具有加熱功能的輸送機的制作方法

專利名稱：具有加熱功能的輸送機的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于一邊加熱液晶顯示裝置和有機EL顯示裝置等所使用 的玻璃制或樹脂制的工件基板(包括滾筒狀基板)一邊將其轉移的、具有加熱功 能的輸送機。
背景技術：
以往，利用輸送機來轉移電視機和計算機用的顯示器所使用的玻璃制
或樹脂制的工件基板。例如，專利文獻1披露了這樣的加熱干燥裝置在 玻璃制等的大型工件基板的下方配置以干燥和燒成等目的對工件基板加熱 用的下側加熱板，在該下側加熱板的側方包括轉移上述工件基板用的滾筒。 在該專利文獻1的裝置中，在上述工件基板的上方也配置上側加熱板，因 此，根據該專利文獻1的裝置，能在轉移工件基板的同時加熱工件基板的 上下兩面。專利文獻2也大致一樣。
專利文獻l:日本專利特開平7 — 225080號公報
專利文獻2:日本專利特開平11一152575號公報
然而，在專利文獻1等所示的以往的一邊加熱工件基板一邊將其轉移 的裝置中，由于利用經加熱器加熱的一個金屬板來構成上述下側加熱板， 并利用從該被加熱的一個金屬板輻射出的熱量來加熱工件基板，因此，每 次因技術革新等而變更工件基板的縱橫尺寸時，都需要單獨地重新制造縱 橫尺寸與上述尺寸被變更的工件基板對應的一個金屬板。而且，這種情況 下，如上所述的金屬板在每次改變縱橫尺寸時都需要重新特別訂購，因此 存在帶有加熱功能的輸送機整體的制造成本上升的問題。
在上述以往的帶有加熱功能的輸送機中，如上所述，利用一個金屬板 來構成下側加熱板，因此，在用加熱器等加熱上述一個金屬板時，該金屬板會產生翹曲或撓曲等大的變形，其結果是，存在很難對工件基板整體進 行均勻的加熱的問題。
在上述以往的帶有加熱功能的輸送機中，如上所述，利用一個金屬板 來構成下側加熱板，因此，下側加熱板的重量變大，存在帶有加熱功能的 輸送機的設置等時操作者的負擔較大的問題。
在上述以往的帶有加熱功能的輸送機中，如上所述，利用一個金屬板 來構成下側加熱板，因此，為了加熱上述一個金屬板需要較多的熱量，存 在加熱器的驅動電力被大量消費的問題。
此外，在以往的輸送機中，在不僅對工件基板進行加熱、還欲對其進 行冷卻時，有時分別單獨地設置僅用于加熱的加熱板和僅用于冷卻的冷卻 板，這種情況下，需要在從加熱工序過渡至冷卻工序時將玻璃基板從加熱 板朝冷卻板移送用的移送裝置。因此，在以往的不僅能對工件基板進行加 熱、還能對其進行冷卻的輸送機中，存在裝置的成本增大、為了設置加熱 板和冷卻板雙方而導致裝置的地板面積增大等問題。

發明內容
本發明鑒于這樣的現有技術的問題而作，其目的在于提供一種具有加熱功 能的輸送機，其是為了干燥和熱處理等而一邊加熱工件基板一邊將其轉移的帶 有加熱功能的輸送機，能極為靈活地以低成本對帶有加熱功能的輸送機的縱橫 尺寸進行變更，以應對工件基板的縱橫尺寸的變更，能對轉移中的工件基板整 體均勻地加熱，能減輕上述帶有加熱功能的輸送機整體的重量而減輕操作者的 負擔，并能節減上述帶有加熱功能的輸送機整體的耗電量。本發明的目的還在 于提供一種具有加熱功能的輸送機，其能大幅度降低一邊搬運工件基板一邊將 其加熱和冷卻用的裝置的制造成本和尺寸(特別是裝置的地板面積)D
本發明是一種用于使玻璃制或樹脂制的工件基板(包括滾筒狀基板)朝規 定的移動方向移動的輸送機，其特征是，包括支撐框架，其與上述移動方向 平行地延伸；多個擠壓件切塊，其通過將鋁擠壓件以規定的長度切斷而形成， 上述形成后，外側框體的截面分別呈大致長方形且內部分別為空洞部，長度方
6向分別與上述移動方向正交，且分別以彼此隔開規定間隔排列的狀態配置在上 述支撐框架上；旋轉體，其分別配置在上述各擠壓件切塊之間，與位于上述擠 壓件切塊的上方的上述工件基板的下表面接觸而使上述工件基板移動，包括沿 與上述移動方向正交的方向延伸的轉軸、突出設置在該轉軸的多個部位上并與 上述工件基板的下表面抵接的滾筒； 一個或多個內側筒狀管，其配置在上述各
擠壓件切塊的各空洞部內，以沿著與上述各擠壓件切塊的長度方向平行的方向 延伸的形態與上述各擠壓件切塊一體形成，其內插有整體為細長的形狀的細長
加熱器；帶狀連接部，其配置在上述各擠壓件切塊的外側框體與其內部的上述 內側筒狀管之間，與上述外側框體和上述內側筒狀管一體形成，用于將來自上 述細長加熱器的熱量傳遞給上述外側框體；以及細長加熱器，其插入上述一個 或多個內側筒狀管中，整體形成為細長的形狀。
在本發明中，最好包括上側蓋，其配置在上述各擠壓件切塊之間的各間 隙(有上述滾筒突出的間隙除外)的與上述工件基板相對的一側，用于堵塞上述 各間隙的上方；以及上側蓋支撐用突出片，從上述各擠壓件切塊的外側框體的
上述截面觀察，上述上側蓋支撐用突出片與左右的各上端部一體形成，以便載 放上述上側蓋的一端，上側蓋支撐用突出片形成為朝與上述各擠壓件切塊的長 度方向正交的方向突出，并沿與上述各擠壓件切塊的長度方向平行的方向延 伸。
在本發明中，最好包括截面大致圓弧狀的下側蓋，其配置在上述各擠壓 件切塊之間的各間隙的與上述工件基板相反的一側，用于堵塞上述各間隙的下 方；以及下側蓋支撐用突出片，從上述各擠壓件切塊的外側框體的上述截面觀 察，上述下側蓋支撐用突出片與左右的各下端部一體形成，以便載放上述下側 蓋的一端，下側蓋支撐用突出片形成為朝與上述各擠壓件切塊的長度方向正交 的方向突出，并沿與上述各擠壓件切塊的長度方向平行的方向延伸。
