專利名稱：充氣設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種充氣設備，特別是有關于一種用以將氣體導入至少 一個用以存放半導體組件或光罩的存放裝置中的充氣設備。
背景技術：
近代半導體科技發展迅速，其中光學微影技術扮演重要的角色，只 要是關于圖形定義，皆需仰賴光學微影技術。光學微影技術在半導體的 應用上，是將設計好的線路制作成具有特定形狀可透光的光罩。利用曝 光原理，則光源通過光罩投影至硅晶片可曝光顯示特定圖案。由于任何 附著于光罩上的塵埃顆粒(如微粒、粉塵或有機物)都會造成投影成像的質 量劣化，用于產生圖形的光罩必須保持絕對潔凈，而被投射的硅晶片或 者其它半導體投射體亦必須保持絕對清靜，因此在一般的晶片制作工藝 中，都提供無塵室的環境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無塵 室也無法達到絕對無塵的狀態。
因此，現代的半導體制作工藝皆利用抗污染的存放裝置進行光罩與 半導體組件的保存與運輸，以使光罩與半導體組件保持潔凈。存放裝置 是在半導體制作工藝中用于存放光罩或半導體組件，以利光罩與半導體 組件在機臺之間的搬運與傳送，并隔絕光罩與半導體組件與大氣的接觸， 避免光罩或半導體組件被雜質污染而產生變化。因此，在先進的半導體
廠中，通常會要求該等存放裝置的潔凈度要符合機械標準接口(Standard Mechanical Interface; SMIF)，也就是說保持潔凈度在Class 1以下。所以，
在該等存放裝置中充入氣體便是目前解決的手段之一。因此，以往的技 術乃將該等存放裝置外接一個充氣設備，使氣體通過充氣設備導入該等 存放裝置。
以往的充氣設備，不論是使用何種充氣方式或手段，均會在入氣端 口裝置，也就是將氣體充填進入存放裝置的部分，增設氣密裝置，多半是一種「軟塑料零件」(o-ring seal),如美國專利公告第5879458號專利、 美國專利公告第6042651號專利、美國專利公告第6221163號專利、美 國專利公告第6368411號專利所示，其目的在于防止充氣時氣體的流失， 造成成本的增加。該等氣密裝置為了達到使入氣端口裝置與存放裝置密 合的效果，使用軟塑料零件是最好的選擇，因其具有彈性，可輕易調整， 因此不會因入氣端口裝置與存放裝置入氣端口的接觸點不同而造成氣體 流失；然而氣密裝置若是一種額外增加的零件，勢必得再增加其它零件 用以固定之，亦或是需要增設一個位置以致放此種額外增加的零件，又 若采用軟塑料材質作為氣密裝置，則因其材質本身易消耗的特性，不但 易增加備品、替換的成本且會產生碎屑微粒導致污染；又雖然其具有彈 性可輕易調整，然而若存放裝置的入氣部份與入氣端口裝置沒有完整的 面接觸，依然會造成氣體流失之虞，仍然會增加成本。另外，此等軟塑 料材質容易有揮發物質從內部不斷逸出，也是另一個產生污染的重要因 素。
發明內容
本發明的目的是公開一種充氣設備，為解決現有技術的問題，其所 提供的具有弧面承接部入氣端口裝置，是針對先前技術的不足加以改良。
為達到上述目的，本發明的技術解決方案是提供一種具有弧面承接 部的入氣端口裝置的充氣設備，此充氣設備，與一供氣裝置連接，用以 將氣體導入至少一個具有入氣部分用以存放半導體組件或光罩的存放裝 置中，包含有至少一個承座，用以承載存放裝置；至少一個入氣端口裝 置，設于承座上，該入氣端口裝置包含有承接部，其頂部與該存放裝置 的入氣部分成弧面與弧面的線接觸；包含有通孔貫穿該該入氣端口裝置， 供氣體通過；以及包含有接合部，與該供氣部分連接。
本發明的優點在于
所述的充氣設備，不需要再增設氣密裝置，即可達到防止氣體流失 的效果。
所述的充氣設備，不需增設其它固定氣密裝置的零件，以達到節省 成本的效果。所述的充氣設備，不需增設軟塑料零件作為氣密裝置，不需負擔備 品、替換零件的成本。
所述的充氣設備，不用軟塑料零件作為氣密裝置，可減少碎屑以及 揮發物質對存放裝置的污染。
