用或低位置用載置部11的狀態下位于第二搬送部位2的容器3并將該基板4容納于容器3。
[0083]基板搬送裝置8構成為:在容器3位于四處第二搬送部位2 (兩處低位置第二搬送部位2L和兩處高位置第二搬送部位2H)中任何一處的狀態下，都從容器3自如地放入取出基板4。而且，能夠將四處第二搬送部位2中的、由基板搬送裝置8放入取出基板4的容器3所存在的第二搬送部位2以外的第二搬送部位2用作暫時保存容器3的緩沖區。
[0084]如圖1至圖3所示，頂部搬送車6構成為:在被配設于頂部的行駛軌道20引導支撐的狀態下，沿行駛軌道20行駛自如。另外，頂部搬送車6升降自如且圍繞沿上下方向的軸心旋轉自如地具備支撐容器3的支撐體21而被構成。順便提及，頂部搬送車6在搬送裝置5的附近沿著設備左右方向而向一個方向(在圖1中從左上到右下)行駛。
[0085]而且，如圖3所示，頂部搬送車6構成為在使支撐體21上升移動至上升位置的狀態下行駛移動自如。另外，頂部搬送車6構成為:以使支撐體21從上升位置下降移動而將容器3卸于載置部11的形態將容器3搬送至第一搬送部位1，以使支撐體21上升移動至上升位置而將容器3從載置部11上拉起的形態從第一搬送部位I搬送容器3。通過這樣，頂部搬送車6進行將第一搬送部位I作為搬送對象部位的容器3的搬送，在第一搬送部位I與自身之間轉移(交接)容器3。
[0086]如果施加說明，則頂部搬送車6構成為:在停止于第一搬送部位I正上方的停止位置的狀態下，使支撐容器3的支撐體21下降移動，解除支撐體21對容器3的支撐而將容器3卸于載置部11，容器3被搬送至第一搬送部位I。
[0087]另外，頂部搬送車6構成為:在停止于第一搬送部位I正上方的停止位置的狀態下，使未支撐容器3的支撐體21下降移動，由支撐體21支撐位于第一搬送部位I的容器3，使支撐容器3的支撐體21上升移動，由此從第一搬送部位I搬送容器3。
[0088]而且，頂部搬送車6構成為:在停止于對低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位IH通用設定的停止位置的狀態下，在低位置第一搬送部位IL或高位置第一搬送部位IH與自身之間自如地搬送(轉移自如)容器3。
[0089]順便提及，在使頂部搬送車6停止于停止位置的狀態下，當低位置用載置部IlL位于對應于第一搬送部位I的位置時，在頂部搬送車6與低位置第一搬送部位IL之間搬送容器3 ;當高位置用載置部IIH位于對應于第一搬送部位I的位置時，在頂部搬送車6與高位置第一搬送部位IH之間搬送容器3。
[0090]第一搬送部位I (低位置第一搬送部位IL和高位置第一搬送部位1H)被設定在以下部位:在載置于載置部11的狀態下位于第一搬送部位I的容器3的上端比行駛用狀態的頂部搬送車6的支撐體21的下端更位于下方，并且比被行駛用狀態的頂部搬送車6支撐的容器3的下端更位于上方。
[0091]由于能夠將第一搬送部位I設定在接近頂部搬送車6的部位，因而能夠減少在頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位I時的支撐體21的下降量，能夠快速地將容器3搬送至第一搬送部位I。另外，即使容器3存在于第一搬送部位1，也能夠使未支撐容器3的行駛用狀態的頂部搬送車6自由地行駛移動。
[0092]如圖9所示，在物品搬送設備上，設有控制搬送裝置5、頂部搬送車6以及基板搬送裝置8的動作的搬送控制裝置H。
[0093]搬送控制裝置H構成為為了執行以下處理而控制頂部搬送車6的動作:交接前行駛處理，使頂部搬送車6行駛移動至位于第一搬送部位I正上方的停止位置；交接后行駛處理，使頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛移動；卸下處理，由頂部搬送車6將容器3搬送至第一搬送部位I ;撈取處理，由頂部搬送車6從第一搬送部位I搬送容器3。