在本發明中，最好包括外側筒狀管，從上述各擠壓件切塊的外側框體的上 述截面觀察，上述外側筒狀管分別配置于左右的各側板部的上下方向的中間部 分，以沿著與上述各擠壓件切塊的長度方向平行的方向延伸的形態與上述各擠 壓件切塊一體形成，能供整體形成為細長的形狀的細長加熱器插入。
7在本發明中，最好在上述各擠壓件切塊的截面上安裝有用于堵塞上述截面 的開口部的截面用蓋。
在本發明中，最好包括多個擠壓件切塊，其構成用于進行上述工件基板 的加熱的加熱區域，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至 少一個內，插有細長加熱器；以及多個擠壓件切塊，其構成用于進行上述工件 基板的冷卻的冷卻區域，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中 的至少一個內，包括用于使冷卻水或制冷劑流通的冷卻水等供給部。
在本發明中，最好包括多個擠壓件切塊，其構成用于進行上述工件基板 的加熱的加熱區域，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至 少一個內，插有細長加熱器；多個擠壓件切塊，其構成用于進行上述工件基板 的冷卻的冷卻區域，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至 少一個內，包括用于使冷卻水或制冷劑流通的冷卻水等供給部；以及加熱控制 裝置，其用于控制上述旋轉體，以當上述工件基板在構成上述加熱區域的多個 擠壓件切塊上移動時，使上述工件基板在上述加熱區域的上方以規定次數或規 定時間交替地反復進行朝上述搬運方向移動規定距離的動作和朝與上述搬運 方向相反的方向移動規定距離的動作。
在本發明中，最好包括多個擠壓件切塊，其構成用于進行上述工件基板 的加熱的加熱區域，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至 少一個內，插有細長加熱器；多個擠壓件切塊，其構成用于進行上述工件基板 的冷卻的冷卻區域，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至 少一個內，包括用于使冷卻水或制冷劑流通的冷卻水等供給部；以及冷卻控制 裝置，其用于控制上述旋轉體，以當上述工件基板在構成上述冷卻區域的多個 擠壓件切塊上移動時，使上述工件基板在上述冷卻區域的上方以規定次數或規 定時間交替地反復進行朝上述搬運方向移動規定距離的動作和朝與上述搬運 方向相反的方向移動規定距離的動作。
在本發明中，由將以往一般以極為低廉的價格制造的鋁擠壓件以期望的長 度切斷而成的擠壓件切塊、分別配置在各擠壓件切塊之間的旋轉體來構成帶有 加熱功能的輸送機。因此，根據本發明，在工件基板的縱橫尺寸因技術革新等而需要變更、使得帶有加熱功能的輸送機的縱橫尺寸也需要變更時，只需進行 變更切斷鋁擠壓件而形成上述擠壓件切塊時的上述切斷長度并增減這樣切斷 而成的擠壓件切塊的個數這樣的作業(成本極低的作業)，就能變更帶有加熱功 能的輸送機的縱橫尺寸(這是因為以往能以極低的成本制造上述鋁擠壓件，并 能以極低的成本進行上述切斷作業等)。因此，根據本發明，在工件基板的縱 橫尺寸被變更時，能極為靈活地以低成本對帶有上述加熱功能的輸送機的縱橫 尺寸進行變更，以應對工件基板的縱橫尺寸的變更。
在本發明中，利用分別由細長加熱器進行加熱的多個擠壓件切塊來構成帶
有加熱功能的輸送機。因此，根據本發明，與以往那樣利用一個金屬板來實現 工件基板的加熱功能時不同，可抑制加熱功能整體因熱量而產生翹曲和撓曲等 變形，因此，能均勻地加熱與帶有加熱功能的輸送機相對的工件基板整體。
在本發明中，上述細長加熱器的熱量通過上述帶狀連接部傳遞給上述外側
框體的上側，熱量從上述外側框體的上表面整體輻射，從而將上述工件基板以 面狀加熱，因此，與從上述細長加熱器直接(不通過上述外側框體)加熱工件基 板時相比，能更均勻地加熱工件基板整體(從上述細長加熱器直接(不通過上述 外側框體)加熱工件基板時，工件基板上的與上述細長加熱器相對的線狀部分
比其它部分得到更強的加熱，因此會產生被加熱的部分和未被加熱的部分，無 法均勻地加熱工件基板整體)。
在本發明中，在上述各擠壓件切塊的空洞部內一體形成一個或多個上述內
側筒狀管、并在上述各擠壓件切塊的外側框體的左右的各側板部的上下方向的 中間部分一體形成上述外側筒狀管時，使內部包括至少三個以上的細長加熱 器，能從上述外側框體的上表面以面狀有效地加熱上述工件基板。這樣在上述 左右的各側板部的中間部分形成上述外側筒狀管時，上述細長加熱器的熱量通 過上述各側板部傳遞到上述外側框體的上表面，因此，不必形成如上所述的帶 狀連接部，能降低裝置的制造成本。
在本發明中，在上述各擠壓件切塊的外側框體的左右各上端部一體形成上
側蓋支撐用的上側突出片，使用該上側突出片，在上述各擠壓件切塊之間的各 間隙的與上述工件基板相對的一側(上側)分別設置用于堵塞上述各間隙(除上
