專利名稱：懸浮裝置及懸浮輸送裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種通過使用壓縮空氣等流體使對象物懸浮的懸浮裝置及在懸浮的
同時輸送對象物的懸浮輸送裝置。
背景技術：
在現有技術中公開有多種通過使用壓縮空氣等流體來將對象物懸浮同時輸送的 懸浮輸送裝置。這些懸浮輸送裝置一般包括具有使空氣等流體通過的噴出孔的懸浮裝置。 向懸浮裝置和對象物之間噴出的空氣等流體產生壓力，對象物通過此壓力懸浮，并通過受 到輸送裝置的驅動力而被輸送。相關技術記載于日本專利申請公開公報2006-182563號 中。
發明內容
本發明的目的在于提供一種可通過在運行中保持噴出孔寬度的均勻性，從而使對 象物所受的浮力穩定的懸浮裝置及懸浮輸送裝置。 本發明是以如下方式實現的。本發明第一方面的懸浮裝置，通過流體使具有下表
面的對象物懸浮。所述懸浮裝置具有 基部，用于劃分出所述流體通過的小室； 配置成能夠覆蓋所述小室的島部件，該島部件能夠移動且具有外表面和呈平面狀 的上表面； 用于圍住所述島部件的外壁部件，該外壁部件具有與所述島部件的外表面相對的 內表面； 由所述島部件的外表面和所述外壁部件的內表面劃分出的噴出孔，該噴出孔配置 成能夠在所述上表面和所述對象物的所述下表面之間生成使所述流體產生均勻壓力的空 間，所述噴出孔至少在所述上表面附近朝向所述區域的內部傾斜，并與所述小室連通從而 噴出所述流體；以及 位于所述噴出孔中的多個突起，所述突起由受到所述流體的壓力的所述島部件所 按壓并與所述噴出孔的內表面抵接，從而使所述噴出孔的寬度均勻。 本發明第二方面的懸浮輸送裝置，通過流體使具有下表面的對象物懸浮并輸送該 對象物，所述懸浮輸送裝置具有
懸浮裝置，具有 基部，用于劃分出所述流體通過的小室， 配置成能夠覆蓋所述小室的島部件，該島部件能夠移動且具有外表面和呈平面狀 的上表面， 用于圍住所述島部件的外壁部件，該外壁部件具有與所述島部件的外表面相對的 內表面， 由所述島部件的外表面和所述外壁部件的內表面劃分出的噴出孔，該噴出孔配置
3成能夠在所述上表面和所述對象物的所述下表面之間生成使所述流體產生均勻壓力的空 間，所述噴出孔至少在所述上表面附近朝向所述區域的內部傾斜，并與所述小室連通從而 噴出所述流體，以及 位于所述噴出孔中的多個突起，所述突起由受到所述流體的壓力的所述島部件所
按壓并與所述噴出孔的內表面抵接，從而使所述噴出孔的寬度均勻； 流體供給裝置，對所述流體施壓，從而向所述小室供給所述流體；禾口 輸送裝置，用于輸送所述對象物。 優選為，任何一個所述外壁部件，具有朝向上方支承所述島部件的卡止抓。
圖1是表示根據本發明實施方式的懸浮輸送裝置的部分俯視圖。 圖2是表示沿圖1的II-II向而得的局部剖視圖。 圖3是表示所述懸浮輸送裝置所具有的懸浮裝置的俯視圖。 圖4是表示沿圖3的IV-IV向而得的局部剖視圖。 圖5是表示沿圖3的V-V向而得的局部剖視圖。
具體實施例方式
以下結合附圖對本發明的實施方式進行說明。在本說明書、權利要求書及附圖中， 前方、后方、左方及右方分別定義為在圖中以FF、FR、L及R標記的方向。這些定義僅為方便 說明而舉，本發明并不限于這些內容。 根據本發明實施方式的懸浮輸送裝置l，是用于將對象物W在垂直方向懸浮后在 水平輸送方向(例如后方FR)輸送的裝置。作為對象物W，優選為整體呈平面狀的比較薄的 物體，例如LCD(液晶顯示器)用的玻璃基板等薄板。對象物W無需全體呈平面狀，只需對 象物W下表面的至少一部分呈平面狀即可。為使對象物W懸浮，利用例如空氣等流體。
在對象物W是LCD用的薄玻璃基板等需要在無塵環境下輸送的物品的情況下，所 述懸浮輸送裝置1可在無塵室等無塵環境下使用。 如圖1所示，懸浮輸送裝置1具有向前后方向伸出的基臺3、在基臺上沿前后方向 形成列的輸送裝置5、在基臺3上沿前后方向及左右方向的兩方向形成列的多個懸浮裝置 21。在懸浮裝置21上連接有供給未圖示的壓縮空氣的氣體供給裝置作為用于供給流體的 流體供給裝置。可以利用氮氣或氬氣等其他氣體、或液體等其他流體來代替壓縮空氣。
