專利名稱：卡匣緩沖結構的制作方法
技術領域：
本實用新型有關于一種卡匣緩沖結構，特別是指一種用來放置晶圓或玻璃基板 的卡匣，該卡匣緩沖結構可以防止晶圓或玻璃基板因震動或沖擊所造成的破裂或缺損的裝置。
背景技術：
目前，晶圓或玻璃基板制成之后，基于后續工藝及搬運上的需要，會將工藝后 的單片晶圓或玻璃基板，以機械手臂或人力夾取并放置于一具有容置空間的卡匣內(如 圖1所示)，以利于暫時存放及工藝中搬運，供后續工藝使用。如圖1所示現有技術中的卡匣60構造包含一第一板體601、一第二板體602、 多根立柱603及至少一鋼棒604，其中該至少一鋼棒604裝設于該卡匣60的底部以支撐晶 圓或玻璃基板，且表面以硅膠包覆；但是，因工藝上改變晶圓越做越薄，且晶圓材質輕 且易碎當機械手臂或人力放置于卡匣60時，常因放置晶圓時與卡匣60底部的該至少一鋼 棒604碰撞，而該至少一鋼棒604雖表面包覆硅膠，但因鋼棒604鋼性過高缺乏彈性，導 致晶圓產生破裂或缺損，甚至造成高價值晶圓無法使用，且玻璃基板亦有相同的隱憂。有鑒于此，本設計人乃潛心研思、設計組制，期能提供一種構造精簡、有效抑 震且方便實施的卡匣緩沖結構，以克服該現有技術卡匣底部缺乏彈性的問題，為本實用 新型所欲研創的創作動機。
實用新型內容本實用新型的主要目的，在于提供一種卡匣緩沖結構，通過一架體以及至少一 撓性構件的組合，以使該卡匣緩沖結構具有構造精簡、組裝容易、有效抑震且方便實 施，顯見本實用新型的實用性、進步性和便利性。為達上述目的，本實用新型的卡匣緩沖結構包括一架體及至少一撓性構件。 該架體設有承載部，該架體內形成一容置空間，且該架體上端形成一開口；以及該至少 一撓性構件設于該架體底部。本實用新型提供的這種卡匣緩沖結構，具有以下有益效果該卡匣緩沖結構是具有構造精簡、組裝容易、有效抑震且方便實施的卡匣緩沖 結構，確能有效抑制因放置及搬運晶圓或玻璃基板過程所產生的沖擊或震動，進而降低 晶圓或玻璃基板破裂或缺損，確具有實用性、進步性和便利性。為了能夠更進一步了解本實用新型的特征、特點和技術內容，請參閱以下有關 本實用新型的詳細說明與附圖，但是所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本實用 新型。
圖1為現有技術卡匣的立體圖。[0011]圖2為本實用新型實施例的立體圖。圖3為本實用新型實施例的立體分解圖。圖4為本實用新型實施例的剖視圖。圖5為本實用新型的使用狀態示意圖。圖6為本實用新型另一實施例的使用狀態及局部剖視示意圖。主要元件符號說明10、架體；101、第一板體；102、第二板體；103、立柱104、容置空間;20、撓性構件；201、鋼索；202、減震材質;30、承載部；301、片體；40、調整件；401、螺件；402、螺帽;50、晶圓；60、卡匣；601、第一板體；602、第二板體；603、立柱；604、鋼棒。
具體實施方式
請參閱圖2及圖3所示，為本實用新型實施例的立體圖及立體分解圖。該卡匣 緩沖結構包括一架體10以及至少一撓性構件20。請參閱圖2 圖4所示，該架體10設有承載部30，且該架體10內形成一容置 空間104，并于該架體10上端形成一開口，該架體10的結構裝設有一第一板體101、一 第二板體102及多根立柱103，該多根立柱103設于該第一板體101與該第二板體102之 間，且該容置空間104形成于該第一板體101、第二板體102及多根立柱103之間，而該 承載部30于各根立柱103上設有突出片體301 (如圖4所示)，且各相鄰突出片體301之 間形成插槽以供插置晶圓或玻璃基板等。該至少一撓性構件20設于該架體10底部，本實施例中該撓性構件20為一包覆 減震材質202的鋼索201，而該減震材質202為硅膠、塑料及橡膠中的任一種，在本實施 例為硅膠(如圖4所示)，且該至少一撓性構件20的一端固定于該第一板體101的下緣， 而另一端固定于該第二板體102的下緣。