9述突出到上方的滾筒的部分以外的間隙)的上方的上側蓋，此時，能防止來自 上述細長加熱器的熱量從上述各間隙逃逸，從而能更有效地對上述工件基板進 行加熱。
在本發明中，在上述各擠壓件切塊的外側框體的左右各下端部一體形成下 側蓋支撐用的下側突出片，使用該下側突出片，在上述各擠壓件切塊之間的各 間隙的與上述工件基板相反的一側(下側)分別設置用于堵塞上述各間隙的下 方的下側蓋，此時，能防止來自上述細長加熱器的熱量從上述各間隙逃逸，從 而能更有效地對上述工件基板進行加熱。
在本發明中，在上述各擠壓件切塊的上述截面上分別安裝截面用蓋時，能 防止來自上述細長加熱器的熱量從上述截面的開口部逃逸，從而能更有效地對 上述工件基板進行加熱。
在本發明中，通過將多個擠壓件切塊彼此隔開規定間隔排列來構成帶有加 熱功能的輸送機，屈此，能實現帶有加熱功能的輸送機的整體的輕量化。因此， 根據本發明，能減輕設置輸送機時的作業人員的負擔。
在本發明中，通過將多個擠壓件切塊彼此隔開規定間隔排列來構成帶有加 熱功能的輸送機，因此，能減少加熱工件基板所需的熱量(加熱本發明的多個 擠壓件切塊用的熱量與加熱以往的一個金屬板用的熱量相比較少)。因此，根 據本發明，能節減加熱工件基板用的耗電量。
根據本發明，不需要分別單獨地包括以往的具有加熱和冷卻兩種功能的輸 送機中所需的僅用于加熱的加熱板和僅用于冷卻的冷卻板，因此，能起到如下 的(a)、 (b)和(c)的效果。(a)由于不需要像以往的輸送機那樣分別包括加熱板 和冷卻板，因此能實現輸送機的裝置整體的輕量化、低成本化。(b)由于不需 要以往的輸送機所需的移送裝置(從加熱工序過渡至冷卻工序時將工件基板從 加熱板朝冷卻板移送用的移送裝置)，因此能實現裝置整體的簡化、低成本化。 (c)由于不需要像以往的輸送機那樣分別包括加熱板和冷卻板，因此能節減裝 置整體的地板面積。


10圖l(a)是表示構成本實施例1的擠壓件切塊的截面的主視圖，圖l(b)是
其立體圖。
圖2是用于說明本實施例1的支撐框架和擠壓件切塊的立體圖。
圖3是用于說明本實施例1的擠壓件切塊與轉軸和滾筒間的位置關系的主
視圖(從擠壓件切塊的截面的方向觀察時的圖)。
圖4是用于說明本實施例1的擠壓件切塊與轉軸和滾筒間的位置關系的俯視圖。
圖5是用于說明本實施例1的擠壓件切塊和截面用蓋的立體圖。 圖6(a)是表示本實施例1的輸送^1的一部分的局部俯視圖，圖6(b)是其 A—A線剖視圖。
圖7是表示轉移工件基板W時的狀態的本實施例1的主視圖。
圖8(a)是示意表示本實施例1的工件基板W的加熱和轉移的動作的圖，
圖8(b)是示意表示比較例的工件基板W的加熱和轉移的動作的圖。
圖9(a)是表示構成本實施例2的擠壓件切塊的截面的主視圖，圖9(b)是
其立體圖。
圖10是用于說明本實施例2的擠壓件切塊與轉軸和滾筒間的位置關系的
主視圖(從擠壓件切塊的截面的方向觀察時的圖)。
圖11是用于說明本實施例2的擠壓件切塊和截面用蓋的立體圖。
圖12是表示本實施例2的電氣結構的一部分的方框圖。
圖13是用于說明本實施例2中朝各擠壓件切塊的內側筒狀管內供給冷卻
水用的機構(冷卻水等供給部)的示意圖。
圖14是表示本實施例2的加熱區(加熱區域)和冷卻區(冷卻區域)的示意圖。
(符號說明) 1擠壓件切塊 2空洞部 3上板部 4下板部
115側板部
6、 6a內側筒狀管 9外側筒狀管 7上側連接部 8下側連接部 10下側突出片 11上側突出片 20支撐框架 21轉軸 22滾筒 23上偵!j蓋 24下側蓋 25截面用蓋 25a、 25b孔 26上側加熱板 27棒狀加熱器 31驅動部 32控制裝置 33冷卻水供給管 34接水口部 35流出口部 36排水管 33a、 36a支管 P移動方向 W工件基板
具體實施例方式
用于實施本發明的最佳實施方式是以下結合實施例1說明的形態。
12實施例1
下面，說明本發明的實施例1的帶有加熱功能的輸送機。圖l(a)是表示 作為構成本實施例1的零件之一的、擠壓件切塊的截面的主視圖，圖l(b)是上 述擠壓件切塊的立體圖。
在圖1中，符號1表示擠壓件切塊。該擠壓件切塊1通過將截面形成為大 致長方形且內部空洞的鋁擠壓件(也稱作鋁擠壓型材，是通過將受熱時變柔的 鋁壓入金屬模，在成為細長形狀的狀態下擠出而形成的)以規定的長度切斷而 成。上述擠壓件切塊1例如是將上述鋁擠壓件以例如約6m的長度切斷而成的、 長度方向的兩端開口的細長的箱狀體。在圖1中，符號2是上述擠壓件切塊1 的內部的空洞部，符號3是構成上述擠壓件切塊1的圖示上側的面的、構成與 工件基板(未圖示)相對的相對面的上板部，符號4是構成上述擠壓件切塊1的 圖示下側的面的下板部，符號5是分別構成上述擠壓件切塊1的圖示右側和左 側的側部的側板部，符號6是在上述空洞部2內以與上述擠壓件切塊1的長度 方向平行延伸的形態一體形成的內側筒狀管，符號7是為了將上述內側筒狀管 6的圖示上側部分與上述上板部3連接而以與上述擠壓件切塊1的長度方向平 行延伸的形態形成為帶狀的上側連接部，符號8是為了將上述內側筒狀管6的 圖示下側部分與上述下板部4連接而以與上述擠壓件切塊1的長度方向平行延 伸的形態形成為帶狀的下側連接部，符號9是與上述擠壓件切塊1的圖示左右 的各側板部5的上下方向的中間部分一體形成、且以與上述擠壓件切塊1的長 度方向平行延伸的形態形成的外側筒狀管，符號10是分別與上述擠壓件切塊1 的圖示左右各下端部一體形成的、支撐后述的下側蓋用的下側突出片，符號11 是分別與上述擠壓件切塊1的圖示左右各上端部一體形成的、支撐后述的上側 蓋用的上側突出片。
