基板用收納容器和基板用收納容器用的基板運送設備的制作方法

專利名稱：基板用收納容器和基板用收納容器用的基板運送設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種沿上下方向隔開間隔而以水平姿態收納多張基板的 基板用收納容器。
背景技術：
所述的基板收納容器是在使多張基板收納在容器主體中而集中運送 多張基板時使用的裝置。
作為這樣的基板收納容器的現有例，有如下的構成，具有被形成為 橫倒姿態的筒狀而在其一端部形成有基板移栽用的開口且在內部收納多 張基板的容器主體、和封閉開口的整面的蓋部件，在該蓋部件中的與容器 主體的開口對置的部分上，沿著上下方向多個排列地設置有繞橫軸心擺動
自如的擺動板，該橫軸心沿與基板移載方向交叉的開口橫寬方向(例如參 照專利文獻l)。
并且，在不相對于收納容器移載基板時，使擺動板成為沿著上下方向 的姿態而封閉擺動板彼此之間的基板移載用的間隙，從而能夠防止塵埃從 容器主體的開口侵入至容器主體內，能夠抑制容器主體內的M被塵埃污 染的情況。此外，在相對于收納容器移載基tl時，使擺動板成為沿著M 移載方向的姿態而在擺動板彼此之間開it^L移栽用的間隙，從而能夠相 對于收納容器移載m。
專利文獻l:日本特開2008-94494號公報
但是，在上述的以往的基板用收納容器中，在蓋部件中的與開口對置 的部分上沿著上下方向多個排列地設置有繞橫軸心擺動自如的板狀的擺 動板，因此蓋部件的構成復雜。
此外，在借助基板移載裝置移載基板時在容器主體和基板移載裝置之 間存在蓋部件，因此由于該蓋部件的存在而導致容器主體不能夠與基板移 載裝置十分接近，所以借助基板移載裝置相對于收納容器移載基板所需要 的行程長，所以基于基板移栽裝置的基板的移栽難以進行。此外，因為要 相對于安裝有蓋部件的收納容器移載勤良，所以必須要以與蓋部件不干涉 的方式通過形成在蓋部件上的基板移載用的間隙而佳基板移載，因此，基
7于基板移載裝置的M的移載難以進行。

發明內容
本發明是鑒于上述實際情況而提出的，其目的為提供一種基板用收納 容器，能夠實現蓋部件的構成的簡單化且基板的移載易于進行。
本發明的基板用收納容器是沿著上下方向隔開間隔而以水平姿態收 納多張基板的基板用收納容器，
具有容器主體，被形成為筒狀，以向水平方向開放的方式在容器主 體的一端部上形成有基板取放用的開口，在容器主體的內部收納多張基 板；蓋部件，構成為相對于上述容器主體從上方側安裝自如且向上方側脫 離自如，在安裝在上述容器主體上的狀態下封閉上述開口的整面，
上述蓋部件具有被卡合部，該被卡合部被卡合支承在位于上述容器主 體的上述一端部的上端部分的卡合部上，上述蓋部件在安裝在上述容器主 體上的狀態下，以上述被卡合部為中心繞橫軸心擺動自如，所述橫軸心沿 著與上述容器主體和上述蓋部件的排列方向交叉的開口橫寬方向，上述蓋 部件在向上述容器主體側受到施力的狀態下被安裝在上述容器主體上。
即，蓋部件構成為相對于容器主體拆裝自如，因此在運送收納容器時， 通過使蓋部件的卡合部卡合在容器主體的被卡合部上而將蓋部件安裝在 容器主體上，能夠防止塵埃從開口侵入至收納容器內而抑制收納容器內的 基本^皮塵埃污染，此外，在相對于容器主體移載基tl時，通過使蓋部件的 卡合部從容器主體的被卡合部脫離而使蓋部件從收納容器脫離，能夠通過 開口相對于容器主體移載基板。
安裝在容器主體上的蓋部件繞沿著開口橫寬方向的橫軸心擺動自如 且處于向容器主體側受到施力的狀態，因此，能夠成為只卡合的簡單的構 成，且能夠借助作用力而被按壓在容器主體上而借助蓋部件可靠地堵住開 口。此外，因為在蓋部件上不需設置基板移栽用的間隙等，所以能夠實現 蓋部件的構成的簡單化。
并且，通過使蓋部件從收納容器脫離，能夠使容器主體相對于通過容 器主體的開口移栽基板的基板移載裝置足夠接近。從而，在借助基板移載 裝置相對于收納容器移載基板時在與M移載裝置之間不存在蓋部件，所 以能夠使容器主體與M移栽裝置的間隔基板在基板移載方向上接近，基 于基板移栽裝置的移載基板的行程縮短，且基于^4M多載裝置的J^的移載易于進行。此外，在借助基板移載裝置移載基板時，在與容器主體之間
不存在蓋部件，所以無需例如如下地移載基板在蓋部件上形成開閉式的 J4l移栽用的間隙而佳J4l通過該間隙而進行移栽，因此，在M的移載 時移載的基板不會與蓋部件發生干涉，因此基于M移載裝置的基板的移 載易于進行。 、
從而，能夠提供一種能夠實現蓋部件的構成的簡單化且基板的移載易 于進行的基板用收納容器。
在本發明的實施方式中，優選上述蓋部件構成為，將上述卡合部在上 述容器主體與上述蓋部件的排列方向中被配置在比上述蓋部件的重心更 靠近上述容器主體側，上述蓋部件在安裝在上述容器主體上的狀態下借助 自重而向上述容器主體側受到施力。
即，在蓋部件上，卡合部在容器主體與蓋部件的排列方向中被配置在 比蓋部件的重心更靠近容器主體側，在安裝在上述容器主體上的狀態下借 助自重而向容器主體側受到施力，所以在通過容器主體上安裝有以容器主 體中的卡合部為中心繞上述橫軸心擺動自如的蓋部件，能夠利用借助自重 而產生的繞上述橫軸心的擺動操作力將蓋部件向容器主體側按壓。即，因 為利用基于自重的擺動操作力，所以不具備用于向容器主體側按壓蓋部件 的特別的操作機構，能夠借助蓋部件良好地封閉容器主體的整個開口。
從而，能夠提供一種即能夠借助從上方側安裝自如且向上方側脫離自 如的蓋部件良好地封閉J^^^放用的開口的整面、且能夠抑制構成的復雜 化的基板用收納容器。
在本發明的實施方式中，優選上述收納容器為，為了從上述容器主體 的另一端部側向上述一端部側通風而在上述容器主體的上述另一端部安 裝風扇過濾器單元，并且上迷蓋部件在與上述容器主體之間形成排氣用的 間隙的狀態下被安裝在上述容器主體的上述一端部上。
即，蓋部件在與容器主體之間形成排氣用的間隙的狀態下被安裝在容 器主體的一端部上，因此即便借助蓋部件封閉開口，也可以使借助被安裝 在容器主體的另一端部上的風扇過濾器單元從容器主體的另一端側向一 端側流動的清潔空氣從排氣用的間隙排出，能夠在容器主體內產生從另一 端側流向一端側的氣流，因此能夠借助該氣流防止存在于收納容器內的塵 埃附著在基板上，能夠抑制容器主體內的基板4皮塵埃污染。
從而，能夠提供一種能夠抑制容器主體內的基板被塵埃污染的J41用收納容器。
在本發明的實施方式中，優選上述排氣用的間隙沿著上述開口周圍的 全周形成。
即，排氣用的間隙沿著開口的全周形成，能夠向上下方向及橫寬方向 分散且排出在容器主體內流動的清潔空氣，因此，清潔空氣易于在容器主 體內均等地流動，在容器主體內不易產生清潔空氣難以流動的地方，所以 能夠抑制由于清潔空氣的流速減慢而導致的塵埃的向基板的附著，基板不 易被污染。
從而，能夠提供一種容器主體內的基板不易被塵埃污染的基板用收納 容器。
在本發明的實施方式中，優選為了形成上述排氣用的間隙而在上述容 器主體與上述蓋部件之間設有襯墊。
即，通過設置襯墊而形成排氣用的間隙，因此，無需為了形成間隙而 將蓋部件自身及容器主體自身形成為形成有排氣用的間隙的形狀，能夠容 易地形成排氣用的間隙。
從而，能夠提供一種能夠容易地形成排氣用的間隙的基板用收納容器。
此外，期望提供一種基于M移栽裝置的基板的移載易于進行且M 用收納容器用的基板運送設備。
從而，在本發明的實施方式中優選，在基板用收納容器用的基板運送
設備中設有將上述收納容器運送至基板移載位置的容器運送機構、用于 從位于上述基板移載位置的上述收納容器取出基板或者將基板收納至上 述收納容器中而移載基板的基板移載裝置、在上述收納容器位于蓋脫離位 置的狀態下使上述蓋部件從上述容器主體脫離的蓋脫離機構，上述容器運 送機構構成為，使上述收納容器從上述蓋脫離位置向鉛直下方下降移動至 上述基板移載位置而進行運送，上述M移載裝置構成為，通過上述開口 相對于上述蓋部件被脫離了的上述容器主體移載上述基板。
即，在借助基板移載裝置相對于收納容器移載基板時，通過使蓋部件 安裝在收納容器上而封閉收納容器的開口 ，能夠防止塵埃從開口侵入至容 器主體內而抑制容器主體內的J41被塵埃污染，此外，在借助^41移載裝 置相對于收納容器移載基板時，通過借助蓋脫離機構使蓋部件從容器主體 脫離，能夠借助a移載裝置通過沒有安裝蓋部件的收納容器的開口而相對于收納容器的容器主體直接移載M。
即，借助蓋脫離機構使蓋部件從容器主體脫離了的收納容器被容器運 送機構運送至基板移載位置，因此，在借助基板移載裝置相對于收納容器 移載基板時在與基板移栽裝置之間不存在蓋部件，所以能夠使容器主體相 對于基板移載裝置沿著J41移載方向接近，基板移載裝置移栽基板的行程 縮短，基于基板移載裝置的基板的移栽易于進行。此外，在借助基板移載
裝置移栽基板時，無需如下地移載基板在蓋部件上形成基板移栽用的間 隙而使基板通過該間隙而進行移栽，因此基于基板移載裝置的基板的移載 易于進行。
并且，容器運送機構構成為，使收納容器從蓋脫離位置向鉛直下方下 降移動至基板移載位置而進行運送，因此只要在蓋脫離位置中使蓋部件從 容器主體脫離之后借助容器運送機構使收納容器向鉛直下方下降移動，就 能夠使收納容器移動到上述那樣的使容器主體相對于基板移載裝置沿著 基板移載方向接近的基板移載位置，在使蓋部件從容器主體脫離之后無需 為了使容器主體與基板移載裝置接近而使收納容器沿基板移載方向移動， 所以，能夠不設置這樣地使收納容器沿著M移載方向移動的裝置，使容 器主體在基板移載方向上接近而基于基板移載裝置的基板的移栽易于進 行。
如此，能夠提供一種基于基板移載裝置的M的移載易于進行的M 用收納容器用的基板運送設備。
在本發明的實施方式中優選，上述基板移載裝置以相對于位于上述基 板移載位置的上述收納容器而位于上述容器主體的上述一端部側的方式 設置，上述蓋脫離位置是安裝在位于該蓋脫離位置的上述容器主體上的上 述蓋部件從上下方向看與基板移栽裝置重合的位置。
即，安裝在位于蓋脫離位置的容器主體的蓋部件位于從上下方向看與 基板移載裝置重合的位置，因此，只要借助容器運送機構使收納容器從蓋 脫離位置向鉛直下方下降移動，就能夠將蓋部件被脫離了的收納容器運送 至基板移載位置，且能夠使位于該基長移載位置的收納容器的容器主體和
a移栽裝置接近，使得與14l移載位置的沿基板移載方向的間隔比蓋部 件的沿J41移載方向的厚度小。因此，用于基于基板移載裝置的移栽M 的行程更短，基于基板移載裝置的基板的移載更加易于進行。
從而，能夠提供一種基于取出機構的M的取出更易于進行的基板用收納容器用的基板運送設備。
在本發明的實施方式中優選，上述蓋部件^^安裝為相對于上述容器主 體從上方側安裝自如且向上方側脫離自如，
上述容器運送機構構成為，具有載置下降臺，栽置支承上述收納容 器，使上述收納容器從比上述基板移載位置更靠上方且比上述蓋脫離位置 更靠下方的中間位置向鉛直下方下降移動至上述基板移載位置；移載裝 置，為了使上述收納容器載置在上述載置下降臺上而使上述收納容器從比 上述蓋脫離位置更靠上方的上方位置向鉛直下方下降移動至上述中間位 置，
上述栽置下降臺構成為，為了使上述收納容器中的上述移載對象的基 板位于與上述基板移載裝置對應的移載高度，在上述基板移栽位置中升降 自如地支承上述收納容器，
上述蓋脫離機構構成為，具有承接支承體，在借助上述移載裝置下降 移動的上述收納容器位于上述蓋脫離位置的狀態下承接支承"&置在上述 蓋部件上的被支承部而使上述蓋部件從上述容器主體脫離。
即，借助栽置下降臺使收納容器升降，使多張基板中的移載對象的基 板位于與M移載裝置對應的移栽用高度，從而能夠移載該移載對象的基 板，所以能夠將多張基板隨機地移載到收納容器的既定的高度。
此外，借助載置下降臺使收納容器升降，從而無需使比收納容器構成 更復雜的J41移載裝置升降移動，因此能夠簡單地進行移載對象的基板和 基板移載裝置的在高度方向中的定位。
并且，在收納容器下降到借助移載裝置使收納容器從上方位置下降移 動到中間位置的中途的蓋脫離位置時，借助承接支承體承接支承被設置在 蓋部件上的被支承部而使蓋部件從容器主體脫離。即，利用基于移載機構 的收納容器的下降移動而^f吏蓋部件從收納容器脫離，上述移栽機構用于4吏 收納容器載置在載置下降臺上，因此，作為蓋脫離機構，可以是只設置有 在下降移動的收納容器位于蓋脫離位置上時承接支承蓋部件的被支承部 的承接支承體的簡單的構成，能夠實現蓋脫離機構的構成的簡單化。
從而，能夠提供一種如下的基板用收納容器用的基板運送設備，該基 板運送設備能夠將移載對象的基板隨機地移載到收納容器的既定的高度， 且能夠簡單地進行為了借助基板移栽裝置移載基板而移載對象的基板與 基板移載裝置的在高度方向中的對位，且能夠實現蓋脫離機構的構成的簡單化。
在本發明的實施方式中優選，上述蓋部件^:安裝為相對于上述容器主 體從上方側安裝自如且向上方側脫離自如，
上述容器運送機構構成為，具有支承下降臺，載置支承上述收納容
器，使上述收納容器從比上述蓋脫離位置更靠上方的上方位置下降移動至
上述基板移栽位置；備用運送機構，為了使上述收納容器栽置在上述支承 下降臺上而將上述收納容器運送至上述上方位置，
上述支承下降臺構成為，為了使上述收納容器中的上述移載對象的基 板位于與上述基板移載裝置對應的移栽高度，在上述;i^移載位置中升降 自如地支承上述收納容器，
上述蓋脫離機構構成為，具有承接支承體，在借助上述支承下降臺下 降移動的上述收納容器位于上述蓋脫離位置的狀態下承接支承設置在上 述蓋部件上的被支承部而使上述蓋部件從上述收納容器脫離。
