專利名稱：一種基板搬送機械手設備的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及液晶面板制造領域，尤其涉及一種基板搬送機械手設備。
背景技術：
基板搬送機械手設備通過手臂上的真空吸附模塊吸附玻璃基板，從而實現玻璃基板的搬送。目前，基板搬送機械手設備只能對破損的基板影響到真空吸附模塊區域時，才會發出報警并停止運作。如果玻璃基板破損區域沒有在手臂上的該真空吸附模塊范圍之內，那么基板搬送機械手設備便不會發出報警，進而導致破損的玻璃基板繼續進行傳輸，送入后續工藝，從而導致后續工藝不良，或對其他設備部件造成損害，對生產帶來較大損失。
實用新型內容本實用新型公開一種基板搬送機械手設備，能夠對基板進行全面檢測，避免后續工藝不良。為達到上述目的，本實用新型采用如下技術方案一方面，提供一種基板搬送機械手設備，包括設備本體、手臂以及位于所述手臂上的吸附模塊，所述設備還包括檢測裝置，與驅動裝置連接，面向所述手臂上的基板放置平面；驅動裝置，與所述檢測裝置連接；處理裝置，通過有線或無線方式與所述檢測裝置連接。所述檢測裝置的長度大于或等于放置在所述手臂上的基板一邊的長度。所述設備還包括導軌，固定于所述設備本體上，垂直于所述檢測裝置的長度方向；滑塊，設置在所述導軌上，一端與所述檢測裝置連接，另一端通過傳動裝置與所述驅動裝置連接；傳動裝置，一端與所述驅動裝置連接，另一端與所述滑塊連接。所述設備還包括報警裝置，與所述處理裝置連接。所述檢測裝置包括信號發射器，面向所述手臂上的基板放置平面；信號接收器，位于所述信號發射器的一側，面向所述手臂上的基板放置平面，接收所述信號發射器發出的信號；信號轉換器，一端與所述信號接收器連接，另一端與所述處理裝置連接。所述信號發射器包括聲波發射器，光波發射器中的一種或兩種。所述信號接收器包括聲波接收器，光波接收器中的一種或兩種。所述處理裝置包括單片機、可編程邏輯控制器或個人計算機。所述滑塊還包括[0024]滑槽，沿所述手臂長度方向設置在所述滑塊上；滑板，通過固定螺絲固定在所述滑槽中，一端與所述檢測設備相連接；固定螺絲，將所述滑板擰緊固定在所述滑槽中。當所述檢測裝置位于所述手臂下方時，所述手臂下方設有反光板；位于所述手臂上方的所述吸附模塊為具有檢測功能的沿所述手臂長度方向呈長條狀的真空吸附模塊。本實用新型提供的基板搬送機械手設備，包括設備本體、手臂以及位于手臂上的吸附模塊，還包括檢測裝置，與驅動裝置連接，面向手臂上的基板放置平面；驅動裝置，與檢測裝置連接；處理裝置，通過有線或無線方式與檢測裝置連接。基板搬送機械手設備上的檢測裝置可以在驅動裝置的驅動下，對承載在基板搬送機械手手臂上的基板進行全面的檢測，并經由處理裝置得出檢測結果。從而可以發現玻璃基板上任意位置處的破損，保證了出現破損的基板不會傳送至后續工藝，避免了后續工藝的不良，同時防止了破損的基板對其他設備部件造成的損害。
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型實施例提供的基板搬送機械手設備的結構示意圖；圖2為本實用新型另一實施例提供的基板搬送機械手設備的結構示意圖；圖3為本實用新型實施例提供的基板搬送機械手設備的檢測裝置檢測過程示意圖；圖4為本實用新型實施例提供的基板搬送機械手設備的滑塊的結構示意圖；圖5為本實用新型實施例提供的又一基板搬送機械手設備的結構示意圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。本實用新型實施例所提供的搬送機械手設備10，如圖1所示，包括設備本體(圖中未表示)、手臂1以及位于該手臂1上的吸附模塊2。此外，該搬送機械手設備10還包括 檢測裝置3，與驅動裝置4連接，面向該手臂1上的基板放置平面；驅動裝置4，與檢測裝置 3連接；處理裝置5，通過有線或無線方式與檢測裝置3連接，用于處理檢測裝置3發送的檢測數據，以判斷玻璃基板是否出現破損。具體的，處理裝置5可以為單片機、可編程邏輯控制器或個人計算機。