在本實施例1中，在與上述各擠壓件切塊1 一體形成的上述共三個筒狀管 6、 9中的至少一個中插入棒狀加熱器(未圖示)。在本實施例1中，既可僅在上 述三個筒狀管6、 9中的中央的內側筒狀管6內插入棒狀加熱器，也可在上述 三個筒狀管6、 9中的兩個內或三個內全部插入棒狀加熱器。
在本實施例l中，如圖2所示，在以與工件基板的移動方向(參照箭頭P)平行延伸的形態配置的支撐框架20上，多個上述擠壓件切塊1沿與上述移動 方向P正交的方向以彼此隔開規定間隔排列的形態配置。在上述各擠壓件切塊 1之間配置有后述的滾筒(圖2中未圖示)。
圖3是表示使用多個上述擠壓件切塊1和滾筒的、本實施例1的帶有加熱 功能的輸送機的一部分的局部主視圖，圖4是其局部俯視圖。在圖3、圖4中， 圖2的支撐框架未圖示。
在本實施例1中，如圖3所示，在各擠壓件切塊1之間配置有由未圖示的 電動機進行驅動的轉軸21和固定在上述轉軸21的多個部位上的滾筒22。如圖 3所示，上述滾筒22配置成比上述擠壓件切塊1的上表面朝圖示上方(靠近工 件基板W的方向)突出規定距離。
在本實施例1中，如圖4所示，在上述各擠壓件切塊1之間的間隙(空間) 中的、沒有上述滾筒22突出的部分的間隙的上方(工件基板W側)，配置有堵 塞上述間隙用的板狀(例如金屬制)的上側蓋23。如圖3所示，上述上側蓋23 通過使其兩端部分別載放在上述擠壓件切塊1的上述上側突出片11上而得到 支撐。設置上述上側蓋23是為了通過防止來自上述棒狀加熱器的熱量從上述 間隙逃逸來提高對上述工件基板W的加熱效率。
在本實施例1中，如圖3所示，在上述各擠壓件切塊1之間的間隙(空間) 的下方(與工件基板W相反的一側)，配置有堵塞上述間隙用的、截面大致圓弧 狀(例如金屬制)的下側蓋24。如圖3所示，上述下側蓋24通過使其兩端部分 別載放在上述擠壓件切塊1的上述下側突出片10上而得到支撐。設置上述下 側蓋24是為了通過防止來自上述棒狀加熱器的熱量從上述間隙逃逸來提高對 上述工件基板W的加熱效率。
如上所述，在上述擠壓件切塊1的長度方向的兩端部(切斷上述鋁擠壓件 后的截面)，存在著空洞部2和筒狀管6、 9等開口部(參照圖1)。因此，在本 實施例1中，如圖5所示，堵塞上述開口部用的例如金屬制的截面用蓋25利 用螺釘(未圖示)等固定在上述擠壓件切塊1的長度方向的兩端部(上述截面) 上。上述截面用蓋25通過防止來自上述棒狀加熱器的熱量從上述兩端部(上述 截面)的開口部逃逸來提高對上述工件基板W的加熱效率。在上述截面用蓋25上形成有供上述棒狀加熱器穿過上述筒狀管6、 9中的孔25a、 25b。
圖6(a)是表示本實施例1的帶有加熱功能的輸送機的一部分的局部俯視 圖，圖6(b)是其A—A線剖視圖。在本實施例l中，如圖6(b)所示，對上述工 件基板W的上表面進行加熱用的上側加熱板26以彼此平行排列的形態配置在 上述擠壓件切塊l的上方。在圖6(b)中，上述上側加熱板26僅圖示了一個， 但實際上有多個上述上側加熱板26以與工件基板W整體相對的形態排列在圖 示左右方向上。上述上側加熱板26是例如金屬制的、內部形成為空洞的板狀 部件，在內部插有棒狀加熱器(未圖示)。
接著，說明本實施例1的動作。圖7是用于表示轉移工件基板W時的狀態 的本實施例1的主視圖(圖7中，圖6的上側加熱板26未圖示)。在本實施例1 中，如圖7所示，上述擠壓件切塊1和滾筒22與工件基板W的移動方向P平 行地交替配置。而且，被插入上述擠壓件切塊l的內部的棒狀加熱器的熱量傳 導來，從上述擠壓件切塊1的上表面以面狀輻射。因此，根據本實施例l，多 個工件基板W在依次被上述滾筒22轉移的同時被上述擠壓件切塊1加熱。這 種情況下，即使因技術革新等而需要變更上述工件基板W的縱橫尺寸，也只需 通過變更制造上述擠壓件切塊1時的鋁擠壓件的切斷長度并變更上述擠壓件切 塊1的配置個數，就能極為靈活且廉價地應對上述變更。
接著，圖8(a)是示意表示本實施例1的工件基板W的加熱和轉移的動作 的圖，圖8(b)是示意表示比較例的工件基板W的加熱和轉移的動作的圖。在圖 8 (a)中，符號27示意表示被插入上述擠壓件切塊1的各筒狀管6或9內的棒 狀加熱器。在使用本實施例1來轉移工件基板W時，來自上述棒狀加熱器27 的熱量通過上述帶狀的上側連接部(參照圖1的符號7)等傳導給上述擠壓件切 塊1的上表面，因此，工件基板W被上述擠壓件切塊1的上表面以面狀加熱， 工件基板W整體被均勻地加熱。與此相對，在如圖8(b)所示的比較例中，只是 在各滾筒22之間直接配置棒狀加熱器27，因此，來自上述棒狀加熱器27的熱 量以線狀加熱工件基板W，工件基板W的整體可能會產生加熱不均(被加熱的部 分和未被加熱的部分)。其結果是，在上述比較例中，工件基板W可能會產生 翹曲和應變。如上所述，在本實施例l中，利用上述擠壓件切塊1和各滾筒22(和轉軸