即，借助支承下降臺使收納容器升降，使多張基板中的移栽對象的基 板位于與基板移載裝置對應的移栽用高度，從而能夠移載該移載對象的基 板，所以能夠將多張M隨機地移栽到收納容器的既定的高度。
此外，借助支承下降臺使收納容器升降，從而無需使比收納容器構成 更復雜的基板移載裝置升降移動，因此能夠簡單地進行移栽對象的基板和 基板移載裝置的在高度方向中的對位。
并且，在收納容器下降到借助支承下降臺使收納容器從中間位置下降 移動到基板移載位置的中途的蓋脫離位置時，借助承接支承體承接支承被 設置在蓋部件上的被支承部而使蓋部件從容器主體脫離。即，利用基于下 降支承臺的收納容器的下降移動而^J1部件從收納容器脫離，上述下降支 承臺用于將收納容器運送到基板移載位置上，所以作為蓋脫離機構，可以 是只設置有在下降移動的收納容器位于蓋脫離位置上時承接支承被支承 部的承接支承體的簡單的構成，能夠實現蓋脫離機構的構成的簡單化。
從而，能夠提供一種如下的基板用收納容器用的基板運送設備，該基 板運送設備能夠將移載對象的基板隨機地移載到收納容器的既定的高度， 且能夠簡單地進行移載對象的基板與基板移栽裝置的在高度方向中的對 位，且能夠實現蓋脫離機構的構成的簡單化。
在本發明的實施方式中優選，上述蓋部件^c安裝為，相對于上述容器 主體從上述容器主體與上述蓋部件的排列方向的蓋部件側的斜上方側安裝自如，且向上述排列方向中的蓋部件側的斜上方側脫離自如，
上述蓋脫離機構構成為，具有一對的支承體，在支承上述蓋部件的相 互接近的接近位置和解除對于上述蓋部件的支承的相互分離的分離位置 之間沿著與J41移載方向交叉的橫寬方向相互遠近移動自如，
在上述收納容器位于上述蓋脫離位置的狀態下隨著上述一對的支承 體移動至接近位置，與上述一對的支承體抵接的上述蓋部件中的被抵接部 分，為了借助上述支承體的抵接使上述蓋部件向上述排列方向中的上述蓋 部件側的斜上方移動，形成為越位于上述排列方向中的上述蓋部件側的斜 上方位置越位于上述橫寬方向的容器外方側的引導面。
即，在收納容器位于蓋脫離位置的狀態下，使一對的支承體以從分離 位置到接近位置相互接近的方式移動，從而能夠借助一對的支承體支承蓋 部件。
并且，在借助如上所述的一對的支承體支承蓋部件時一對的支承體與 蓋部件的被抵接部分抵接，從而蓋部件被引導面引導而向排列方向的蓋部 件側的斜上方移動而從容器主體脫離，因此，在借助一對的支承體承接支 承蓋部件的狀態下，蓋部件位于相對于容器主體向排列方向的蓋部件側的 斜上方分離的位置，在借助容器運送機構使收納容器從蓋脫離位置向基板 移載位置下降移動時容器本體不易與蓋部件摩擦，不易產生塵埃。
從而，蓋脫離機構是借助相互地遠近移動自如的一對的支承體支承蓋 部件的簡單的構成，借助該支承，能夠在使收納容器從蓋脫離位置向基板 移載位置下降移動時使蓋部件脫離至不易與容器本體摩擦的位置，從而能 夠提供一種構成簡單且不易產生塵埃的基板用收納容器用的基板運送設備。
在本發明的實施方式中優選，上述基板移載裝置以位置固定狀態設
置，
上述容器運送機構構成為，為了使上述收納容器中的上述移載對象的 基板位于與上述基板移載位置對應的移載高度而在上述基板移載位置中 升降自如地支承上述收納容器，
上述蓋脫離機構構成為，將脫離了的上述蓋部件支承在比移載對象的 基板更靠上方且在基板移栽方向中與位于上述基板移載位置的上述收納 容器的上述開口接近的位置，以^t借助脫離了的上述蓋部件封閉位于上述 基板移栽位置的上述收納容器的上述開口的比上述移載對象的基板更靠 上方的部分，固定蓋以位置固定狀態被設置在比上述移栽對象的基板更靠下方且 在上述基板移載方向中與位于上述基板移載位置的上述收納容器的上述 開口接近的位置，以便封閉位于上述基板移載位置的上述收納容器的上述 開口的比上述移載對象的基板更靠下方的部分。
即，通過借助容器運送機構使收納容器升降而使多個基板中的移載對 象的基板位于與基板移載裝置對應的移栽用高度，能夠移載該移栽對象的 基板，所以能夠將多個基板隨機地移栽到收納容器的既定的高度。
此外，通過借助容器運送機構使收納容器升降，無需使比收納容器構 成更復雜的基板移栽裝置升降移動，因此能夠簡單地進行移載對象的基板 和基板移載裝置的在高度方向中的對位。
并且，借助蓋部件封閉收納容器的開口的比移載對象的14l更靠上方 的部分，且借助固定蓋封閉收納容器的開口的比移載對象的基板更靠下方 的部分，因此在借助基板移載裝置相對于收納容器移栽基板時利用蓋部件 和固定蓋封閉容器主體的開口的移載對象的基板的上方部分和下方部分， 從而，在借助基板移栽裝置相對于收納容器移載基板時能夠盡可能地防止 塵埃從開口侵入至容器主體內，能夠抑制由塵埃導致污染容器主體內的基 板的情況。
此外，將借助蓋脫離機構從容器主體脫離了的蓋部件用于堵塞收納容 器的開口的比移載對象的基板更靠上方的部分，從而無需準備用于堵塞該 開口的比移載對象的基板更靠上方的部分的另外的蓋，因此能夠通過簡單 的構成堵塞收納容器的開口的上方部分和下方部分。
從而，能夠提供一種如下的a用收納容器用的^L運送設備，能夠 將移載對象的基板隨機地移載到收納容器的既定的高度，且能夠簡單地進 行移栽對象的基板和基板移載裝置的在高度方向中的對位，并且能夠通過 簡單的構成抑制相對于容器主體移載基板時的M的污染。
在本發明的實施方式中優選，上述容器主體構成為，在沿著上下方向 隔開間隔的狀態下設置有載置支承矩形狀的a的多個支承板，
上述J41移載裝置構成為，具有
浮起用空氣噴出體，在上述收納容器位于上述基板移栽位置的狀態下 被配設在與該容器主體所具備的上述支承板的基板取出方向的下游側端 部鄰接的容器鄰接位置上，向上述取出對象的基板的下表面和栽置支承該 基板的上述支承板的上表面之間噴出空氣，取出機構，在使之通過上述浮起用空氣噴出體的上方的狀態下從上述 收納容器取出借助基于上述浮起用空氣噴出體的空氣的噴出而從上述支
承板浮起的上述取出對象的基板，
輔助空氣噴出體，向上述浮起用空氣噴出體的上表面和借助上述取出 機構取出的上述取出對象的基板的下表面之間噴出空氣。
即，通過在取出對象的J^L和支承板之間形成從基板取出方向的下游 側向上游側流動的空氣層，能夠借助該空氣層支承取出對象的a，且借
助基板移載裝置使該^i4i通過浮起用空氣噴出體的上方而取出該基板。
并且，因為設有向浮起用空氣噴出體的上表面和借助^1移載裝置取 出的取出對象的M的下表面之間噴出空氣的輔助空氣噴出體，所以借助 從輔助空氣噴出體噴出的空氣而在浮起用空氣噴出體的上方形成空氣層， 因此借助該空氣層在浮起用空氣噴出體的上方支承取出對象的基板。
從而，能夠提供一種如下的M用收納容器用的基板運送設備，在通 過浮起用空氣噴出體的上方時取出對象的基板不與浮起用空氣噴出體接觸。
在本發明的實施方式中優選，在基板用收納容器用的M運送設備上
設有
容器運送機構，使上述收納容器下降移動而將其運送到基板移栽位
置；
基板移載裝置，為了從位于上述M移載位置的上述收納容器取出基 板或將基板收納到上述收納容器中而移載基板，
設有在基于上述容器運送機構的上述收納容器的向上述基板移載位 置的下降移動中途承接支承上述蓋部件的被支承部而使上述蓋部件從上 述容器主體脫離的承接支承體，
上述基板移載裝置構成為，相對于上述蓋部件被脫離了的上述容器主 體通過上述開口而移載上述基板。
即，在不借助基板移載裝置相對于收納容器移載基板時，通過使蓋部 件安裝在收納容器上而封閉收納容器的開口 ，能夠防止塵埃從開口侵入至 容器主體內且抑制容器主體內的基板被塵埃污染，此外，在借助a移載 裝置相對于收納容器移載基板時，通過利用蓋脫離機構使蓋部件從容器主 體脫離，通過沒有安裝蓋部件的收納容器的開口而能夠借助基板移載裝置 相對于收納容器的容器主體直接地移栽基板。即，借助蓋脫離機構從容器主體脫離了蓋部件的收納容器被容器運送 機構運送到M移栽位置，因此在借助基板移栽裝置相對于收納容器移載 基板時在與基板移載裝置之間不存在蓋部件，所以能夠使容器主體相對于 基板移載裝置與基板移載方向接近，基板移載裝置移載基板的行程縮短， 所以基于基板移載裝置的基板的移載易于進行。此外，在借助基板移載裝
置移載基板時無需如下地移栽14良在蓋部件上形成基板移載用的間隙且 以通過該間隙的方式移栽勤l，因此基于m移載裝置的基板的移載易于 進行。
并且，在基于容器運送機構的收納容器的向基板移栽位置的下降移動 中途，蓋部件的被支承部被承接支承體承接支承，蓋部件從容器主體脫離。 即，利用基于用于將收納容器運送到基板移載位置的容器運送機構的收納 容器的下降移動使蓋部件從收納容器脫離，因此，通過在蓋部件上設置被 支承部、設置在下降移動的收納容器位于蓋脫離位置時承接支承蓋部件的 被支承部的承接支承體的簡單的構成，能夠以基于M移載裝置的基板的 移載易于進行的方式使蓋部件從容器主體脫離。
從而，能夠提供一種如下的基板用收納容器用的M運送設備，通過 簡單的構成使基于基板移栽裝置的基板的移載易于進行。
在本發明的實施方式中優選，上述被支承部構成為，排列多個繞沿著 與上述容器主體和上述蓋部件的排列方向交叉的橫寬方向的橫軸心旋轉 自如的旋轉體，
上述承接支承體構成為具有上述多個旋轉體所卡入的卡入凹部。
即，在蓋部件被承接支承體支承時，蓋部件的多個旋轉體為卡入至承 接支承體的卡入凹部而被承接支承的狀態，因此能夠借助承接支承體以難 以擺動蓋部件、難以偏離于水平方向的狀態支承。
此夕卜，即便在蓋部件相對于承接支承體偏離于水平方向的基板移載方 向時，通過旋轉體旋轉而使旋轉體與卡入凹部難以滑接，因此能夠抑制借 助承接支承體支承蓋部件時的塵埃的發生。
從而，能夠提供一種如下的基板用收納容器用的基板運送設備，能夠 借助承接支承體在令蓋部件難以擺動且難以偏離于水平方向的狀態下支 承蓋部件，并且能夠抑制借助承接支承體支承蓋部件時的塵埃的發生。
在本發明的實施方式中優選，上述被支承部由形成為板狀的板狀體構
成,
17上迷承接支承體構成為具有上述板狀體所卡入的卡入凹部。
即，在蓋部件被承接支承體支承時，蓋部件的板狀體為卡入至承接支
承體的卡入凹部而以寬廣的面積被承接支承的狀態，因此通it^L狀體被承 接支承體以寬廣的面積承接支承而能夠在難以偏離于水平方向且穩定的 狀態下支承蓋部件。
從而，能夠提供一種如下的基板用收納容器用的M運送設備，能夠 借助承接支承體在穩定的狀態下支承蓋部件。
在本發明的實施方式中優選，上述被支承部構成為，以位于上述蓋部 件的上端部且在上述容器主體和上述蓋部件的排列方向中位于上述蓋部 件的重心的兩側的方式沿著排列方向排列兩個上述旋轉體，
設有限制部，在被上述承接支承體支承時限制上述蓋部件的向從上述 收納容器分離側的設定角度以上的由于自重導致的擺動。
即，被支承部構成為，以位于蓋部件的上端部且在排列方向中位于蓋 部件的重心的兩側的方式沿著排列方向排列兩個旋轉體，所以在收納容器 下降移動而借助承接支承體承接支承蓋部件的被支承部時位于蓋部件的 兩側的兩個旋轉體被卡入凹部承接支承，所以在被上g接支承體支承時
能夠抑制蓋部件的下部從容器主體離開那樣的蓋部件的擺動及蓋部件的 下部與容器主體接近那樣的蓋部件的擺動，因此能夠抑制蓋部件的沿排列
方向的擺動而防止蓋部件的向容器主體的接觸。此外，設有限制部，借助 限制部限制蓋部件的向從收納容器分離側的設定角度以上的由于自重導 致的擺動，因此即便在蓋部件沿著排列方向擺動時，蓋部件的擺動也易于 平息，因此能夠防止蓋部件的向容器主體的接觸。
從而，能夠提供一種如下的基板用收納容器用的基板運送設備，在使 蓋部件從容器主體脫離時能夠防止蓋部件與容器主體接觸。


圖l是表示第一實施方式的基板運送設備的側視圖。
圖2是表示第一實施方式的收納容器的立體圖。
圖3是表示第一實施方式的收納容器的蓋部件側的立體圖。
圖4是表示第一實施方式的蓋部件被承接支承的狀態的側視圖。
圖5是表示第一實施方式的收納容器的升降位置的側視圖。
圖6是表示第一實施方式的收納容器的升降位置的側視圖。圖7是表示第一實施方式的蓋部件裙應離的情況的立體圖。
圖8是表示第二實施方式的蓋部件被脫離的情況的立體圖。
圖9是表示第四實施方式的蓋部件被承接支承的狀態的側視圖。
圖IO是表示第四實施方式的蓋部件被脫離的情況的立體圖。
圖ll是表示第四實施方式的收納容器的升降位置的側視圖。
圖12是表示另一實施方式的收納容器的升降位置的側視圖。
圖13是表示另一實施方式(12)的被支承部的側視圖。
圖14是表示另一實施方式(13)的多個旋轉體的側視圖。
圖15是表示另一實施方式(13)的板狀體的圖。
圖16 A^處理i殳備的主視圖。
圖17 AJ^處理設備的側視圖。
圖18 U板處理設備的俯視圖。
圖19U板運送裝置的側視圖。
圖20是收納容器的立體圖。
圖21是收納容器的立體圖。
圖22是表示支承板的圖。
圖23U板中繼單元的俯視圖。
圖24是表示夾持位置的夾持部的側視圖。
圖25是表示夾持位置的夾持部的俯視圖。
圖26是表示夾持解除位置的夾持部的側視圖。
圖27是表示夾持解除位置的夾持部的俯視圖。
圖28是表示按壓結束位置的夾持部的側視圖。
圖29是表示退避位置的夾持部的側視圖。
圖30是表示退避位置的夾持部的俯視圖。
圖31是表示浮起用空氣噴出體和供給用空氣噴出體的側視圖。
圖32是表示浮起用空氣噴出體和供給用空氣噴出體的立體圖。
圖33是表示檢測傳感器的概略圖。
