專利名稱:玻璃基板移送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明關(guān)于玻璃基板移送裝置,特別關(guān)于具有位置補償調(diào)整的玻璃基板移送裝置。
背景技術(shù):
液晶薄膜顯示器內(nèi)所使用的玻璃基板,其需要經(jīng)過多道的制作工藝程序,而在不同制作工藝程序之間,通常利用機(jī)械手臂(Robot)與托盤(Tray)以堆棧式儲放玻璃基板并加以搬運。
參閱圖1,其為傳統(tǒng)玻璃基板移送裝置實施于烘箱1(Oven)的結(jié)構(gòu)示意圖,為增加產(chǎn)能并減少制作工藝時間(cycle time),烘箱1可同時進(jìn)行多片玻璃基板的烘烤作業(yè);烘箱1是在冷卻區(qū)2上下疊設(shè)有一層入口與多層出口,機(jī)械手臂3將一托盤4上的玻璃基板放入烘箱1的入口,該玻璃基板借由烘箱1的移動裝置5進(jìn)入烘箱1內(nèi)部烘烤,并待烘烤完畢后再移至多層出口的其中之一存放,此時機(jī)械手臂3再將多層出口上的玻璃基板移出至托盤4上。
而在將多層出口上的玻璃基板移出至托盤4上的搬運過程中,為確保玻璃基板的安全并避免玻璃基板的堆棧有位置上的誤差,其必需具有偏斜校正(偏斜補償)的功能。傳統(tǒng)技術(shù)的校正動作是在機(jī)械手臂3取得玻璃基板之后再進(jìn)行,機(jī)械手臂3必須在乘載玻璃基板的情形下,進(jìn)行平面的移動,并借由固定位置的二X軸感應(yīng)器6(sensor)與一Y軸感應(yīng)器7感測玻璃基板的邊緣,以借由機(jī)械手臂3對玻璃基板進(jìn)行位置的補償,而使玻璃基板可無位置偏移的被擺置于托盤4上。
如此顯然傳統(tǒng)技術(shù)因機(jī)械手臂3必須在乘載玻璃基板的情況下,才能進(jìn)行玻璃基板的補償,會使得玻璃基板的移送時間延長。
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明的主要目的在于縮短玻璃基板的移送時間,以增加生產(chǎn)效率,提高產(chǎn)能。
本發(fā)明提供一玻璃基板移送裝置。該玻璃基板移送裝置包括一位置檢知單元、一移動機(jī)構(gòu)、一搬運手臂,以及一手臂控制單元。位置檢知單元用以檢知玻璃基板相對于一基準(zhǔn)點的位置偏移量,移動機(jī)構(gòu)帶動位置檢知單元相對于該玻璃基板移動,搬運手臂用以將玻璃基板自一第一位置搬移至一第二位置,手臂控制單元則依據(jù)該玻璃基板相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量,對該搬運手臂的移動路徑進(jìn)行補償與校正。
圖1為傳統(tǒng)玻璃基板移送裝置實施于烘箱(Oven)的結(jié)構(gòu)上視圖。
圖2為本發(fā)明玻璃基板移送裝置實施于烘箱(Oven)的結(jié)構(gòu)上視圖。
圖3為本發(fā)明移動機(jī)構(gòu)與烘箱冷卻區(qū)的結(jié)構(gòu)前視圖。
圖4為本發(fā)明移動機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖。
圖5為本發(fā)明移動機(jī)構(gòu)相對烘箱冷卻區(qū)的位移示意圖。
圖6為本發(fā)明感測單元檢知玻璃基板的示意圖。
圖7為本發(fā)明光學(xué)尺實施于移動機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
圖8為本發(fā)明利用光學(xué)尺檢知玻璃基板的示意圖。
主要組件符號說明1..........烘箱2..........冷卻區(qū)3..........機(jī)械手臂4..........托盤5..........移動裝置6..........X軸感應(yīng)器7..........Y軸感應(yīng)器10.........位置檢知單元11.........第一位置感測單元111........第一傳感器112........第二傳感器12.........第二位置感測單元121........第三傳感器20.........移動機(jī)構(gòu)
30.........搬運手臂40.........手臂控制單元50.........玻璃基板具體實施方式
為使本發(fā)明的特征、目的及功效更容易被了解與認(rèn)同,茲列舉優(yōu)選實施例并配合
如后參閱圖2與圖3,本發(fā)明包括一位置檢知單元10、一移動機(jī)構(gòu)20、一搬運手臂30以及一手臂控制單元40。本發(fā)明的實施形態(tài)以一烘箱(0ven)為例加以說明,該烘箱1具有一移動裝置5及一冷卻區(qū)2,該冷卻區(qū)2上下疊設(shè)有一層入口與多層出口。本發(fā)明用于拾取該冷卻區(qū)2多層出口(第一位置)上的玻璃基板50,并放置于一托盤4(Tray)(第二位置)上。