輸送裝置5，在基臺3的左端及右端附近具有在對象物W的輸送方向分別形成列的 多個輥7。各輥7，分別介由旋轉軸7s與蝸輪ll一體連接，通過支架9支承成可旋轉。為 了在前后方向貫穿基臺3，具有一對驅動軸13，各驅動軸13具有可與各蝸輪11驅動地嚙合 的蝸桿15。在各驅動軸13的前端，介由聯軸器等與馬達17的輸出軸17s可驅動地連接。 如此，各輥7受到馬達17的驅動力而以相同轉速旋轉。如圖2所示，所述各輥7的上端部， 配置成從所述懸浮裝置21的上表面稍微向上方突出而在單一面上對齊。對象物W即使處 于懸浮狀態，也如圖2所示地與應受到驅動力的輥7接觸。 馬達17無需設置一對，也可以是兩個驅動輪13介由鏈等適當的連接機構與單一 馬達連接。并且，也可以是將可驅動的夾持器或皮帶輸送機等輸送機構適用于輸送裝置5來代替輥。 參照圖3 圖5，各懸浮裝置21具有基部23，各基部23介由支架25固定在基臺3 上。各基部23，在其內側劃分出有小室27，從氣體供給裝置供給的壓縮空氣暫時通過該小 室27。 基部23，在其上部周邊具有外壁部件29。以被外壁部件29圍住的方式、此外以覆 蓋小室27的方式設置有矩形的島部件31。外壁部件29設置有用于朝向上方支承島部件 31的卡止抓35。因島部件31未固定，從而受到小室27內的壓縮空氣的壓力而稍微向上移 動。在外壁部件29和島部件31之間，留有與小室27連通而使壓縮空氣通過的間隙。外壁 部件29和島部件31所劃分出的該間隙，以下稱為噴出孔37。 參照圖3 圖5，噴出孔37是矩形的環狀間隙。外壁部件29的上部的內周29a朝 向內部傾斜，島部件31的上部的外周31a也朝向內部傾斜。由此，在噴出孔37，由外壁部件 29的上部的內周29a和島部件31的上部的外周31a所劃分出的部分，即在懸浮裝置21的 上表面附近，該噴出孔37朝向內部傾斜。另一方面，在噴出孔37，被外壁部件29的下部的 內周29b和島部件31的下部的外周31b所圍住的部分，大致垂直地設置。或者，也可以噴 出孔37的全部朝向內部傾斜。 在噴出孔37具有朝向內部的傾斜時，壓縮空氣的流量越大，對象物W的懸浮高度 越高。因此，環狀且向內部傾斜的噴出孔37，介由壓縮空氣的流量控制來提供對象物W的懸 浮高度的控制性。該傾向隨著傾斜越大而越明顯，但由于該傾斜過大時會導致上部外壁部 件29的制作困難，因此傾角優選為45° ，但并不限于此。 島部件31，進一步在該傾斜的外周31a的面上具有相同高度的多個突起33。島部
件31受到壓縮空氣的壓力，從而稍微朝向上方移動。若島部件31移動，則突起33與各外壁
部件29的傾斜的內周29a抵接，從而使噴出孔37的寬度均勻。或者，作為代替島部件31，
外壁部件29的傾斜的內周29a可具有多個突起33。在此情況下，如島部件31移動，則突起
33與各島部件31的傾斜的外周31a抵接，使得噴出孔37的寬度均勻。 噴出孔37，并不限于矩形環狀，也可以是橢圓形環狀，或者環形的一部分被閉塞的
形狀、也可以是其他各種形狀。 優選為，島部件31的上表面和外壁部件29的上表面對齊成單一的平面。并且，優 選為，多個懸浮裝置21以所述已對齊的上表面之間進一步形成單一平面的方式對齊。這有 利于使對象物W懸浮高度穩定。 各懸浮裝置21的各小室27，通過未圖示的配管相互連通，進一步與空氣供給裝置 連通。空氣供給裝置，介由配管以可控制地向各懸浮裝置21供給壓縮空氣。作為空氣供給 裝置，優選為具有與變換器電源電連接的送風機馬達、通過送風機馬達被驅動的送風機，但 并不限于此。空氣供給裝置也可以具有可讀取對象物W的信息的適當的讀取裝置、控制空 氣流量的控制器等。 若從空氣供給裝置向各小室27供給壓縮空氣，則從各噴出孔37噴出壓縮空氣。所 噴出的壓縮空氣，如圖3 圖5所示，在島部件31的上表面和對象物W的下表面之間，即噴 出孔37的開口所圍住的空間，生成使所述壓縮空氣產生均勻壓力的空間S。由具有均勻壓 力的空間S的支承，由此所述對象物被施加浮力而懸浮。另一方面，通過驅動一對馬達17 來使得一對驅動軸13同步旋轉。通過蝸輪11和蝸桿15的嚙合，驅動軸13的旋轉被傳遞