圖34是控制框圖。
具體實施方式
《第一實施方式》
以下，參照

應用了本發明的基板用收納容器的M運送設備的第一實施方式。
如圖1所示，在基板運送設備上設置有容器運送機構lll，運送作為基板用收納容器的收納容器2;基板移載裝置112，相對于被容器運送機構111運送的收納容器2而移載基板1。
并且，基板移栽裝置112構成為從被容器運送機構111運送的收納容器2取出基板1且將基板1收納在收納容器2中，構成為作為基板1的移栽而進行從收納容器2的基板1的取出和向收納容器2的M 1的收納。
此外，本實施方式的基板是被用于液晶顯示器及等離子顯示器的玻璃基
板等的矩形狀的基板。[收納容器]
如圖1及圖2所示，收納容器2構成為具有容器主體41，形成為橫倒姿態的筒狀且在內部收納多張基板1;蓋部件42，被安裝在容器主體41的一端部；風扇過濾器單元43,被安裝在容器主體41的另一端部。
如圖20所示，容器主體41構成為在沿上下方向隔開間隔的狀態下具備載置支承基板l的多張的支承板45，借助多張支,45而以分別載置支承基本l的方式沿著上下方向隔開間隔而以水平姿態保持且收納多張矩形狀的基本l。
蓋部件42安裝在容器主體41的一端部上，用于封閉而閉塞形成在筒狀的容器主體41的一端部的作為M移載用的向水平方向開放的開口的M取放口 44的整面。此外，風扇過濾器單元43安裝在容器主體41的另一端部，用于封閉而閉塞形成在筒狀的容器主體41的另一端部的基板取故口 44的整面并且從容器主體41的另一端部側向一端部側通風。并且，這些蓋部件42及風扇過濾器單元43,構成為相對于容器主體41拆裝自如。
此外，蓋部件形成為，比容器主體的基板取故口 44的上下方向的寬度大且比橫寬方向的寬度大。
另外，為了方便而將容器主體41和蓋部件42排列的方向稱為排列方向，將沿著與該排列方向交叉的水平方向的方向稱為橫寬方向。
并且，如圖4所示，蓋部件42設有被卡合部115，該被卡合部115從上方側卡合在位于容器主體41的一端部的上端部分的卡合部114上且被卡合支承在卡合部114上。即，蓋部件42構成為，能夠借助使蓋部件42相對于容器主體41向下方移動而使被卡合部115與卡合部114卡合而將蓋部件42安裝在容器主體41上，能夠借助使蓋部件42相對于容器主體41向上方移動而使被卡合部115從卡合部114脫離而使蓋部件42從容器主體41脫離。如此，蓋部件42構成為相對于容器主體41從上方側安裝自如且向上方側脫離自如。
蓋部件42的被卡合部115，在向下方突出的狀態下被支承在舌片117的頂端部上，該舌片117在向容器主體側突出的狀態下被設置在蓋主體116的上端部，設該被卡合部以在將蓋部件42安裝在容器主體41上的狀態下位于容器主體41及蓋部件42的橫寬內的方式設置在蓋部件42上。此外，被卡合部115的位于下端的頂端部被形成為球狀。
容器主體41的卡合部114俯視形狀為圓形且形成為向下方凹入的形狀，被形成在下述位置處在將蓋部件42安裝在容器主體41上的狀態下與設置在蓋部件42上的一對的被卡合部115分別對應的位置。
若說明卡合部114的形狀，則卡合部114的底側部分為上下方向同直徑的圓柱形狀，且形成為直徑比被卡合部115的頂端部的直徑稍大以使被卡合部115嵌合。此外，卡合部114的入口側部分，形成為下端與底側部分同直徑且越靠上方側直徑越大的形狀，以便向底側部分引導被卡合部115。
此外，如圖2以及圖3所示，舌片117被分別設置在蓋主體116的橫寬方向的一方側部分和另一方側部分上，被卡合部115分別被支承在一對的舌片117上。此外，容器主體41中的卡合部114，被形成在比基板取放口 44靠上方的位置上，被形成為在比基板取放口 44靠上方處卡合卡合部115。
從而，如圖4所示，收納容器2形成有如上所述的卡合部114以及被卡合部115，從而在將蓋部件42安裝在容器主體41上時被卡合部115易于卡合在卡合部114上，蓋部件42易于安裝在容器主體41上。
此外，在將蓋部件42安裝在容器主體41上的狀態下，被卡合部115與卡合部114的底側部分嵌合，從而在將蓋部件42安裝在容器主體41上的狀態下限制蓋部件42相對于容器主體41向水平方向移動。
此外，在將蓋部件42安裝在容器主體41上的狀態下，將被卡合部115的頂端部形成為球形且比該頂端部更靠上方的部分位于寬幅的卡合部114的入口側部分，所以蓋部件42構成為在安裝在容器主體41上的狀態下以卡合部114為中心而繞沿著橫寬方向的橫軸心擺動自如。
并且，通過如上所述地在蓋部件42上設置被卡合部115,被卡合部115被設置在排列方向中比蓋部件42的重心更靠容器主體側。從而，蓋部件42在如圖4(a)所示的安裝在容器主體41上的狀態下，借助自重向容器主體側受到施力，蓋部件42借助基于該自重的施力而被按壓在容器主體41上而蓋部件42不易擺動。
在蓋部件42被安裝在容器主體41的一端部上的狀態下，在容器主體41和蓋部件42之間形成排氣用的間隙E。
若加以說明，則在蓋部件42中的容器主體側的面上^:置用于形成排氣用的間隙E的襯墊118,使得在將蓋部件42安裝在容器主體41上的狀態下襯墊118位于容器主體41和蓋部件42之間。
通過如此地在蓋部件42上設置襯墊118，蓋部件42形成為在被安裝在容器主體41上的狀態下在與容器主體41之間形成排氣用的間隙E的形狀，借助風扇過濾器單元43而被導入至容器主體41內的空氣，如圖3的箭頭所示，通過在容器主體41和蓋部件42之間形成的排氣用的間隙E而向外部排出。
并且，蓋部件42,僅僅通過被卡合部115和襯墊118與容器主體41接觸，排氣用的間隙E，在由于襯墊118的存在而基板私故口 44的周圍的一部分被封閉的狀態下沿著全周形成.
如圖3及圖4所示，在蓋部件42上，在蓋主體116的上端部的橫寬方向兩側，在從蓋主體116向橫寬方向外方側突出的狀態下設有被支承部119。
該被支承部119沿著排列方向排列兩個繞沿著橫寬方向的橫軸心旋轉自如的旋轉體120而構成。這兩個的旋轉體120，以位于相同高度的方式被設置在蓋部件42上且為直徑形成相同的大小。
并且，兩個旋轉體120中的位于排列方向的蓋部件側的旋轉體120，以位于比蓋部件42的重心更靠上方且比重心更靠排列方向的蓋部件側的方式被設置在蓋主體116上，位于排列方向的容器主體側的旋轉體120,以位于比蓋部件42的重心更靠上方且比重心更靠排列方向的容器主體側的方式被設置在蓋主體116上。從而，蓋部件42的重心位于兩個旋轉體120的中間且下方，從而抑制借助后述的卡入凹部124承接支承而使蓋部件42從容器主體41脫離時的蓋部件42的沿著排列方向的擺動，能夠防止蓋部件42的向容器主體41的接觸。
如圖31 (a)所示，基板移載裝置112，具有浮起用空氣噴出體71，向移載對象的基板1的下表面和載置支承該基板1的支承板45的上表面之間噴出空氣；基板取放機構73,在使之通過浮起用空氣噴出體71的上方的狀態下相對于收納容器2移栽借助基于浮起用空氣噴出體71的空氣的噴出而從支承板45浮起的移載對象的基板1，從蓋部件42被脫離了的容器主體41通過基板M口 44移栽基板1。
并且，浮起用空氣噴出體71構成為，使噴出的空氣在浮起用空氣噴出體71的上表面流動，兼用作向浮起用空氣噴出體71的上表面和祐羞板取放機構73移栽的基板之間噴出空氣的輔助空氣噴出體。
此外，如圖6所示，基板移載裝置112在位置固定狀態下祐j殳置在地面上，以使其相對于位于基板移栽位置P4的收納容器2而位于容器主體41的形成有基板取放口 44的一端部側。
如圖1、圖5及圖6所示，容器運送機構111構成為具有升降機構61，在與基板移載裝置112的基板取出方向的上游側鄰接的狀態下被設置；塔式起重機7,在與該升降機構61的基板取出方向上游側鄰接的狀態下被設置。
并且，在借助容器運送機構111向基板移載位置P4 (參照圖6 )運送收納容器2時，首先，借助塔式起重機7使收納容器2向基板取出方向的下游側水平移動到上方位置Pl (參照圖5(a)),之后使收納容器2從上方位置P1向鉛直下方下降移動至中間位置P3 (參照圖5 (c))，卸載以使收納容器2載置支承在升降機構61上。之后，借助升降機構61使收納容器2從中間位置P3向鉛直下方下降移動到基板移載位置P4 (參照圖6 )。
此夕卜，在借助容器運送機構111從基板移載位置P4運送收納容器2時，首先，借助升降機構61使收納容器2從基板移栽位置P4向鉛直下方上升移動到中間位置P3。之后借助塔式起重機7抓取升降機構61上的收納容器2，使該收納容器2從中間位置P3向鉛直上方上升移動到上方位置Pl，之后使收納容器2從上方位置P1向基板取出方向的上游側水平移動。
并且，設定蓋脫離位置P2，使得在借助起重機7使收納容器2在上方位置Pl與中間位置P3之間沿鉛直方向升降移動期間收納容器2通過蓋脫離位置P2 (參照圖5 (b))。
即，升降機構61相當于栽置下降臺，載置支承收納容器2而使收納容器2從比基板移栽位置P4更靠上方且比蓋脫離位置P2更靠下方的中間位置P3向鉛直下方下降移動至基板移載位置P4;塔式起重機7相當于移載裝置，用于使收納容器2載置在升降機構61上而使收納容器2從比蓋脫離位置P2更靠上方的上方位置P1向鉛直下方下降移動至中間位置P3;由塔式起重機
237和升降機構61構成的容器運送機構111構成為，使收納容器2從蓋脫離位置P2向鉛直下方下降移動至基板移載位置P4而進行運送。
如圖1所示，升降機構61構成為具有載置支承收納容器2中的容器主體41而進行升降移動的左右一對的支承臺63、分別升降自如地引導支承該左右一對的支承臺63的左右一對的引導支柱64。
并且，如圖6所示，升降機構61構成為，為了使收納容器2中的栽置支承移載對象的基板1的支泉板45位于與基板移載裝置112對應的移載高度，在基板移載位置P4中升降自如地支承收納容器2。
即，升降機構61構成為，使收納容器2在作為使收納在容器主體41的最下位置上的M 1位于能夠借助基板移載裝置112移栽的高度的基板移載位置P4的上升側基板移栽位置P5(參照圖6(d))、和作為使收納在容器主體41的最上位置上的基板1位于能夠借助基板移載裝置112移載的高度的基板移載位置P4的下降側基板移載位置P6 (參照圖6(e))的范圍內升降移動，使收納容器2中的移栽對象的基板1及載置支承該M 1的支*45位于與基板移載裝置112對應的移載高度。
在基板運送設備中，在位置固定狀態下將固定蓋121設置在比移載對象的基板1更靠下方且在基板移載方向中與位于基板移載位置P4的收納容器2的基板取放口 44接近的位置上，以便封閉位于基板移載位置P4的收納容器2的基板取放口 44中的比移栽對象的基板1更靠下方的部分，借助該固定蓋121封閉在上升側基板移載位置P5和下降側基板移載位置P6之間升降移動的收納容器2的M取故口 44中的比移載對象的基板1更靠下方的部分。
此外，固定蓋121以在上下方向看與141移載裝置112的浮起用空氣噴出體71重合的方式設置，在基板移載裝置112的下方在與基板移載裝置112接近的狀態下以不妨礙基于基板取放機構73的基板1的移載及基于浮起用空氣噴出體71的J4SL 1的浮起的方式設置。
如圖5所示，在基板運送設備上設有作為蓋脫離機構的蓋拆裝機構122，該蓋拆裝機構122在收納容器2位于蓋脫離位置P2的狀態下使蓋部件42從容器主體41脫離，借助該蓋拆裝機構122，除了上述的蓋部件42的脫離之外，還可以在收納容器2位于蓋脫離位置P2的狀態下使蓋部件42安裝在容器主體41上。蓋拆裝機構122構成為具有承接支承體123，在基于容器運送機構111的收納容器2的向基板移載位置P4的下降移動中途的蓋脫離位置P2處承接支承蓋部件42的被支承部119而使蓋部件42從容器主體41脫離。
即，如圖5及圖7所示，在借助塔式起重機7以通過蓋脫離位置P2的方式使安裝有蓋部件42的收納容器2從上方位置Pl向鉛直下方下降移動至中間位置P3時，在蓋脫離位置P2處蓋部件42的被支承部119被承接支承體123承接支承而蓋部件42從容器主體41脫離。
此外，在借助塔式起重機7以通過蓋脫離位置P2的方式使蓋部件42被脫離了的收納容器2從中間位置P3向鉛直上方上升移動至上方位置Pl時，在蓋脫離位置P2中蓋部件42的被卡合部115被卡合支承在容器主體41的卡合部114上而蓋部件42被安裝在容器主體41上
若說明承接支承體123,則如圖l所示，承接支承體123以承接支承位于蓋部件42的橫寬方向兩側的被支承部119的方式被設置在位于基板移載位置P4的收納容器2的橫寬方向兩側，以分別被支承在一對的引導支柱64上的方式被支承在升降機構61上。
并且，如圖4所示，承接支承體123以從引導支柱64向基板取出方向的下游側突出的方式設置，構成為在其頂端部具有被支承部119 (兩個旋轉體120)卡入的卡入凹部124。
如圖4所示，卡入凹部124的承接支承被支承部119的底面形成為越靠基板取出方向的下游側越位于上方的傾斜面。
從而，因為卡入凹部124的底面被形成為如上所述的傾斜面，形成為直徑相同的大小的兩個旋轉體120以相同的高度被設置在蓋部件42上，蓋部件42的重心位于兩個旋轉體120的中間且下方，并且蓋部件42繞橫軸心擺動自如地被支承在容器主體41上，所以在收納容器2下降移動而借助承接支承體123承接支承兩個旋轉體120時，首先，排列方向的蓋部件側(M取出方向的下游側)的旋轉體120最先與卡入凹部124的底面接觸，隨著蓋部件42相對于容器主體41向上方相對地移動，蓋部件42以將被卡合部115作為支點而下部從容器主體41遠離的方式擺動。
