專利名稱：晶圓隔離環(huán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于晶圓隔離保護(hù)部件，具體為一種晶圓隔離環(huán)。
技術(shù)背景目前市場(chǎng)上用于隔離晶圓的產(chǎn)品為圓形薄片狀，因此在包裝時(shí)與 晶圓完全接觸。當(dāng)多片晶圓疊在一起包裝后，在運(yùn)輸途中晶圓易被污 染、劃傷，而且在使用過程中不易存放及拿取，這在對(duì)晶圓品質(zhì)高要 求的標(biāo)準(zhǔn)里是不允許的。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有晶圓包裝易被污染、劃傷的缺 陷，提供一種能減小晶圓被污染、劃傷，易取易放的晶圓隔離環(huán)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下 一種晶圓隔離環(huán)，在圓形環(huán)體的邊 緣設(shè)有支撐臺(tái)，支撐臺(tái)上設(shè)有若干個(gè)透氣槽。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于當(dāng)多層晶圓疊放在一起時(shí)，由隔離環(huán)將 其隔離，即隔離環(huán)放置于晶圓之間。由于隔離環(huán)形狀為圓環(huán)形，且有 一定的厚度，因此晶圓除邊緣與隔離環(huán)接觸外，其余部分懸空，從而 有效的保護(hù)了晶圓。由于隔離環(huán)和晶圓表面都很光滑，隔離環(huán)放置于 兩片晶圓之間，形成一個(gè)由"晶圓-隔離環(huán)-晶圓"組成的密閉空間(3)， 當(dāng)自動(dòng)化取出晶圓時(shí)就會(huì)產(chǎn)生真空吸附現(xiàn)象，下面的晶圓會(huì)被吸住一 起帶動(dòng)，造成損失。開設(shè)透氣槽后可使密閉里的空氣與外界連通，消 除真空吸附現(xiàn)象，使得晶圓容易被取出。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，l.隔離環(huán)2.支撐臺(tái)3.透氣槽 圖2為晶圓之間密閉空間形成與消除方式示意圖。 圖中，3.密閉空間4.空氣流通通道具體實(shí)施方式
如圖1所示，晶圓隔離環(huán)1在圓形環(huán)體的邊緣設(shè)有支撐臺(tái)2，支 撐臺(tái)2上設(shè)有若干個(gè)透氣槽3。晶圓放置于支撐臺(tái)上，僅邊緣部分與隔離環(huán)上的支撐臺(tái)接觸，晶 圓其余部分懸空。取出晶圓時(shí)，空氣經(jīng)由透氣槽進(jìn)入"晶圓-隔離環(huán)-晶圓"形成的空間部分，消除真空吸附現(xiàn)象，晶圓即可被方便的取出， 而不會(huì)吸附下面的晶圓一起運(yùn)動(dòng)。
權(quán)利要求1.一種晶圓隔離環(huán)，其特征在于在圓形環(huán)體的邊緣設(shè)有支撐臺(tái)(2)，支撐臺(tái)(2)上設(shè)有若干個(gè)透氣槽(3)。
專利摘要本實(shí)用新型屬于晶圓隔離保護(hù)部件，具體為一種晶圓隔離環(huán)。其結(jié)構(gòu)是在圓形環(huán)體的邊緣設(shè)有支撐臺(tái)，支撐臺(tái)上設(shè)有若干個(gè)透氣槽。使用此隔離環(huán)后，晶圓中間部分不與物體接觸，極大的減少了晶圓與其他物體的接觸面積，從而有效的保護(hù)晶圓不被污染、劃傷。
文檔編號(hào)B65D81/05GK201023813SQ200720143770
公開日2008年2月20日 申請(qǐng)日期2007年4月5日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月5日
發(fā)明者何江波, 劉汝拯, 邱摩西, 陳松平 申請(qǐng)人:義柏科技(深圳)有限公司