例如，在實際應用中，如圖1所示，檢測裝置3在驅動裝置4的帶動下，沿X、Y方向橫豎移動，完成對整個玻璃基板的檢測。基板搬送機械手設備上的檢測裝置可以在驅動裝置的驅動下，對承載在基板搬送機械手手臂上的基板進行全面的檢測，并經由處理裝置得出檢測結果。從而可以發現玻璃基板上任意位置處的破損，保證了出現破損的基板不會傳送至后續工藝，避免了后續工藝的不良，同時防止了破損的基板對其他設備部件造成的損害。本實用新型另一實施例提供的搬送機械手設備20，如圖2所示，包括設備本體 (圖中未表示)、手臂1以及位于該手臂1上的吸附模塊2。此外，該搬送機械手設備20還包括檢測裝置3，與驅動裝置4連接，面向該手臂1上的基板放置平面；驅動裝置4，與檢測裝置3連接；處理裝置5，通過有線或無線方式與檢測裝置3連接，用于處理檢測裝置3發送的檢測數據，以判斷玻璃基板是否出現破損。在本實施例中，檢測裝置3呈長條狀，其在Y方向上的長度大于或等于放置在手臂 1上的玻璃基板的Y方向的邊長。這樣，在檢測時，該檢測裝置3在驅動裝置4的驅動下，可以沿X方向一次運動完成對玻璃基板的檢測。此外，在本實施例中還包括設置在設備本體上的導軌6，示例性的，該導軌6可以設置在手臂1上，這樣可以節約空間。進一步地，在該導軌6上還設置有滑塊7，該滑塊7 — 端與檢測裝置3連接，另一端通過傳動裝置11與驅動裝置4連接。傳動裝置11 一端與驅動裝置4連接，另一端與滑塊7連接。在本實施例中，驅動裝置4可以是馬達，相應地，該傳動裝置11可以是皮帶等。在檢測時，傳動裝置11將驅動裝置4輸出的動力傳遞到滑塊7，滑塊7沿導軌6帶動檢測裝置3在X方向上從基板的一側運動到另一側。由于檢測裝置3面向基板8，因此可以檢測出基板8的破損情況。在本實施例中，如圖3所示，檢測裝置3可以包括信號發射器31、信號接收器32和信號轉換器(圖中未表示)。其中，信號發射器31，面向手臂上的基板放置平面；信號接收器32，位于信號發射器31的一側，面向手臂上的基板放置平面，接收信號發射器31發出的信號；信號轉換器，其一端與信號接收器32連接，另一端與處理裝置5連接。在此，信號發射器31可以為聲波發射器，光波發射器中的一種或兩種。相應的，信號接收器32可以為聲波接收器，光波接收器中的一種或兩種。當檢測裝置啟動后，如圖3所示，信號發射器31向基板8的表面發射聲波信號和 /或光波信號，該聲波信號和/或光波信號經基板8表面反射后由信號接收器32接收。信號接收器32將接收到的聲波信號和/或光波信號發送給信號轉換器，信號轉換器將該聲信號和/或光信號轉化為電信號后傳輸給處理裝置5。玻璃基板整體無破損，如圖3中的位置81，與基板表面的其他位置高度一致，信號接收器32接收到信號發射器31發射的經基板81處表面反射的信號的時間差一定，可以將該時間差值或者該時間差值在一定范圍內的變化值作為標準時間差值并保存。若位置82處的玻璃基板表面有破損情況，則位于基板82處的基板表面高度低于正常高度，則信號接收器32接收到信號發射器31發射的基板表面反射的信號的時間差值就會大于標準時間差值，處理設備5據此能確定基板有破損。進一步地，在本實施例中，處理模塊5還可以與報警裝置相連接，該報警裝置可以為聲報警器、光報警器、聲光報警器中的一種或幾種，當處理設備5確定手臂上的玻璃基板發生破損后，向報警裝置發出指令，報警裝置發出聲、光報警以提醒工作人員。如圖4所示，本實用新型中的滑塊7可以進一步包括沿手臂長度方向設置在滑塊7上的滑槽71 ；滑板9，通過固定螺絲12固定在滑槽71中，一端與檢測設備3相連接；固定螺絲12，將滑板9擰緊固定在滑槽71中。檢測設備3可以在滑塊7上伸縮，進而適應不同大小尺寸的玻璃基板。本實用新型實施例提供的基板搬送機械手設備，包括設備本體、手臂以及位于手臂上的吸附模塊，還包括檢測裝置，與驅動裝置連接，面向手臂上的基板放置平面；驅動裝置，與檢測裝置連接；處理裝置，通過有線或無線方式與檢測裝置連接。基板搬送機械手設備上的檢測裝置可以在驅動裝置的驅動下，對承載在基板搬送機械手手臂上的基板進行全面的檢測，并經由處理裝置得出檢測結果。