21)構成帶有加熱功能的輸送機，因此，即使在因工件基板W的縱橫尺寸被變
更而需要變更帶有加熱功能的輸送機的縱橫尺寸時，也只需變更在切斷上述鋁 擠壓件而形成上述擠壓件切塊時的切斷長度并增減這樣形成的擠壓件切塊1的 個數，就能變更上述輸送機的縱橫尺寸(而且，與以往相比，上述鋁擠壓件能 以極低的成本制造，上述切斷作業等也能以極低的成本進行)，對于上述工件
基板w的縱橫尺寸的變更，能極容易地以低成本應對。
在本實施例1中，通過將分別包括棒狀加熱器的多個擠壓件切塊1隔開規 定的間隔排列來構成帶有加熱功能的輸送機，上述棒狀加熱器的熱量通過上述
帶狀的上側連接部7傳遞給上述上板部3，熱量從上述上板部3的整體以面狀 輻射，從而將上述工件基板W以面狀加熱，因此，與從上述棒狀加熱器直接加 熱工件基板W時(此時，工件基板W上的與上述棒狀加熱器相對的線狀部分比 其它部分得到更強的加熱，因此無法均勻地加熱工件基板W整體)相比，能均 勻地加熱工件基板W整體。
在本實施例l中，在上述空洞部2內一體形成上述內側筒狀管6，并在上 述各擠壓件切塊1的側板部5的中間部分一體形成上述外側筒狀管9，在這些 計三個筒狀管6、 9中分別插入棒狀加熱器，此時，利用來自這些共三個筒狀 管6、9內的棒狀加熱器的熱量，能從上述上板部3強力地加熱上述工件基板W。
在本實施例1中，在上述各擠壓件切塊1的左右各上端部一體形成上述上 側突出片11，并使用上述上側突出片11來設置用于堵塞上述各擠壓件切塊1 之間的各間隙(但是上述各間隙中有上述滾筒22突出的部分除外)的工件基板 W側(上側)的上側蓋23。因此，根據本實施例l，能防止來自上述棒狀加熱器 的熱量從上述間隙逃逸，其結果是，對上述工件基板W的加熱能更有效地進行。
在本實施例1中，在上述各擠壓件切塊1的左右各下端部一體形成下側突 出片10，并使用上述下側突出片10來設置用于堵塞上述各擠壓件切塊1之間 的間隙的與上述工件基板W相反的一側(下側)的下側蓋24。因此，根據本實施 例l，能防止來自上述棒狀加熱器的熱量從上述間隙逃逸，其結果是，對上述 工件基板W的加熱能更有效地進行。在本實施例1中，在上述各擠壓件切塊1的截面上安裝截面用蓋25。因 此，根據本實施例l，能防止來自上述棒狀加熱器的熱量從上述截面的開口部
(空洞部2和筒狀管6、 9的開口部等)逃逸，其結果是，對上述工件基板W的 加熱能更有效地進行。
在本實施例1中，通過排列多個上述擠壓件切塊1來構成帶有加熱功能的 輸送機。因此，根據本實施例l，能減輕帶有加熱功能的輸送機的整體的重量， 并能節減帶有加熱功能的輸送機為加熱工件基板W而消耗的耗電量。
實施例2
下面，對本發明的實施例2的具有加熱和冷卻功能的輸送機進行說明。本 實施例2的基本結構與上述實施例1相同，因此，在下面的說明中，僅說明與 上述實施例1不同的部分。圖9(a)是表示作為構成本實施例2的零件之一的、 擠壓件切塊的截面的主視圖，圖9(b)是上述擠壓件切塊的立體圖。
在圖9中，符號1表示擠壓件切塊。該擠壓件切塊1通過將截面形成為大 致長方形且內部為空洞的鋁擠壓件(長度方向的兩端開口的細長的箱狀體)以 規定的長度(例如約6ra等)切斷而成。
在圖9中，符號2是上述擠壓件切塊1的內部的空洞部(該空洞部2被后 述的各內側筒狀管6、 6a和各帶狀連接部7、 7a、 8、 8a分隔成多個)，符號3 是構成上述擠壓件切塊1的圖示上側的面的、構成與工件基板(未圖示)相對的 相對面的上板部，符號4是構成上述擠壓件切塊1的圖示下側的面的下板部， 符號5是分別構成上述擠壓件切塊1的圖示右側和左側的側部的側板部，符號 6、 6a是在上述空洞部2內以與上述擠壓件切塊1的長度方向平行延伸的形態 一體形成的內側筒狀管，符號7、 7a是為了將上述各內側筒狀管6、 6a的圖示 上側部分與上述上板部3連接而以與上述擠壓件切塊1的長度方向平行延伸的 形態一體形成為帶狀的上側連接部，符號8、 8a是為了將上述各內側筒狀管6、 6a的圖示下側部分與上述下板部4連接而以與上述擠壓件切塊l的長度方向平 行延伸的形態一體形成為帶狀的下側連接部，符號9是與上述擠壓件切塊1的 圖示左右的各側板部5的圖示上下方向的中間部分(中途部分)一體形成的外側 筒狀管，符號10是分別與上述擠壓件切塊1的圖示左右各下端部一體形成的、支撐后述的下側蓋用的下側突出片，符號11是分別與上述擠壓件切塊1的圖 示左右各上端部一體形成的、支撐后述的上側蓋用的上側突出片。
在本實施例2中，在與上述各擠壓件切塊1 一體形成的圖9的共5個筒狀 管6、 6a、 9中，在中央的內側筒狀管6內插入棒狀加熱器(未圖示)。在本實 施例1中，在圖9的共5個筒狀管6、 6a、 9中的上述內側筒狀管6(供棒狀加 熱器插入的筒狀管)的兩側的兩個內側筒狀管6a內，安裝有朝上述內側筒狀管 6a中供給冷卻水(或制冷劑)并使其流通用的冷卻水等供給部(圖9中未圖示， 在后面進行說明)。
圖10是表示使用多個上述擠壓件切塊1和滾筒22的、本實施例2的帶有 加熱和冷卻功能的輸送機的一部分的局部主視圖。在本實施例2中，如圖10 所示，在各擠壓件切塊l之間的間隙(空間)內，配置有由未圖示的電動機進行 驅動的轉軸21和固定在該轉軸21的多個部位上的滾筒22。如圖10所示，上 述滾筒22配置成比上述擠壓件切塊1的上表面朝上方(靠近工件基板W的方向) 突出規定距離。