所述的充氣設備，其與存放裝置的入氣部分是成弧面(與弧面)的線接 觸，可達到完整的面接觸，防止氣體流失。
圖l，是本發明充氣設備的示意圖2，是本發明中入氣端口裝置的示意圖3，是本發明中入氣端口裝置頂部與存放裝置入氣部分的關是圖； 圖4A與圖4B，是本發明中入氣端口裝置與承座的關是圖； 圖5，是本發明中入氣端口裝置與輸氣管及連接裝置的示意圖； 圖6，是本發明中開關裝置于充氣設備的位置關是與示意圖； 圖7，是本發明中第二感應裝置于充氣設備的位置關是與示意圖； 圖8，是本發明中流量調節器示意圖； 圖9，是本發明中充氣設備所連接的供氣裝置的示意圖； 圖10，是本發明中穩壓裝置、第一感應裝置于充氣設備的位置關是 與示意圖ll，是本發明中導正裝置于充氣設備的位置關是與示意圖。 主要組件符號說明 充氣設備1 承座11 導正裝置111 入氣端口裝置12 承接部121 頂部1211 通孔122 接合部123 輸氣管124連接裝置125 固定裝置128 彈性裝置129 開關裝置13 流量調節器131 第二感應裝置14 穩壓裝置18 第一感應裝置19 供氣裝置2 供氣源21 . 供氣線路22 進氣部分221 供氣部分222 存放裝置3 入氣部分3具體實施例方式
由于本發明是揭露一種具有弧面承接部的入氣端口裝置的充氣設 備，其中所利用到的一些關于光罩、半導體組件、存放裝置或充氣裝置 的詳細制造或處理過程，是利用現有技術來達成，故在下述說明中，并 不作完整描述。而且下述文中的附圖，亦并未依據實際的相關尺寸完整 繪制，其作用僅在表達與本發明特征有關的示意圖。
請先參閱圖1，是本發明充氣設備的示意圖。充氣設備1的目的是用 以將氣體導入至少一個用以存放半導體組件或光罩的存放裝置3中，存 放裝置具有至少一個入氣部分31。充氣設備1是與供氣裝置2連接，由 供氣裝置2提供氣體至充氣設備1后，再由充氣設備1將氣體導入存放裝 置3中。充氣設備1是由承座11與入氣端口裝置12組合而成。承座11 目的在承載存放裝置3;入氣端口裝置12，是用以將供氣裝置2提供的 氣體輸送至存放裝置3入氣部分31 ，使氣體進入存放裝置3 。
接著，請參閱圖2，入氣端口裝置12是設于承座11上且位于與存放裝置3入氣部分31對應的位置，入氣端口裝置12包含有承接部121、通 孔122與接合部123，其中，承接部121用以與存放裝置3的入氣部分31 相接，通孔122是用以供氣體通過，接合部123與該供氣裝置2連接。
接著請參閱圖3，入氣端口裝置12的承接部121頂部1211與存放裝 置3的入氣部分31成弧面與弧面的線接觸，也因此，不論如何調整存放 裝置3的入氣部分31，只要與承接部121的頂部1211保持接觸，均能夠 呈現弧面與弧面的線接觸，而不需要再增設其它氣密裝置，均能直接達 到氣密的效果。
接著，為進而保持入氣端口裝置12的固定性，可使用固定裝置128 將入氣端口裝置12固定于承座11上，如圖4A所示。而為了使入氣端口 裝置12的承接部121可相對于該承座11上下調整具有可調整性，使入 氣端口裝置12不隨著存放裝置3的調整而改變氣密效果，可再增設彈性 裝置129于固定裝置128上，該彈性裝置129可以是彈簧，如圖4B所示， 或是其它可保持彈性的組件。
請繼續參閱圖5，充氣設備1可再增設輸氣管124，使之連接于入氣 端口裝置12的接合部123與供氣裝置2之間，使氣體得以順著輸氣管124 通過入氣端口裝置12的通孔122進入存放裝置3。進而，充氣設備1可 再增設連接裝置125，連接輸氣管124與入氣端口裝置12的接合部123， 連接的方式有許多種，本說明書并無限制，只要可以達到使輸氣管124 與接合部123相互連接，甚至緊密的狀態的裝置，均屬于連接裝置125 的一種，但在最佳實施態樣下，可于接合部123與連接裝置125互相接 合處設置螺紋，以螺旋的方式接合。
接著本發明充氣設備1可再設置一個開關裝置13，用以開啟或關閉 氣體進入存放裝置3，如圖6所示。此種開關裝置13可以是電磁閥。當 存放裝置3放置于充氣設備1的承座11上，且其入氣部分31與入氣端口 裝置12正確對位時，該開關裝置13即開啟，則于供氣裝置2的氣體即通 過入氣端口裝置12進入存放裝置3中。