從而可以發現玻璃基板上任意位置處的破損， 保證了出現破損的基板不會傳送至后續工藝，避免了后續工藝的不良，同時防止了破損的基板對其他設備部件造成的損害。需要說明的是，上述各個實施例中，檢測設備3是設置在手臂1上的基板8平面上方的，為了節省空間以及不妨礙手臂1搬送基板8，檢測裝置3也可以設置在手臂1下方，如圖5所示。此時，手臂1將遮擋住基板8的一部分，為了使檢測裝置3不發生誤測，手臂下方可以設有反光板(圖中未顯示)，以保證檢測裝置3經過手臂1下方時，能夠接收到正常的信號。與此同時，位于手臂1上方的吸附基板的吸附模塊2，可以是具有檢測功能的沿手臂長度方向呈長條狀的真空吸附模塊，此時，由于手臂1遮擋而無法被檢測裝置3檢測的基板部分則可以由真空吸附模塊2進行檢測。 本實施例中的檢測裝置的檢測過程與上述實施例相同，在此不再贅述。 以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。
權利要求1.一種基板搬送機械手設備，包括設備本體、手臂以及位于所述手臂上的吸附模塊，其特征在于，所述設備還包括檢測裝置，與驅動裝置連接，面向所述手臂上的基板放置平面；驅動裝置，與所述檢測裝置連接；處理裝置，通過有線或無線方式與所述檢測裝置連接。
2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述檢測裝置的長度大于或等于放置在所述手臂上的基板一邊的長度。
3.根據權利要求2所述的設備，其特征在于，所述設備還包括 導軌，固定于所述設備本體上，垂直于所述檢測裝置的長度方向；滑塊，設置在所述導軌上，一端與所述檢測裝置連接，另一端通過傳動裝置與所述驅動裝置連接；傳動裝置，一端與所述驅動裝置連接，另一端與所述滑塊連接。
4.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述設備還包括報警裝置，與所述處理裝置連接。
5.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述檢測裝置包括 信號發射器，面向所述手臂上的基板放置平面；信號接收器，位于所述信號發射器的一側，面向所述手臂上的基板放置平面，接收所述信號發射器發出的信號；信號轉換器，一端與所述信號接收器連接，另一端與所述處理裝置連接。
6.根據權利要求5所述的設備，其特征在于，所述信號發射器包括聲波發射器，光波發射器中的一種或兩種。
7.根據權利要求6所述的設備，其特征在于，所述信號接收器包括聲波接收器，光波接收器中的一種或兩種。
8.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述處理裝置包括單片機、可編程邏輯控制器或個人計算機。
9.根據權利要求3所述的設備，其特征在于，所述滑塊還包括 滑槽，沿所述手臂長度方向設置在所述滑塊上；滑板，通過固定螺絲固定在所述滑槽中，一端與所述檢測設備相連接； 固定螺絲，將所述滑板擰緊固定在所述滑槽中。
10.根據權利要求1至9任一所述的設備，其特征在于，當所述檢測裝置位于所述手臂下方時，所述手臂下方設有反光板；位于所述手臂上方的所述吸附模塊為具有檢測功能的沿所述手臂長度方向呈長條狀的真空吸附模塊。
專利摘要本實用新型公開一種基板搬送機械手設備，涉及液晶面板制造領域，能夠對基板進行全面檢測，避免后續工藝不良。該基板搬送設備，包括設備本體，機械手臂以及位于機械手臂上部的吸附模塊，還包括檢測裝置，固定安裝在所述手臂上；驅動裝置，固定安裝在所述手臂一側；處理裝置，通過有線或無線方式與所述檢測裝置連接。本實用新型用于基板搬送。
文檔編號B65G49/06GK202245325SQ20112037659
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月28日 優先權日2011年9月28日
發明者唐濤, 曹宇, 李景泉, 魏廣偉 申請人:北京京東方光電科技有限公司