[0094]另外，搬送控制裝置H構成為為了執行以下處理而控制搬送裝置5的動作:退出處理，使載置部11從對應于第一搬送部位I的位置移動至對應于第二搬送部位2的位置；突出處理，使載置部11從對應于第二搬送部位2的位置移動至對應于第一搬送部位I的位置。
[0095]接下來，基于圖10所示的流程圖列舉了以下情況:通過搬送控制裝置H執行卸下處理，由頂部搬送車6將容器3搬送至低位置第一搬送部位1L，通過搬送控制裝置H執行撈取處理，由頂部搬送車6從高位置第一搬送部位IH搬送容器3 ;說明了在頂部搬送車6與搬送裝置5之間搬送容器3的搬送控制。此外，通常，載置部11移動至對應于第二搬送部位2的位置。
[0096]如果將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L的搬入指令被指示，則搬送控制裝置H首先執行交接前行駛處理和突出處理。在交接前行駛處理和突出處理中，為了使支撐搬入對象容器3的頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I正上方的停止位置且使低位置用載置部IlL突出移動至對應于低位置第一搬送部位LI的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動作。此后，搬送控制裝置H在執行了卸下處理之后執行退出處理。在卸下處理中，為了將容器3卸在低位置用載置部IlL上而使容器3被搬送至低位置第一搬送部位1L，控制頂部搬送車6的動作。另外，在退出處理中，為了使低位置用載置部IlL移動至對應于低位置第二搬送部位2L的位置而將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L，控制搬送裝置5的動作。
[0097]順便提及，在交接前行駛處理和突出處理中，通常，交接前行駛處理一方需要長的時間，在頂部搬送車6移動至第一搬送部位I正上方的停止位置之前，載置部11已完成向對應于第一搬送部位I的位置的移動。因此，在使頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I的正上方之后，不必使卸下處理的開始伺機直到載置部11突出移動至第一搬送部位1，能夠快速地將容器3搬送至第一搬送部位I。
[0098]如上所述，為了在執行退出處理而將容器3搬送至低位置第二搬送部位2L之后，如果搬出指令沒有被指示，則執行交接后行駛處理而使未支撐容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛，搬送控制裝置H控制頂部搬送車6的動作。
[0099]另外，如果有搬出指令，則搬送控制裝置H執行突出處理。在突出處理中，為了使高位置用載置部IlH突出移動至對應于高位置第一搬送部位IH的位置，控制搬送裝置5的動作。此后，搬送控制裝置H在執行了撈取處理之后執行交接后行駛處理和退出處理。在撈取處理中，為了由頂部搬送車6支撐搬出對象容器3，控制頂部搬送車6的動作。另外，在交接后行駛處理和退出處理中，為了使支撐搬出對象容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛且使高位置用載置部IlH退出移動至對應于高位置第二搬送部位2H的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動作。