在本實施例2中，如圖10所示，配置有堵塞上述各擠壓件切塊l之間的 間隙(空間)中的、沒有上述滾筒22突出的部分的間隙的上方(工件基板W的方 向)的板狀(例如金屬制)的上側蓋23。如圖10所示，該上側蓋23通過使其兩 端部分別載放在上述擠壓件切塊1的上述上側突出片11上而得到支撐。設置 上述上側蓋23是為了通過防止來自上述棒狀加熱器的熱量(或來自上述冷卻水 的冷量)從上述間隙逃逸來提高對上述工件基板W進行的加熱和冷卻的效率。
在本實施例2中，如圖10所示，配置有堵塞上述各擠壓件切塊l之間的 間隙(空間)的下方(與工件基板W相反的方向)用的截面大致圓弧狀(例如金屬 制)的下側蓋24。如圖10所示，該下側蓋24通過使其兩端部分別載放在上述 擠壓件切塊1的上述下側突出片10上而得到支撐。設置上述下側蓋24是為了 通過防止來自上述棒狀加熱器的熱量(或來自上述冷卻水的冷量)從上述間隙 逃逸來提高對上述工件基板W進行的加熱和冷卻的效率。
如上所述，在上述擠壓件切塊1的兩端部(將上述鋁擠壓件切斷而形成的 截面)，存在著上述空洞部2和筒狀管6、 6a、 9等開口部(參照圖9)。因此，在本實施例2中，如圖11所示，堵塞上述各開口部用的例如金屬制的截面用
蓋25利用螺釘(未圖示)等固定在上述擠壓件切塊1的兩端部(將上述鋁擠壓件 切斷而形成的截面)。上述截面用蓋25用于通過防止來自上述棒狀加熱器的熱 量(或來自上述冷卻水的冷量)從上述兩端部(截面)的開口部逃逸來提高對上 述工件基板W進行的加熱的(或冷卻的)效率。在上述截面用蓋25上形成有用 于使上述棒狀加熱器穿過上述筒狀管6中或將上述冷卻水等供給部安裝在上述 筒狀管6a內的孔25a。
在本實施例2中，如圖12的方框圖所示，包括驅動使上述各滾筒22 旋轉的轉軸21的驅動部31(由未圖示的電動機構成)、控制該驅動部31的控制 裝置32。上述控制裝置32由未圖示的計算機等構成。在上述控制裝置32的存 儲器內預先記錄有與各工件基板W的種類等相應的加熱和冷卻的時間、用于 實現進行適合各工件基板W的加熱和冷卻所需的上述滾筒轉軸21的驅動形態 的程序。
接著，參照圖13對本實施例2的用于實現冷卻上述工件基板W的功能(冷 卻水等供給部等的功能)的結構進行說明。在圖13中，形成在上述側板部5的 中間部分的外側筒狀管9(參照圖9)未圖示。
在本實施例2中，實現冷卻上述工件基板W的功能的部分與實現加熱上述 工件基板W的功能的部分一樣，通過上述多個擠壓件切塊1隔開規定間隔排列 在上述支撐框架20上(參照圖2)而構成。在圖13中，符號33是用于將來自外 部的冷卻水源(未圖示)的冷卻水(參照圖13中的符號B所示的箭頭)朝上述各 擠壓件切塊1的上述各內側筒狀管6a內供給的冷卻水供給管，符號34是為了 接納來自上述冷卻水供給管33的冷卻水而安裝在上述各擠壓件切塊1內的各 內側筒狀管6a的圖示下方的端部的接水口部，符號33a是用于將來自上述冷 卻水供給管33的冷卻水的一部分朝上述各接水口部34供給的支管。從上述各 接水口部34接納到上述各內側筒狀管6a內的冷卻水通過上述各內側筒狀管6a 對上述各擠壓件切塊l進行冷卻。而且，由此冷卻的上述各擠壓件切塊l對配 置在靠近其自身的位置上的工件基板W進行冷卻。在本實施例2中，為了冷卻 上述工件基板W，可使上述工件基板W靠近上述擠壓件切塊1，但也可采用這樣的方法例如在工件基板W位于冷卻區域的上方時，利用周知的升降機構使 上述滾筒22(參照圖IO)下降至上述各擠壓件切塊1的下方，從而使上述工件 基板W與上述各擠壓件切塊1接觸。
另一方面，在圖13中，符號35是為了使來自上述冷卻水供給管33的、 在上述各內側筒狀管6a內的熱交換中使用后的冷卻水朝上述各內側筒狀管6a 外流出而安裝在上述各內側筒狀管6a的圖示上方的端部上的流出口部。符號 36是用于通過各支管36a來接納從上述各流出口部35流出的冷卻水、使其返 回冷卻水源(未圖示)(參照圖13中的符號C所示的箭頭)的排水管。
本實施例2的上述各接水口部34(或者上述各接水口部34、上述冷卻水供 給管33、上述流出口部35和上述排水管36)是本發明的"用于使冷卻水或制 冷劑在筒狀管中流通的冷卻水等供給部"的一個具^M列。
接著，說明本實施例2的動作。首先，對本實施例2的上述工件基板W 的搬運和加熱的動作進行說明。如上所述，上述控制裝置32根據上述程序的 指令來控制上述驅動部31。例如，在需要對工件基板W加熱IO分鐘時，在工 件基板W移動至由上述多個擠壓件切塊1構成的加熱區(加熱區域)的上方后， 上述控制裝置32使工件基板W在上述加熱區的上方以上述10分鐘時間分別朝 圖10的左右方向(上述實施例1中的圖7和圖8的左右方向)擺動例如100 200mm左右。g卩，例如，上述控制裝置32對上述驅動部31進行控制，以使工 件基板W在上述加熱區的上方以上述10分鐘時間反復進行規定次數的朝左方 的100 200mm的移動和朝右方的100 200mm的移動。通過這樣的工件基板W 的擺動動作，工件基板W整體被均勻地加熱。另外，在經過上述必要的加熱時 間后，上述控制裝置32使工件基板W從上述加熱區41(加熱區域)朝接著的冷 卻區42(冷卻區域)移動(參照圖14)。
