專利名稱：鋁或鋁合金濺射靶材包裝件的制作方法
技術領域：
本實用新型提供一種可在半導體領域中使用的濺射靶材包裝件，尤其涉及一種鋁
或鋁合金濺射靶材包裝件。
背景技術：
目前，實際生產中普遍采用的鋁或鋁合金濺射靶材(以下，簡稱為"鋁濺射靶材") 的包裝件為使用由普通塑料膜制成的包裝袋進行包裝的包裝件。在包裝形式上，鋁濺射靶 材包裝件分為只使用一個包裝袋包裝的單層包裝件、以及使用多個包裝袋包裝的多層包裝 件。由于普通塑料膜的氧氣透過量、透濕量都比較大，受普通塑料膜自身特性所限，在使用 普通塑料膜進行包裝的情況下，即使進行真空密封包裝且包裝袋自身沒有破損，如果保存 時間過長，包裝袋內的氧氣累計含量、水蒸氣累計含量也會很大。而鋁濺射靶材表面極易發 生氧化，當氧氣累計含量、水蒸氣累計含量超過一定限度時，包裝袋內的鋁濺射靶材表面就 會發生氧化，形成氧化膜。而且，現行的包裝件大多不進行抽真空處理，包裝后包裝袋內會 殘留有部分空氣，這部分殘留空氣會加速鋁濺射靶材表面的氧化。 鋁濺射靶材表面發生氧化而形成氧化膜，該氧化膜致使鋁濺射靶材表面硬度變 大，從而導致鋁濺射靶材表面難以發生濺射并使濺射鍍膜的效率下降。而且，鋁濺射靶材的 氧化膜表面與其芯部的硬度不同，會濺射過程不穩定，從而導致濺射鍍膜的成膜質量下降。 上述情況最終會造成所生產產品的合格率、生產率下降。因此，在目前使用由普通塑料膜制 成的包裝袋進行包裝的情況下，通常，鋁濺射靶材的保存時間都比較短，以防止因鋁濺射靶 材表面發生氧化而造成濺射鍍膜效率和濺射鍍膜成膜質量的下降、以及所生產產品的合格 率和生產率的下降。 鋁濺射靶材的保存時間比較短，給鋁濺射靶材的生產、運輸、供貨及銷售等方面產 生了很大的困難。具體地說，鋁濺射耙材的保存時間較短，會導致其生產周期比較短，因此 對原材料的采購、產品的生產等生產管理事務造成很大的制約。而且，鋁濺射靶材的保存時 間較短，則其庫存量也會比較小，在需求量波動較大的時候，無法及時供貨以滿足客戶的需 求。另外，鋁濺射靶材的保存時間較短，還會使可用于物流運輸的時間比較短，這種情況對 遠距離銷售及運輸造成了很大的限制，特別是無法適應產品遠距離銷售這一情況，嚴重阻 礙了產品銷路的拓寬。 綜上所述，對于鋁濺射靶材而言，采取適當的措施，延長其保存時間，使其表面不 會在短時間內發生氧化，對鋁濺射靶材的生產、運輸、供貨及銷售等方面都會產生積極的影 響。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種鋁或鋁合金濺射耙材包裝件，其可以提高鋁或鋁 合金濺射靶材包裝件的保存時間，以解決現有技術中采用普通塑料膜進行包裝的包裝件對 鋁濺射靶材的生產、運輸、供貨及銷售等方面造成很大制約這一問題。[0007] 本實用新型的技術方案如下 —種鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，具有鋁或鋁合金濺射靶材和包覆該濺射靶材的 包裝體，所述包裝體由氧氣透過量在5ml/m2 24hr MPa以下、透濕量在3ml/m2 24hr以下 的塑料膜制成。 可選地，所述包裝體是包裝袋的形式。 可選地，所述包裝體是包裝膜片的形式。 可選地，所述包裝件中，所述塑料膜的一個或二個表面涂有涂覆層。 可選地，所述包裝件中，所述涂覆層為鋁箔。 可選地，所述包裝件中，所述塑料膜的厚度在90iim以上，密度在0.960g/cm3以上。 可選地，所述包裝件中，所述塑料膜的拉伸強度在100N/15mm以上，抗剌破強度在 10N以上。 可選地，所述包裝件為真空密封包裝件。 根據上述技術方案的鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，可以使鋁或鋁合金濺射靶材保 存時間變長，給生產、運輸、供貨及銷售等各方面提供便利。例如，鋁濺射靶材的保存時間變 長，可以使其生產周期較長，方便管理者對生產實施優化管理，還可以使其庫存量變大，及 時響應市場變化以滿足客戶需求。此外，鋁或鋁合金濺射靶材的保存時間變長，還能夠使可 用于物流運輸的時間變長，更利于對產品的遠距離運輸、銷售、以及產品銷路的拓寬等。
