專利名稱:直線電機(jī)式硅片搬送機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種直線電機(jī)式硅片搬送機(jī)構(gòu),具體是一種將硅片搬送至特定工位, 待該工位工作完成后將硅片再搬出的平行傳動機(jī)構(gòu),配套用于全自動硅片生產(chǎn)線中。
背景技術(shù):
在硅片電池的制造過程中,硅片的自動供料及取料是非常重要的工序,主要實現(xiàn)將硅片傳入及傳出某個特定工位的過程。目前,硅片的供料及取料主要是半自動或氣動式搬送機(jī)構(gòu)完成,搬送速度低,同時存在碎片率高的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種直線電機(jī)式硅片搬送機(jī)構(gòu),解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的傳送速度低和碎片率高的問題。本發(fā)明是通過以下方案解決以上問題的
一種直線電機(jī)式硅片搬送機(jī)構(gòu),包括PLC和處理硅片平臺,在處理硅片平臺的一側(cè)設(shè)置有柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu),在處理硅片平臺的另一側(cè)設(shè)置有柔性皮帶出料機(jī)構(gòu),在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)的下方設(shè)置有輸入硅片行走橫梁,在柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)的下方設(shè)置有輸出硅片行走橫梁,在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)的硅片傳送平臺上設(shè)置有輸入吸盤讓位缺口,在輸入吸盤讓位缺口的兩側(cè)的柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)的硅片傳送平臺上分別設(shè)置有硅片限位塊和硅片位置正位調(diào)整塊,硅片位置正位調(diào)整塊與正位氣缸的輸出軸連接,正位氣缸與PLC電連接,設(shè)置在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)的硅片傳送平臺下方的同步帶驅(qū)動電機(jī)通過同步帶輪驅(qū)動同步帶傳送硅片,同步帶驅(qū)動電機(jī)與PLC電連接,輸入硅片行走橫梁的底座板豎立固定在機(jī)架上,在底座板的前面板上分別固定設(shè)置有伺服電機(jī)和凸輪軸,在凸輪軸的兩端分別設(shè)置有一凸輪,與PLC電連接的伺服電機(jī)通過驅(qū)動同步帶驅(qū)動兩凸輪轉(zhuǎn)動,在底座板的后面板上固定設(shè)置有滑塊,在升降板上固定設(shè)置有升降導(dǎo)軌,升降導(dǎo)軌與滑塊活動連接在一起,在升降板的底端兩側(cè)分別固定設(shè)置有兩塊L形連接塊,在L形連接塊的尾端均設(shè)置有滾輪,滾輪與凸輪滾動連接,在升降板上端面上固定設(shè)置有直線電機(jī)定子,直線電機(jī)動子可沿直線電機(jī)定子在左右水平方向上移動,在直線電機(jī)動子上端固定設(shè)置有傳送硅片的負(fù)壓吸盤,傳送硅片的負(fù)壓吸盤設(shè)置在輸入吸盤讓位缺口中,在直線電機(jī)動子側(cè)面固定設(shè)置有拖鏈連接板, 在拖鏈連接板與輸入硅片行走橫梁的底座板之間設(shè)置有拖鏈。所述的輸出硅片行走橫梁的結(jié)構(gòu)與輸入硅片行走橫梁的結(jié)構(gòu)相同,硅片出料吸盤設(shè)置在柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)的出料吸盤讓位口中;在所述的柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)中設(shè)置有輸出同步帶驅(qū)動電機(jī)和輸出同步帶輪。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有半自動、氣動搬送硅片傳送速度低的問題,適用于全自動硅片電池生產(chǎn)線。
圖1是本發(fā)明的總體結(jié)構(gòu)示意圖
圖2是本發(fā)明的柔性皮帶 進(jìn)料機(jī)構(gòu)1的結(jié)構(gòu)示意3是本發(fā)明的輸入硅片行走橫梁2的結(jié)構(gòu)示意4是本發(fā)明的柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)5的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例一種直線電機(jī)式硅片搬送機(jī)構(gòu),包括PLC和處理硅片平臺3,在處理硅片平臺3的一側(cè)設(shè)置有柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)1,在處理硅片平臺3的另一側(cè)設(shè)置有柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)5, 