如欲使該充氣設備1更加自動化，則可再于該充氣設備1中增設第 二感應裝置14，如圖7所示。第二感應裝置14可設在承座11上，設置 目的在于感應存放裝置3的入氣部分31與充氣設備1的入氣端口裝置12是否正確對位，當入氣部分31與入氣端口裝置12的放置位置正確時，
第二感應裝置14可以傳送訊號至開關裝置13，并使該開關裝置13開啟， 此時，于供氣裝置2的氣體即可通過入氣端口裝置12進入存放裝置3中。
又，為了防止進入存放裝置3的氣體在開關裝置13開啟的瞬間爆沖， 可再增設一個防止爆沖的流量調節器131，如圖8所示，用以在開關裝置 13開啟時，調節導入存放裝置3的氣體的流量。
再者，如圖9所示，此種充氣設備1所連接的供氣裝置2是包含供氣 源21以及供氣線路22，供氣線路22由進氣部分221與供氣部分222組 成，進氣部分221用以與該供氣源21連接；供氣部分222，用以將氣體 導入存放裝置3中。
接著，如圖10所示，本發明可再設置一個穩壓裝置18，設置于供氣 線路22上，用以調節該供氣線路22內氣體的壓力與流量，充氣設備的 供氣線路22平時保持一定的流量，但是隨著導入存放裝置3的氣體流量 的增加或減少，將會影響供氣線路22整體氣壓與氣體流量，該穩壓裝置 18可以隨氣體的增減調整在供氣線路22內的氣體流量，保持整個供氣線 路22氣壓的穩定，進而保持導入存放裝置3的氣體具有穩定的氣壓。同 時，可再增設第一感應裝置19，設于供氣線路的進氣部分221中，用以 感測供氣線路22內氣體的壓力與流量。第一感應裝置19與穩壓裝置18 連接，將第一感應裝置19所感測的氣壓與流量的結果傳輸至穩壓裝置 18，使穩壓裝置18得以調節在供氣線路22內氣體的壓力與流量，借以 保持供氣線路22中氣體流量與壓力的穩定。
此外，為了使存放裝置3更易正確置于正確的充氣位置，可以在承 座11上設置至少一對導正裝置111，用以引導并協助存放裝置3置入承 座11上，如圖11所示。
以上所述僅為本發明的較佳實施例而已，并非用以限定本發明的申 請專利權利；同時以上的描述，對于熟知本技術領域的專門人士應可明 了及實施，因此其它未脫離本發明所揭示的精神下所完成的等效改變或 修飾，均應包含在權利要求的保護范圍中。
權利要求
1、一種充氣設備，用以將氣體導入至少一個用以存放半導體組件或光罩的存放裝置中，該存放裝置具有至少一入氣部分；該充氣設備系與一供氣裝置連接，其中該供氣裝置包含一供氣源以及一供氣線路，該供氣線路包含有一進氣部分用以與該供氣源連接，以及至少一供氣部分，用以將氣體導入至少一個存放裝置中；其特征在于，該充氣設備包含至少一承座，用以承載該存放裝置；以及至少一入氣端口裝置，設于該承座上且與該存放裝置入氣部分對應的位置，該入氣端口裝置包含有一承接部，具有一頂部與該存放裝置的入氣部分成弧面的線接觸；一通孔貫穿該入氣端口裝置，供氣體通過；以及一接合部，用以與該供氣部分連接。
2、 依據權利要求1所述的充氣設備，其特征在于，另包含有至少一 對導正裝置，設于該承座上，用以引導該存放裝置置入該承座。
3、 依據權利要求1所述的充氣設備，其特征在于，另包含有一輸氣 管，連接于該入氣端口裝置的接合部與該供氣線路的供氣部分間。
4、 依據權利要求3所述的充氣設備，其特征在于，另包含有一連接 裝置，用以連接于該入氣端口裝置的接合部與該輸氣管。
5、 依據權利要求1所述的充氣設備，其特征在于，另包含有一開關 裝置，與該供氣線路的供氣部分連接，用以容許或阻止氣體進入該存放 裝置。
6、 依據權利要求5所述的充氣設備，其特征在于，所述開關裝置為一電磁閥。
7、 根據權利要求5所述的充氣設備，其特征在于，當該存放裝置的 入氣部分與該充氣設備的入氣端口裝置正確對位，該開關裝置即開啟， 氣體即進入該存放裝置中。
8、 根據權利要求5所述的充氣設備，其特征在于，另包含一第二感 應裝置，設于該承座上，用以感應該存放裝置的入氣部分與該充氣設備 的入氣端口裝置是否正確對位。