其中該位置檢知單元10用以檢知玻璃基板50相對于一基準(zhǔn)點的位置偏移量,該位置檢知單元10具有一第一位置感測單元11與一第二位置感測單元12;該第一位置感測單元11用以檢知玻璃基板50的第一邊緣相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量;該第二位置感測單元12用以檢知玻璃基板50的第二邊緣相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量。
參閱圖4,該位置檢知單元10設(shè)置于該移動機(jī)構(gòu)20之上,該移動機(jī)構(gòu)20具有帶動該第一位置感測單元11和該第二位置感測單元12相對于該玻璃基板50于X、Y軸平面移動的能力,該移動機(jī)構(gòu)20亦具有Z軸的垂直移動能力,可沿著垂直于該玻璃基板50的平面的方向移動。
該搬運手臂30是用以將該玻璃基板50自該第一位置搬移至該第二位置,且該搬運手臂30受該手臂控制單元40的控制而移動,故只要知道該玻璃基板50相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量,再依據(jù)該位置偏移量,改變該搬運手臂30的移動路徑進(jìn)行補償與校正,即可使該搬運手臂30在拾取玻璃基板50時,可直接以正確位置擺放于該第二位置上。
參閱圖5,本發(fā)明于檢知玻璃基板50的第一邊緣及第二邊緣相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量時,先讓移動機(jī)構(gòu)20沿著垂直于該玻璃基板50的平面的方向(Z軸方向)移動,選擇要測量的玻璃基板50,再通過該移動機(jī)構(gòu)20帶動該第一和第二位置感測單元11、12,沿著平行于該玻璃基板50的方向移動(X軸方向或Y軸方向),直至該第一和第二位置感測單元11、12其中任一個接近該玻璃基板50的該第一邊緣或是該第二邊緣時停止移動,即可得知該玻璃基板50的該第一邊緣或是該第二邊緣相對基準(zhǔn)點的位置偏差量;重復(fù)此一動作,讓該移動機(jī)構(gòu)20沿著平行于該玻璃基板50的另一方向(Y軸方向或X軸方向)移動;如此即可得知該玻璃基板50的該第一邊緣與該第二邊緣相對基準(zhǔn)點的位置偏差量,若在玻璃基板50旋轉(zhuǎn)角度可以忽略不計的前提下,只要知道移動機(jī)構(gòu)20的初始位置與移動距離,即可得知該玻璃基板50相對基準(zhǔn)點的位置偏移量。
參閱圖6,若玻璃基板50旋轉(zhuǎn)角度不可以忽略不計,該位置檢知單元10的第一位置感測單元11須包括有一第一傳感器111與一第二傳感器112,而該第二位置感測單元12具有一第三傳感器121,該第一傳感器111、該第二傳感器112和該第三傳感器121與該基準(zhǔn)點的相對位置為已知,同樣的讓該移動機(jī)構(gòu)20沿著平行于該玻璃基板50的方向(X軸或Y軸方向)移動,直至該第一、第二和第三傳感器111、112、121接近該玻璃基板50的該第一邊緣或是該第二邊緣,即可得知該第一傳感器111、該第二傳感器112和該第三傳感器121相對該玻璃基板50的距離A、B、C;據(jù)此可推算出該玻璃基板50相對基準(zhǔn)點的位置偏差量與旋轉(zhuǎn)角度,故當(dāng)該搬運手臂30在拾取玻璃基板50擺放于該第二位置時,除了補償位置偏差量之外,更可以補償玻璃基板50的旋轉(zhuǎn)角度而以正確位置擺放于該第二位置上。
而此處的該第一傳感器111、第二傳感器112以及該第三傳感器121可為光學(xué)傳感器(photo sensor),其借由非接觸式的光線反射感應(yīng),如紅外線,得知是否接近玻璃基板50的邊緣,而在計算該移動機(jī)構(gòu)20的移動距離方面,則可裝設(shè)一位移計數(shù)器,以檢知該移動機(jī)構(gòu)20在各軸向的移動量。
參閱圖7與圖8,該位置檢知單元10的第一位置感測單元11的第一傳感器111和第二傳感器112亦可為光學(xué)尺(Open Linear Scale)或是激光傳感器(Laser Line Sensor);而該第二位置感測單元12的第三傳感器121也可為光學(xué)尺(Open Linear Scale)或是激光傳感器(Laser Line Sensor),且第一傳感器111、第二傳感器112與第三傳感器121可貼設(shè)于移動機(jī)構(gòu)20上;因為玻璃基板50的位置偏差量多半局限于有限的范圍內(nèi),因而只要設(shè)計讓該移動機(jī)構(gòu)20每次均位移一固定距離D,并讓該移動機(jī)構(gòu)20位移后的第一、第二及第三傳感器111、112、121,橫跨在該玻璃基板50的邊緣上,因而借由光學(xué)尺的測量數(shù)據(jù)與該固定距離D的數(shù)值,即可得知玻璃基板50相對基準(zhǔn)點的位置偏移量與旋轉(zhuǎn)角度。
