專利名稱：基片加工設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于傳送一片狀工件和對于每個預定長度加工該工件的一基片加工設備。
背景技術：
如在JP-A-2000-246479中揭示的那樣，一激光鉆床重復在一加工臺上夾持卷繞在一卷筒上的一長條薄片的一部分，通過在加工臺與一鉆削工具之間沿水平的XY方向的相對運動對它進行所要求的加工的諸步驟，在僅卷起長薄片的被加工過的部分的長度之后，加工還未加工過的下一部分。
如果長薄片在垂直于薄片進給方向的寬度方向沒有移動，上述機器能夠完成準確的孔定位。
但是，在卷筒與保持卷筒的一支承件之間有一間隙。另外，并不始終以相對于卷筒軸線的一直角卷繞長薄片。所以，退繞的長薄片的方向將相對于加工臺的X或Y軸線傾斜，這降低了孔定位的精度。
發明內容
本發明的一目的是解決現有技術中的上述諸問題和提供一基片加工設備，該設備甚至在退繞的長薄片的軸線相對于加工臺的X或Y軸線傾斜的情況下也能夠改進加工精度。
為了實現上述目的，按照本發明提供一種用于加工一片狀工件、同時轉送該工件基片加工設備；該設備包括用于在垂直方向支承該工件的一對工件支承裝置、用于與工件支承裝置一起夾持工件的夾持裝置、用于沿工件的長度方向移動工件支承裝置的一第一運動裝置、用于引導工件支承裝置的一對引導裝置、用于支承這些引導裝置的一對引導支承裝置以及用于沿相對于工件的長向的一垂直方向移動引導支承裝置的一對第二運動裝置，其中將兩個銷柱或孔設置在每一個引導裝置上或內，將與該諸銷柱或諸孔嚙合的諸孔或諸銷柱設置在每一個引導支承裝置上或內，以將引導裝置和引導支承裝置組合成一格柵形式(grid form)；以及，在四個連接處的諸孔和諸銷柱被裝配成在它們之間基本沒有間隙。
因為除了在安裝工件W時、在加工之前糾正了工件W的任何傾斜，所以在工件的整個加工區域上能夠改進加工精度。
圖1是示意地示出按照本發明的一基片加工設備的總圖；圖2是按照本發明的在基片加工設備中的一工作臺的周圍的一部分的一平面圖；圖3是沿著圖2中的線“III-III”截取的一剖面圖；圖4是拆去工作臺的、圖2中的一工作臺周圍的一部分的一平面圖；圖5A至5F示出了如何按照本發明定位一工件W；以及圖6A至6B示出了如何按照本發明定位引導架11。
具體實施例方式
以下將參照附圖敘述本發明的一較佳實施例。
圖1示意地示出了按照本發明的一基片加工設備。
一梁支架3固定于一基座1。一梁2能夠在梁支架3上沿著X軸線方向移動。一主軸6和一照相機7由一滑架6保持，該滑架能夠在梁2上沿著Y軸線方向移動。
一工作臺4固定于基座1。通過設置在梁支架3中的一窗口3a將后面要敘述的一卷起的片狀工件供應到工作臺4。
其次將敘述用于工件的一傳送部分。
圖2是示出了按照本發明的、在基片加工設備內的一工作臺周圍的一部分的平面圖；圖3是沿著圖2中的線“III-III”截取的剖面圖；圖4是拆去工作臺后圖2中在工作臺周圍的部分的平面圖。
在工作臺4的兩側附近，沿著Y軸線方向設置一對夾持架16a和一對夾持架16b。用直線引導裝置13能夠在一對引導架11上單獨地移動諸夾持架16a和16b。順便說一下，圖2所示的位置是諸夾持架16a和16b的準備位置。
兩套電動機10a和滾珠螺桿20a各引起夾持架16a沿著Y軸線方向移動。兩套電動機10b和滾珠螺桿20b各引起夾持架16b沿著Y軸線方向移動。
在諸夾持架16a中的一個的一側面上支承了一夾子21，由諸夾持架16b中的一個的一側面支承了兩個夾子21。通過諸氣缸15可以垂直移動諸夾子21。諸夾持架16a和16b的諸頂表面與工作臺4的頂表面處于相同的高度處，或者比工作臺的頂表面稍高。
將諸引導架11安裝在一對定位座12a和12b上。通過將在諸引導架11上鉆出的孔22a至22d裝配在固定于定位座12a和12b的四個銷柱23a至23d上，就可定位諸引導架11。雖然在孔22a與銷柱23a之間基本沒有間隙，但是孔22b至22d比銷柱23b至23d的直徑稍大(例如在直徑方面稍大0.5毫米)。
用諸直線引導裝置24可以單獨地沿X軸線方向在基座1上移動諸定位座12a和12b。一電動機8a和一滾珠螺桿25a引起定位座12a沿著X軸線方向移動。一電動機8b和一滾珠螺桿25b引起定位座12b沿著X軸線方向移動。
其次將敘述本發明該實施例的操作。
圖5A至5F示出了一工件W如何被定位以及圖6A和6B示出了如何定位諸引導架11。
順便說一下，事先將諸引導架11設置成平行于Y軸線，將諸夾持架16a和16b安置在它們的各自的就緒位置(standby position)中。