9、 根據權利要求8所述的充氣設備，其特征在于，當該存放裝置的 入氣部分與該充氣設備的入氣端口裝置正確對位時，該第二感應裝置即 傳送一訊號至該開關裝置，使該開關裝置開啟，氣體即進入該存放裝置 中。
10、 根據權利要求5所述的充氣設備，其特征在于，所述開關裝置 另包含一流量調節器，用以調節導入該存放裝置的氣體的流量。
11、 根據權利要求1所述的充氣設備，其特征在于，另包含至少一 固定裝置，用以將該入氣端口裝置固定于該承座上。
12、 根據權利要求11所述的充氣設備，其特征在于，所述固定裝置 另包含一彈性裝置，用以使該入氣端口裝置的承接部可相對于該承座為 可調整性。
13、 根據權利要求1所述的充氣設備，其特征在于，另包含一穩壓 裝置，設于該供氣線路的進氣部分，用以調節該供氣線路內氣體的壓力 與流量。
14、 根據權利要求13所述的充氣設備，其特征在于，另包含一第一 感應裝置，設于該供氣線路的進氣部分，用以感測該供氣線路內氣體的 壓力與流量。
15、 根據權利要求14所述的充氣設備，其特征在于，所述第一感應 裝置將感測結果傳輸至該穩壓裝置，使該穩壓裝置得以調節該供氣線路 內氣體的壓力與流量。
16、 一種充氣設備，用以將氣體導入至少一個用以存放半導體組件 或光罩的存放裝置中，該存放裝置具有至少一入氣部分；該充氣設備是 與一供氣裝置連接；其特征在于，該充氣設備包含至少一承座，用以承載該存放裝置；以及至少一入氣端口裝置，設于該承座上且與該存放裝置入氣部分對應 的位置，該入氣端口裝置包含有一承接部，具有一頂部與該存放裝置的入氣部分成弧面的線接觸； 一通孔貫穿該該入氣端口裝置，供氣體通過；以及 一接合部，與該供氣裝置連接。
17、 依據權利要求16所述的充氣設備，其特征在于，另包含有至少一對導正裝置，設于該承座上，用以引導該存放裝置置入該承座。
18、 依據權利要求16所述的充氣設備，其特征在于，另包含有一輸 氣管，連接于該入氣端口裝置的接合部與該供氣裝置。
19、 依據權利要求18所述的充氣設備，其特征在于，另包含有一連 接裝置，連接于該入氣端口裝置的接合部與該輸氣管間。
20、 依據權利要求16所述的充氣設備，其特征在于，另包含有一開 關裝置，用以開啟或關閉氣體進入該存放裝置。
21、 依據權利要求20所述的充氣設備，其特征在于，所述開關裝置 為一電磁閥。
22、 根據權利要求20所述的充氣設備，其特征在于，當該存放裝置 的入氣部分與該充氣設備的入氣端口裝置正確對位，該開關裝置即開啟， 氣體即進入該存放裝置中。
23、根據權利要求20所述的充氣設備，其特征在于，另包含一第二 感應裝置，設于該承座上，用以感應該存放裝置的入氣部分與該充氣設 備的入氣端口裝置是否正確對位。
24、 根據權利要求23所述的充氣設備，其特征在于，當該存放裝置 的入氣部分與該充氣設備的入氣端口裝置正確對位時，該第二感應裝置 即傳送訊號至該開關裝置，使該開關裝置開啟，氣體即進入該存放裝置 中。
25、 根據權利要求20所述的充氣設備，其特征在于，所述開關裝置 另包含一流量調節器，用以調節導入該存放裝置的氣體的流量。
26、 根據權利要求16所述的充氣設備，其特征在于，另包含至少一 固定裝置，用以將該入氣端口裝置固定于該承座上。
27、 根據權利要求26所述的充氣設備，其特征在于，所述固定裝置 另包含一彈性裝置，用以使該入氣端口裝置的承接部可相對于該承座為 可調整性。
全文摘要
本發明一種充氣設備，與一供氣裝置連接，用以將氣體導入至少一個具有入氣部分用以存放半導體組件或光罩的存放裝置中，包含有至少一個承座，用以承載存放裝置；至少一個入氣端口裝置，設于承座上。該入氣端口裝置包含有承接部，其頂部與該存放裝置的入氣部分成弧面與弧面的線接觸；通孔，供氣體通過；以及接合部，與該供氣部分連接。
文檔編號B65B31/04GK101587823SQ200810107918
公開日2009年11月25日 申請日期2008年5月21日 優先權日2008年5月21日
發明者王勝弘, 邱銘隆 申請人:家登精密工業股份有限公司