專利名稱:基板匣的制作方法
技術領域:
本發明是有關于一種卡匣的結構,且特別是有關于一種基板匣(substrate cassette)的結構。
背景技術:
隨著現代視訊技術的進步,各式顯示器已被大量地使用于手機、筆記型電腦、數碼相機及個人數字助理等消費性電子產品的顯示螢幕上。在這些顯示器中,由于液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)及有機電激發光顯示器(Organic Light Emitting Diode,OLED)具有重量輕、體積小及耗電量低等優點,使得其成為市場上的主流。
無論液晶顯示器或是有機電激發光顯示器,其前期制作方式均是利用半導體制程在基板上形成像素單元。隨著元件的制作朝著高密度設計發展,定義在基板上的元件尺寸持續縮小,而使相關的電路設計更為繁復。連帶的,也導致相關的顯示器制程,需要進行相當多的步驟,才能在玻璃基板上制作出所需的像素單元。是以,對一特定批次的基板來說,由投片開始至驗證出貨之間,會在多數制程機臺間往返傳送并進行所需的制程。為了避免這些基板在反復的傳遞過程間發生損壞或沾惹灰塵,操作人員會利用機器傳送手臂將基板儲放于基板匣(substrate cassette)中,再將基板匣搬動至下一個作業機臺以進行一連串的制程。
圖1為現有的一種基板匣的立體示意圖。請參考圖1,現有的基板匣100是由多數蓋板110組合而成的盒體結構,以適于放置多數基板50。基板匣100具有一開口120,而開口120是同時作為這些基板50的載入及載出口。當欲自基板匣100內取用基板50時,可利用傳送手臂(未繪示)將基板50經由開口120取出,以送至特定的機臺作業;反之,基板50可經由開口120而傳送至基板匣100內部儲放。
承接上述,由于基板匣100只具有單一開口120可供基板50載入及載出,如此基板匣100的配設位置須使開口120面向傳送手臂,因而增加設計各機臺相對位置的困難度。此外,只具有單一開口120的基板匣100每次只能配合單獨一臺傳送手臂進行基板50的存取,因此存取基板50的速度有限。
圖2為現有的一種基板匣運送系統的示意圖。請參考圖2,現有的基板匣運送系統200包括一傳送手臂210、一第一輸送機220、一第二輸送機230、一檢查機臺240及如圖1所示的基板匣100,其中第一輸送機220、第二輸送機230、檢查機臺240及基板匣100分別位于傳送手臂210的四個側邊處。此外,傳送手臂210的周圍設有一圍欄250,以避免作業人員誤入傳送手臂210的活動區域而發生意外傷害。
承接上述,由于第一輸送機220、第二輸送機230、檢查機臺240及基板匣100是位于傳送手臂210的四周,因此基板匣運送系統200占用的空間無法降低,并且圍欄250所圍的區域范圍亦無法減少。
發明內容
有鑒于此,本發明的目的是提供一種基板匣,其具有多個方向的載入口及載出口。
本發明的另一目的是提供一種基板匣運送系統,以降低機臺的配置面積。
為達上述或是其他目的,本發明提出一種基板匣,適于放置至少一基板。基板匣包括一上蓋板、一下蓋板、多數支柱及多數懸臂部。上蓋板是相對于下蓋板,而多數支柱是連接上蓋板與下蓋板以形成一容納空間。多數懸臂部是固定在這些支柱上,且每一懸臂部由支柱往容納空間的內部延伸,其中在同一水平面上的每一支柱上會固定有一個懸臂部,用以支撐基板。此外,基板匣具有多數基板載入及載出口,每一基板載入及載出口是位于相鄰的支柱之間。
在本發明的一實施例中,前述的基板載入及載出口包括一載入口以及鄰接載入口的一載出口,以使基板載入基板匣的方向垂直于基板載出基板匣的方向。
在本發明的一實施例中,前述的基板載入及載出口包括一載入口以及位于該載入口對向的一載出口,以使該基板載入該基板匣的方向平行于該基板載出該基板匣的方向。
在本發明的一實施例中,基板匣更包括至少一側蓋板,覆蓋于載出口與載入口以外的基板載入及載出口。
在本發明的一實施例中,較接近支柱處的懸臂部厚度可大于其遠離支柱處的厚度。
在本發明的一實施例中,前述的懸臂部的厚度可由支柱處往容納空間內部逐漸變小。
在本發明的一實施例中,較接近支柱處的懸臂部寬度可大于其遠離支柱處的寬度。
在本發明的一實施例中,前述的懸臂部的寬度可由支柱處往容納空間內部逐漸變小。
在本發明的一實施例中,前述的懸臂部具有一仰角,而仰角的較佳范圍是介于0.1度至5度之間。
在本發明的一實施例中,前述的懸臂部的斷面形狀可為柱狀及板狀其中之一。
在本發明的一實施例中,基板匣更包括多數接觸墊,配置于每一懸臂部的表面上。