圖1為本實用新型實施方式中的鋁濺射靶材的俯視示意圖； 圖2為本實用新型實施方式中的鋁濺射靶材沿圖1中A-A線的截面圖； 圖3為本實用新型實施方式中第一實施例的鋁濺射靶材包裝件的包裝步驟流程
圖； 圖4為本實用新型實施方式中第一實施例的鋁濺射靶材包裝件的包裝效果圖； 圖5為本實用新型實施方式中第二實施例的鋁濺射靶材包裝件的包裝步驟流程 圖； 圖6為本實用新型實施方式中第二實施例的鋁濺射靶材包裝件的包裝效果圖。
具體實施方式
圖1為本實施方式中的鋁濺射靶材的俯視圖，圖2為本實施方式中的鋁濺射靶材 沿圖1中A-A線的截面圖。 下面，參照圖1、圖2對本實用新型的實施方式進行說明。 本實施方式中的鋁濺射靶材保存條件為在常溫(即溫度為20°C )常壓(即壓力 為1個標準大氣壓，約為0. 101MPa)下，保存一年時間(即(365X24)hr)。 在本實施方式的鋁濺射靶材包裝件中，鋁濺射靶材的材質為純鋁，形狀如圖1、圖 2所示，呈餅狀的三層階梯形且最大直徑R為400mm，最大厚度H為40mm的鋁濺射靶材；使用 包裝袋作為包裝體，所述包裝袋呈長度為650mm，寬度為600mm的長方形，由厚度為100 y m 且自身氧氣透過量小于等于氧氣透過量參考值、自身透濕量小于等于透濕量參考值的包裝膜制成。所述氧氣透過量參考值、透濕量參考值根據上述保存條件來確定。 下面，對氧氣透過量參考值、透濕量參考值的確定思路進行說明。 氧氣透過量的單位為m1/ (m2 24hr MPa)，其含義為在恒定溫度和單位壓力差下，
在穩定透過時，單位時間內透過塑料薄膜、鋁箔、真空鍍鋁膜等材料單位面積的氧氣的體
積。由此可以看出，對于一鋁濺射靶材包裝件而言，在包裝袋表面積的形狀、尺寸相同(即，
表面積相同)、保存環境的溫度不變且包裝袋兩側壓力差不變的情況下，在穩定透過時，用
于制作包裝袋的包裝膜的氧氣透過量越小，則單位時間內透過的氧氣的體積越小。 另一方面，對于一鋁濺射靶材包裝件而言，在鋁濺射靶材及包裝袋的形狀、尺寸相
同，保存環境的溫度、壓力不變的情況下，使鋁濺射靶材表面發生氧化的氧氣體積相同。而
且，如果包裝袋及鋁濺射靶材比較小，則在包裝件包裝初始狀態到鋁濺射靶材表面發生氧
化這一過程中，與包裝袋外部的空氣壓力相比包裝袋的內部壓強很小，因而可以認為當包
裝袋及鋁濺射靶材比較小時，在上述過程中，包裝袋兩側的壓力差變化不大。即，可以近似
認為對于一鋁濺射靶材包裝件而言，在鋁濺射靶材及包裝袋的形狀、尺寸相同且尺寸較
小，保存環境的溫度、壓力不變的情況下，包裝袋兩側的壓力差不變。 綜上所述，對于一鋁濺射靶材包裝件而言，在鋁濺射靶材及包裝袋的形狀、大小 相同，保存環境的溫度、壓力不變的情況下，在穩定透過時，單位時間內透過的氧氣體積越 小，則鋁濺射靶材表面保持不發生氧化的狀態的時間，即鋁濺射靶材的保存時間越長，進而 得出用于制作包裝袋的包裝膜的氧氣透過量越小，鋁濺射靶材包裝件的保存時間越長的結 論。 本實施方式的保存條件、以及鋁濺射靶材和包裝袋的尺寸參數等與上述結論的成 立前提相符，因而可以認為其為穩定透過，進而得出用于制作包裝袋的包裝膜的氧氣透過 量越小，鋁濺射靶材包裝件的保存時間越長的結論。 