接著，對本實施例2的上述工件基板W的搬運和冷卻的動作進行說明。如 上所述，上述控制裝置32根據上述程序的指令來控制上述驅動部31。例如， 在需要對工件基板W冷卻10分鐘時，在工件基板W移動至由上述多個擠壓件 切塊1構成的冷卻區(冷卻區域)的上方后，上述控制裝置32使工件基板W在 上述冷卻區的上方以上述10分鐘時間分別朝左右方向(上述實施例1中的圖7和圖8的左右方向)擺動例如100 200mm左右。g口，例如，上述控制裝置32 對上述驅動部31進行控制，以使工件基板W在上述冷卻區的上方以上述10分 鐘時間反復進行規定次數的朝左方的100 200mm的移動和朝右方的100 200mm的移動。通過這樣的擺動動作，工件基板W整體被均勻地冷卻。另外， 在經過上述必要的冷卻時間后，上述控制裝置32使工件基板W從上述冷卻區 (冷卻區域)朝其它部位移動。
圖14是表示本實施例2的上述加熱區(加熱區域)和冷卻區(冷卻區域)的 示意圖。在圖14中，符號41是由在上述各內側筒狀管6內分別插有棒狀加熱 器的多個擠壓件切塊1構成的加熱區(加熱區域)，符號42是由在上述各內側 筒狀管6a上分別安裝有上述冷卻水用的接水口部34的多個擠壓件切塊1構成 的冷卻區(冷卻區域)，符號P是工件基板W的搬運方向。在圖14中，工件基 板W從加熱區41(加熱區域)朝冷卻區42(冷卻區域)連續轉移，但也可根據工 廠的布置而在加熱區41(加熱區域)與冷卻區42(冷卻區域)之間夾設通常的輸 送機(沒有加熱和冷卻功能的輸送機)。也可構成為使工件基板W從冷卻區 42 (冷卻區域)朝加熱區41 (加熱區域)連續轉移。
如上所述，在本實施例2中，將來自上述棒狀加熱器的熱量(或來自上述 冷卻水的冷量)通過上述上側連接部7傳遞給上述上板部3，使其從上述上板部 3整體以面狀輻射，將上述工件基板W以面狀加熱(或冷卻)。因此，根據本實 施例2，與利用上述棒狀加熱器直接加熱工件基板W時(此時由于工件基板W 上的與上述棒狀加熱器相對的線狀部分比其它部分得到更強的加熱，因此在工 件基板W上會產生被加熱的部分和未被加熱的部分)相比，能更均勻地加熱(或 冷卻)工件基板W整體。
根據本實施例2，不需要像以往的輸送機那樣分別單獨包括僅用于加熱的 加熱板和僅用于冷卻的冷卻板，因此，能起到如下的(a)、 (b)和(c)的效果。 (a)由于不需要分別包括以往的輸送機所需的加熱板和冷卻板，因此能實現輸 送機的裝置整體的輕量化、低成本化。(b)由于不需要以往的輸送機所需的移 送裝置(從加熱工序過渡至冷卻工序時將工件基板從加熱板朝冷卻板移送用的 移送裝置)，因此能實現裝置整體的簡化、低成本化。(c)由于不需要分別包括以往的輸送機所需的加熱板和冷卻板，因此能大幅度節減裝置整體的地板面 積。
在本實施例2中，在上述加熱區或冷卻區的上方加熱或冷卻工件基板W
時，上述控制裝置32控制上述驅動部31，使工件基板W在上述加熱區41或冷 卻區"的上方分別朝圖8的左右方向擺動例如100 200mm左右(例如交替地 反復進行規定次數的朝左方的100 200mm的移動和朝右方的100 200mm的移 動)，因此，能更加均勻地加熱和冷卻工件基板W的整體。
上面，對本發明的各實施例進行了說明，但本發明并不局限于說明的上述 各實施例，能進行各種修正和變更。例如，上述實施例l中，在上述各擠壓件 切塊1的空洞部2內形成一個內側筒狀管6，并在上述各擠壓件切塊1的左右 的各側板部5的中間部分(中途部分)形成外側筒狀管9，從而在上述各擠壓件 切塊l上形成總共三個筒狀管，但本發明并不局限于此，也可不在上述各側板 部5上形成外側筒狀管9。在上述實施例1中，作為插入上述筒狀管6、 9等的 細長加熱器的一例，使用了棒狀加熱器，但在本發明中，只要是能插入上述筒 狀管6、 6a， 9等的加熱器，則可以是任何形狀，例如，也可以是將線圈狀的 鎳鉻合金線整體形成為細長形狀以能插入上述筒狀管6、 6a、 9等的加熱器等。
權利要求
1.一種具有加熱功能的輸送機，用于使玻璃制或樹脂制的工件基板朝規定的移動方向移動，其特征在于，包括支撐框架，該支撐框架與所述移動方向平行地延伸；多個擠壓件切塊，該多個擠壓件切塊通過將鋁擠壓件以規定的長度切斷而形成，所述形成后，外側框體的截面分別呈大致長方形且內部分別為空洞部，長度方向分別與所述移動方向正交，且分別以彼此隔開規定間隔排列的狀態配置在所述支撐框架上；旋轉體，該旋轉體分別配置在所述各擠壓件切塊之間，與位于所述擠壓件切塊上方的所述工件基板的下表面接觸而使所述工件基板移動，所述旋轉體包括沿與所述移動方向正交的方向延伸的轉軸、突出設置在該轉軸的多個部位上并與所述工件基板的下表面抵接的滾筒；一個或多個內側筒狀管，該一個或多個內側筒狀管配置在所述各擠壓件切塊的各空洞部內，以沿著與所述各擠壓件切塊的長度方向平行的方向延伸的形態與所述各擠壓件切塊一體形成，在所述一個或多個內側筒狀管內插入有整體為細長形狀的細長加熱器；帶狀連接部，該帶狀連接部配置在所述各擠壓件切塊的外側框體與其內部的所述內側筒狀管之間，與所述外側框體和所述內側筒狀管一體形成，用于將來自所述細長加熱器的熱量傳遞給所述外側框體；以及細長加熱器，該細長加熱器插入所述一個或多個內側筒狀管中，整體形成為細長形狀。