在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)1的下方設(shè)置有輸入硅片行走橫梁2,在柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)5的下方設(shè)置有輸出硅片行走橫梁4,在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)1的硅片傳送平臺上設(shè)置有輸入吸盤讓位缺口 13,在輸入吸盤讓位缺口 13的兩側(cè)的柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)1的硅片傳送平臺上分別設(shè)置有硅片限位塊14和硅片位置正位調(diào)整塊15,硅片位置正位調(diào)整塊15與正位氣缸16的輸出軸連接,正位氣缸16與PLC電連接,設(shè)置在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)1的硅片傳送平臺下方的同步帶驅(qū)動電機(jī)10通過同步帶輪11驅(qū)動同步帶12傳送硅片,同步帶驅(qū)動電機(jī)10與PLC電連接,輸入硅片行走橫梁2的底座板17豎立固定在機(jī)架上,在底座板17的前面板上分別固定設(shè)置有伺服電機(jī)18和凸輪軸20,在凸輪軸20的兩端分別設(shè)置有一凸輪21,與PLC電連接的伺服電機(jī)18通過驅(qū)動同步帶19驅(qū)動兩凸輪轉(zhuǎn)動,在底座板17的后面板上固定設(shè)置有滑塊26,在升降板24上固定設(shè)置有升降導(dǎo)軌25,升降導(dǎo)軌25與滑塊26活動連接在一起, 在升降板24的底端兩側(cè)分別固定設(shè)置有兩塊L形連接塊23,在L形連接塊23的尾端均設(shè)置有滾輪22,滾輪22與凸輪21滾動連接,PLC控制伺服電機(jī)18驅(qū)動兩凸輪21圍繞著凸輪軸20同步轉(zhuǎn)動,與兩凸輪21滾動接觸的兩滾輪22帶動升降板24通過升降導(dǎo)軌25與滑塊 26的配合使升降板24升起或降下,從而帶動設(shè)置在升降板24頂端的直線電機(jī)動子28上的負(fù)壓吸盤6在輸入吸盤讓位缺口 13中升起,將柔性皮帶上的硅片托起后,并在PLC的控制下水平運(yùn)送到處理硅片平臺3上。在升降板24上端面上固定設(shè)置有直線電機(jī)定子27,直線電機(jī)動子28可沿直線電機(jī)定子27在左右水平方向上移動,在直線電機(jī)動子28上端固定設(shè)置有傳送硅片的負(fù)壓吸盤6,傳送硅片的負(fù)壓吸盤6設(shè)置在輸入吸盤讓位缺口 13中,在直線電機(jī)動子28側(cè)面固定設(shè)置有拖鏈連接板7,在拖鏈連接板7與輸入硅片行走橫梁2的底座板17之間設(shè)置有拖鏈 8,在拖鏈8設(shè)置柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)1上的控制電纜。所述的輸出硅片行走橫梁4的結(jié)構(gòu)與輸入硅片行走橫梁2的結(jié)構(gòu)相同,硅片出料吸盤9設(shè)置在柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)5的出料吸盤讓位口中;在所述的柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)5中設(shè)置有輸出同步帶驅(qū)動電機(jī)30和輸出同步帶輪29。工作時,柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)上的傳感器檢測到同步帶上傳送過來的硅片,皮帶伺服電機(jī)控制的皮帶開始減速,硅片低速傳送,由其上硅片限位塊14進(jìn)行定位,之后硅片位置正位調(diào)整塊15對硅片進(jìn)行整形,輸入硅片行走橫梁2中的伺服電機(jī)18驅(qū)動凸輪21上升完成從底部讓料位到中部吸料位再到最高送料位的運(yùn)動過程,運(yùn)動高度的精度依靠伺服電機(jī)18控制,使兩組對稱的滾子實現(xiàn)升降的時序控制,依靠升降板24上兩組平行導(dǎo)軌保證其運(yùn)動平穩(wěn)性。在中部吸料位置,真空傳感器負(fù)壓吸硅片系統(tǒng)按照時序啟動與關(guān)閉實現(xiàn)對硅片的吸附定位作用。直線電機(jī)在硅片升至最高送料位時,由高精度的直線電機(jī)帶動負(fù)壓吸盤6送入處理硅片平臺3 ;其中硅片負(fù)壓吸盤依照負(fù)壓學(xué)原理進(jìn)行設(shè)計,保證硅片吸附之后變形最小且吸附牢靠;高精度的直線電機(jī)在帶動負(fù)壓吸盤運(yùn)動過程中由精密級中預(yù)壓導(dǎo)軌導(dǎo)向,保證機(jī)構(gòu)水平運(yùn)動過程中的平面度;高精度的直線電機(jī)的運(yùn)動距離精度由光柵尺定位部件保證,保證硅片傳送距離的一致性,減少后期硅片處理過程的視覺定位系統(tǒng)的計算時間。柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)5上 的傳感器檢測到硅片后,伺服電機(jī)帶動前同步帶機(jī)構(gòu)將硅片加速傳出,并由過渡傳出部件將處理完畢的硅片傳至下道工序平臺之上,其中過渡傳出部件與前同步帶機(jī)構(gòu)串行連接,單電機(jī)驅(qū)動。