透濕量的單位為ml/(m2 24hr)，其含義為在恒定溫度和水蒸氣壓力差下，在穩 定透過時，單位時間內透過塑料薄膜、鋁箔、真空鍍鋁膜等材料單位面積的水蒸氣的體積。 由此可以看出，對于一鋁濺射靶材包裝件而言，在包裝袋的形狀、尺寸相同(即，表面積相 同)、保存環境的溫度不變且包裝袋兩側水蒸氣壓力差不變的情況下，用于制作包裝袋的包 裝膜的透濕量越小，則單位時間內透過的水蒸氣的體積越小。 另一方面，對于一鋁濺射靶材包裝件而言，在鋁濺射靶材及包裝袋的形狀、尺寸相 同，保存環境的溫度、水蒸氣壓力不變的情況下，使鋁濺射靶材表面發生氧化的水蒸氣體積 相同。而且，如果包裝袋及鋁濺射靶材比較小，則在包裝件包裝初始狀態到鋁濺射靶材表面 發生氧化這一過程中，與包裝袋外部的水蒸氣壓力相比包裝袋的內部水蒸氣壓力很小，因 而可以認為當包裝袋及鋁濺射靶材比較小時，在上述過程中，包裝袋兩側的水蒸氣壓力差 變化不大。即，可以近似認為對于一鋁濺射靶材包裝件而言，在鋁濺射靶材及包裝袋的形 狀、尺寸相同且尺寸較小，保存環境的溫度、水蒸氣壓力不變的情況下，包裝袋兩側的水蒸 氣壓力差不變。 綜上所述，對于一鋁濺射靶材包裝件而言，在鋁濺射靶材及包裝袋的形狀、大小相 同，保存環境的溫度、水蒸氣壓力不變的情況下，單位時間內透過的水蒸氣體積越小，則鋁 濺射靶材表面保持不發生氧化的狀態的時間，即鋁濺射靶材的保存時間越長，進而得出用 于制作包裝袋的包裝膜的透濕量越小，鋁濺射靶材包裝件的保存時間越長的結論。[0035] 本實施方式的保存條件、以及鋁濺射靶材和包裝袋的尺寸參數等與上述結論的成 立前提相符，因而可以得出用于制作包裝袋的包裝膜的透濕量越小，鋁濺射靶材包裝件的 保存時間越長的結論。 根據如上所述的關于氧氣透過量、透濕量的結論，本實施方式預先使用現有的方
法，在鋁濺射靶材和包裝袋形狀、尺寸、以及保存條件與本實施方式相同的條件下進行氧化
實驗，結合該實驗確定鋁濺射靶材表面發生氧化時的主要參數、即鋁濺射靶材包裝件的包
裝膜氧氣透過量參考值為5ml/(m2 24hr MPa)、透濕量參考值為3ml/(m2 24hr)。 因此，本實施方式中，選用氧氣透過量為5ml/(m2 24hr MPa)、透濕量為3ml/
(m2 24hr)的包裝膜，使用由該包裝膜制成的包裝袋(以下，簡稱為"氧氣透過量為5ml/
(m2 24hr MPa)、透濕量為3ml/(m2 24hr)的包裝袋")對鋁濺射耙材進行包裝。 圖3為本實施方式第一實施例鋁濺射靶材包裝件的包裝步驟流程圖，為了能夠更
為清楚地對本實施方式第一實施例進行說明，將實施例中的各步驟標注了符號。如圖3所
示，本實施方式第一實施例為單層包裝，其包裝步驟包括提供鋁濺射靶材及包裝袋Cl的
S10 ;通過目視檢查所述包裝袋Cl并將鋁濺射耙材裝入該包裝袋Cl中的Sll ;對所述包裝
袋Cl進行真空處理的S12 ;對真空處理后的所述包裝袋Cl進行密封的S13。 下面，結合圖1、圖2及圖3，對本實施方式第一實施例的鋁濺射靶材包裝件的包裝
步驟進行詳細的說明。
執行步驟S10 : 提供鋁濺射靶材及包裝袋C1，所述鋁濺射靶材材質為純鋁且表面沒有發生氧化， 形狀為餅狀的三層階梯形，如圖1、圖2所示，最大直徑R為400mm，最大厚度H為40mm，且 直徑最大的階梯層上具有十二個用于安裝的通孔a ;所述包裝袋Cl呈長度為650mm，寬度 為600mm的長方形，其包裝膜厚度為100 y m、氧氣透過量為5ml/(m2 24hr MPa)、透濕量 為3ml/(m2 24hr)，拉伸強度為100N/15mm，剌破強度為ION，為一側涂有涂覆層的塑料膜。 