2. 如權利要求l所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括上側蓋，該上側蓋配置在所述各擠壓件切塊之間的各間隙的與所述工件基板相對的一側，用于堵塞所述各間隙的上方；以及上側蓋支撐用突出片，從所述各擠壓件切塊的外側框體的所述截面觀 察，所述上側蓋支撐用突出片與左右的各上端部一體形成，以便載放所述 上側蓋的一端，所述上側蓋支撐用突出片形成為朝與所述各擠壓件切塊的長度方向正交的方向突出，并沿與所述各擠壓件切塊的長度方向平行的方 向延伸。
3. 如權利要求l所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括 截面大致呈圓弧狀的下側蓋，該下側蓋配置在所述各擠壓件切塊之間的各間隙的與所述工件基板相反的一側，用于堵塞所述各間隙的下方；以 及下側蓋支撐用突出片，從所述各擠壓件切塊的外側框體的所述截面觀 察，所述下側蓋支撐用突出片與左右的各下端部一體形成，以便載放所述 下側蓋的一端，所述下側蓋支撐用突出片形成為朝與所述各擠壓件切塊的 長度方向正交的方向突出，并沿與所述各擠壓件切塊的長度方向平行的方 向延伸。
4. 如權利要求l所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括外 側筒狀管，從所述各擠壓件切塊的外側框體的所述截面觀察，所述外側筒 狀管分別配置于左右的各側板部的上下方向的中間部分，以沿著與所述各 擠壓件切塊的長度方向平行的方向延伸的形態與所述各擠壓件切塊一體形 成，能供整體形成為細長形狀的細長加熱器插入。
5. 如權利要求l所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，在所述 各擠壓件切塊的截面上，安裝有用于堵塞所述截面的開口部的截面用蓋。
6. 如權利要求1所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括構成用于進行所述工件基板的加熱的加熱區域的多個擠壓件切塊，在 各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內插入有細長加熱器；以及構成用于進行所述工件基板的冷卻的冷卻區域的多個擠壓件切塊，在 各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內，包括用 于使冷卻水或制冷劑流通的冷卻水等供給部。
7. 如權利要求l所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括 構成用于進行所述工件基板的加熱的加熱區域的多個擠壓件切塊，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內插入有細長加熱器；構成用于進行所述工件基板的冷卻的冷卻區域的多個擠壓件切塊，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內，包括用于使冷卻水或制冷劑流通的冷卻水等供給部；以及加熱控制裝置，該加熱控制裝置用于控制所述旋轉體，以當所述工件基板在構成所述加熱區域的多個擠壓件切塊上移動時，使所述工件基板在所述加熱區域的上方、以規定次數或規定時間交替地反復進行朝所述搬運方向移動規定距離的動作和朝與所述搬運方向相反的方向移動規定距離的動作。
8.如權利要求l所述的具有加熱功能的輸送機，其特征在于，包括構成用于進行所述工件基板的加熱的加熱區域的多個擠壓件切塊，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內插入有細長加熱器；構成用于進行所述工件基板的冷卻的冷卻區域的多個擠壓件切塊，在各擠壓件切塊分別包括的一個或多個內側筒狀管中的至少一個內，包括用于使冷卻水或制冷劑流通的冷卻水等供給部；以及冷卻控制裝置，該冷卻控制裝置用于控制所述旋轉體，以當所述工件基板在構成所述冷卻區域的多個擠壓件切塊上移動時，使所述工件基板在所述冷卻區域的上方、以規定次數或規定時間交替地反復進行朝所述搬運方向移動規定距離的動作和朝與所述搬運方向相反的方向移動規定距離的動作。
全文摘要
一種具有加熱功能的輸送機，是一邊加熱工件基板一邊將其轉移的帶有加熱功能的輸送機，能極為靈活地以低成本對帶有加熱功能的輸送機的縱橫尺寸進行變更，以應對工件基板的縱橫尺寸的變更，能對轉移中的工件基板整體均勻地加熱。所述具有加熱功能的輸送機包括沿工件基板的移動方向延伸的支撐框架；通過將鋁擠壓件以期望的長度切斷而成的擠壓件切塊；以及分別配置在所述多個各擠壓件切塊之間、與所述工件基板的下表面接觸而使所述工件基板移動的旋轉體，在所述各擠壓件切塊內部的空洞部內一體形成有沿著與其長度方向平行的方向延伸的、可供棒狀加熱器插入的一個或多個筒狀管。也可對所述筒狀管附加供給冷水或制冷劑的結構。
文檔編號B65G49/00GK101643149SQ200910161168
公開日2010年2月10日 申請日期2009年8月4日 優先權日2008年8月5日
發明者屬直彥, 山口臣治 申請人:株式會社幸和