專利名稱:一種高純度三氯氧磷加壓儲運供料裝置的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種劇毒危險品高純度三氯氧磷的儲運供料使用裝置。
背景技術:
高純度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生產制造光纖預制棒的主要原材料之一,也是集成電路、太陽能電池、電子元器件生產過程的擴散、摻雜工藝中的主要原料,被廣泛運用于光伏、IC產業。但其屬于強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應的無色透明化學品。目前對高純度三氯氧磷的儲運供料一種是使用高純石英容器(0. 4 1. 5L) 盛裝,進出高純氮氣管采用PFA閥門密封、連接,作為運輸和使用容器,其缺點是玻璃容器易碎、換瓶頻繁、操作危險、泄漏風險高、人力成本高、物流成本高;另一種是使用19L不銹鋼SS316L儲罐,其缺點是操作煩瑣、裝置結構復雜、裝置自身成本高、維護成本高(需專業維護人員),且不能徹底杜絕金屬雜質對物料的污染。
發明內容本實用新型的目的是提供一種結構簡單、安全可靠、無泄漏、無污染、使用方便,運行成本低的高純度三氯氧磷加壓儲運供料裝置。本實用新型的目的是這樣實現的高純三氯氧磷容器通過出料口閥門、液體減壓閥、液體控制閥、鼓泡器進料閥連接帶高位超聲波液位控制器和低位超聲波液位控制器的石英鼓泡器,石英鼓泡器連接擴散爐。石英鼓泡器上有高純氮氣鼓泡閥。高純三氯氧磷容器上的氮氣入口閥連接氮氣減壓閥。由于本實用新型采用了上述結構,減少了操作的勞動強度,節約人力成本;增加了操作的安全性,同時減少了物料污染的幾率;增強了操作系統的連續性,簡化了操作的難易度;極大地減少了顧客的購置和維護成本;全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質溶出風險;極大地減少了生產和物流成本,因此,受到三氯氧磷使用廠家的廣泛歡迎。
圖1為本實用新型實施例的結構圖。圖中1高純三氯氧磷容器、2氮氣入口閥、3出料口閥門、4氮氣減壓閥、5液體減壓閥、6液體控制閥、7鼓泡器進料閥、8高純氮氣鼓泡閥、9高位超聲波液位控制器、10擴散爐、 11低位超聲波液位控制器、12石英鼓泡器。
具體實施方式
實施例高純三氯氧磷容器1通過管道上的出料口閥門3、液體減壓閥5、液體控制閥6、鼓泡器進料閥7連接上部有高位超聲波液位控制器9下部有低位超聲波液位控制器11的石英鼓泡器12,石英鼓泡12器連接擴散爐10,石英鼓泡器12上有高純氮氣鼓泡閥8, 高純三氯氧磷容器1上的氮氣入口閥2連接氮氣減壓閥4。 高純三氯氧磷容器1材質為進口高純PFA,容積為20L-200L,在生產廠家完成灌裝并安全運送到使用廠家,高純氮氣通過氮氣減壓閥4連接氮氣入口閥2,氮氣入口閥2連接高純三氯氧磷容器1,出料口閥門3連接液體減壓閥5,液體減壓閥5連接液體控制閥6,液體控制閥6連接鼓泡器進料閥7,鼓泡器進料閥7連接石英鼓泡器12,石英鼓泡器12上有高純氮氣鼓泡閥8、高位超聲波液位控制器9和低位超聲波液位控制器11。 該裝置的所有管件、閥門均由高純PFA制成。該裝置由高純氮氣經氮氣減壓閥4和液體減壓閥5調節壓力后提供運輸動力,物料由出料口端經液體減壓閥6調節壓力后分別送入各石英鼓泡器中。石英鼓泡器10裝有高位超聲波液位控制器9和低位超聲波液位控制器11,分別控制液體物料的高低液位,當物料到達設定高度時,對應的超聲波液位控制器自動鳴叫報警。低位超聲波液位控制器11發出鳴叫提示加料,調節氮氣減壓閥4和液體減壓閥5至合適壓力,依次打開氮氣入口閥2、出料口閥門3、液體控制閥6、鼓泡器進料閥7、 高純氮氣鼓泡閥8,物料緩慢進入石英鼓泡器12,當物料達到設定液位高度時,高位超聲波液位控制器9發出鳴叫,依次關閉鼓泡器進料閥7、液體控制閥6、出料口閥門3、氮氣入口閥 2,高純氮氣鼓泡將物料帶入擴散爐10,完成加料過程。
權利要求1.一種高純度三氯氧磷加壓儲運供料裝置,其特征是高純三氯氧磷容器通過出料口閥門、液體減壓閥、液體控制閥、鼓泡器進料閥連接帶高位超聲波液位控制器和低位超聲波液位控制器的石英鼓泡器,石英鼓泡器連接擴散爐。
2.根據權利要求1所述的一種高純度三氯氧磷加壓儲運供料裝置,其特征是石英鼓泡器上有高純氮氣鼓泡閥。
3.根據權利要求1所述的一種高純度三氯氧磷加壓儲運供料裝置,其特征是高純三氯氧磷容器上的氮氣入口閥連接氮氣減壓閥。
專利摘要一種高純度三氯氧磷加壓儲運供料裝置,高純三氯氧磷容器通過出料口閥門、液體減壓閥、液體控制閥、鼓泡器進料閥連接帶高位超聲波液位控制器和低位超聲波液位控制器的石英鼓泡器,石英鼓泡器連接擴散爐,石英鼓泡器上有高純氮氣鼓泡閥,高純三氯氧磷容器上的氮氣入口閥連接氮氣減壓閥。由于本實用新型采用了上述結構,減少了操作的勞動強度,節約人力成本;增加了操作的安全性,同時減少了物料污染的幾率;增強了操作系統的連續性,簡化了操作的難易度;極大地減少了顧客的購置和維護成本;全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質溶出風險;極大地減少了生產和物流成本,因此,受到三氯氧磷使用廠家的廣泛歡迎。
文檔編號B65D25/38GK201999386SQ20102069919
公開日2011年10月5日 申請日期2010年12月31日 優先權日2010年12月31日
發明者向東, 姜盛君, 舒驍驥 申請人:向東