在本發明的一實施例中,前述的支柱與懸臂部可以是一體成形的結構。
在本發明的一實施例中,前述的各支柱與各懸臂部之間例如是以一螺絲及一卡固構件其中之一鎖固。
在本發明的一實施例中,基板匣更包括多數定位塊,位于支柱的底部。
在本發明的一實施例中,前述的各支柱與上蓋板及下蓋板之間例如是以一螺絲及一卡固構件其中之一鎖固。
綜上所述,本發明的基板匣與運送系統至少具有下列優點一、基板匣具有不同方向的載入口與載出口,因此在搭配傳送手臂存取基板時較為方便。特別是在載入口本質上垂直載出口時,可配設兩個傳送手臂于載入口與載出口處,以加快存取基板的速度。
二、懸臂部可以承載不同尺寸的基板,而不需要做任何的切換。此外,懸臂部可以在不同的位置具有不同的厚度或寬度,以使能更平穩地承載基板。
三、由于基板匣運送系統中的基板匣是設置于第二輸送機上,因此基板匣運送系統占用較小的面積范圍,而圍欄所圍的區域范圍較小,且圍欄的使用成本也相對降低。。
綜上所述,本發明的基板匣具有不同方向的載入口及載出口,因此在搭配傳送手臂存取基板時較為方便。此外,當配設至少兩個傳送手臂于基板匣的載入口及載出口處,可以加快存取基板的速度。另外,在本發明的基板匣運送系統中,由于基板匣是配置于第二輸送機上,因此基板匣運送系統所占用的面積范圍較少(相對于現有技藝基板匣是配置于傳送手臂旁)。
為讓本發明的上述和其他目的、特征和優點能更明顯易懂,下文特舉較佳實施例,并配合所附圖式,作詳細說明如下。
圖1為現有的一種基板匣的立體示意圖。
圖2為現有的一種基板匣運送系統的示意圖。
圖3A為依照本發明的一實施例的基板匣的立體示意圖。
圖3B為圖3A的基板匣的俯視示意圖。
圖3C為圖3B的懸臂部及支柱的側視放大圖。
圖4A為依照本發明的另一實施例的基板匣的立體示意圖。
圖4B為圖4A的基板匣的俯視示意圖。
圖5為依照本發明一實施例的基板匣運送系統的示意圖。
50基板 100基板匣110蓋板 120開口200基板匣運送系統210傳送手臂220第一輸送機230第二輸送機240檢查機臺 250圍欄60基板 300、450基板匣310上蓋板320下蓋板330、330a、330a’支柱340、340a懸臂部350接觸墊360定位塊400基板匣運送系統410傳送手臂410a第一側邊 410b第二側邊410c第三側邊 420第一輸送機430第二輸送機440檢查機臺460圍欄 R容納空間S基板載入及載出 Sin載入口Sout載出口 θ仰角具體實施方式
圖3A為依照本發明的一實施例的基板匣的立體示意圖,而圖3B為圖3A的基板匣的俯視示意圖。請參考圖3A及圖3B,本發明的基板匣300包括一上蓋板310、一下蓋板320、多數支柱330及多數懸臂部340。上蓋板310與下蓋板320是相互面對,并經由這些支柱330的連接以形成一容納空間R。懸臂部340是固定在對應的支柱330上,且每一懸臂部340會由支柱330往容納空間R的內部延伸,其中在同一水平面上的每一支柱330上會固定有一個懸臂部340,用以支撐基板60。此外,基板匣300具有多數基板載入及載出口S,每一基板載入及載出口S是位于相鄰的支柱330之間。
在本實施例中,基板匣300是以四支柱330連接上蓋板310及下蓋板320以形成本質上為長方體的容納空間R,并且容納空間R可分成許多的水平面。在同一水平面上,分別會有四個懸臂部340用以承載基板60,其中基板60的尺寸可以不同。此外,基板匣300是具有四基板載入及載出口S。值得注意的是,本發明并不限定支柱330的數量。舉例而言,上蓋板及下蓋板可擇其一由少于及大于四支柱連接以形成其他形狀的容納空間,如此,基板匣即具有少于(或大于)四個基板載入及載出口。
請再參考圖3A及圖3B,這些基板載入及載出口S包括一載入口Sin及一載出口Sout。在本實施例中,載入口Sin是鄰接載出口Sout,以使基板60載入基板匣300的方向本質上垂直于基板60載出基板匣300的方向。當然,本發明并不限定載入口Sin及載出口Sout的數量或其之間的相對位置。舉例而言,載出口Sout可以位于載入口Sin的對向,或是這四個基板載入及載出口S包括兩個對向的載入口Sin及兩個對向的載出口Sout等等。更進一步而言,任一個基板載入及載出口S更可同時作為載入口Sin及載出口Sout。如此,本發明可任意從四個方向將基板60載入或載出基板匣300,而使基板匣300具有較高的便利性以搭配設置傳送手臂(未繪示)。附帶一提的是,盡管是用人工載入或載出基板60時,基板匣300仍較現有技藝具有較高的便利性。
