專利名稱：掩膜板包裝盒的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種掩膜板包裝盒。
背景技術：
在微電子等需要使用光刻圖形工藝的領域中，掩膜板是不可缺少的工具。在整個的產品加工過程中需要使用至少一塊掩膜板，很多情況下全部流程中需要使用多塊掩膜板。而且不同的產品所使用的掩膜板基本不同，因此需要隨著產品的變換而更換掩膜板。因此，除了正在使用的掩膜板，其他的掩膜板均需要收納、存放。現有掩膜板的收納、存放結構主要為掩膜板包裝盒。如圖1所示，收納時，掩膜板 1豎直放入盒體中，蓋上盒蓋。使用時，工作人員需要手捏掩膜板1邊緣處抬起、取出。發明人發現現有掩膜板包裝盒開口小，垂直方向地取出和收納掩膜板易造成掩膜板的損傷。尤其是當掩膜板的面積比較大時，這種垂直地提起或放下的動作容易造成包裝盒內壁或邊緣與掩膜板表面的碰撞、摩擦，造成掩膜板表面膜層的劃傷。
實用新型內容為了克服上述的缺陷，本實用新型提供一種方便掩膜板取放的掩膜板包裝盒。為達到上述目的，本實用新型掩膜板包裝盒包括相適配的盒蓋和盒體，所述盒體內設置至少三個掩膜板支撐部，所述三個支撐部能共同支撐掩膜板。特別是，所述盒體內還設置有限位部，所述限位部位于所述支撐部和所述盒體側壁之間。特別是，所述限位部和所述支撐部形成L形結構。特別是，所述盒體內設有至少一個固定用凹部；所述盒蓋內對應所述凹部的位置設有凸塊；所述凸塊與所述凹部相適配。特別是，所述盒體外側底部邊緣設有凸出部，所述凸出部圍成容置空間，所述容置空間面積不小于所述盒蓋的面積。本實用新型掩膜板包裝盒內部設有支撐部，掩膜板取出或收納時均為水平狀態， 掩膜板邊緣處空間開闊，方便于工作人員用手或設備抓握、夾持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜層的損傷。本實用新型掩膜板包裝盒外側為盒體，有利于保證掩膜板的潔凈。
圖1為現有包裝盒結構示意圖。圖2為本實用新型盒體優選實施例俯視圖。圖3為本實用新型盒蓋優選實施例結構示意圖。圖4為本實用新型掩膜板包裝盒使用狀態結構示意圖之一。圖5為本實用新型掩膜板包裝盒使用狀態結構示意圖之二。
具體實施方式
下面結合說明書附圖和實施例對本實用新型做詳細描述。本實用新型掩膜板包裝盒包括相適配的盒蓋和盒體，盒體內設置至少三個掩膜板支撐部，三個支撐部能共同支撐掩膜板。為了更好地固定掩膜板，盒體內還設置有限位部。 限位部可以位于支撐部和盒體側壁之間，即限位部和支撐部形成L形結構，如圖4所示；限位部也可以位于支撐部上，即限位部和支撐部形成倒T形結構，如圖5所示。為了更好地固定掩膜板，支撐部優選設置在一個平面上，該平面的面積應該大于所用掩膜板的面積。因為掩膜板基本上均為矩形，所以優選使用四個或八個支撐部，均勻、 對稱地設置在一矩形底面上。支撐部圍成與掩膜板面積基本相同的矩形區域，限位部位于支撐部所圍成矩形區域的外側。支撐部的高度相同為優選結構；限位部的高度無特殊要求， 但是為了包裝盒使用的方便以及盒蓋與盒體的扣接，限位部優選設置成為相同的高度。而且，限位部頂面和支撐部頂面之間的高度差等于或者略大于掩膜板的厚度即可。掩膜板的邊緣放置在支撐部上，支撐部的寬度根據具體掩膜板而定，以穩定支撐掩膜板且不劃傷掩膜板表面膜層為標準。掩膜板的邊緣靠近限位部的側面，有效地限定了掩膜板的位置，防止掩膜板因包裝盒的晃動而不穩定。本實用新型掩膜板包裝盒的內部面積大，掩膜板的邊緣位置除了支撐部和限位部之外沒有其他的物體，方便于工作人員用手或設備抓握、夾持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜層與包裝盒碰撞或摩擦而造成損傷。如圖2 圖5所示，為了使掩膜板1的保存環境保持潔凈、干燥，可以將本實用新型掩膜板包裝盒的外側設計成相適配的盒體10與盒蓋20。掩膜板1平放在支撐部11上， 盒蓋20扣接盒體10，相對密封的盒內為收納掩膜板1提供了理想的環境。掩膜板1邊緣與盒體10的內側壁之間留有較大的間隙，可以容納工作人員的手指伸入或者設備夾具的伸入，方便工作人員取出或者收納掩膜板1。