[0100]而且，在搬入指令沒有被指示而只有搬出指令被指示的情況下，搬送控制裝置H首先執行交接前行駛處理和突出處理。在交接前行駛處理和突出處理中，為了使未支撐容器3的頂部搬送車6行駛至第一搬送部位I正上方的停止位置且使高位置用載置部11突出移動至對應于高位置第一搬送部位IH的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動作。此后，搬送控制裝置H在執行了撈取處理之后執行交接后行駛處理和退出處理。在撈取處理中，為了由頂部搬送車6支撐搬出對象容器3，控制頂部搬送車6的動作。另外，在交接后行駛處理和退出處理中，為了使支撐搬出對象容器3的頂部搬送車6從第一搬送部位I正上方的停止位置行駛且使高位置用載置部IlH退出移動至對應于高位置第二搬送部位2H的位置，控制頂部搬送車6和搬送裝置5的動作。
[0101]這樣，通過使載置容器3的載置部11沿水平方向移動，從而在第一搬送部位I與第二搬送部位2之間搬送載置于載置部11的容器3，用基板搬送裝置8從在載置于載置部11的狀態下位于第二搬送部位2的容器3取出基板4并將該基板4搬送至基板處理裝置7。結果，能夠謀求基板搬送設備的構成的簡單化，同時易于將基板4高效地搬送至基板處
理裝置7。
[0102][其它實施方式]
(I)在上述實施方式中，作為中轉搬送裝置，設置了低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H，但是作為中轉搬送裝置，也可以只設置低位置搬送裝置5L和高位置搬送裝置5H中的任意一個。
[0103](2)在上述實施方式中，構成為通過使載置部11圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉移動而使其移動至對應于容器搬送部位的位置和對應于基板取出部位的位置，但是也可構成為通過使載置部11沿水平方向直線移動而使其移動至對應于容器搬送部位的位置和對應于基板取出部位的位置。
[0104]另外，也可以由具備載置支撐容器3的鏈條或皮帶等的輸送裝置構成中轉搬送裝置。在如此由輸送裝置構成中轉搬送裝置的情況下，鏈條或皮帶等載置支撐容器3的部分相當于載置部11，通過使鏈條或皮帶被旋轉驅動而使載置支撐的部分(載置部11)沿水平方向移動。
[0105]此外，單一載置部11除了如上述實施方式那樣的-字狀(成方形的U字狀)的板狀部件那樣由一個部件構成以外，也可以以分別支撐容器3的設備橫寬方向的兩端部的方式由一對部件(例如環形皮帶)構成。
[0106](3)在上述實施方式中，將容器搬送部位設定于以下部位:在載置于載置部11的狀態下位于容器搬送部位的容器3的上端比行駛用狀態的頂部搬送車6的下端更位于下方，并且比被行駛用狀態的頂部搬送車6支撐的容器3的下端更位于上方。但是也可構成為:將容器搬送部位設定于在載置于載置部11的狀態下位于容器搬送部位的容器3的上端比行駛用狀態的頂部搬送車6的下端更位于下方且比被行駛用狀態的頂部搬送車6支撐的容器3的下端更位于下方的部位，即使容器3存在于容器搬送部位，也能夠使支撐容器3的行駛用狀態的頂部搬送車6自由地行使移動。
[0107](4)在上述實施方式中，將低位置用載置部IlL在該低位置用載置部IlL的移動軌跡與高位置用載置部IlH的移動軌跡從上下方向看具有重復的部分和非重復的部分的狀態下設置，將高位置用載置部IlH在該高位置用載置部IlH的移動軌跡與低位置用載置部IlH的移動軌跡從上下方向看具有重復的部分和非重復的部分的狀態下設置，但是也可以在各自的移動軌跡沿上下方向不重復的狀態下設置這些低位置用載置部IlL和高位置用載置部11H。
[0108]具體而言，例如，在上述實施方式中，也可以構成為通過將載置部11的俯視形狀形成為梳齒狀等而使對應于第一搬送部位IL的位置的低位置用載置部IlL與對應于高位置第一搬送部位IH的位置的高位置用載置部IlH從上下方向看不重疊，以各自的移動軌跡沿上下方向不重復的狀態設置低位置用載置部IlL和高位置用載置部11H。
[0109]此外，也可以是，低位置用載置部IlL的移動軌跡整體和高位置用載置部IlH的移動軌跡整體以沿上下方向重復的狀態設置。