在本實施例中,由于已經確定載入口Sin及載出口Sout的位置,本發明可進一步在載入口Sin及載出口Sout以外的基板載入及載出口S處設置側蓋板(未繪示),以降低灰塵進入基板匣300的機率。不過,側蓋板并非用以限制基板匣300的便利性。當側蓋板覆蓋的基板載入及載出口S有需要作為載入口Sin或是載出口Sout時,仍可將側蓋板拆卸以配合需求。
此外,各支柱330與上蓋板310及下蓋板320之間例如是以螺絲或卡固構件鎖固。類似地,各支柱330與各懸臂部340之間亦例如是以螺絲或卡固構件鎖固,其中支柱330及懸臂部340的材質可以為金屬或是塑膠材質。當然,本發明不限定上述構件間的組合方式及組成材質。舉例而言,可利用射出成形技術直接將支柱330及懸臂部340做成一體成形的結構。
請再參考圖3B,為使懸臂部340能更平穩地承載基板50,基板匣300可以更包括多數接觸墊350以直接接觸基板60。接觸墊350的材質可以為金屬或是塑膠材質,而以貼合、鎖入或是擠入的方式設置于懸臂部340的表面上。此外,接觸墊350可以配合基板60尺寸而設置在懸臂部340的不同位置,以使各種尺寸的基板均能受力平均。附帶一提的是,為使基板匣300在安裝定位時能更加精確并減少因對位誤差造成的沖擊,基板匣300更可包括多數定位塊360設置于支柱330的底部。
圖3C為圖3B的懸臂部及支柱的側視放大圖。請參考圖3B及圖3C,由于懸臂部340在遠離支柱330的部分容易因自身重量(甚至因基板60的重量)而下垂,使得基板60在承靠懸臂部340上時容易傾斜而位移。為避免上述情形,本發明可使較接近支柱330處的懸臂部340寬度大于懸臂部340遠離支柱330處的寬度,同時可使較接近支柱330處的懸臂部340厚度大于懸臂部340遠離支柱330處的厚度。如此,懸臂部340在遠離支柱330的部分其自身重量較輕,故不容易產生下垂變形的情形。更進一步而言,懸臂部340的厚度可由支柱處330往容納空間R內部逐漸變小,且懸臂部340的寬度可由支柱處330往容納空間R內部逐漸變小。
承接上述,本發明更可使懸臂部340預先設定一仰角θ。當基板60承靠于懸臂部340上時,可作為懸臂部340下垂的緩沖,以使懸臂部340能剛好水平承載基板60。在本實施例中,仰角θ的較佳范圍例如是介于0.1度至5度之間。此外,前述已經提及本發明并不限定支柱的數量及組成方式,以下將配合圖示另舉一實施例說明。
圖4A為依照本發明的另一實施例的基板匣的立體示意圖,而圖4B為圖4A的基板匣的俯視示意圖。請參考圖4A及圖4B,本實施例的基板匣300a與上述實施例的基板匣300(如圖3A所示)相似,其差別在于本實施例的基板匣300a是由三個支柱330a所構成。特別的是,由于其中之一的支柱330a’是面狀結構,不但可以增加基板匣300a整體結構的強度,更可以充當側蓋板以避免灰塵。
附帶一提的是,本實施例的各個懸臂部340a的形狀可以不同,以使能配合支柱330a的設置并均勻地承載基板60。以下,將配合圖示說明本發明的基板匣應用于運送系統中的方式。
圖5為依照本發明一實施例的基板匣運送系統的示意圖。請參考圖5,本發明的基板匣運送系統400包括一傳送手臂410、一第一輸送機420、一第二輸送機4 30、一檢查機臺440及一基板匣450,其中基板匣450可為前述中本發明所述的基板匣(如基板匣300、300a等)或其他具有本發明特征的基板匣。傳送手臂410具有一第一側邊410a、一第二側邊410b及一第三側邊410c,其中第二側邊410b位于第一側邊410a的對向,且第三側邊410c鄰接第一側邊410a與第二側邊410b。第一輸送機420是配置于傳送手臂410的第一側邊410a處,而第二輸送機430是配置于機傳送手臂410的第二側邊410b處,且檢查機臺440是配置于傳送手臂410的第三側邊410c處。此外,基板匣450是配置于第二輸送機430上。
由于基板匣450是具有多個方向的載入口與載出口,故基板匣450非限定只能設置于傳送手臂410中與第三側邊410c對向的側邊旁。更進一步而言,基板匣450可以搭配整個基板匣運送系統400中基板的運送流向而設置于第二輸送機430上。如此,基板匣運送系統400即可占用較小的面積范圍(相較于如圖2所示的基板匣運送系統200而言,可以省下約15.5%的面積范圍),而使整個廠房的機臺設置可以更為彈性靈活。