權(quán)利要求
1.一種直線電機(jī)式硅片搬送機(jī)構(gòu),包括PLC和處理硅片平臺(3),在處理硅片平臺(3) 的一側(cè)設(shè)置有柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)(1),在絲印平臺(3)的另一側(cè)設(shè)置有柔性皮帶出料機(jī)構(gòu) (5),在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)(1)的下方設(shè)置有輸入硅片行走橫梁(2),在柔性皮帶出料機(jī)構(gòu) (5)的下方設(shè)置有輸出硅片行走橫梁(4),其特征在于,在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)(1)的硅片傳送平臺上設(shè)置有輸入吸盤讓位缺口(13),在輸入吸盤讓位缺口(13)的兩側(cè)的柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)(1)的硅片傳送平臺上分別設(shè)置有硅片限位塊(14)和硅片位置正位調(diào)整塊(15),硅片位置正位調(diào)整塊(15)與正位氣缸(16)的輸出軸連接,正位氣缸(16)與PLC電連接,設(shè)置在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)(1)的硅片傳送平臺下方的同步帶驅(qū)動電機(jī)(10)通過同步帶輪(11) 驅(qū)動同步帶(12)傳送硅片,同步帶驅(qū)動電機(jī)(10)與PLC電連接,輸入硅片行走橫梁(2)的底座板(17)豎立固定在機(jī)架上,在底座板(17)的前面板上分別固定設(shè)置有伺服電機(jī)(18)和凸輪軸(20),在凸輪軸(20)的兩端分別設(shè)置有一凸輪(21),與PLC電連接的伺服電機(jī)(18) 通過驅(qū)動同步帶(19)驅(qū)動兩凸輪轉(zhuǎn)動,在底座板(17)的后面板上固定設(shè)置有滑塊(26),在升降板(24)上固定設(shè)置有升降導(dǎo)軌(25),升降導(dǎo)軌(25)與滑塊(26)活動連接在一起,在升降板(24)的底端兩側(cè)分別固定設(shè)置有兩塊L形連接塊(23),在L形連接塊(23)的尾端均設(shè)置有滾輪(22),滾輪(22)與凸輪(21)滾動連接,在升降板(24)上端面上固定設(shè)置有直線電機(jī)定子(27 ),直線電機(jī)動子(28 )可沿直線電機(jī)定子(27 )在左右水平方向上移動,在直線電機(jī)動子(28)上端固定設(shè)置有傳送硅片的負(fù)壓吸盤(6),傳送硅片的負(fù)壓吸盤(6)設(shè)置在輸入吸盤讓位缺口(13)中,在直線電機(jī)動子(28)側(cè)面固定設(shè)置有拖鏈連接板(7),在拖鏈連接板(7)與輸入硅片行走橫梁(2)的底座板(17)之間設(shè)置有拖鏈(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直線電機(jī)式硅片搬送機(jī)構(gòu),其特征在于,所述的輸出硅片行走橫梁(4)的結(jié)構(gòu)與輸入硅片行走橫梁(2)的結(jié)構(gòu)相同,硅片出料吸盤(9)設(shè)置在柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)(5)的出料吸盤讓位口中;在所述的柔性皮帶出料機(jī)構(gòu)(5)中設(shè)置有輸出同步帶驅(qū)動電機(jī)(30)和輸出同步帶輪(29)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種直線電機(jī)式硅片搬送機(jī)構(gòu),解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的傳送速度低和碎片率高的問題。包括PLC和處理硅片平臺(3),在處理硅片平臺(3)的兩側(cè)分別設(shè)置有柔性皮帶進(jìn)料和出料機(jī)構(gòu),在柔性皮帶進(jìn)料機(jī)構(gòu)的下方分別設(shè)置有輸入或輸出硅片行走橫梁,與PLC電連接的伺服電機(jī)(18)通過驅(qū)動同步帶(19)驅(qū)動兩凸輪轉(zhuǎn)動,帶動升降板(24)上下移動,在升降板(24)上端面上固定設(shè)置有直線電機(jī)定子(27),直線電機(jī)動子(28)可沿直線電機(jī)定子(27)在左右水平方向上移動,在直線電機(jī)動子(28)上端固定設(shè)置有傳送硅片的負(fù)壓吸盤(6),傳送硅片的負(fù)壓吸盤(6)設(shè)置在輸入吸盤讓位缺口(13)中,適用于全自動硅片電池生產(chǎn)線。
文檔編號B65G43/08GK102259756SQ201110216100
公開日2011年11月30日 申請日期2011年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月30日
發(fā)明者任劍, 張素枝, 朱躍紅, 李向東, 李強(qiáng), 趙建軍, 鄭海紅, 魏海濱 申請人:太原風(fēng)華信息裝備股份有限公司