[0110](5)在上述實施方式中，將基板4作為被形成為矩形狀的板狀體，但是也可以將基板4作為晶片等被形成為圓形或大致圓形的板狀體。另外，容器3也可以作為晶片容納用的FOUP。
【權利要求】
1.一種基板搬送設備，具備以下: 頂部搬送車，其在被配設于頂部的行駛軌道引導支撐的狀態下沿所述行駛軌道行駛移動，將容納有多炔基板的容器搬送至容器搬送部位； 具有以下特征: 中轉搬送裝置，在所述容器搬送部位與基板取出部位之間自如地搬送所述容器；基板搬送裝置，從位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，將取出的所述基板搬送至對所述基板進行處理的基板處理裝置， 在此，所述中轉搬送裝置構成為:具備載置所述容器的單一載置部，使所述載置部沿水平方向移動而在所述容器搬送部位與所述基板取出部位之間自如地搬送所述容器， 所述基板搬送裝置構成為:從在載置于所述載置部的狀態下位于所述基板取出部位的所述容器取出所述基板，將該基板自如地搬送至所述基板處理裝置。
2.根據權利要求1所述的基板搬送設備，具有以下特征: 所述基板是被形成為矩形狀的板狀體。
3.根據權利要求1或2所述的基板搬送設備，具有以下特征: 所述中轉搬送裝置構成為:使所述載置部圍繞沿鉛垂方向的軸心旋轉移動，在所述容器搬送部位與所述基板取出部位之間搬送所述容器。
4.根據權利要求1至3中任意一項所述的基板搬送設備，具有以下特征: 所述基板取出部位被設定有多個， 所述中轉搬送裝置以將所述容器分別搬送至多個所述基板取出部位的狀態被設有多個， 所述基板搬送裝置構成為:在所述容器位于多個所述基板取出部位中任何一個的狀態下，均從該容器自如地取出所述基板。
5.根據權利要求1至4中任意一項所述的基板搬送設備，具有以下特征: 所述頂部搬送車升降自如地具備懸掛支撐所述容器的支撐體，構成為在使所述支撐體上升移動至上升位置的行駛用狀態下行駛移動自如，并且構成為以使所述支撐體從所述上升位置下降移動而將所述容器卸于所述載置部上的形態將所述容器搬送至所述容器搬送部位， 所述容器搬送部位被設定在以下部位:在載置于所述載置部上的狀態下位于所述容器搬送部位的所述容器的上端比所述行駛用狀態的所述頂部搬送車的所述支撐體的下端更位于下方，并且比被所述行駛用狀態的所述頂部搬送車支撐的所述容器的下端更位于上方。
6.根據權利要求1至5中任意一項所述的基板搬送設備，具有以下特征: 作為所述容器搬送部位，設定有低位置容器搬送部位和被設定于比該低位置容器搬送部位更高的位置的高位置容器搬送部位； 作為所述基板取出部位，設定有低位置基板取出部位和被設定于比該低位置容器取出部位更高的位置的高位置基板取出部位； 作為所述中轉搬送裝置，設有在所述低位置容器搬送部位與所述低位置基板取出部位之間搬送所述容器的低位置 搬送裝置、以及在所述高位置容器搬送部位與所述高位置基板取出部位之間搬送所述容器的高位置搬送裝置，所述高位置搬送裝置所具備的高位置用所述載置部被設置在比所述低位置搬送裝置所具備的低位置用所述載置部中的載置所述容器的載置面的高度更高且比載置于所述低位置用載置部的所述容器的上端更低的高度； 所述低位置用載置部以如下狀態設置:該低位置用載置部的移動軌跡與載置于所述高位置用載置部的所述容器的移動軌跡從上下方向看，具有重復的部分和不重復的部分，所述高位置用載置部以如下狀態設置:該高位置用載置部的移動軌跡與載置于所述低位置用載置部的所述 容器的移動軌跡從上下方向看，具有重復的部分和不重復的部分。
【文檔編號】B65G1/04GK103803230SQ201310543082
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2013年11月6日 優先權日:2012年11月7日
【發明者】村山繁人 申請人:株式會社大福