之后，排列方向的容器主體側(基板取出方向的上游側)的旋轉體120與卡入凹部124的底面接觸，下部從容器主體41遠離的蓋部件42的擺動被限制。并且，進而隨著蓋部件42相對于容器主體41向上方相對地移動，,皮卡合部115從容器主體41的卡合部114分離，蓋部件42從容器主體41脫離。并且，在蓋部件42如此地從容器主體41脫離時，兩個旋轉體120被卡入凹部124的底面承接支承，除了蓋部件42的下部從容器主體41遠離的蓋部件42的擺動的限制之外，蓋部件42的下部與容器主體41接近的蓋部件42的擺動也被限制，因此抑制沿著排列方向的蓋部件42的擺動而防止蓋部件42的向容器主體41的接觸。
此外，被承接支承體123承接支承的蓋部件42構成為，借助卡入凹部124的傾斜面承接支承被支承部119而以越靠下部側越從容器主體41遠離的方式傾斜，因此在借助承接支承體123承接支承蓋部件42的狀態下使收納容器2在蓋脫離位置P2和基板移載位置P4之間升降移動時及在基板移載位置P4中使收納容器2升降移動時，容器主體41與蓋部件42不易摩擦，不易產生塵埃。
此外，卡入凹部124相當于限制部，在借助承接支承體123支承蓋部件42時限制蓋部件42的向從容器主體41遠離側的設定角度以上的由于自重導致的擺動。
卡入凹部124中的基板移載方向的兩側的側表面形成為越靠下方側在基板移栽方向中越位于凹部內方側的傾斜面，在被支承部119卡入卡入凹部124時被支承部119易于卡入卡入凹部124，易于借助承接支承體123承接支承蓋部件42。另外，卡入凹部124的底面的傾斜比側面的傾斜緩和。
并且，如圖6所示，蓋拆裝機構122 (承接支承體123)構成為，為了借助脫離了的蓋部件42封閉位于基板移栽位置P4的收納容器2的基板M口 44中的比移載對象的基板1更靠上方的部分，將脫離的蓋部件42支承在比移載對象的基板1更靠上方且在基敗移載方向中與位于基板移載位置P4的收納容器2的基板取放口 44接近的位置上，借助利用蓋脫離機構122脫離了的蓋部件42，封閉在上升側基板移載位置P5和下降側基板移載位置P6之間升降移動的收納容器2的基板取改口 44中的比移載對象的基板1更靠上方的部分。
即，蓋脫離位置P2是下述位置在上下方向看，被安裝在位于該蓋脫離位置P2的收納容器2上的蓋部件42與基板移載裝置112的浮起用空氣噴出體71重合的位置，此外，被安裝在位于蓋脫離位置P2的收納容器2上的蓋部件42，以不妨礙基于基板取放機構73的基板1的移載及基于浮起用空氣噴出體71的基板1的浮起的方式被設定在基板移載裝置112的上方與基板移載裝置112接近的位置上。并且，因為是在上下方向看^t安裝在位于蓋脫離位置P2的收納容器2上的蓋部件42與基板移載裝置112的浮起用空氣噴出體71重合的位置，所以僅僅通過借助容器運送機構111使收納容器2從蓋脫離位置P2向鉛直下方下降移動而使其位于基板移載位置P4，就能夠使蓋部件42從容器主體41脫離，且能夠在基板移栽位置P4中的收納容器2的位置上使容器主體41與基板移栽裝置112的基板移栽方向上的間隔比蓋部件42的基板移載方向(排列方向)上的厚度小，能夠橫羞板移栽裝置112與收納容器2的容器主體41在基板移載方向上接近。由此，基于基板移栽裝置112的對于收納容器2的容器主體41的基板的移載易于進行。
在借助容器運送機構111將收納容器2運送至基板移載位置P4 (上升側基板移栽位置P5以下、下降側基板移載位置P6以上的位置)時，首先，借助塔式起重機7，使收納容器2向基板取出方向的下游側水平移動到上方位置P1(參照圖5(a)),之后使收納容器2從上方位置Pl向鉛直下方下降移動至中間位置P3(參照圖5( c ))，在該下降移動中途的蓋脫離位置P2(參照圖5 (b))中借助蓋拆裝機構122使蓋部件42從容器主體41脫離，以栽置支承在升降機構61上的方式卸下使蓋部件42脫離了的收納容器2。之后，借助升降機構61使蓋部件42脫離了的收納容器2從中間位置P3向鉛直下
方下降移動至M移載位置P4。
此外，在借助容器運送機構111從基板移載位置P4 (上升側基板移載位置P5以下、下降側基板移載位置P6以上的位置)運送收納容器2時，首先，借助升降機構61使蓋部件42脫離了的收納容器2從基板移載位置P4向鉛直上方上升移動至中間位置P3。之后，借助塔式起重機7抓取升降機構61上的收納容器2，使該收納容器2從中間位置P3向鉛直上方上升移動至上方位置Pl，在該上升移動中途的蓋脫離位置P2處借助蓋拆裝機構122將蓋部件42安裝在容器主體41上，之后使安裝有蓋部件42的收納容器2從上方位置Pl向基板取出方向的上游側水平移動。《第二實施方式》板狀體支承型
以下，參照

應用了本發明的基板用收納容器的基板運送設備的第二實施方式。
另夕卜，第二實施方式除了被支承部119的構成不同以外與第一實施方式為相同構成，所以對于與第一實施方式相同的構成標注相同的符號而省略i兌明，而主要說明不同于第一實施方式的構成。
27如圖8所示，在蓋部件42上，在下述狀態下設置被支承部119:在蓋本體116的上端部的橫寬方向兩側從蓋本體116向橫寬方向外側以及容器本體側突出的狀態。
該被支承部119由形成為板狀的板狀體126構成，其下表面形成為沿著排列方向的水平的平坦面。此外，在被支承部119的容器本體側的頂端部，在向下方突出的狀態下支M被卡合部115。
而且，板狀體126以比蓋部件42的重心靠上方且相對于重心從排列方向的容器本體側到蓋部件側沿著排列方向的姿態設置。另外，承接支承體123中的卡入凹部124的形狀與第一實施方式的稍有不同，但底面及側面形成為傾斜面這一點與第一實施方式的情況相同。
由此，由于卡入凹部124的底面如上所述地形成為傾斜面、板狀體126的下表面形成為沿著排列方向的水平的平坦面、且蓋部件42繞橫軸心擺動自如地支承在容器本體41上，所以在利用承接支承體123承接支承板狀體126時，首先板狀體126的排列方向的蓋部件側(a取出方向的下游側)的部分先與卡入凹部124的底面接觸，蓋部件42相對于容器本體41相對地向上方移動，與此相伴，蓋部件42以被卡合部115為支點而以下部從容器本體41分離的方式擺動，之后，板狀體126的排列方向的容器本體側(基板取出方向的上游側)的部分與卡入凹部124的底面接觸而限制蓋部件42的上述擺動。而且，隨著蓋部件42進一步相對于容器本體41相對地向上方移動，被卡合部115從容器本體41的卡合部114分離，蓋部件42從容器本體41脫離。
《第三實施方式》框支承型
以下，參照

應用了本發明的基板用收納容器的基板運送設備的第三實施方式。
另外，第三實施方式，因為除了卡合部114、被卡合部115、被支承部119以及承接支承體123的構成不同以外與第一實施方式為相同構成，所以對于與第一實施方式相同的構成標注相同的符號而省略^L明，而主要i兌明不
同于第一實施方式的構成。
如圖20所示，蓋部件42的被卡合部115由被卡合框46構成，所述被卡合框46在向容器主體側從蓋部件42突出的狀態下^t設置在蓋主體116的上端部上。
該被卡合框46構成為，在橫寬方向看形成為下方開口的3字狀，在橫寬方向并排設置一對連結框部分46a,其排列方向的蓋部件側的下端部被連結支承在蓋主體16上，在一對的連結框部分46a之間架設卡合用棒狀部分46b，其被連結支承在連結框部分46a中的排列方向的容器主體側的下端部上，該棒狀部分46b與容器主體41的卡合部114從上方卡合。
此外，在被卡合框46上具有支承用棒狀部分46c，其被作為承接支承體123的卡合部件65承接支承，該支承用棒狀部分46c被連結支承在連結框部分46a中的排列方向的容器主體側的下端部、且被架設在一對的連結框部分46a之間。即，被卡合框46構成為兼用作被卡合部件65承接支承的被支承部119，被卡合框46在從蓋主體116的上端部向上方側突出的狀態下被設置。
如圖19所示，承接支承體123在被支承在頂板部的狀態下被設置為承接支承位于蓋部件42的橫寬方向兩側的被支承部119，在收納容器2位于上方位置Pl的狀態下位于蓋主體116的上表面和被卡合框46的支承用棒狀部分46c之間。
《第四實施方式》壓力缸支承型
以下，參照

應用了本發明的基tl用收納容器的M運送設備的第一實施方式。
另外，第四實施方式，因為除了卡合部114、被支承部119以及蓋拆裝機構122的構成不同以外與第一實施方式為相同構成，所以對于與第一實施方式相同的構成標注相同的符號而省略說明，而主要說明不同于第一實施方式的構成。
如圖9所示，蓋部件42設有被卡合部115，該被卡合部115從排列方向中的蓋部件側的斜上方側與位于容器主體41中的一端部的上端部分的卡合部114卡合而被卡合支承在卡合部114上。即，蓋部件42構成為，能夠使蓋部件42相對于容器主體41向排列方向中的容器主體側的斜下方移動而使被卡合部115與卡合部114卡合而將蓋部件42安裝在容器主體41上，能夠使蓋部件42相對于容器主體41向排列方向中的蓋部件側的斜上方移動從而使被卡合部115從卡合部114脫離而使蓋部件42從容器主體41脫離。
如此地，蓋部件42構成為，相對于容器主體41從排列方向中的蓋部件側的斜上方側安裝自如且向排列方向中的蓋部件側的斜上方側脫離自如。
容器主體41的卡合部114，俯視形狀為圓形且形成為向下方凹入的形狀，被形成在與設置在蓋部件42上的被卡合部115對應的位置上，形成為越靠上方側越大徑的研缽狀。
從而，如圖9 (a)所示，在向容器主體41上安裝了蓋部件42的狀態下，被卡合部115與卡合部114卡合，從而在向容器主體41上安裝了蓋部件42的狀態下蓋部件42相對于容器主體41向水平方向的移動被限制。
此外，在向容器主體41上安裝了蓋部件42的狀態下，由于被卡合部115的頂端部被形成為球狀，所以蓋部件42在安裝在容器主體41上的狀態下以卡合部114為中心繞沿著橫寬方向的橫軸心擺動自如。
如圖9以及圖10所示，在蓋部件42上，分別在蓋主體116的橫寬方向橫側表面上設有向橫寬方向內方側凹入的被支承部128。
若說明被支承部128的形狀，則被支承部128的底側部分為在橫寬方向同徑的圓柱形狀，且形成為比該形成為球狀的頂端部的直徑稍大的直徑的大小，以便后述的壓力缸129嵌合。此外，被支承部128的入口側部分，形成
為橫寬方向內方側與底側部分同徑而越靠外方側直徑越小的形狀，以便將被嵌入的壓力缸129的頂端部分129a引導至底側部分。
此外，被支承部128沿著上下方向被兩個并排地分別設置在蓋主體116的橫寬方向橫側表面上。
如圖10所示，蓋拆裝機構122為，與位于蓋脫離位置P2的收納容器2中的蓋部件42的凈皮支承部128對應地沿著上下方向兩組并排一對的壓力缸129(省略一方的壓力缸129的圖示)而構成。 一對的壓力缸129，在以各自桿部的頂端部分129a相互遠近移動的方式對抗的狀態下被i殳置。
并且，蓋拆裝機構122構成為，如圖10(b)所示，在收納容器2位于蓋脫離位置P2的狀態下使一對的壓力缸129進行突出動作而使頂端部分129a相互地接近，從而借助一對的壓力缸129夾持蓋部件42，如圖10(a)所示，通過使一對的壓力缸129退回而使頂端部分129a相互地分離，從而解除基于一對的壓力缸129的對于蓋部件42的夾持。
即， 一對的壓力缸129中的頂端部分129a相當于一對的支承體，在支承蓋部件42的相互接近的接近位置和解除對于蓋部件42的支承的相互分離的分離位置之間沿著橫寬方向相互遠近移動自如。
另外，兩組一對的壓力缸129沿上下方向排列地支承在門型的支承4匡130上，該門型的支承框130以包圍在上方位置Pl和基板移載位置P4之間升降移動的收納容器2的橫寬方向兩側以及上方側的方式設置。
若對一對的壓力缸129的位置進行說明，則一對的壓力缸129設置在下
30述位置在收納容器2位于蓋脫離位置P2的狀態下通過4吏其突出動作而與被支承部128的入口側部分、詳細而言相對于底側部分在排列方向上位于蓋部側的斜上方的被抵接部分抵接。
而且，通過將被支承部128的入口側部分如上所述地形成，如圖9所示，形成有越靠近排列方向中的蓋部件側的斜上方位置越位于橫寬方向的容器外方側的引導面，用于隨著在收納容器2位于蓋脫離位置P2的狀態下一對的壓力缸129的頂端部分129a移動到接近位置，與一對的壓力缸129的頂端部分129a抵接的蓋部件42的被抵接部分借助與壓力缸129的頂端部分129a的抵接而使蓋部件42向排列的方向的蓋部件側的斜上方移動。
從而，如圖9所示，通過在收納容器2位于蓋脫離位置P2 (圖11 (a)參照)的狀態下使壓力缸129突出動作而令頂端部分129a向接近位置移動，壓力缸129的頂端部分129a與被支承部128卡合，能夠利用壓力缸129支承蓋部件42。而且，通過利用壓力缸129支承蓋部件42，由壓力缸129的頂端部分129a和被支承部128的被抵接部分構成的凸輪機構發生作用，蓋部件42相對于容器本體41向排列方向的蓋部件側的斜上方移動，蓋部件42從容器本體41脫離。
此外，在收納容器2位于蓋脫離位置P2的狀態下，通過^_壓力缸129退回動作而令頂端部分129a向分離位置移動，從而壓力缸129的頂端部分129a從被支承部128脫離，能夠解除基于壓力缸129的對蓋部件42的支承。而且，通過解除基于壓力缸129的對蓋部件42的支承，蓋部件42的被卡合部115沿著容器本體41的卡合部114的傾斜被引導，蓋部件42相對于容器本體41向排列方向的容器本體側的斜下方移動，蓋部件42被安裝在容器本體41上。