值得注意的是,基板匣450并不限定只能設置于第二輸送機430上,其亦可以設置于第一輸送機420或是檢查機臺440上。此外,本發明并不限定基板匣450的數量,其數量可以配合基板匣運送系統400中基板的運送量而有所增減。附帶一提的是,檢查機臺440亦可以采用制程機臺替換,端看基板匣運送系統400當時的設計規劃。
承接上述,傳送手臂410的周圍可設有一圍欄460,以避免作業人員誤入傳送手臂410的活動區域而發生意外傷害。由于本發明并未設置機臺或基板匣于傳送手臂410中與第三側邊410c對向的側邊旁,因此圍欄460所圍的區域范圍較小,如此廠房空間的使用率即可提高,且圍欄460的使用成本也相對降低。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其并非用以限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本發明的精神和范圍內,當可作些許的更動與潤飾,因此本發明的保護范圍當視所附的申請專利范圍所界定者為準。
權利要求
1.一種基板匣,其特征在于其適于放置至少一基板,該基板匣包括一上蓋板;一下蓋板,相對于該上蓋板;多數支柱,連接該上蓋板與該下蓋板以形成一容納空間;以及多數懸臂部,固定在該些支柱上,且每一懸臂部由該支柱往該容納空間的內部延伸,其中在同一水平面上的每一支柱上會固定有一個懸臂部,用以支撐該基板,其中,該基板匣具有多數基板載入及載出口,每一基板載入及載出口是位于相鄰的該些支柱之間。
2.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于該基板載入及載出口包括一載入口以及鄰接該載入口的一載出口,以使該基板載入該基板匣的方向垂直于該基板載出該基板匣的方向。
3.根據權利要求2所述的基板匣,其特征在于其更包括至少一側蓋板,覆蓋于該載出口與該載入口以外的該基板載入及載出口。
4.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其中較接近該支柱處的該懸臂部厚度大于其遠離該支柱處的厚度。
5.根據權利要求4所述的多方向卡匣,其特征在于其中該懸臂部的厚度由該支柱處往該容納空間內部逐漸變小。
6.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其中較接近該支柱處的該懸臂部寬度會大于其遠離該支柱處的寬度。
7.根據權利要求6所述的基板匣,其特征在于其中該懸臂部的寬度由該支柱處往該容納空間內部逐漸變小。
8.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其中每一懸臂部具有一仰角,而該仰角介于0.1度至5度之間。
9.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其更包括多數接觸墊,配置于每一懸臂部的表面上。
10.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其中該支柱與該懸臂部是一體成形的結構。
11.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其中各支柱與各懸臂部之間是以一螺絲及一卡固構件其中之一鎖固。
12.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其更包括多數定位塊,位于該支柱的底部。
13.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其中各支柱與該上蓋板及該下蓋板之間是以一螺絲及一卡固構件其中之一鎖固。
14.根據權利要求1所述的基板匣,其特征在于其中該基板載入及載出口包括一載入口以及位于該載入口對向的一載出口,以使該基板載入該基板匣的方向平行于該基板載出該基板匣的方向。
全文摘要
一種基板匣,適于放置至少一基板。基板匣包括一上蓋板、一下蓋板、多數支柱及多數懸臂部。上蓋板是相對于下蓋板,而多數支柱是連接上蓋板與下蓋板以形成一容納空間。多數懸臂部是固定在這些支柱上,且每一懸臂部由支柱往容納空間的內部延伸,其中在同一水平面上的每一支柱上會固定有一個懸臂部,用以支撐基板。基板匣具有多數基板載入及載出口,每一基板載入及載出口是位于相鄰的支柱之間。
文檔編號B65D85/30GK101093809SQ20061009005
公開日2007年12月26日 申請日期2006年6月22日 優先權日2006年6月22日
發明者高憲章, 李智強 申請人:中華映管股份有限公司