這樣的取放方式避免了掩膜板1和盒體10發生碰撞或摩擦，不易造成掩膜板1的損傷，尤其是可以保護掩膜板1的表面膜層。為了更好地固定掩膜板，盒蓋20內對應支撐部11和限位部13的位置處設有壓塊 21。盒蓋20扣接到盒體10上后，壓塊21可以壓在限位部13頂面上，也可以懸置在支撐部 11的上方。壓塊21下表面與支撐部11頂面之間的距離等于或者略大于掩膜板1的厚度即可。為了使盒體10和盒蓋20組成的掩膜板包裝盒本身更加地穩定，盒體10內設有至少一個固定用凹部12，盒蓋20上對應凹部12的位置設有凸塊22 ；凸塊22與凹部12相適配。因為盒體10基本為矩形，凹部12優選設置在盒體10的四個頂角處，凸塊22相應地設置在盒蓋20的四個頂角處。使用時，盒蓋20扣接在盒體10上，凸塊22插入到凹部12中， 限制盒蓋20與盒體10在水平方向發生相對位移。為了節省空間，可以將兩個或兩個以上的包裝盒摞起來放置。為了使包裝盒摞得更加穩固，盒體外側底部邊緣設有凸出部23，凸出部23圍成容置空間的面積不小于盒蓋20 的面積。摞列放置時凸出部23與盒蓋20頂部能卡固，摞列放置包裝盒更加穩定。凸出部 23可以是設置在盒體外側底部邊緣的口字形結構，也可以是設置在盒體外側底部四個角的四個L形結構，或是設置在盒體外側底部四邊的四條一字形結構。
4[0027]本實用新型掩膜板包裝盒的外側為相適配的盒蓋和盒體，相對封閉的包裝盒內潔凈、干燥，有利于延長放置其中的掩膜板的使用壽命。同時，有包裝盒的保護，避免外界物體對掩膜板的碰撞和刮壓等傷害。以上，僅為本實用新型的較佳實施例，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求所界定的保護范圍為準。
權利要求1.一種掩膜板包裝盒，其特征在于包括相適配的盒蓋和盒體，所述盒體內設置至少三個掩膜板支撐部，所述三個支撐部能共同支撐掩膜板。
2.根據權利要求1所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述盒體內還設置有限位部，所述限位部位于所述支撐部和所述盒體側壁之間。
3.根據權利要求2所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述限位部和所述支撐部形成L 形結構。
4.根據權利要求1所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述盒蓋內對應所述支架的位置設有壓塊。
5.根據權利要求1所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述盒體內設有至少一個固定用凹部；所述盒蓋內對應所述凹部的位置設有凸塊；所述凸塊與所述凹部相適配。
6.根據權利要求1所述的掩膜板包裝盒，其特征在于所述盒體外側底部邊緣設有凸出部，所述凸出部圍成容置空間，所述容置空間面積不小于所述盒蓋的面積。
專利摘要本實用新型公開一種掩膜板包裝盒，為解決現有立式掩膜板包裝盒易于造成掩膜板及其表面膜層損傷的缺陷而設計。本實用新型掩膜板包裝盒包括相適配的盒蓋和盒體，盒體內設置至少三個能共同支撐掩膜板的支撐部。盒體內還設置有限位部，限位部位于支撐部和盒體側壁之間形成L形結構。盒蓋內對應支架的位置設有壓塊。盒體內設有至少一個固定用凹部；盒蓋內對應凹部的位置設有凸塊；凸塊與凹部相適配；盒體外側底部邊緣設有凸出部。本實用新型掩膜板包裝盒方便于工作人員用手或設備抓握、夾持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜層的損傷。本實用新型掩膜板包裝盒外側為盒體，有利于保證掩膜板的潔凈。
文檔編號B65D25/10GK202244461SQ20112036321
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月26日 優先權日2011年9月26日
發明者史大為, 沈奇雨, 王德帥, 王玲杰, 郭建 申請人:北京京東方光電科技有限公司