而且，由壓力缸129支承的蓋部件42相對于容器本體41位于排列方向的蓋部件側的斜上方而退避在從容器本體41分離的位置，所以在蓋部件42由壓力缸129支承的狀態下使收納容器2在蓋脫離位置P2和基板移載位置P4之間升降移動時、及在基板移載位置P4處使收納容器2升降移動時，容器本體41不易與蓋部件42摩擦，不易產生塵埃。
在利用容器運送機構111將收納容器2運送至基板移載位置P4時，首先利用塔式起重機7將收納容器2向基板取出方向的下游側水平移動到蓋脫離位置P2 (參照圖11 (a)),之后令一對的壓力缸129的頂端部分129a向接近位置移動而使蓋部件42從停止在蓋脫離位置的容器本體41脫離。然后，將蓋部件42脫離后的收納容器2從蓋脫離位置P2向鉛直下方下降移動到中間位置P3(參照圖ll(b))，將收納容器2卸載以將其載置支承在升降機構61上。然后，利用升降機構61將收納容器2從中間位置P3向鉛直下方下降移動到基板移載位置P4。
此外，在利用容器運送機構111將收納容器2從基板移載位置P4進行運送時，首先利用升降機構61將收納容器2從基板移栽位置P4向鉛直上方上升移動至中間位置P3。然后利用塔式起重機7 4^升降機構61上的收納容器2,從中間位置P3將該收納容器2向鉛直上方上升移動至蓋脫離位置P2,然后令一對的壓力缸129的頂端部分向分離位置移動而將蓋部件42安裝在容器本體41上。之后，使安裝有蓋部件42的收納容器2向基板取出方向的上游側從蓋脫離位置P2水平移動。《其他實施方式》
(1) 在上述第一~第三實施方式中，以在利用塔式起重機7使收納容器2在上方位置Pl和中間位置P3之間沿著鉛直方向升降移動期間收納容器2通過蓋脫離位置P2的方式設定蓋脫離位置P2，但也可以如圖12所示，以在利用升降機構61使收納容器2在中間位置P3和基板移載位置P4之間沿著鉛直方向升降移動期間收納容器2通過蓋脫離位置P2的方式設定蓋脫離位置P2。
此時，升降機構61相當于支承下降臺，載置支承收納容器2而使收納容器2從比蓋脫離位置P2更靠上方的上方位置Pl下降移動到基板移載位置P4，塔式起重機7相當于備用運送機構，為了使收納容器2栽置在支承下降臺上而將收納容器2運送到上方位置P1。此外，塔式起重機7使收納容器2沿著水平方向向141取出方向的下游側移動而使收納容器2水平移動到比上方位置更靠上方的上端位置PO(參照圖12(a))，之后使收納容器2從上端位置P0向鉛直下方下降移動到上方位置Pl (參照圖12 (b))，卸載以使收納容器2載置支承在升降機構6上。
(2) 在上述第四實施方式中，將利用移載裝置7向水平方向移動的位置作為蓋脫離位置P2，但也可以如下地設定蓋脫離位置P2:與第一~第三實施方式相同，借助塔式起重機7，使收納容器2向基板取出方向的下游側水平移動到上方位置Pl,之后使收納容器2從上端位置Pl向鉛直下方下降移動到中間位置P3，以在利用移栽裝置7使收納容器2在上方位置Pl和中間位置P3之間沿著鉛直方向升降移動期間收納容器2通過蓋脫離位置P2的方式設定蓋脫離位置P2。
此外，在上述各實施方式中，也可以利用塔式起重機7—邊使收納容器2向基板取出方向的下游側移動一邊使其下降移動到上方位置Pl。
(3) 在上述各實施方式中，容器運送機構111包括使收納容器2從上方位置Pl或蓋脫離位置P2向鉛直下方下降移動到中間位置P3的塔式起重機7、和使收納容器2從中間位置P3向鉛直下方下降移動到基板移載位置P4的升降機構61，但是容器運送機構111也可以由使收納容器2從上方位置Pl或蓋脫離位置P2向鉛直下方下降移動到基板移載位置P4的塔式起重機7構成。
(4) 在上迷各實施方式中，蓋脫離機構122構成為，為了借助脫離的蓋部件42封閉位于基板移載位置P4的收納容器2的基板取放口 44中的比移載對象的基板1更靠上方的部分，被支承在下述位置比通過脫離的蓋部件42的移栽對象的基板1更靠上方且在基長移載方向上與位于基板移栽位置P4的收納容器2的基板取改口 44接近的位置，但蓋脫離機構122也可以構成為，被支承在下述位置而使得不借助脫離了的蓋部件42封閉位于M移栽位置P4的收納容器2的基板取放口 44:比位于基長移載位置P4的收納容器2更靠上方、或在基板移載方向上與位于基板移載位置P4的收納容器2的基板取放口 44分離。
此外，設有封閉位于基板移載位置P4的收納容器2的基板取放口 44中的比移載對象的基板l更靠下方的部分的固定蓋121，但也可以不設置該固定蓋121。
(5) 在上述各實施方式中，容器主體2構成為在沿著上下方向隔開間隔的狀態下配備栽置支承基板l的支承板45，基長移載裝置112構成為具有浮起用空氣噴出體71和取出機構73,利用取出機構73移載借助浮起用空氣噴出體71浮起的基板l，但是容器主體2也可以構成為在沿著上下方向隔開間隔的狀態下配備載置支承基板l的橫寬方向兩端部的支承件，基板移載裝置112也可以構成為，具有載置支承基板l的橫寬方向中間部的叉裝置，借助叉裝置載置支承且移載基板。
(6) 在上述各實施方式中，在容器主體的一端部的上表面上具有向下方凹入的被卡合部，蓋部件與容器主體的上端部卡合，但是也可以構成為，在容器主體的橫側部上具有向橫向外方突出的被卡合部，蓋部件與容器主體的橫側部卡合。(7 )在上述實施方式中，將卡合部設置在比蓋部件的重心更靠容器主體側，在向容器主體上安裝了蓋部件的狀態下蓋部件借助自重向容器主體側受到施力，
但是也可以構成為具有向容器主體側對蓋部件施力的施力機構，蓋部件借助基于施力機構的作用力而向容器主體側受到施力。
(8 )在上述各實施方式中，沿著開口的周圍的全周形成排氣用的間隙，但是也可以在開口的周圍的 一部分上形成排氣用的間隙，例如在開口的上方側及下方側使容器主體與蓋部件貼緊而在開口的橫寬方向的兩側形成排氣用的間隙等。
此外，也可以在蓋部件上形成排氣孔而從排氣孔排出收納容器內的空氣。
(9) 在上述各實施方式中，為了形成排氣用的間隙而在容器主體與蓋部件之間設置襯墊，但是也可以將蓋部件自身形成為形成有排氣用的間隙的形狀。另外，也可以在容器主體上設置襯墊，此外也可以將容器主體形成為形成有排氣用的間隙的形狀。
(10) 在上述各實施方式中，使基板移載裝置112和基板移載位置P4的收納容器2中的基板移載位置P4的收納容器2升降移動，使收納容器2中的支承移載對象的基板1的支泉板45位于與基板移載裝置112對應的高度，但是也可以使基板移載裝置112和基板移載位置P4的收納容器2中的基板移載裝置112升降移動，使收納容器2中的支承移載對象的基板1的支承板45位于與基板移載裝置112對應的高度。
(11) 在上述各實施方式中，基板的形狀為被用于液晶顯示器及等離子顯示器的玻璃基板等的矩形狀的基板，但是用途及基板的形狀能夠適宜變更，例如被用于IC芯片的半導體晶片等的圓形狀的基板等。
(12) 在上述第一實施方式中，在直徑形成為相同的大小且各旋轉體120的旋轉軸為相同高度的狀態下沿著排列方向并列地設置構成被支承部119的兩個旋轉體120，且兩個旋轉體120的下端的高度為相同的高度，但是位于蓋部件側的旋轉體120的下端的高度也可以比位于容器主體側的旋轉體120的下端的高度低。
即，如圖13 (a)所示，也可以在直徑形成為相同的大小且位于排列方向的蓋部件側的旋轉體120的高度比位于排列方向的容器主體側的旋轉體120的高度低的狀態下，沿著排列方向排列地設置構成被支承部119的兩個
34旋轉體120，此外，也可以如圖13 (b)所示，在將位于排列方向的蓋部件側的旋轉體12 0形成為比位于排列方向的容器主體側的旋轉體直徑大且各旋轉體120的旋轉軸為相同高度的狀態下，沿著排列方向排列地設置構成被支承部119的兩個旋轉體120。
在如此地構成時，與上述第一實施方式相同，在收納容器2下降移動而利用承接支承體123承接支承兩個旋轉體120時，首先，排列方向的蓋部件側的旋轉體120最先與卡入凹部124的底面接觸而蓋部件42擺動，之后，排列方向的容器主體側的旋轉體120與卡入凹部124的底面接觸而蓋部件42的擺動被限制。
此外，卡入凹部124的底面的形狀能夠適宜地變更為形成為水平面等，只要是排列方向的蓋部件側的旋轉體120比排列方向的容器主體側的旋轉體120先與卡入凹部124的底面接觸的形狀就可以。
U3)在上述第一及第二實施方式中，在沿著排列方向排列的狀態下將多個旋轉體120設置在蓋部件42上或者以沿著排列方向的姿態方式將板狀體126設置在蓋部件42上，從而在沿著排列方向的狀態下將被支承部119設置在蓋部件42上，但是也可以如下如圖14 (a)所示，在沿著上下方向排列的狀態下將多個旋轉體120設置在蓋部件42上，或者如圖15(a)所示，以沿著上下方向的姿態將板狀體126設置在蓋部件42上，從而在沿著上下方向的狀態下將被支承部119設置在蓋部件42上。
并且，在沿著上下方向的狀態下如此地將被支承部119設置在蓋部件42上時，如圖14 (b)以及圖15 (b)所示，將卡入凹部124的入口側部分中的基板移栽方向的兩側的側表面形成為越靠下方側在基板移載方向中越位于內方側的傾斜面，將卡入凹部124的底側部分中的基板移動方向的兩側的側表面形成為從入口側部分下端向鉛直下方延伸的鉛直面。并且，在使蓋部件42從容器主體41脫離時，使被支承部119與卡入凹部124的向鉛直下方凹入的底側部分嵌合而限制被支承部119的傾斜,從而能夠抑制蓋部件42的沿著排列方向的擺動。
此外，未圖示，也可以構成為將卡入凹部124的底側部分中的基板移載方向的兩側的側表面形成為從入口側部分下端向斜下方伸出的傾斜面，在蓋部件42從容器主體41脫離時，使被支承部119與向卡入凹部124的斜下方凹入的底側部分嵌合，使利用承接支承體123承接支承的蓋部件42成為越靠下部側越遠離容器主體41的傾斜的姿態。(14)在上述第一及第二實施方式中，在限制沿著排列方向的蓋部件42的擺動的狀態下，借助卡入凹部124承接支承被支承部119，但是也可以構成為在不限制沿著排列方向的蓋部件42的擺動的狀態下，借助卡入凹部124承接支承被支承部119，例如由一個旋轉體120構成被支承部119等。
此外，在如上述地構成時，在向容器主體41上安裝了蓋部件42的狀態下，將利用卡入凹部124承接支承被支承部119時的蓋部件42的擺動軸心設定在比蓋部件42的重心更靠排列方向的蓋部件側，從而在利用卡入凹部124承接支承被支承部119時，能夠以越靠下部側越遠離容器主體42的方式使蓋部件42傾斜。
《參考實施方式》
作為參考實施方式而參照

收納有應用了本發明的基板用收納容器的自動倉庫、及具有載置運送從收納容器取出的基板及收納至收納容器中的基板的輸送器的J41運送設備。另外，在以下的說明中，例示應用了本發明的第三實施方式的情況，但也能夠應用第一、第二及第四實施方式。
如圖16所示，基板處理i殳備構成為具有物品收納架5，具有多個收納部4,收納在沿上下方向隔開間隔且排列的狀態下保持多張矩形狀的a1的收納容器2;塔式起重機7，作為在收納部4與基板取放部6之間運送收納容器2的收納容器運送裝置；！4SL運送裝置8,從位于基板取放部6的收納容器2—張張地取出基板1而運送至處理基板l的基板處理裝置(未圖示)，并且將從基板處理裝置運送來的基板1一張張地收納至收納容器2中。
并且，在該基板處理設備中， 一邊將收納容器2保管至物品收納架5中一邊將保管的收納容器2運送至基板取放部6，從被運送至該基板M:部6的收納容器2以一張為單位取出基板1而運送至基板處理裝置而進行既定的處理，將進行了該既定的處理的基板1向位于基板取放部6的收納容器2以一張為單位進行收納。
如圖16以及圖17所示，在物品處理設備中，在凈室13中設置有使凈化空氣從頂板部向地板部通風的下流動式的凈化空氣通風機構23，在該下流動的凈室13內裝備有收納架5、塔式起重機7、以JS^板運送裝置8。
若對凈化空氣通風機構23進行說明，則如圖17所示，凈化空氣通風機構23構成為，凈室13的地板部由多孔狀的格子地板14形成，凈室13的頂板部利用由HEPA過濾器等構成的空氣過濾器15形成，并且借助具有通風風扇18及預濾器21的循環路19將形成在格子地板14的下方側的吸氣室16
36和形成在空氣過濾器15的上方側的腔箱室17連通，使凈室13內的空氣在預濾器21和空氣過濾器15中一邊凈化一邊循環，使凈化空氣從頂板部向地板部通風。并且，在循環路19上，外部氣體取入流路20連接在比通風風扇18更靠上游側，排氣流路22連接在比通風風扇18更靠下游側，利用凈化空氣通風機構23循環的凈室13內的空氣的一部分與外部氣體進行交換。
此外，如圖16所示，在利用J4l運送裝置8在基板M部6的收納容器2和基板處理裝置之間運送基板1的基板運送區域24中設有覆蓋基板運送空間的分隔壁25，使得物品收納架5側的端部開放而基板處理裝置側的端側與基板處理裝置連通，在該分隔壁25的頂板部設有多個區域用風扇過濾器單元26。并且，利用多個區域用風扇過濾器單元26使將凈室13的凈化空氣進一步凈化了的凈化空氣從頂板部通風至地板部側，將由分隔壁25覆蓋的基板運送空間作為向下流動的空間。
如圖16以及圖17所示，各個物品收納架5，沿著架橫寬方向排列地立設有由沿著架前后方向排列的前后一對的支柱構成的支柱組28，跨越構成支柱組28的前后一對的支柱沿著上下方向排列地架設有多個物品支承部29，在縱橫地排列的狀態下設置有多個在利用物品支承部29栽置支承的狀態下收納收納容器2的收納部4。此外，物品收納架5，在相互對置的狀態下在格子地板14上設置一對。