(1)將工件W的軸線定位在加工區域的中心和平行于Y軸線，以及用諸夾子21將工件W固定于諸夾持架16a和16b。
(2)在這狀態下，在工件W內鉆兩個基準孔P和Q(圖5A)。在基準孔P和Q的中心之間的一直線M平行于X軸線。
(3)運轉諸電動機10a和10b，以將下一個工件部分定位在加工區域內(圖5B)。
(4)將諸夾持架16a的諸夾子21脫開并被返回到它們的就緒位置。如果工件傾斜，那么，從諸夾持架16a移動諸夾子21則引起工件W圍繞諸夾持架16b的諸夾子21轉動(在所示的情況下，從右側向上轉動)(圖5C)。
(5)將諸夾持架16a的諸夾子21下移和固定。其結果，工件W的軸線由諸夾持架16a夾持于傾斜狀態。
(6)脫開諸夾持基座16b的諸夾子21和將它們返回至它們的就緒位置。
(7)使諸夾持架16b的諸夾子21下移和固定(圖5E)。
現在完成了相對于主軸6定位工件W中要加工的新的部分的工作。但是，基準孔P的位置從對照設計的加工基準位置有了偏移，直線M相對于X軸線而傾斜。
為了補償這偏差，按如下糾正工件W的位置。
(8)在由照相機參照基準孔P的位置時運轉諸電動機8a、8b、10a和10b，以及將基準孔P放置在按照設計的它的加工基準位置。此外，在這步驟中，諸夾持架16a和16b移動時要保持它們的平行度(圖6A)。
(9)在電動機8b停止運轉的一情況下運轉電動機8a，將基準孔Q放置于按照設計的它的加工基準位置中(圖6B)。其結果，如圖5F所示，使M線平行于X軸線和使工件W的軸線平行于Y軸線。
(10)在這狀態下，在工件W中鉆基準孔P和Q(圖5A)。
(11)對工件W加工。
此后，反復步驟(3)至(11)，直至完成工件W的加工。
另外，雖然在這實施例中將在諸孔22b至22d與諸銷柱23b至23d之間的間隙做得大于在孔22a與銷23a之間的間隙，但是也能夠將諸孔22b至22d與銷柱23b至23d之間的間隙小于、等于在孔22a與23a之間的間隙。在這情況下，諸夾持架16a和16b將彈性變形和扭轉，但是因為糾正的量較小，所以這在實際使用中不產生任何問題。
權利要求
1.一種用于加工一片狀工件W同時傳送該工件的基片加工設備，它包括用于在一垂直方向支承所述工件W的所述支承裝置(16a，16b)；用于將所述工件夾持在所述工件支承裝置(16a，16b)上的夾持裝置(15，21)；用于沿所述工件的傳送方向移動所述工件支承裝置(16a，16b)的第一運動裝置(10a，10b，20a，20b)；用于引導所述工件支承裝置(16a，16b)的引導裝置(11，13)；用于支承這些引導裝置(11，13)的引導支承裝置(12a，12b)；以及用于沿一垂直于所述工件的傳送方向的方向移動所述引導支承裝置(12a，12b)的第二移動裝置(8a，8b，25a，25b)，其中，將兩銷柱(23a-23d)或孔(22a-22d)設置在每個所述引導裝置(11，13)上或內，諸孔(22a-22d)或銷柱(23a-23d)與設置在每個所述引導支承裝置(12a，12b)上或內的所述諸銷柱(23a-23d)或孔(22a-22d)嚙合，以將所述引導裝置(11，13)和引導支承裝置(12a，12b)組合成一格柵形狀，以及，在四個連接處的諸孔(22a-22d)和諸銷柱(23a-23d)被裝配成在它們之間基本沒有間隙。
2.如權利要求1所要求的基片加工設備，其特征在于在所述四個連接處中的一個連接處將所述孔(22a-22d)和所述銷柱(23a-23d)裝配成在它們之間基本沒有間隙，以及，在其它三個連接處允許裝配成有較大間隙。
全文摘要
一種用于即使在一退卷的長薄片的一軸線相對于一加工臺的軸線X或Y傾斜的狀態下也能改進加工精度的基片加工設備，該設備具有使在諸引導架(11)中鉆出的諸孔(22a－22d)與設置在諸定位座(12a，12b)上的四銷柱(23a－23)嚙合的一結構；在孔(22a)與銷柱(23a)之間基本沒有間隙，但是諸孔(22b－22d)松馳地配合在諸銷柱(23b－23d)上；以及，將它們的軸線處于X軸線方向的兩基準孔鉆在工件W內，其中工件W被固定于由諸引導架(11)支承的諸夾持架，在將工件W中鉆出的兩基準孔中的一個孔放置在按照設計的它的基準位置之后移動定位座(12a)，引導架(11)圍繞銷柱(23a)轉動，工件W的軸線被定位成垂直于X軸線。
文檔編號B65H23/032GK1623870SQ200410077179
公開日2005年6月8日 申請日期2004年9月8日 優先權日2003年12月1日
發明者本田勇二, 長澤勝浩 申請人:日立比亞機械股份有限公司