在第一實施例中，采用的包裝膜為一側涂有涂覆層的塑料膜，但是不限于此，在實 際應用中也可以采用其他種類的包裝膜，而且上述包裝膜拉斷力、剌破力參數也不構成對 本實用新型的限制。此外，選擇包裝膜時應避免選擇材質對鋁濺射靶材的金屬性能、清潔度 等有影響的包裝膜。 執行步驟S11: 通過目測對氧氣透過量為5ml/ (m2 24hr *MPa)、透濕量為3ml/ (m2 24hr)的包裝 袋C1進行檢查，確認該包裝袋C1表面沒有劃痕及明顯破損，且包裝膜內沒有氣泡、明顯的 顆粒雜質等；將鋁濺射靶材裝入該包裝袋Cl內，防止灰塵、顆粒狀雜質等混入該包裝袋Cl 內。
執行步驟S12 : 使用抽真空裝置，抽出所述包裝袋Cl中的空氣。 在第一實施例中，進行抽真空處理，是為了去除初始包裝時包裝袋C1內的空氣， 延長包裝袋Cl內氧氣累計含量及水蒸氣累計含量達到使鋁濺射靶材表面發生氧化的時 間，即延長保存時間。但是，實際應用時也可以不進行抽真空處理，例如，可通過使用由氧氣 透過量、透濕量更小的包裝膜制成的包裝袋Cl進行包裝，來延長保存時間。
執行步驟S13 :[0049] 使用熱封裝置，以熱壓密封的方式密封抽真空后的包裝袋C1，通過目視檢查密封
口，確認密封效果，由此得到本實施方式第一實施例的鋁濺射靶材包裝件。 圖4所示為本實施方式第一實施例的鋁濺射靶材包裝件，圖中，為了清楚地示出
包裝袋C1，放大顯示了包裝袋C1的厚度。將該鋁濺射靶材包裝件置于常溫常壓環境下，保
存一年時間。存放一年以后，檢查包裝膜的表面沒有破損的包裝件。其結果是，包裝件的鋁
濺射靶材表面未發生氧化。 圖5為本實施方式第二實施例鋁濺射靶材包裝件的包裝步驟流程圖，為了能夠更 為清楚地對本實施方式第一實施例進行說明，將實施例中的各步驟標注了符號。如圖5所 示，本實施方式第二實施例為多層包裝，其包裝步驟包括提供鋁濺射靶材及包裝袋C2、 C3 的S20 ;通過目視檢查包裝袋C2并將鋁濺射耙材裝入包裝袋C2中的S21 ;對包裝袋C2進行 真空處理的S22 ;對真空處理后的包裝袋C2進行密封的S23 ;通過目視檢查包裝袋C3并將 鋁濺射靶材裝入包裝袋C3中的S24 ;對包裝袋C3進行真空處理的S25 ;對真空處理后的包 裝袋C3進行密封的S26。 下面，結合圖1、圖2及圖5，對本實施方式第二實施例的鋁濺射靶材包裝件的包裝
步驟進行詳細的說明。 執行步驟S20 : 提供鋁濺射靶材及包裝袋C2、 C3，所述鋁濺射靶材材質為純鋁且表面沒有發生 氧化，形狀為餅狀的三層階梯形，如圖1、圖2所示，其最大直徑R為400mm，最大厚度H 為40mm，直徑最大的階梯層上具有十二個用于安裝的通孔a ;所述包裝袋C2、 C3相同， 呈長度為650mm，寬度為600mm的長方形，其包裝膜厚度為100 y m、氧氣透過量為5ml/ (m2 24hr MPa)、透濕量為3ml/(m2 24hr)，拉伸強度為100N/15mm，剌破強度為ION，為一 側涂有涂覆層的塑料膜。 在第二實施例中，采用的包裝膜為一側涂有涂覆層的塑料膜，但是不限于此，在實 際應用中也可以采用其他種類的包裝膜，而且上述包裝膜拉斷力、剌破力參數也不構成對 本實用新型的限制。然而，選擇包裝膜時應避免選擇材質對鋁濺射靶材的金屬性能、清潔度 等有影響的包裝膜。此外，第二實施例中，使用兩個包裝袋C2、C3，且兩個包裝袋完全相同， 這并不構成對本實用新型的限制，在實際應用中進行多層包裝時所使用的各個包裝袋可以 不同。 執行步驟S21:通過目測對氧氣透過量為5ml/ (m2 24hr MPa)、透濕量為3ml/ (m2 24hr)的包 裝袋C2進行檢查，確認包裝袋C2表面沒有劃痕及明顯破損，且包裝膜內沒有氣泡、明顯的 顆粒雜質等；將鋁濺射靶材裝入包裝袋C2內，防止灰塵、顆粒狀雜質等混入包裝袋C2內。 