并且，設置在物品收納架5中的多個收納部4中的一部分被作為基板取放部6。若進行說明，則如圖18所示，設置在物品收納架5中的最下層的多個收納部4中的一部分的收納部4被作為基板取放部6，構成為能夠相對于收納在該收納部4中的收納容器2通過物品收納架5的背面側而利用基板運送裝置8 —張張地取出及收納基板2。
如圖16以及圖17所示，塔式起重機7構成為，具有移動臺車31，在移動空間中沿著其長度方向行進移動，上迷移動空間形成在相互對置的狀態下設置的一對的收納架5之間；升降臺33，升降自如地引導支承在一對的升降柱32上，該一對的升降柱被立設在移動臺車31上且沿臺車行進方向排列；叉式的物品移載裝置34，被支承在升降臺33上且能夠在收納部4和自身之間移載收納容器2，借助移動臺車31的水平移動、升降臺33的升降移動、以及物品移載裝置34的動作，在作為^L取放部6的收納部4和除此之外的收納部4之間運送收納容器2。
如圖18所示，物品移栽裝置34包括繞上下軸芯旋轉自如的旋轉臺35、以及進退移動自如地支承被設置在該旋轉臺35上的載置部36的連桿機構37。并且，物品移栽裝置34構成為，能夠借助連桿機構37的伸縮而切換使物品移載裝置34在升降臺33上退回的狀態及使物品移載裝置34向收納部4側突出的狀態，并且能夠借助旋轉臺35的旋轉而180度變更物品移載裝置34的進退方向。
基板運送裝置8，如圖18所示，構成為在位于基板M:部6的收納容器2和基板輸送器51之間一張張地交接基板1。并且，作為基板運送裝置8，具有收納容器2，在沿著上下方向隔開間隔的狀態下并設有多個載置支承基板1的支承板45;基板運送輸送器51，載置運送基板1;基板中繼單元70，從收納容器2 —張張地取出基板1而給出到基板運送輸送器51上，并且一張張地將從基板輸送器51接收的基板1收納到收納容器2中；升降機構61,升降自如地支承位于基板Wt部6的收納容器2;控制裝置H(參照圖34)，控制基板運送裝置8的動作。
接著，若對基板運送裝置8進行詳細地說明，則將基4l取出方向的下游側(基板收納方向的上游側)作為前方側，將基板取出方向的上游側收納方向的下游側)作為后方側，將沿著基板取出方向(基板收納方向)的方向稱為前后方向，將與該方向交叉的方向作為橫寬方向而進行說明。[收納容器〗
如圖20以及圖21所示，收納容器2構成為具有容器主體41，形成為前后面開口的橫倒姿態的四邊形筒狀；蓋部件42,在閉塞前面的開口的狀態下設置在容器主體41的前側端部上；風扇過濾器單元43，在閉塞后面的開口的狀態下設置在容器主體41的后側端部上；多個支承板"，在沿著上下方向隔開間隔的狀態下并設在收納容器2內。
容器主體41，借助框架材料框架形成為長方體形狀且借助板材使左右面及上下面的開口閉塞，從而形成為上述的前后面開口的橫倒姿態的四邊形筒狀。并且構成為，將容器主體41的前面的開口作為^4SL取放口 44，能夠相對于容器主體41通過基板取放口 44進行基板1的取放。
如圖20所示，蓋部件42,以形成與M取放口 44相同形狀的開口的方式利用蓋形成用的框架材料被框架形成，該開口被透明的板材閉塞。
此外，在蓋部件42上設置從上方與容器主體41卡合的被卡合框46。即，蓋部件42構成為，使蓋部件42相對于容器主體41向下方移動而使被卡合框46與容器主體41卡合，從而能夠將蓋部件42安裝在容器主體41上，通過使蓋部件42相對于容器主體41向上方移動而能夠4吏蓋部件42從容器主體41脫離。
并且，蓋部件42被形成為，在被安裝在容器主體41上的狀態下在與容器主體41之間形成間隙的形狀，利用風扇過濾器單元43被導入至收納容器2內的空氣通過在容器主體41和蓋部件42之間形成的間隙被排出至外部。
如圖21所示，風扇過濾器43被拆裝自如地安裝在容器主體41的后端部，以便從容器主體41的后面的開口向基板取放口 44通風。
另外，省略詳細的說明，在風扇過濾器43上具有受電部和蓄存被供給至該受電部的電力的電池，風扇過濾器單元43構成為，在收納容器2被收納至收納部4中的狀態下，借助從配備在各個收納部4上的供電部供給至受電部的電力而動作，在收納容器2被塔式起重機7運送時等的受電部從供電部分離而電力不被供給至受電部的狀態下，借助蓄存在電池中的電力進行動作。
如圖22所示，多個支承板45分別具有支承用基板47，借助沖壓加工形成有向上方突出的多個突起部48;限制部件49，限制載置支承的基板l的向橫寬方向及后方的移動。并且，突起部48的上表面形成為水平的平面而作為載置支承基長1的載置面48a。
此外，多個支承板45分別如圖24等所示，其前端部分45a的上表面形成為越靠前方側越位于下方的傾斜的平面，前端部分45a以及突起部48之外的部分的上表面形成為水平的平面，載置支承基板l的支承預定區域E從前端部分45a遍及除此之外的部分而i殳定。
此外，突起部48為直徑10,的圓形狀且形成為比玻璃基板1的厚度薄的厚度0. 2咖。
并且，在多個支承板45的各個上，在支承用基板W上在前后方向及沿橫寬方向上并設突起部48，從而形成凹入部50。
若進行說明，則支承板45中的不形成突起部48的部分比載置面48a更向下方凹入。如上所述，通過在支承用基板47上并設突起部48,比載置面48a更向下方凹入的凹入部50形成為格子狀，從而如此地形成的凹入部50為從支承預訂區域E的中央部向支承預訂區域E的外部延伸的形狀，且形成為在支承預訂區域E中的從前端部直到后端部直線狀地延伸的形狀。通過將空氣供給至支來板45的上表面和M 1的下表面之間，基板1從支*45浮起，但是在向支承板45的上表面和基板1的下表面之間的空氣的供給被停止時，例如如圖22的虛線箭頭所示，在支承板45和基板1之間存在的空氣沿著凹入部50流動到支承預訂區域E的外部。其結果，能夠迅速地排出在支承板45和基板1之間存在的空氣，能夠借助突起部48穩定地載置支承基板l。
限制部件49，在支承用基板47的后端部中沿著橫寬方向隔開間隔地并設，使得位于支承預訂區域E的左右兩側，使得在支承用基板47的左右兩側部中沿前后方向隔開間隔地并設且位于支承預訂區域E的后方側。
接著，說明基板中繼單元70。
如圖18及圖19所示，基板中繼單元70，構成為借助沿橫寬方向行進的行進臺車74沿橫寬方向移動自如，且構成為，在與位于基板取故部6的收納容器2之間一張張地取出或收納基板1時，基板中繼單元70借助行進臺車74的行進被配置在與位于基板ML部6的收納容器2鄰接的位置上。
如圖23所示，基板中繼單元70構成為，具有浮起用空氣噴出體71,在取出對象或者收納對象的基板1的下表面和載置支承該基板1的支承板45的上表面之間噴出空氣；供給用空氣噴出體72，向比浮起用空氣噴出體71更靠基板取出方向的下游側供給空氣；基板Wi機構73,在使借助基于浮起浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72的上方的狀態下從收納容器2將其取出，并且，在使借助基于浮起用空氣噴出體71的空氣的噴出而浮起
方以位于載置支承該基板l的支承板45上的狀態下收納至收納容器2中。此外，基板取放機構73兼用作將基板1從收納容器2取出的取出機構
和將基板1向收納容器2收納的收納機構。[行進臺車]
如圖18及圖19所示，行進臺車74，具有分別與沿橫寬方向設置的一對的行進用導軌76對應地設置而被行進用馬達77驅動旋轉的行進用車輪78，構成為支承浮起用空氣噴出體71、供給用空氣噴出體72 M板取放機構73，構成為借助行進用馬達77使行進用車輪78旋轉驅動從而使基板中繼單元70向橫寬方向行進移動而能夠移動到與收納容器2鄰接的位置和與基板輸送器51鄰接的位置。
載置支承運送機構88構成為，在從收納容器2取出基板1時，栽置支承被夾持運送機構81運送至中繼位置的取出對象的基板l，將取出對象的基板1從中繼位置運送到取出對象的M 1的整體位于收納容器2外部的取出位置(參照圖29 ),在將基板1收納到收納容器2中時，將從基板輸送器51接收的收納對象的基板1從取出位置運送到中繼位置。
此外，載置支承運送機構88構成為，在使基板中繼單元70沿橫寬方向行進移動時，在基板1的整體位于載置支承運送機構88上的取出位置上載置支承基板1,并且將位于取出位置的取出對象的基板1給出到基板輸送器51上，將從基板運送輸送器51接收的收納對象的基板1運送到取出位置。若對于栽置支承運送機構88進行說明，則載置支^il送機構88構成為設置有送風式支泉bli構52，向基板1的下表面供給空氣而以水平姿態以非接觸狀態支承基板；推進力提供機構53，對于被該送風式支承機構53支承的基板1提供運送方向的推進力。
送風式支承機構52構成為具有被設置在基板1的運送路徑的下方而向上方送出空氣的鼓風機54、被設置在該鼓風機54和1^11的運送路徑之間的多孔狀的調風板55、將空氣運送至鼓風機54的輸送器用空氣供給裝置56(參照圖34)。此外，推進力提供機構53構成為具有多個支承用運送輥57，沿基板取出方向并設而與基板l的下表面接觸；夾持用運送輥58，與位于中繼位置的基板1的上表面接觸而借助與支承用運送輥57的協作而夾持基板l，支承用運送輥57及夾持用運送輥58沿著橫寬方向設置一對，以便載置支承及夾持基板l中的橫寬方向的兩端部。
作為多個支承用運送輥57，設置有帶凸緣的支承用運送輥57，具有限制基板l的向橫寬方向的移動的凸緣；不具有凸緣的無凸緣的支承用運送輥57，無凸緣的支承用運送輥57被配設在載置支^il送機構88 (基板取放機構73)的基板取出方向的上游側端部，以便與位于中繼位置的基板l的下表面接觸且借助與夾持用運送輥58的協作夾持基板1，帶凸緣的支承用運送輥57以不與位于中繼位置的基板1的下表面接觸的方式被并設在載置支承運送機構88 (基板M:機構73 )的比無凸緣的支承用運送輥57更靠基板取出方向的下游側。
此外，夾持用運送輥58與無凸緣的支承用運送輥57相同，被配設在載置支^il送機構88 (基板Wi機構73)的基板取出方向的上游側端部。
即，載置支^送機構88構成為，中繼位置為基板l的基板取出方向的下游側端部被多個支承用運送輥中的無凸緣的支承用運送輥57支承且利用無凸緣的支承用運送輥57與夾持用運送輥58的協作被夾持的位置，基于夾持運送機構81的取出對象的基板1的運送，以基板1的基板取出方向的下游側端部位于載置支^it送機構88的基板取出方向的上游側端部的方式以被支承用運送輥57和夾持用運送輥58夾持的方式運送。
總之，中繼位置，M板l的基板取出方向的下游側端部利用被配設在栽置支承運送機構88的基板取出方向的上游側端部的無凸緣的支承用運送輥57和夾持用運送輥58的協作被夾持的位置，因為是接近于收納位置的位置，所以基于夾持運送裝置81的基板1的運送距離縮短，所以能夠縮短夾持部82的移動距離。
此外，支承用運送輥57及夾持用運送輥58進行載置支承及夾持的位置，以位于比夾持運送機構81進行夾持的位置在橫寬方向上更靠外方側方式配設支承用運送輥57及夾持用運送輥58。由此，基于夾持運送機構81的基板1的運送范圍和基于載置支承運送機構88的基板l的運送范圍在基板取出方向上重合。由此，能夠借助夾持運送機構81將基板1運送至能夠借助載置支M送機構88運送基板1的中繼位置，反之，借助夾持運送機構88將基板1運送至能夠借助載置支^:送機構81進行運送的中繼位置。其結果，能夠可靠地進行夾持運送機構81與載置支^it送機構88之間的交接。而且，在將基板1從夾持運送機構81交接至載置支承運送機構88時，從在夾持部82夾持基板1的狀態轉換為載置支承基板的狀態，能夠在借助支承用運送輥57與夾持用運送輥58的協作來夾持基板1的狀態下進行運送，所以能夠一邊可靠地進行在夾持運送機構81與載置支承運送機構88之間的交接一邊準確地運送基板l。
并且，載置支承運送機構88構成為，借助送風式支^構52以非接觸狀態支承基板1的橫寬方向中央部，并且借助推進力提供機構53接觸支承及夾持基板1的橫寬方向的兩端部，通過借助運送用馬達59驅動支承用運送輥57及夾持用運送輥58旋轉而沿著運送方向運送基板1。
此外，基板運送輸送器51與載置支承運送機構88相同，構成為具有具有鼓風機、調風板、空氣供給裝置的送風式支承機構；以及具有多個支承用運送輥的推進力提供機構。此外，在基板運送輸送器51上不設置夾持用運送輥。
如圖31所示，浮起用空氣噴出體71構成為具有空氣噴出口 91，向上方噴出空氣；引導曲面92，形成為從該空氣噴出口 91的基板取出方向的上游側端部向上方側延伸的形狀，以沿著浮起用空氣噴出體71的上表面向收納容器2側且沿水平方向流動的方式引導從空氣噴出口 91向上方噴出的空氣，在容器鄰接位置1中，兼用作向由基板取放機構73取出的取出對象的基板1以及被收納的收納對象的基板1的下表面與浮起用空氣噴出體71的上表面之間噴出空氣的輔助空氣噴出體。
即，如圖31 (a)中箭頭所示，從浮起用空氣噴出體71的空氣噴出口91向上方噴出的空氣，借助附壁效應而沿著引導曲面92流動，之后沿著與該引導曲面92相連的浮起用空氣噴出體71的上表面沿水平方向流動，且以該狀態向位于141取出方向的上游側的收納容器2向水平方向流動，因此，從空氣噴出口 91噴出的空氣，被引導曲面92引導，以便空氣向取出對象的基板1的下表面和浮起用空氣噴出體71的上表面之間噴出，之后向收納容器2側沿水平方向流動，以便空氣被噴出到取出對象的基板1的下表面和栽置支承該基板1的支承板45的上表面之間。