使用時，請參閱圖5所示，為本實用新型實施例的使用狀態示意圖，當多個晶圓放置于卡匣緩沖結構時，該撓性構件20的減震材質202會先承受并減緩放置晶圓50 的沖擊或撞擊力，且該鋼索201亦具有可撓性能進一步將沖擊或撞擊力吸收，能保護晶 圓50在放置于卡匣時，不會因沖擊或撞擊造成破裂或缺損，且當卡匣內放置多個晶圓50 時，該撓性構件20會因多個晶圓50的重量自然下垂，且該撓性構件20在負載狀態下亦 能維持其可撓性，以降低放置多個晶圓50的重量因搬運過程產生的震動導致晶圓50破裂或缺損。此外，請參閱圖6所示，本實用新型還能依據卡匣負載物品重量的不同，改變該至少一撓性構件20的張力以符合使用的需要，該撓性構件20的張力是通過一調整件40 進行調整，該一調整件40包含一螺件401及一螺帽402，該螺件401是與該撓性構件20 的一端相連結，且該螺件401穿設于該第二板體102的外側，并于該螺件401上螺組該螺 帽402，通過該螺帽402的軸向位移調整該撓性構件20的張力，而該撓性構件20的另一 端固定于該第一板體101下緣，以此，該撓性構件20能依據卡匣實際使用的需求實時調 整張力，以增加該撓性構件20的適用吸收沖擊力及承載范圍，進而有效吸收放置晶圓進 卡匣時產生的沖擊力，或搬運載有晶圓的卡匣時所產生的震動，降低因放置時的沖擊力 或搬運產生的震動所造成晶圓的破損，以達到保護晶圓的目的。除此之外，該撓性構件20與該調整件40的螺件401的連結方式，是采用焊接、 熔接、黏合、扣合、套合、鎖合和嵌合中的任一種。另外，該撓性構件20在實際實施上亦可為一硅膠膠條、塑料膠條及橡膠膠條中 的任一種。本實用新型的卡匣緩沖結構的特點在于通過該架體10以及該至少一撓性構件 20的組合能吸收并轉化物體沖擊力或震動，而達到緩沖的功效；而通過在卡匣緩沖結構 的撓性構件20為包覆減震材質202的鋼索201，能夠使該卡匣緩沖結構具有最佳的吸收震 動的能力；另外，本實用新型卡匣緩沖結構的撓性構件20能更進一步結合該調整件40， 經由該調整件40的螺帽402的軸向位移，依據晶圓或玻璃基板的大小或重量調整該撓性 構件20的張力，從而更加提升該卡匣緩沖結構的承受沖擊力的范圍，使該卡匣緩沖結構 能承載于不同大小及重量的晶圓或玻璃基板。本實用新型的卡匣緩沖結構乃具有構造精 簡、組裝容易、有效抑震且方便實施的特性，確能有效吸收轉化沖擊力或震動，以保護 卡匣所承載的晶圓或玻璃基板，進而增加本實用新型的實用性和便利性。以上所述僅為本實用新型的較佳可行實施例，非因此即局限本實用新型的專利 范圍，舉凡運用本實用新型說明書及圖式內容所為的等效結構變化，均理同包含于本實 用新型的范圍內，合予陳明。
權利要求1. 一種卡匣緩沖結構，其特征在于，該卡匣緩沖結構包括一架體，該架體設有承載部，該架體內形成一容置空間，且該架體上端形成一開 口 ；以及至少一撓性構件，該至少一撓性構件設于該架體底部。
2.根據權利要求1所述的卡匣緩沖結構，其特征在于，該架體設有一第一板體、一第 二板體及多根立柱，該多根立柱設于該第一板體與該第二板體之間，而該承載部于各根 立柱上設有突出片體，且各相鄰突出片體之間形成插槽以供插置，而該至少一撓性構件 設于該第一板體下緣與該第二板體下緣之間。
3.根據權利要求1所述的卡匣緩沖結構，其特征在于，該撓性構件為一包覆減震材質 的鋼索。
4.根據權利要求3所述的卡匣緩沖結構，其特征在于，該減震材質為硅膠、塑料及橡 膠中的任一種。
5.根據權利要求1所述的卡匣緩沖結構，其特征在于，該撓性構件為一硅膠膠條、塑 料膠條及橡膠膠條中的任一種。
6.根據權利要求1所述的卡匣緩沖結構，其特征在于，該撓性構件的至少一端連結一 調整件，且該調整件穿設于該架體的外側。
7.根據權利要求6所述的卡匣緩沖結構，其特征在于，該撓性構件與該調整件連結方 式是采用焊接、熔接、黏合、扣合、套合、鎖合和嵌合中的任一種。
專利摘要本實用新型公開了一種卡匣緩沖結構，該卡匣緩沖結構包括一架體以及至少一撓性構件。該架體設有承載部，該架體內形成一容置空間，且該架體上端形成一開口；該至少一撓性構件設于該架體底部；以此，使具有構造精簡、組裝容易、有效抑震且方便實施。
文檔編號B65D85/48GK201793155SQ20102017681
公開日2011年4月13日 申請日期2010年4月12日 優先權日2010年4月12日
發明者陳延方, 顏暉展 申請人:中勤實業股份有限公司