5到各輥7。通過與旋轉的輥7接觸，輸送到懸浮輸送裝置1的對象物W在懸浮的狀態下被輸 送。 在運行前或運行中，外壁部件29也有可能相對島部件31從正規位置離開。此時， 由于噴出孔37的寬度的均勻性受損，因此存在空間S的壓力的均勻性受損、壓力變動的擔 憂。根據上述的實施方式，懸浮輸送裝置1具有可移動的島部件31和相同高度的多個突起 33的組合。島部件31通過受到壓縮空氣的壓力而移動，通過突起33與噴出孔37的內表面 抵接而使得噴出孔37的寬度保持均勻。由此，恢復了空間S的壓力均勻性或穩定性，進而 穩定了對象物所受的浮力。 以上參照本發明的優選實施方式進行了說明，但本發明并不限于上述實施方式的
內容。基于上述公開內容，具有本技術領域普通技術的人員，可以通過對實施例進行修改或
變形來實施本發明。 產業上的可利用性 本發明提供一種可使對象物所受的浮力穩定的懸浮裝置及懸浮輸送裝置。
權利要求
一種懸浮裝置，通過流體使具有下表面的對象物懸浮，所述懸浮裝置具有基部，用于劃分出所述流體通過的小室；配置成能夠覆蓋所述小室的島部件，該島部件能夠移動且具有外表面和呈平面狀的上表面；用于圍住所述島部件的外壁部件，該外壁部件具有與所述島部件的外表面相對的內表面；由所述島部件的外表面和所述外壁部件的內表面劃分出的噴出孔，該噴出孔配置成能夠在所述上表面和所述對象物的所述下表面之間生成使所述流體產生均勻壓力的空間，所述噴出孔至少在所述上表面附近朝向所述區域的內部傾斜，并與所述小室連通從而噴出所述流體；以及位于所述噴出孔中的多個突起，所述突起由受到所述流體的壓力的所述島部件所按壓并與所述噴出孔的內表面抵接，從而使所述噴出孔的寬度均勻。
2. 根據權利要求1所述的懸浮裝置，其中，所述外壁部件，具有朝向上方支承所述島部 件的卡止抓。
3. —種懸浮輸送裝置，通過流體使具有下表面的對象物懸浮并輸送該對象物，所述懸 浮輸送裝置具有懸浮裝置，具有基部，用于劃分出所述流體通過的小室，配置成能夠覆蓋所述小室的島部件，該島部件能夠移動且具有外表面和呈平面狀的上 表面，用于圍住所述島部件的外壁部件，該外壁部件具有與所述島部件的外表面相對的內表面，由所述島部件的外表面和所述外壁部件的內表面劃分出的噴出孔，該噴出孔配置成能 夠在所述上表面和所述對象物的所述下表面之間生成使所述流體產生均勻壓力的空間，所 述噴出孔至少在所述上表面附近朝向所述區域的內部傾斜，并與所述小室連通從而噴出所 述流體，以及位于所述噴出孔中的多個突起，所述突起由受到所述流體的壓力的所述島部件所按壓 并與所述噴出孔的內表面抵接，從而使所述噴出孔的寬度均勻；流體供給裝置，對所述流體施壓，從而向所述小室供給所述流體；禾口 輸送裝置，用于輸送所述對象物。
4. 根據權利要求3所述的懸浮輸送裝置，所述外壁部件，具有朝向上方支承所述島部 件的卡止抓。
全文摘要
本發明提供一種懸浮輸送裝置，通過流體使具有下表面的對象物懸浮并輸送該對象物，所述懸浮輸送裝置具有懸浮裝置，具有基部，用于劃分出所述流體通過的小室，配置成能夠覆蓋所述小室的島部件，該島部件能夠移動且具有外表面和呈平面狀的上表面，用于圍住所述島部件的外壁部件，該外壁部件具有與所述島部件的外表面相對的內表面，由所述島部件的外表面和所述外壁部件的內表面劃分出的噴出孔，該噴出孔配置成能夠在所述上表面和所述對象物的所述下表面之間生成使所述流體產生均勻壓力的空間，所述噴出孔至少在所述上表面附近朝向所述區域的內部傾斜，并與所述小室連通從而噴出所述流體，位于所述噴出孔中的多個突起，所述突起由受到所述流體的壓力的所述島部件所按壓并與所述噴出孔的內表面抵接，從而使所述噴出孔的寬度均勻；流體供給裝置，對所述流體施壓，從而向所述小室供給所述流體；輸送裝置，用于輸送所述對象物。
文檔編號B65G49/06GK101711218SQ200880021789
公開日2010年5月19日 申請日期2008年5月9日 優先權日2007年6月29日
發明者田中刈入 申請人:株式會社Ihi