供給用空氣噴出體72，是與浮起用空氣噴出體71相同地構成的噴出體以沿水平方向流動的空氣的方向相反的方式"^置的部件，構成為具有反方向用空氣噴出口 93,向上方噴出空氣；反方向用引導曲面94，位于比該反方向用空氣噴出口 93更靠上方側且更靠基板取出方向的下游側，以沿著供給用空氣噴出體72的上表面向與收納容器2側相反側沿水平方向流動的方式引導從反方向用空氣噴出口 93向上方噴出的空氣。
即，從反方向用空氣噴出體93噴出的空氣，向作為與收納容器2側相反側的基板取出方向的下游側沿水平方向流動，以便在容器鄰接位置A中將空氣供給到比浮起用空氣噴出體71的空氣噴出口 91更靠基板取出方向的下游側。
如圖23及圖32所示，浮起用空氣噴出體71以沿著橫寬方向隔開間隔的狀態被并設多個，供給用空氣噴出體72在橫寬方向上被配設在浮起用空氣噴出體71之間，多個浮起用空氣噴出體71和多個供給用空氣噴出體72以浮起用空氣噴出體71位于橫寬方向的兩端的狀態沿橫寬方向交替地排列為一列。由此，如圖32中箭頭所示，在運送基板l時，能夠將借助供給用空氣噴出體72噴出的空氣相對于浮起用空氣噴出體71的空氣噴出體91供給到基板取出方向的下游側。由此，即便由于來自浮起用空氣噴出體71的空氣噴出口 91的空氣的噴出，該基板取出方向的下游側變為負壓，也能夠借助來自供給用空氣噴出體72的空氣將該部分正壓化而適當地支承基板1。
并且，連設板96在上表面的高度與調風板55的上表面高度相同的狀態且向基板取出方向的上游側延伸的狀態被支承在基板Wt機構73的基板取出方向的上游側端部，供給用空氣噴出體72在其上表面與連設板96的上表面高度相同且與基板取出方向相連的狀態下被支承在連設板96上，浮起用空氣噴出體71在其上表面位于比連設板96的上表面靠下方幾毫米(例如2~3mm左右)的高度且在基板取出方向的下游側形成有從空氣噴出口 91噴出的空氣所通過的間隙的狀態下被支承在連設板96上。
即，浮起用空氣噴出體71以其上表面位于比供給用噴出體72的上表面更靠下方幾毫米的方式設置。
空氣從作為空氣供給裝置的噴出體用空氣供給裝置95 (參照圖34)被供給至浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72 ，該噴出體用空氣供給裝置95構成為自如調整供給的空氣的供給量。并且，通過將空氣從噴出體用空氣供給裝置95供給至浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72，浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72被切換為噴出空氣的噴出狀態，通過使從噴出體用空氣供給裝置95向浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72的空氣的供給停止，浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72被切換為使空氣的噴出停止的噴出停止狀態。
接著，說明控制裝置H。
構成為如圖33及圖34所示，在基板中繼位置70上設有檢測被夾持部82夾持的基板1及被夾持部82按壓的基板1的有無的基板有無檢測傳感器101、檢測收納容器2是否位于適合于基板1的取出及收納的高度的容器高度檢測傳感器102、檢測基板1是否位于取出位置的取出位置檢測傳感器103、檢測基板1是否位于中繼位置的中繼位置檢測傳感器104、以及使基于載置支承運送機構88的基板1的運送速度減速的減速位置檢測傳感器105,在基板取放部6上設有檢測基板1的部分是否從收納容器2突出到外部的基板突出檢測傳感器106，將來自這些檢測傳感器的檢測信號輸入至控制裝置H。
并且，控制裝置H構成為，基于來自這些檢測傳感器及上位的控制器的指令等，控制基板中繼單元70的行進臺車74、基板取放機構73及噴出體用空氣供給裝置95的動作，以及升降機構61以U板運送輸送器51的動作。
控制裝置H還具有以下功能，作為控制噴出體用空氣供給裝置95的動
向目:供給量階段地增多的空氣供^用控制機構、以及為了使載置支W出對象或者收納對象的基板1的支承板45位于與浮起用空氣噴出體71 M板取放機構73對應的高度(為取出用高度且為收納高度)而控制升降機構61的動作的升降用控制機構。
即，控制裝置H構成為，控制噴出體用空氣供給裝置95的動作，以便
出狀態時，從噴出體用空氣供給裝置9 5供給到浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72的空氣的量階段地增多，且從這些浮起用空氣噴出體71及
47供給用空氣噴出體72噴出的空氣的噴出量向目標供給量階段地增大。
此外，控制裝置H構成為，控制升降機構61的動作，從而在從收納容器2取出基板1或者收納基板1時，使載置支承該取出或收納的基板1的支承板45位于與浮起用空氣噴出體71及基板取放機構73對應的高度，使從浮起用空氣噴出體71噴出的空氣在取出或收納的基板1的下表面與載置支承該基板1的載置板45的上表面之間噴出，并且能夠借助夾持部82夾持或按壓利用基于浮起用空氣噴出體71的空氣的噴出浮起的基板1。
基板有無傳感器101在一對的夾持部82的各個上設置一對，以便檢測夾持作用部分83的稍前方的基板1的有無，控制機構H構成為，若一對的基板有無傳感器101的雙方為檢測出基板1的存在的檢出狀態，則判定為夾持或按壓基板1，若一對的基板有無傳感器101的一方為沒有檢測出基板1的非檢出狀態，則判定為沒有夾持或按壓基板1，若在借助夾持部82夾持或按壓的狀態下判定為沒有夾持或按壓基板1，則使基板運送裝置8的動作停止。
容器高度檢測傳感器102,在收納容器2內與多個支承板45的各個對應而設置為檢測沿上下方向并設的多個的檢測版107的有無，控制機構H構成為，若收納容器2為多個支承板45的某些個位于與浮起用空氣噴出體71及基板取放機構73對應的高度而借助容器高度傳感器102檢測出多個檢測板的某些個的檢出狀態，則判定收納容器2處于適當的高度，若收納容器2M應的高度沿上下方向偏離而容器高度檢測傳感器102為多個檢測板都沒有被檢測出的非檢出狀態，則判定收納容器2不處于適當的高度，若在相對于收納容器2取;^板1時判定收納容器2不處于適當的高度，則佳J41運送裝置8的動作停止。
取出位置檢測傳感器103，在與位于取出位置的基板1的基板取出方向的上游側端部對應的位置和與下游側端部對應的位置上i殳置一對，控制機構H構成為，若基板1位于取出位置而一對的取出位置檢測傳感器103為檢測出基板l的檢出狀態，則判定基板l位于取出位置，若基板l從取出位置偏離而一對的取出位置檢測傳感器103的一方或雙方為非檢出狀態，則判定基板l不位于取出位置。
中繼位置檢測傳感器104，在與位于中繼位置的基板1的基板取出方向的下游側端部對應的位置和比該位置更靠下游側的位置上以沿基板取出方向鄰接的狀態設置一對，控制機構H構成為，若位 M取出方向的上游側的中繼位置檢測傳感器104為檢測出基板1的檢出狀態、位于下游側的中繼位置檢測傳感器104為沒有檢測出基板1的非檢出狀態，則判定基板1位于中繼位置，若基板l從中繼位置偏離而一對的中繼位置檢測傳感器104的雙方為檢出狀態或非檢出狀態，則判定基板l不位于中繼位置。
減速位置檢測傳感器105，以取出用和收納用的一對在位于取出位置的基板l的前后寬度內的方式設置，控制機構H構成為，在借助栽置支承運送機構88將基板1從中繼位置運送到取出位置時，若運送開始后使運送速度立即加速到運送高速度，且取出用的減速位置檢測傳感器105為檢測出Ml的檢測狀態，則使運送速度減速，以《更成為比運送高速度低速的運送低速度，此外，在借助載置支承運送機構88將從基板運送輸送器51接收的基板1運送到取出位置時，若使從基板運送輸送器51接收的基板1的運送速度維持，且收納用的減速位置檢測傳感器105為檢出基板1的檢出狀態，則控制推進力提供機構53的動作，以使運送速度減速到比接收的基板的運iHii度更低的運送低速度。
基板突出檢測傳感器106，以檢測收納容器2的稍前方的基板1的有無的方式設置，控制機構H構成為，若基板突出檢測傳感器106為檢測出基板1的檢出狀態，則判定基板1從收納容器2突出，若基板突出檢測傳感器106為沒有檢測出基板1的非檢出狀態，則判定基板1沒有從收納容器2突出。
有關于基于控制機構H的基板運送裝置8的動作，說明從位于基板取放部6的收納容器2取出基板1而運送到圖外的基板處理裝置的情況。
首先，使行進臺車74行進，以基板中繼單元70位于與位于基板取放部6的收納容器2鄰接的位置。接著，在以載置支承取出對象的基板l的支承板45處于與浮起用空氣噴出機構71 M板^t機構73對應的高度的方式借助升降機構61使收納容器2升降移動，在該狀態下，使噴出體用空氣供給裝置95動作而使浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72為噴出狀態，并且使輸送器用空氣供給裝置56動作而使送風式支承機構52為從調風板55向上方噴出空氣的狀態。此時，浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72，被配設在與支承取出對象的基板1的支; Ol 45的基板取出方向的下游側端部鄰接的容器鄰接位置A。由此，能夠將由浮起用空氣噴出體71噴出的空氣適當地供給到取出對象的J^ 1的下表面和支承板45之間，能夠可靠地使取出對象的基板1從支 1 45浮起。在利用浮起用空氣噴出體71的空氣的噴出使取出對象的M 1從支* 45浮起的狀態下，使移動體87從基板取出方向的下游側向上游側移動，以便使夾持解除狀態的夾持部82移動到能夠夾持收納位置的取出對象的基板1的夾持位置(參照圖24及圖25)。
并且，在將夾持部82切換為夾持狀態而借助夾持部82夾持取出對象的基板1、且以將基板1從基板取出方向的上游側運送到下游側的方式使支承用運送輥57及夾持用運送輥58旋轉的狀態下，以使夾持狀態的夾持部82移動到與中繼位置對應的夾持解除位置(參照圖26及圖27)的方式使移動體87從基板取出方向的上游側移動到下游側而將基板1運送到中繼位置。此時，空氣被供給到浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72的上部，所以能夠利用由該空氣形成的空氣層可靠地支承通過浮起用空氣噴出體71及供給用空氣噴出體72的上部的基板l。之后，在將基板l運送到中繼位置的狀態下使支承用運送輥57及夾持用運送輥58的旋轉停止，并且使噴出體用空氣供給裝置95的動作停止而使浮起用空氣噴出體71為噴出停止狀態。
并且，在將夾持部82切換為夾持解除狀態之后，為了使夾持解除狀態的夾持部82移動到退避位置(參照圖29及圖30 )而使移動體87從基板取出方向的上游側移動到下游側，并且使支承用運送輥57及夾持用運送輥58旋轉，以將基板l從基板取出方向的上游側運送到下游側，在將基板l運送到取出位置之后，使支承用運送輥57及夾持用運送輥58的旋轉停止。
之后，在以基板中繼單元70位于與基板運送輸送器51鄰接的位置的方式使行進臺車74行進的狀態下，使支承用運送輥57及夾持用運送輥58旋轉，以便將基板l從基板取出方向的上游側運送到下游側，將基板l交接到基板運送輸送器51上，借助基板運送輸送器51將基板1運送到基板處理裝置。
接著，說明將從M處理裝置運出的M 1收納到位于M取放部6的收納容器2中的情況。
首先，使行進臺車74行進，以使基板中繼單元70位于與基板運逸輸送器51鄰接的位置，并且使輸送器用空氣供給裝置56動作而使送風式支#構52從調風板55向上方噴出空氣。在該狀態下，使支承用運送輥57及夾持用運送輥58旋轉以將基板1從基板收納方向的上游側運送到下游側，交接從基板處理裝置運出而M板運送輸送器51運送的基板1而運送到取出位置。之后，使支承用運送輥57及夾持用運送輥58的旋轉停止，使行進臺車74行進，以佳基仗中繼單元70位于與位于基板取放部6的收納容器2鄰
50接的位置。
并且，在以載置支承收納對象的基敗1的支泉板45處于與浮起用空氣 噴出機構71 M板取放機構73對應的高度的方式借助升降機構6使收納容 器2升降移動的狀態下，使噴出體用空氣供給裝置95動作而使浮起用空氣 噴出體71及供給用空氣噴出體72為噴出狀態。在這樣的狀態下，以使按壓 狀態的夾持部82移動到比夾持位置向基板收納方向的上游側靠近移動基板 1的夾持量的按壓結束位置(參照圖28)的方式使移動體87從基板收納方 向的上游側向下游側移動而將基板l運送到收納位置。之后，使支承用運送 輥57及夾持用運送輥58的旋轉停止，并且使噴出體用空氣供給裝置95及 輸送器用空氣供給裝置56停止，并且使移動體87從基板收納方向的下游側 向上游側移動，以便若接著進行基板1的收納則使夾持部82移動到退避位 置，此外若接著進行基板1的取出則使夾持部82移動到夾持解除位置。
通過這樣地使噴出體用空氣供給裝置95停止而使浮起用空氣噴出體變 為噴出停止狀態，因此向收納對象的基板的上表面和載置支承該基板的支承 板的上表面之間的空氣的供給停止，如上所述，存在于基板與支承板之間的 空氣被排出。