如上所述,本發(fā)明先檢知玻璃基板50在第一位置時相對基準(zhǔn)點的位置偏移量,故在該手臂控制單元40控制該搬運手臂30由第一位置拾取玻璃基板50并移至第二位置放置時,只要依據(jù)該位置偏移量改變該搬運手臂30的移動路徑,即可補償位置偏移量,而使該玻璃基板50得以正確位置直接擺放于該第二位置上,因為本發(fā)明的搬運手臂30在拾取玻璃基板50后,即直接移至第二位置放置,故本發(fā)明可降低玻璃基板50的移送時間(loader take-time),而較傳統(tǒng)技術(shù)者短,其可增加生產(chǎn)效率,提高產(chǎn)能。
綜上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已,并非用來限定本發(fā)明的實施范圍,即凡依本發(fā)明的內(nèi)容所作的等效變化與修飾,均應(yīng)為本發(fā)明的技術(shù)范疇。
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板移送裝置,包括一位置檢知單元,用以檢知玻璃基板相對于一基準(zhǔn)點的位置偏移量,該位置檢知單元具有一第一位置感測單元,用以檢知玻璃基板的第一邊緣相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量;以及一第二位置感測單元,用以檢知玻璃基板的第二邊緣相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量;一移動機(jī)構(gòu),用以帶動該第一位置感測單元和該第二位置感測單元相對于該玻璃基板移動;一搬運手臂,用以將該玻璃基板自一第一位置搬移至一第二位置;以及一手臂控制單元,依據(jù)該玻璃基板相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量,對該搬運手臂的移動路徑進(jìn)行補償與校正,使該搬運手臂于該第一位置拾取該玻璃基板,得以正確位置直接擺放于該第二位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板移送裝置,其特征在于,該移動機(jī)構(gòu)帶動該第一和第二位置感測單元,沿著平行于該玻璃基板的方向移動,直至該第一和第二位置感測單元其中的任一個接近該玻璃基板的該第一邊緣或是該第二邊緣時停止移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板移送裝置,其特征在于,該第一位置感測單元包括有一第一傳感器與一第二傳感器,該第二位置感測單元具有一第三傳感器,該第一傳感器、該第二傳感器和該第三傳感器與該基準(zhǔn)點的相對位置為已知。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板移送裝置,其特征在于,該第一傳感器、第二傳感器以及該第三傳感器可為光學(xué)傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板移送裝置,其特征在于,該第一傳感器和該第二傳感器可為光學(xué)尺。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板移送裝置,其特征在于,該第一傳感器和該第二傳感器可為激光傳感器。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板移送裝置,其特征在于,該第三傳感器可為光學(xué)尺。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板移送裝置,其特征在于,該第三傳感器可為激光傳感器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板移送裝置,其特征在于,該移動機(jī)構(gòu)還可沿著一垂直于該玻璃基板的平面的方向移動。
全文摘要
一玻璃基板移送裝置包括一位置檢知單元、一移動機(jī)構(gòu)、一搬運手臂,以及一手臂控制單元。位置檢知單元用以檢知玻璃基板相對于一基準(zhǔn)點的位置偏移量,移動機(jī)構(gòu)帶動位置檢知單元相對于該玻璃基板移動,搬運手臂用以將玻璃基板自一第一位置搬移至一第二位置,手臂控制單元則依據(jù)該玻璃基板相對于該基準(zhǔn)點的位置偏移量,對該搬運手臂的移動路徑進(jìn)行補償與校正。
文檔編號B65G47/74GK1876529SQ200610103068
公開日2006年12月13日 申請日期2006年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月11日
發(fā)明者陳盈吉, 邱珧雯 申請人:友達(dá)光電股份有限公司