執行步驟S22 : 使用抽真空裝置，抽出所述包裝袋C2中的空氣。 在第二實施例中，進行抽真空處理，是為了去除初始包裝時包裝袋內的空氣，延長 包裝袋C2內氧氣累計含量及水蒸氣累計含量達到使鋁濺射靶材表面發生氧化的時間，即 延長保存時間。但是，實際應用時也可以不進行抽真空處理，例如，可通過使用由氧氣透過 量、透濕量更小的包裝膜制成的包裝袋進行包裝，來延長保存時間。 執行步驟S23:[0062] 使用熱封裝置，以熱壓密封的方式密封抽真空后的包裝袋C2，通過目視檢查密封
口，確認密封效果。 執行步驟S24 :通過目測對氧氣透過量為5ml/ (m2 24hr MPa)、透濕量為3ml/ (m2 24hr)的包裝袋C3進行檢查，確認包裝袋C3表面沒有劃痕及明顯破損，且包裝膜內沒有氣泡、明顯的顆粒雜質等；將鋁濺射靶材裝入包裝袋C3內，防止灰塵、顆粒狀雜質等混入包裝袋C3內。[0065] 執行步驟S25 : 使用抽真空裝置，對包裝袋C3進行抽真空處理，即抽出所述包裝袋C2、 C3之間的空氣。 在第二實施例中，對每個包裝袋都進行了抽真空處理，這是為了徹底去除初始包裝時包裝袋內的空氣，延長包裝袋內氧氣累計含量及水蒸氣累計含量達到使鋁濺射靶材表面發生氧化的時間，即延長保存時間。但是這不構成對本實用新型的包裝件的限定，例如，在實際應用中根據具體條件，可以只對包裝袋C2或C3進行抽真空處理，還可通過使用由氧氣透過量、透濕量更小的包裝膜制成的包裝袋進行包裝，來延長保存時間。[0068] 執行步驟S26 : 使用熱封裝置，以熱壓密封的方式密封抽真空后的包裝袋C3，通過目視檢查密封
口，確認密封效果，由此得到本實施方式第一實施例的鋁濺射靶材包裝件。 圖6所示為本實施方式第二實施例的鋁濺射靶材包裝件。圖中，為了清楚地示出
包裝袋C2、 C3，放大顯示了包裝袋C2、 C3的厚度。將該鋁濺射耙材包裝件置于常溫常壓環
境下，保存一年時間。存放一年以后，檢查包裝膜的表面沒有破損的包裝件。其結果是，包
裝件的鋁濺射靶材表面未發生氧化。 本實施方式第二實施例的多層包裝僅為雙層包裝，即采用兩個包裝袋進行包裝，但是不構成對本實用新型的限制，可以根據期望的包裝效率、包裝成本等具體要求選用包裝層數在三層以上的多層包裝。 在實施方式中所使用的鋁濺射靶材的材質為純鋁，但是不限于此，根據本實用新型還能夠提供相當的鋁合金濺射靶材包裝件。 在本實施方式中，第一實施例為單層包裝，包裝步驟及使用的包裝袋數量較少，因而包裝效率高且包裝成本低。第二實施例為多層包裝，包裝步驟及所使用的包裝袋數量較多，會使包裝效率變低且包裝成本變高，但是，多層包裝能夠充分確保鋁濺射靶材的保存時間、得到更可靠的包裝質量。 此外，對于鋁濺射靶材的包裝而言，除了需要確保其具有足夠的保存時間、防止其表面在短時間內發生氧化等金屬特性變化外，還需要確保鋁濺射靶材的表面清潔，防止因其表面粘附雜質、灰塵等而影響濺射鍍膜的效率及成膜質量。 綜上所述，根據本實用新型的鋁濺射靶材包裝件，通過使用由氧氣透過量小于等于氧氣透過量參考值、透濕量小于等于透濕量參考值的包裝膜制成的包裝袋進行包裝，可以防止鋁濺射靶材表面發生氧化等金屬特性的變化，延長鋁濺射靶材的保存時間。鋁濺射靶材的保存時間變長，會給生產、運輸、供貨及銷售等各方面都產生積極的影響。例如，鋁濺射靶材的保存時間變長，則可以使其生產周期也變得較長，從而更利于管理者對原材料的采購、產品的生產等進行合理的、優化的安排。而且，鋁濺射靶材的保存時間較長，則其庫存量也可以變得較大，在需求量波動較大的情況下，可以及時供貨以滿足客戶的需求。