(1)在上述參考實施方式中，浮起用空氣噴出體71構成為具有空氣噴 出口91和引導曲面92，且兼用作輔助空氣噴出體，但也可以構成為具有 上游用空氣噴出口 ，向基板取出方向的上游側噴出空氣以^更向取出對象的基 板1的下表面和載置支承該基板1的支承板45的上表面之間噴出空氣；上 方用空氣噴出口，向上方噴出空氣以^更向浮起用空氣噴出體71的上表面和 取出對象的基板l的下表面之間噴出空氣，且兼用作輔助空氣噴出體。
此外，浮起用空氣噴出體71也可以構成為，只具有上述的上游用空氣 噴出口而不兼用作輔助空氣噴出體，也可以將具有向上方噴出空氣的輔助空 氣噴出口以向浮起用空氣噴出體71的上表面和取出對象的基板1的下表面 之間噴出空氣的輔助空氣噴出體與浮起用空氣噴出體71分別設置。
(2 )在上述參考實施方式中，供給用空氣噴出體72構成為具有反方向 用空氣噴出口 93和反方向用引導曲面94、且設置為位于比浮起用空氣噴出 體71的空氣噴出口 91更靠基板取出方向的上游側，但是供給用空氣噴出體 72也可以以構成為不具有反方向引導曲面94而只具有反方向用空氣噴出口 93、且設置為位于比浮起用空氣噴出體71的空氣噴出口 91更靠基板取出方向的下游側。
(3) 在上述參考實施方式中，浮起用空氣噴出體71以其上表面位于比 供給用空氣噴出體72的上表面更靠下方的方式設置，但是浮起用空氣噴出 體71也可以以其上表面位于與供給用空氣噴出體72的上表面相同高度的位 置的方式設置，此外，也可以以其上表面位于比供給用空氣噴出體72的上 表面更靠上方的方式設置。
(4) 在上述參考實施方式中，利用空氣供給用控制機構(控制裝置)H 以從浮起用空氣噴出體71噴出的空氣的噴出量向目標供給量階段地增多的 方式控制空氣供給機構95的動作，但是也可以以從浮起用空氣噴出體71噴 出的空氣的噴出量迅速地變成目標供給量的方式控制空氣供給機構95的動 作
(5) 在上述參考實施方式中，栽置支^:送機構88構成為，在借助送 風式支^構52以非接觸狀態支承基板1的狀態下利用推進力提供機構53 進行運送，但也可以構成為，不設置送風式支承機構52,借助推進力提供機 構53以接觸支承的狀態運送基板1。
(6) 在上述參考實施方式中，設有升降自如地支承收納容器2的升降 機構61，但也可以設有升降自如地支承浮起用空氣噴出體71、供給用空氣 噴出體72以;5L^板取放機構73的升降裝置。此時，為了使供給用空氣噴出 體71、供給用空氣噴出體72以M板取放機構73位于與載置支承取出對象 或收納對象的基板1的支來板45對應的高度而借助升降用控制機構(控制 裝置)H控制升降裝置的動作。
(7) 在上述參考實施方式中，取出機構構成為，作為基板取放機構73 能夠進行取出對象的基板1的從收納容器2的取出和收納對象的J^L 1的向 收納容器2的收納，但是也可以構成為只能夠進行取出對象的基板1的從收 納容器2的取出，在取出機構之外具有將收納對象的基板1收納到收納容器 2的收納機構。
(8) 在上述參考實施方式中，收納容器2的容器主體41構成為，形成 為前后面開口的橫倒姿態的四邊形筒狀，通過使左右面和上下面閉口而不能 夠從左右面側及上下面側排出空氣，但收納容器2的容器主體41也可以構 成為，形成為前后面、上下面及左右面的各個開口的框架形狀，通過使左右 面和上下面開口而能夠從左右面及上下面側排出空氣。
在上述參考實施方式中，在收納容器2上具有蓋部件42和風扇過濾器單元43，但是也可以具有蓋部件42和風扇過濾器單元43中的一方或者雙方。
(9) 在上述參考實施方式中，借助沖壓加工形成突起部48，但是也可 以使墨水等的涂料噴射在支承板45的上表面上而形成突起部48等，也可以 通過在支承板45的上表面進行印刷而形成突起部48，此外，也可以通過將 分體的突起部件貼在支承用基板47的上表面上而形成突起部48。
(10) 在上述參考實施方式中，將多個浮起用空氣噴出體71和多個供 給用空氣噴出體72,在浮起用空氣噴出體71位于橫寬方向的兩端的狀態下 沿橫寬方向交替地排列為一列，但是可以適宜地變更多個浮起用空氣噴出體 71和多個供給用空氣噴出體72的排列方式。
即，例如也可以將浮起用空氣噴出體71和供給用空氣噴出體7 2的 一方 或雙方在沿著橫寬方向連續兩個或三個的狀態下排列，此外，也可以在供給 用空氣噴出體72位于橫寬方向的一端或兩端的狀態下排列。
權利要求
1.一種基板用收納容器，沿著上下方向隔開間隔而以水平姿態收納多張基板，其特征為，具有容器主體，被形成為筒狀，基板取放用的開口以向水平方向開放的方式被形成在容器主體的一端部上，且在容器主體的內部收納多張基板；蓋部件，相對于上述容器主體從上方側安裝自如且向上方側脫離自如，在安裝在上述容器主體上的狀態下封閉上述開口的整面，上述蓋部件具有被卡合部，所述被卡合部被卡合支承在位于上述容器主體的上述一端部的上端部分的卡合部上，上述蓋部件在安裝在上述容器主體上的狀態下以上述被卡合部為中心繞沿著與上述容器主體和上述蓋部件的排列方向交叉的開口橫寬方向的橫軸心擺動自如，且在向上述容器主體側受到施力的狀態下被安裝在上述容器主體上。
2. 如權利要求1所述的J41用收納容器，其特征為， 上述蓋部件構成為，將上述被卡合部配置在上述容器主體與上述蓋部件的排列方向中比上述蓋部件的重心更靠近上述容器主體側，上述蓋部件 在安裝在上述容器主體上的狀態下借助自重而向上述容器主體側受到施 力。
3. 如權利要求1或2所述的J41用收納容器，其特征為， 上述收納容器，為了從上述容器主體的另一端部側向上述一端部側通風而在上述容器主體的上述另一端部安裝有風扇過濾器單元，并且上述蓋 部件在與上述容器主體之間形成有排氣用的間隙的狀態下被安裝在上述 容器主體的上述一端部上。
4. 如權利要求3所述的^41用收納容器，其特征為， 上述排氣用的間隙沿著上述開口周圍的全周形成。
5. 如權利要求3所述的基板用收納容器，其特征為， 為了形成上述排氣用的間隙而在上述容器主體與上述蓋部件之間設有村墊。
6. 如權利要求1所述的基板用收納容器用的基板運送設備，其特征為，設有將上述收納容器運送至基板移載位置的容器運送機構；為了從位于上述基板移載位置的上述收納容器取出基板或者將基板收納至上述收納容器中而移栽基板的J4l移載裝置；在上述收納容器位于蓋脫離位置的狀態下使上述蓋部件從上述容器 主體脫離的蓋部件脫離機構，上述容器運送機構構成為，使上述收納容器從上述蓋脫離位置向鉛直 下方下降移動至上述基板移載位置而進行運送，上述基板移栽裝置構成為，相對于上述蓋部件被脫離了的上述容器主 體通過上述開口移栽上述基板。
7. 如權利要求6所述的基板用收納容器用的基板運送設備，其特征為，上述基板移載裝置設置為相對于位于上述基板移載位置的上述收納 容器而位于上述容器主體的上述一端部側，上述蓋脫離位置是安裝在位于該蓋脫離位置的上述容器主體上的上 述蓋部件從上下方向看與基板移載裝置重合的位置。
8. 如權利要求6或7所述的基板用收納容器用的M運送設備，其特 征為，上述蓋部件相對于上述容器主體從上方側安裝自如且向上方側脫離 自如地被安裝，上述容器運送機構構成為具有載置下降臺，載置支承上述收納容器， 使上述收納容器從比上述基板移載位置更靠上方且比上述蓋脫離位置更 靠下方的中間位置向鉛直下方下降移動至上述基板移載位置；移載裝置， 為了使上述收納容器載置在上述載置下降臺上而使上述收納容器從比上 述蓋脫離位置更靠上方的上方位置向鉛直下方下降移動至上述中間位置，上述載置下降臺構成為，為了使上述收納容器中的上述移載對象的基 板位于與上述J41移載裝置對應的移載高度，在上述基板移載位置處升降 自如地支承上述收納容器，上述蓋脫離機構構成為，具有承接支承體，在凈皮上迷移載裝置下降移 動的上述收納容器位于上述蓋脫離位置的狀態下承接支承設置在上述蓋 部件上的被支承部而使上述蓋部件從上述容器主體脫離。
9. 如權利要求6或7所述的基板用收納容器用的基板運送設備，其特征為，上述蓋部件相對于上述容器主體從上方側安裝自如且向上方側脫離 自如地被安裝，上述容器運送機構構成為具有支承下降臺，載置支承上述收納容器， 使上述收納容器從比上述蓋脫離位置更靠上方的上方位置下降移動至上 述基板移載位置；備用運送機構，為了使上述收納容器載置在上述支承下 降臺上而將上述收納容器運送至上述上方位置，上述支承下降臺構成為，為了使上述收納容器中的上述移載對象的基 板位于與上述J41移栽裝置對應的移載高度，在上述M移載位置處升降 自如地支承上述收納容器，上述蓋脫離機構構成為，具有承接支承體，在被上迷支承下降臺下降 移動的上述收納容器位于上述蓋脫離位置的狀態下承接支承設置在上述 蓋部件上的被支承部而使上述蓋部件從上述收納容器脫離。
10. 如權利要求6或7所述的基敗用收納容器用的M運送設備，其 特征為，上述蓋部件,相對于上述容器主體從上述容器主體與上述蓋部件的排 列方向中的蓋部件側的斜上方側安裝自如且向上述排列方向中的蓋部件 側的斜上方側脫離自如地被安裝，上述蓋脫離機構構成為，具有一對的支承體，向支承上述蓋部件的相 互接近的接近位置和解除相對于上述蓋部件的支承的相互分離的分離位 置沿著與基板移栽方向交叉的橫寬方向相互遠近移動自如，在上述收納容器位于上述蓋脫離位置的狀態下隨著上述一對的支承 體移動至接近位置，與上述一對的支承體抵接的上述蓋部件中的被抵接部 分，為了借助上述支承體的抵接使上述蓋部件向上述排列方向中的上述蓋 部件側的斜上方移動，而形成為越位于上述排列方向中的上述蓋部件側的 斜上方位置越位于上述橫寬方向的容器外方側的引導面。
11. 如權利要求6或7所述的141用收納容器用的基板運送設備，其 特征為，上述基板移載裝置以位置固定狀態設置，上述容器運送機構構成為，為了使上述收納容器中的上述移載對象的 基板位于與上述基板移栽位置對應的移載高度而在上述基板移載位置處 升降自如地支承上述收納容器，上述蓋脫離機構構成為，將脫離了的上述蓋部件支承在比移載對象的 基板更靠上方且在基板移栽方向中與位于上述基板移載位置的上述收納 容器的上述開口接近的位置，以便借助脫離了的上述蓋部件封閉位于上述基板移載位置的上述收納容器的上述開口的比上述移載對象的基板更靠上方的部分，固定蓋以位置固定狀態被設置在比上述移載對象的基板更靠下方且在上述基板移栽方向中位于與位于上述基板移載位置的上述收納容器的上述開口接近的位置，以便封閉位于上述基板移載位置的上述收納容器的上述開口的比上述移載對象的基板更靠下方的部分。
12. 如權利要求6或7所述的M用收納容器用的基板運送設備，其特征為，上述容器主體構成為，在沿著上下方向隔開間隔的狀態下設置有載置支承矩形狀的基板的多個支承板，上述基板移載裝置構成為，具有浮起用空氣噴出體，在上述收納容器位于上述a移栽裝置的狀態下被配設在與該容器主體所具備的上述支承板的基板取出方向的下游側端部鄰接的容器鄰接位置上，向上述取出對象的^的下表面和載置支承該基板的上述支承板的上表面之間噴出空氣，取出機構，將借助基于上述浮起用空氣噴出體的空氣的噴出從上述支狀態下從上述收納容器取出，輔助空氣噴出體，向上述浮起用空氣噴出體的上表面和由上述取出機構取出的上述取出對象的^L的下表面之間噴出空氣。
13. 如權利要求1所述的基板用收納容器用的J41運送設備，其特征為，設有容器運送機構，使上述收納容器下降移動而將其運送到141移載位置；基板移載裝置，為了從位于上述a移栽位置的上述收納容器取出基板或將M收納到上述收納容器中而移載M，設有承接支承體，在基于上述容器運送機構的上述收納容器的向上述基板移載位置的下降移動途中承接支承上述蓋部件的被支承部而使上述蓋部件從上述容器主體脫離，上述基板移載裝置構成為，相對于上述蓋部件^^脫離了的上述容器主體通過上述開口而移載上述J^L。
14. 如權利要求13所述的基板用收納容器用的a運送設備，其特征為，上述被支承部構成為，排列多個繞沿著與上述容器主體和上述蓋部件的排列方向交叉的橫寬方向的橫軸心旋轉自如的旋轉體，上述承接支承體構成為具有上述多個旋轉體所卡入的卡入凹部。
15. 如權利要求13所述的基板用收納容器用的基板運送設備，其特征為，上述被支承部由形成為板狀的板狀體構成，上述承接支承體構成為具有上述板狀體所卡入的卡入凹部。
16. 如權利要求14所述的基板用收納容器用的基板運送設備，其特征為，上述被支承部構成為，以位于上述羞部件的上端部且在上述容器主體和上述蓋部件的排列方向中位于上述蓋部件的重心的兩側的方式沿著排列方向并排兩個的上述旋轉體，設有限制部，在被上述承接支承體支承時限制上述蓋部件的向從上述收納容器分離側的設定角度以上的由于自重導致的擺動。
全文摘要
提供一種能夠實現蓋部件的構成的簡單化且基板的移載易于進行的基板用收納容器。具有容器主體(41)，在一端部形成基板取放用的開口且在內部收納多張基板；蓋部件(42)，相對于容器主體(41)從上方側安裝自如且向上方側脫離自如地構成，在安裝在容器主體(41)上的狀態下封閉整個開口，蓋部件(42)具有在位于容器主體(41)的一端部的上端部分的卡合部(114)上的被卡合部(115)，在安裝在容器主體上的狀態下，以被卡合部(115)為中心繞沿著與容器主體(41)和蓋部件(42)的排列方向交叉的橫寬方向的橫軸心擺動自如，且在向容器主體(41)側受到施力的狀態下安裝在容器主體(41)上。
文檔編號B65D81/00GK101670919SQ20091017316
公開日2010年3月17日 申請日期2009年9月14日 優先權日2008年9月12日
發明者池畑淑照 申請人:株式會社大福