另外，鋁濺射靶材的保存時間較長，還能夠使可用于物流運輸的時間變得較長，運輸時間變長對產品的遠距離運輸、銷售、以及產品銷路的拓寬等方面非常有利。此外，還可以通過靈活設置包裝層數、抽真空處理等，來均衡包裝成本、包裝效率及保存時間等各方面要求，優化包裝步驟。 以上所述僅是本實用新型的一種實施方式及與其相對應的兩個實施例，并不構成對本實用新型保護范圍的限定。應當指出，對于本技術領域的技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，任何在所附權利要求書所定義的本實用新型的實質和范圍之內所作的修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型中。
權利要求一種鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，具有鋁或鋁合金濺射靶材和包覆該濺射靶材的包裝體，所述包裝體由氧氣透過量在5ml/m2·24hr·MPa以下、透濕量在3ml/m2·24hr以下的塑料膜制成。
2. 根據權利要求1所述的鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，其特征在于，所述包裝體是包 裝袋的形式。
3. 根據權利要求1所述的鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，其特征在于，所述包裝體是包 裝膜片的形式。
4. 根據權利要求1所述的鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，其特征在于，所述塑料膜的一 個或二個表面涂有涂覆層。
5. 根據權利要求4所述的鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，其特征在于，所述涂覆層為鋁箔。
6. 根據權利要求1所述的鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，其特征在于，所述塑料膜的厚 度在90iim以上，密度在O. 960g/cm3以上。
7. 根據權利要求1所述的鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，其特征在于，所述塑料膜的拉 伸強度在100N/15mm以上，抗剌破強度在10N以上。
8. 根據權利要求1至7中任一權利要求所述的鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，其特征在 于，其為真空密封包裝件。
專利摘要本實用新型提供一種鋁或鋁合金濺射靶材包裝件，其具有鋁或鋁合金濺射靶材和包覆該濺射靶材的包裝體，所述包裝件由氧氣透過量在5ml/m2·24h·MPa以下、透濕量在3ml/m2·24hr以下的塑料膜制成，且所述塑料膜的一個或二個表面涂有例如為鋁箔的涂覆層。所述包裝件為真空密封包裝件，且所述包裝件還可為多層包裝。根據本實用新型，可以保持鋁或鋁合金濺射靶材表面的金屬特性穩定、防止起表面發生氧化反應，延長鋁濺射靶材的保存時間，給生產、運輸、供貨及銷售等提供便利；同時有效地保證濺射鍍膜的濺射效率、濺射效果以及濺射成膜的質量。
文檔編號B65D85/00GK201545361SQ200920267110
公開日2010年8月11日 申請日期2009年11月18日 優先權日2009年11月18日
發明者劉慶, 姚力軍, 潘杰, 王學澤, 鄭文翔 申請人:寧波江豐電子材料有限公司